JP2005314160A - 高密度高配向カーボンナノチューブの合成方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 厳密な制御を必要とせずに、容易に、高密度、高配向のカーボンナノチューブを大量に低コストで合成する方法を提供する。
【解決手段】 表面に酸化ケイ素膜22を有するSi基板21上に、サイズの制御された遷移金属微粒子23を堆積し、この基板を有機液体中に浸し、カーボンナノチューブの合成温度で加熱する。酸化ケイ素膜を介しているので、遷移金属微粒子23がSi基板21と反応して沈み込むことが無くなり、その結果、容易に、再現性良く、高密度、高配向のカーボンナノチューブを、大量、かつ、低コストで合成できる。
【選択図】 図2
【解決手段】 表面に酸化ケイ素膜22を有するSi基板21上に、サイズの制御された遷移金属微粒子23を堆積し、この基板を有機液体中に浸し、カーボンナノチューブの合成温度で加熱する。酸化ケイ素膜を介しているので、遷移金属微粒子23がSi基板21と反応して沈み込むことが無くなり、その結果、容易に、再現性良く、高密度、高配向のカーボンナノチューブを、大量、かつ、低コストで合成できる。
【選択図】 図2
Description
本発明は、高密度高配向カーボンナノチューブの合成方法に関する。
カーボンナノチューブは、炭素原子からなる特殊な構造を有しているため、様々な物理的、化学的特性を発現する。これらの特性に注目して、電界放射電子源、ナノスケール電子デバイス、化学物質貯蔵システム、機械的補強材、半導体素子材料、燃料電池やリチウム電池の負極、電気二重層キャパシタの電極等の種々の用途が検討されている。
ところで、上記の種々の用途においては、カーボンナノチューブを高密度、高配向の状態で使用することが必要不可欠である場合が多い。例えば、カーボンナノチューブを電界放射電子源としたディスプレイ装置においては、ディスプレイ面全面にわたって高密度に垂直配向したカーボンナノチューブが必要不可欠であり、リチウム電池の負極として用いる場合には、リチウム電池の充電容量が負極に含有できるリチウムイオンの量によって決まるので、高密度高配向のカーボンナノチューブが最適である。
しかしながら、カーボンナノチューブはナノメーター(nm)オーダーのサイズであるので、原料段階で低密度、低配向のカーボンナノチューブを、高密度、高配向のカーボンナノチューブに整列し直すことは、実質的に不可能である。すなわち、原料としてのカーボンナノチューブの形態が、高密度、高配向であることは、カーボンナノチューブの応用にとって極めて重要である。
しかしながら、カーボンナノチューブはナノメーター(nm)オーダーのサイズであるので、原料段階で低密度、低配向のカーボンナノチューブを、高密度、高配向のカーボンナノチューブに整列し直すことは、実質的に不可能である。すなわち、原料としてのカーボンナノチューブの形態が、高密度、高配向であることは、カーボンナノチューブの応用にとって極めて重要である。
カーボンナノチューブの合成方法は、世界中で極めて精力的に研究、開発されてきたが、長い間、グラム当たりのコストは金よりも高いという状況が続いた。この状況は、本発明者らによる方法(特許文献1参照)によって乗り越えられた。この方法は、島状に触媒金属微粒子を担持したSi基板を有機液体中でカーボンナノチューブの合成温度で加熱し、非熱平衡状態の金属触媒作用により、有機液体から、基板に強固に結合した高密度、高配向のカーボンナノチューブを大量に合成する方法である。この方法によれば、カーボンナノチューブの製造コストは極めて低く、有機液体、例えば、メタノールやエタノールのコストと同程度と言って過言ではない。
特開2003−12312号公報
ところで、特許文献1の方法によれば、基板に強固に結合した高密度、高配向のカーボンナノチューブを大量に低コストで合成できるが、触媒金属微粒子を担持した基板の有機液体中における加熱過程において、昇温する際の昇温速度や、カーボンナノチューブを成長する際の温度や時間を極めて厳密に制御する必要があり、制御範囲からはずれると、高密度、高配向のカーボンナノチューブが得られないと言う課題があった。
この現象は、カーボンナノチューブを成長する温度、すなわち、700〜1000℃の温度領域では、遷移金属はSiと化合物(シリサイド)を作りやすいため、遷移金属微粒子が基板のSiと反応して形状が変化し、触媒作用を消失してSi基板中に沈み込むためである。
上記課題に鑑み本発明は、厳密な制御を必要とせずに、容易に、基板に強固に結合した高密度、高配向のカーボンナノチューブを大量に低コストで合成する方法を提供することを目的とする。
この現象は、カーボンナノチューブを成長する温度、すなわち、700〜1000℃の温度領域では、遷移金属はSiと化合物(シリサイド)を作りやすいため、遷移金属微粒子が基板のSiと反応して形状が変化し、触媒作用を消失してSi基板中に沈み込むためである。
上記課題に鑑み本発明は、厳密な制御を必要とせずに、容易に、基板に強固に結合した高密度、高配向のカーボンナノチューブを大量に低コストで合成する方法を提供することを目的とする。
上記目的を達成するため、本発明の高密度高配向カーボンナノチューブの合成方法は、触媒の基板への沈み込みを防止する沈み込み防止膜を表面に形成し、この沈み込み防止膜上に触媒微粒子を島状に担持させ、この基板を有機液体中に浸し、カーボンナノチューブの合成温度で加熱することを特徴とする。
この方法によれば、沈み込み防止膜が触媒の基板への沈み込みを防止するので、触媒を担持した基板の有機液体中における加熱過程において、昇温する際の昇温速度や、カーボンナノチューブを成長する際の温度や時間を極めて厳密に制御しなくても、容易に、再現性良く、高密度、高配向のカーボンナノチューブを合成することができる。
ここで、触媒は遷移金属であれば好ましい。また、触媒の基板への沈み込みを防止する沈み込み防止膜は、例えば、酸化膜、窒化膜、または炭化膜であれば好ましい。
また、沈み込み防止膜の厚さは、100nmから1μmの範囲が好ましく、100nm以下であると触媒と基板の反応を防止できず、1μm以上であると、基板からの熱伝導性が悪くなり、カーボンナノチューブを制御性良く合成できなくなる。
この方法によれば、沈み込み防止膜が触媒の基板への沈み込みを防止するので、触媒を担持した基板の有機液体中における加熱過程において、昇温する際の昇温速度や、カーボンナノチューブを成長する際の温度や時間を極めて厳密に制御しなくても、容易に、再現性良く、高密度、高配向のカーボンナノチューブを合成することができる。
ここで、触媒は遷移金属であれば好ましい。また、触媒の基板への沈み込みを防止する沈み込み防止膜は、例えば、酸化膜、窒化膜、または炭化膜であれば好ましい。
また、沈み込み防止膜の厚さは、100nmから1μmの範囲が好ましく、100nm以下であると触媒と基板の反応を防止できず、1μm以上であると、基板からの熱伝導性が悪くなり、カーボンナノチューブを制御性良く合成できなくなる。
本発明の方法によれば、昇温する際の昇温速度や、カーボンナノチューブを成長する際の温度や時間を厳密に制御しなくとも、容易に、再現性良く、高密度、高配向のカーボンナノチューブを合成することができる。
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
初めに本発明の方法に用いる工程の一つである、有機液体中でカーボンナノチューブの合成温度で加熱するカーボンナノチューブの合成方法の概略を説明する(詳細は特許文献1を参照されたい)。
図1は有機液体中でカーボンナノチューブの合成温度で加熱するための合成装置を示す図である。この合成装置は、液体槽1の外側に液体槽1を冷却するための水冷手段2と、基板3を保持し、且つ、基板3に電流を流すための電極4を有する基板ホルダー5と、液体槽1から蒸発する有機液体蒸気を冷却凝縮して液体槽1に戻す水冷パイプ6からなる凝縮手段7と、基板ホルダー5と凝縮手段7とN2 ガスを導入するバルブ8とを保持する蓋9を有し、液体槽1と蓋9とで有機液体10を密閉して保持する構成である。
初めに本発明の方法に用いる工程の一つである、有機液体中でカーボンナノチューブの合成温度で加熱するカーボンナノチューブの合成方法の概略を説明する(詳細は特許文献1を参照されたい)。
図1は有機液体中でカーボンナノチューブの合成温度で加熱するための合成装置を示す図である。この合成装置は、液体槽1の外側に液体槽1を冷却するための水冷手段2と、基板3を保持し、且つ、基板3に電流を流すための電極4を有する基板ホルダー5と、液体槽1から蒸発する有機液体蒸気を冷却凝縮して液体槽1に戻す水冷パイプ6からなる凝縮手段7と、基板ホルダー5と凝縮手段7とN2 ガスを導入するバルブ8とを保持する蓋9を有し、液体槽1と蓋9とで有機液体10を密閉して保持する構成である。
この装置によれば、有機液体の温度を沸点未満に保持することができると共に、基板に一定電流を流すだけで基板温度を高温に保持することができ、カーボンナノチューブの合成温度を維持することが可能になる。また、有機液体の気相が凝縮されてもどるため原料の有機液体を無駄にすることがなく、さらに有機気相と空気との混合による爆発、炎上の危険がない。また、不活性ガス導入手段を有するから、液体槽中での有機気相と空気との混合による爆発、炎上の危険がない。
次に、この装置を用いた特許文献1の方法のカーボンナノチューブの合成メカニズムを説明する。特許文献1の方法は、Si基板上にFe微粒子を担持し、この基板を図1の装置を用いて有機液体中で電流を流して加熱するものである。
図において、Si基板3の表面は約900℃の高温であり、一方、Si基板3の表面に隣接するメタノールは約60℃である。また、Si基板3の表面は、メタノールのガスで覆われており、Si基板表面から液体に向かって急激な温度勾配が存在する。この急激な温度勾配とFeの触媒作用とにより、メタノールガス中で特異な熱分解反応が生じ、Fe微粒子上にカーボンナノチューブが成長する。
この合成法はいくつかの重要な特徴を有している。第1点は、カーボンナノチューブは非熱平衡条件における金属触媒反応によって生成されており、第2点として、カーボンナノチューブの成長端は、有機液体中で温度が制御できる基板表面のカーボンナノチューブの根元であることである。第3点としては、有機液体が基板を囲んでいるために、カーボンナノチューブの根元である基板表面の垂直方向に大きな温度勾配が生じ、この大きく急峻な温度勾配が、基板表面に垂直方向にカーボンナノチューブを成長させる重要な推進力となっていると考えられることである。
図において、Si基板3の表面は約900℃の高温であり、一方、Si基板3の表面に隣接するメタノールは約60℃である。また、Si基板3の表面は、メタノールのガスで覆われており、Si基板表面から液体に向かって急激な温度勾配が存在する。この急激な温度勾配とFeの触媒作用とにより、メタノールガス中で特異な熱分解反応が生じ、Fe微粒子上にカーボンナノチューブが成長する。
この合成法はいくつかの重要な特徴を有している。第1点は、カーボンナノチューブは非熱平衡条件における金属触媒反応によって生成されており、第2点として、カーボンナノチューブの成長端は、有機液体中で温度が制御できる基板表面のカーボンナノチューブの根元であることである。第3点としては、有機液体が基板を囲んでいるために、カーボンナノチューブの根元である基板表面の垂直方向に大きな温度勾配が生じ、この大きく急峻な温度勾配が、基板表面に垂直方向にカーボンナノチューブを成長させる重要な推進力となっていると考えられることである。
次に、特許文献1の方法では、遷移金属微粒子を担持したSi基板を有機液体中に浸し、昇温する際の昇温速度や、カーボンナノチューブを成長する際の温度や時間を極めて厳密に制御する必要がある理由を説明する。
カーボンナノチューブを成長する温度、すなわち、700〜1000℃の温度領域では、遷移金属はSiと化合物(シリサイド)を作りやすいため、カーボンナノチューブの成長中に、遷移金属微粒子が基板のSiと反応して形状が変化し、触媒作用を消失し、ついには、Si基板中に完全に沈み込んでしまう場合がある。このため、特許文献1の方法においては遷移金属微粒子のシリサイド化の量を見込んで合成する必要があり、遷移金属微粒子の大きさ、昇温速度、カーボンナノチューブの成長温度、及び成長時間を厳密に制御する必要があった。
カーボンナノチューブを成長する温度、すなわち、700〜1000℃の温度領域では、遷移金属はSiと化合物(シリサイド)を作りやすいため、カーボンナノチューブの成長中に、遷移金属微粒子が基板のSiと反応して形状が変化し、触媒作用を消失し、ついには、Si基板中に完全に沈み込んでしまう場合がある。このため、特許文献1の方法においては遷移金属微粒子のシリサイド化の量を見込んで合成する必要があり、遷移金属微粒子の大きさ、昇温速度、カーボンナノチューブの成長温度、及び成長時間を厳密に制御する必要があった。
次に、本発明の方法を説明する。
本発明の方法は、Si基板上に酸化ケイ素膜を形成し、この酸化ケイ素膜上に遷移金属微粒子を担持することによって、上記の問題を解決したものである。
以下に、本発明の方法を図を用いて詳細に説明する。
図2は、本発明の方法を説明する工程図である。図2(a)に示すようにSi基板21を、周知の洗浄方法で洗浄する。次に同図(b)に示すように、Si基板21を、例えば酸化性雰囲気中で1000℃程度の高温に加熱して約1μm以下の膜厚の酸化ケイ素膜22を形成し、触媒の基板への沈み込みを防止する沈み込み防止膜とする。ここで、膜厚を1μm以上にすると、Si基板21と遷移金属微粒子23との熱伝導性が悪くなり、カーボンナノチューブを制御性良く合成できない。膜厚を約100nm以下にすると、Si基板21と遷移金属微粒子23との反応を防止できない。
次に図2(c)に示すように、遷移金属微粒子23を酸化ケイ素膜22上に堆積する。遷移金属微粒子23の堆積方法は、堆積する遷移金属の量が、連続した薄膜の厚さに換算して約100nm以下であり、且つ、基板温度が約100℃以下であればよく、この場合には、堆積と同時に、サイズの揃った遷移金属微粒子23が酸化ケイ素膜22上に島状に均一に分布する。基板温度が100℃を越えると、または、膜厚が100nmを越えると、島状遷移金属微粒子23が互いに凝集し易くなり、均一なサイズの遷移金属微粒子23が得られなくなるか、或いは、一枚の連続した遷移金属薄膜になってしまう。また、膜厚が1nm以下であると、カーボンナノチューブを合成できない。沈み込み防止膜が酸化ケイ素膜であり触媒が遷移金属である場合には、遷移金属の堆積膜厚と遷移金属微粒子のサイズとの間で、ほぼ1対1の比例関係が成り立つ。もちろん、沈み込み防止膜と触媒の組み合わせの種類によって、この比例関は異なるので、あらかじめ、用いる触媒の堆積膜厚と触媒微粒子のサイズとの関係を求めておくと良い。また、スパッタリング法を使用しても良く、真空蒸着法を使用しても良い。
次に、この基板を図1に示した合成装置に浸して、特許文献1の方法によりカーボンナノチューブを合成する。合成の際の基板温度は、700〜1000℃が好ましい。約1時間の合成によって数ミクロンの長さのカーボンナノチューブが成長する。
本発明の方法は、Si基板上に酸化ケイ素膜を形成し、この酸化ケイ素膜上に遷移金属微粒子を担持することによって、上記の問題を解決したものである。
以下に、本発明の方法を図を用いて詳細に説明する。
図2は、本発明の方法を説明する工程図である。図2(a)に示すようにSi基板21を、周知の洗浄方法で洗浄する。次に同図(b)に示すように、Si基板21を、例えば酸化性雰囲気中で1000℃程度の高温に加熱して約1μm以下の膜厚の酸化ケイ素膜22を形成し、触媒の基板への沈み込みを防止する沈み込み防止膜とする。ここで、膜厚を1μm以上にすると、Si基板21と遷移金属微粒子23との熱伝導性が悪くなり、カーボンナノチューブを制御性良く合成できない。膜厚を約100nm以下にすると、Si基板21と遷移金属微粒子23との反応を防止できない。
次に図2(c)に示すように、遷移金属微粒子23を酸化ケイ素膜22上に堆積する。遷移金属微粒子23の堆積方法は、堆積する遷移金属の量が、連続した薄膜の厚さに換算して約100nm以下であり、且つ、基板温度が約100℃以下であればよく、この場合には、堆積と同時に、サイズの揃った遷移金属微粒子23が酸化ケイ素膜22上に島状に均一に分布する。基板温度が100℃を越えると、または、膜厚が100nmを越えると、島状遷移金属微粒子23が互いに凝集し易くなり、均一なサイズの遷移金属微粒子23が得られなくなるか、或いは、一枚の連続した遷移金属薄膜になってしまう。また、膜厚が1nm以下であると、カーボンナノチューブを合成できない。沈み込み防止膜が酸化ケイ素膜であり触媒が遷移金属である場合には、遷移金属の堆積膜厚と遷移金属微粒子のサイズとの間で、ほぼ1対1の比例関係が成り立つ。もちろん、沈み込み防止膜と触媒の組み合わせの種類によって、この比例関は異なるので、あらかじめ、用いる触媒の堆積膜厚と触媒微粒子のサイズとの関係を求めておくと良い。また、スパッタリング法を使用しても良く、真空蒸着法を使用しても良い。
次に、この基板を図1に示した合成装置に浸して、特許文献1の方法によりカーボンナノチューブを合成する。合成の際の基板温度は、700〜1000℃が好ましい。約1時間の合成によって数ミクロンの長さのカーボンナノチューブが成長する。
次に実施例を説明する。
高純度エタノール(99.7%)を有機液体として用い、低抵抗(0.002Ωcm)Si(100)面方位、寸法10×20×1mm3 の基板を用いた。Si基板は、アセトン中で超音波洗浄し、さらに、1000℃で一時間、酸素雰囲気中で酸化処理を行った。基板表面は約1μmのSiO2 膜が形成されており、その基板上に、基板温度100℃以下でArガス雰囲気中のスパッタ法でFe薄膜を100nmの厚さで堆積し、Fe微粒子を形成した。この基板を図1に示した合成装置の基板ホルダーに配置し、直流電流を流し、800℃に加熱した。多数の泡が生成し、多数の泡がエタノール液表面に上昇すると共に、基板表面はこの泡で覆われた。液体槽中のエタノールの温度は約50℃に上昇した。基板温度は光学放射温度計を使用し、焦点を基板表面に合わせて測定した。昇温時間は、10秒から2分程度であり、成長中に基板に流す電流は一定に保った。基板温度は、カーボンナノチューブの長さが長くなるに従ってゆっくりと減少することが観測された。
高純度エタノール(99.7%)を有機液体として用い、低抵抗(0.002Ωcm)Si(100)面方位、寸法10×20×1mm3 の基板を用いた。Si基板は、アセトン中で超音波洗浄し、さらに、1000℃で一時間、酸素雰囲気中で酸化処理を行った。基板表面は約1μmのSiO2 膜が形成されており、その基板上に、基板温度100℃以下でArガス雰囲気中のスパッタ法でFe薄膜を100nmの厚さで堆積し、Fe微粒子を形成した。この基板を図1に示した合成装置の基板ホルダーに配置し、直流電流を流し、800℃に加熱した。多数の泡が生成し、多数の泡がエタノール液表面に上昇すると共に、基板表面はこの泡で覆われた。液体槽中のエタノールの温度は約50℃に上昇した。基板温度は光学放射温度計を使用し、焦点を基板表面に合わせて測定した。昇温時間は、10秒から2分程度であり、成長中に基板に流す電流は一定に保った。基板温度は、カーボンナノチューブの長さが長くなるに従ってゆっくりと減少することが観測された。
次に、上記実施例で作製したカーボンナノチューブの測定結果を説明する。
図3は、上記実施例で作製したカーボンナノチューブの走査電子顕微鏡像(SEM)を示す図である。
図4は、さらに倍率を上げて測定した、上記カーボンナノチューブの走査電子顕微鏡像を示す図である。
SEM像は、カーボンナノチューブが成長した基板を劈開し、Si基板表面に対して斜め上方より測定した。
図から、カーボンナノチューブ31が、酸化ケイ素膜32上に、極めて正確な角度で垂直に配向し、かつ、極めて高密度に成長していることがわかる。
図3は、上記実施例で作製したカーボンナノチューブの走査電子顕微鏡像(SEM)を示す図である。
図4は、さらに倍率を上げて測定した、上記カーボンナノチューブの走査電子顕微鏡像を示す図である。
SEM像は、カーボンナノチューブが成長した基板を劈開し、Si基板表面に対して斜め上方より測定した。
図から、カーボンナノチューブ31が、酸化ケイ素膜32上に、極めて正確な角度で垂直に配向し、かつ、極めて高密度に成長していることがわかる。
上記実施例では、有機液体としてエタノールを用いたが、エタノールに限らず、メタノール、又は、酢酸は、極めて好適な有機液体である。すなわち、メタノール、エタノール及び酢酸は、それぞれ、64.96℃、78.5℃、及び117.9℃の沸点を有する有機液体であるので、図1に示した装置によって、基板と有機液体との間に急峻な温度勾配を形成することができる。
また、有機液体が炭素以外の元素を含む場合には、その元素を構成元素としたナノチューブが合成できることは明かである。
また、有機液体が炭素以外の元素を含む場合には、その元素を構成元素としたナノチューブが合成できることは明かである。
上記説明から理解されるように、本発明の高密度高配向カーボンナノチューブの合成方法によれば、合成条件の厳密な制御を必要とせずに、容易に、基板に強固に結合した高密度、高配向のカーボンナノチューブを、大量に低コストで合成することができる。
従って、例えば、カーボンナノチューブを電界放射電子源としたディスプレイ装置用のカーボンナノチューブ基板として、また、充電容量の大きいリチウム電池負極用のカーボンナノチューブとして、低コスト、かつ大量に供給することができる。
従って、例えば、カーボンナノチューブを電界放射電子源としたディスプレイ装置用のカーボンナノチューブ基板として、また、充電容量の大きいリチウム電池負極用のカーボンナノチューブとして、低コスト、かつ大量に供給することができる。
1 液体槽
2 水冷手段
3 基板
4 電極
5 基板ホルダー
6 水冷パイプ
7 凝縮手段
8 バルブ
9 蓋
21 Si基板
22 酸化ケイ素膜
23 遷移金属微粒子
31 カーボンナノチューブ
32 酸化ケイ素膜
2 水冷手段
3 基板
4 電極
5 基板ホルダー
6 水冷パイプ
7 凝縮手段
8 バルブ
9 蓋
21 Si基板
22 酸化ケイ素膜
23 遷移金属微粒子
31 カーボンナノチューブ
32 酸化ケイ素膜
Claims (4)
- 触媒の基板への沈み込みを防止する沈み込み防止膜を表面に形成し、この沈み込み防止膜上に触媒微粒子を島状に担持させ、この基板を有機液体中に浸し、カーボンナノチューブの合成温度で加熱することを特徴とする、高密度高配向カーボンナノチューブの合成方法。
- 前記触媒は遷移金属であることを特徴とする、請求項1に記載の高密度高配向カーボンナノチューブの合成方法。
- 前記沈み込み防止膜は酸化膜、窒化膜、または炭化膜であることを特徴とする、請求項1に記載の高密度高配向カーボンナノチューブの合成方法。
- 前記沈み込み防止膜の膜厚は、100nmから1μmの範囲であることを特徴とする、請求項3に記載の高密度高配向カーボンナノチューブの合成方法。
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- 2004-04-28 JP JP2004133744A patent/JP2005314160A/ja active Pending
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