JP2011068509A - カーボンナノチューブ複合体およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】カーボンナノチューブ複合体は、複数個の第1カーボンナノチューブを並設させたカーボンナノチューブ集合体と、第1カーボンナノチューブのうち第1カーボンナノチューブの長さ方向の一部に部分的に絡み合っている第2カーボンナノチューブとを有する。触媒または触媒を有する化合物を含む処理液と基板とを接触させ、複数の島状をなす種触媒粒子を基板の表面に分散させて形成する。種触媒粒子を有する基板にカーボンナノチューブ形成反応を発生させる。
【選択図】図1
Description
以下、本発明の実施形態1について説明する。本実施形態のカーボンナノチューブ複合体は基板の表面に形成されており、複数個の第1カーボンナノチューブを並設させて集合させた複数個のカーボンナノチューブ集合体と、カーボンナノチューブ集合体を構成する第1カーボンナノチューブのうち第1カーボンナノチューブの長さ方向の一部(一端側)に絡む複数個の第2カーボンナノチューブとを有する。
(処理液の調整方法)
アルコールであるエタノールとαテルピネオールとを8:2の質量比で混合した混合溶媒を形成した。αテルピネオールは粘度調整の役割を果たしており、これにより基板上への触媒粒子付着量を容易に制御することが可能である。そして、大気中において、この混合溶媒に硝酸鉄(硝酸塩)をこれが所定量(0.3モル/L)の濃度になるように投入して溶解させて溶液を調製した。その後、その溶液を常温にてスターラ攪拌機(攪拌要素)で攪拌し、実施例1に係る処理液を形成した。
大気中において、市販の基板(シリコン基板)をディップコーターにより処理液に10秒間浸漬した。基板はシリコン基板とした。その後、1ミリメートル/秒の速度で基板を処理液から引き上げた。その後、処理液が基板の表面に塗布されて付着された状態で、その基板を250℃×30分間大気中で乾燥させた。このように処理液を基板の表面にコーティングさせた。これにより複数の島状をなす複数個の種触媒粒子が分散した群を基板の表面に形成した。島状をなす種触媒粒子の平均粒径は、2〜40マイクロメートルの範囲、4〜30マイクロメートルの範囲、6〜20マイクロメートルの範囲が例示される。
熱CVD装置(アルバック株式会社,型式:N-CVD-200TH)を用いた。この場合、あらかじめ10Paに真空引きされた反応容器中にキャリヤガスとして窒素ガスを導入し、容器内の圧力を0.1MPaに調整した。その後、基板の温度を800℃に昇温させた状態で、アセチレンと窒素とが混合した原料ガスを容器内に供給した。そして原料ガスの雰囲気下で、基板温度800℃で1分間反応させることにより、カーボンナノチューブを基板の表面に生成させ、カーボンナノチューブ複合体を基板の表面上に形成した。原料ガスの流量は200cc/分とした。
(処理液の調整方法)
エタノールとαテルピネオールとを8:2の質量比率で混合した混合溶媒を形成した。この混合溶媒に硝酸鉄をこれが所定量(0.0025モル/L)の濃度になるように投入し、溶液を形成した。その後、その溶液を常温にてスターラ攪拌機で攪拌し、比較例1に係る処理液を形成した。比較例1に係る処理液は実施例1に係る処理液よりも低濃度であり、基板に対する付着量は少ないと考えられる。
市販の前記した基板をディップコーターにより処理液に10秒間浸漬した。基板はシリコン基板とした。その後、0.04ミリメートル/秒の速度で引き上げた後、250℃×30分間大気中で乾燥させた。これにより複数の島状をなす複数個の種触媒粒子を基板の表面に分散させて形成した。
実施例1と同様に、アセチレンと窒素とが混合した原料ガスの雰囲気下で、基板温度800℃で1分間反応させた。基板のうち種触媒粒子が分散されて形成されている表面には、カーボンナノチューブ複合体が形成されていた。
(処理液の調整方法)
エタノールとαテルピネオールとを6:4の質量比率で混合した混合溶媒を形成した。この混合溶媒に硝酸鉄をこれが所定量(0.0025モル/L)の濃度になるように投入し、溶液を形成した。その後、その溶液を常温にてスターラ攪拌機で攪拌し、比較例2に係る処理液を形成した。比較例2に係る処理液は実施例1に係る処理液よりも低濃度である。
市販の基板をディップコーターにより処理液に10秒間浸漬した。基板はシリコン基板とした。その後、実施例1と同様に、1ミリメートル/秒の速度で基板を処理液から引き上げた後、250℃×30分間大気中で乾燥させた。この場合、島状をなす種触媒粒子は極めて微細であった。
実施例1と同様に、アセチレンと窒素とが混合した原料ガスの雰囲気下で、基板の温度800℃で1分間反応させた。基板のうち種触媒粒子が形成されている表面には、カーボンナノチューブが形成されなかった。
図1は、基板の表面に形成さたれ種触媒粒子形態と成長したカーボンナノチューブの形態とについて、実施例1および比較例1,2と共に電子顕微鏡(SEM)で観察した結果を示す。図1に示されるように、実施例1によれば、島状をなす種触媒粒子を基板の表面に分散させて形成されている。基板の表面からほぼ垂直に立ち上がっているカーボンナノチューブを第1カーボンナノチューブと称する。第1カーボンナノチューブのうちこれの長さ方向の部位において部分的に絡み合っているカーボンナノチューブを、第2カーボンナノチューブと称する。
実施例2は基本的には実施例1と同様に形成した。
エタノールとαテルピネオールとを6:4の質量比率で混合した混合溶媒を形成した。この混合溶媒に硝酸鉄をこれが所定量(0.3モル/L)の濃度になるように投入し、溶液を形成した。その後、その溶液を常温にてスターラ攪拌機で攪拌し、実施例2に係る処理液を形成した。
基板をディップコーターにより処理液に10秒間浸漬した。基板はシリコン基板とした。その後、実施例1と同様に、0.2ミリメートル/秒の速度で引き上げた。その後、250℃×30分間大気中で乾燥させた。これにより複数の島状をなす複数個の種触媒粒子を基板の表面に分散させて形成した。島状をなす種触媒粒子については、平均粒径を16マイクロメートル、最大膜厚(高さ)を570ナノメートル、平均膜厚を240ナノメートルであった。
実施例1と同様に、アセチレンと窒素とが混合した原料ガスの雰囲気下で、基板温度800℃で1分間反応させた。これにより、基板のうち種触媒粒子が形成されている表面には、カーボンナノチューブ複合体が形成されていた。
図8はシート型の高分子形の燃料電池の要部の断面を模式的に示す。燃料電池は、燃料極用の配流板101と、燃料極用のガス拡散層102と、燃料極用の触媒を有する触媒層103と、炭化フッ素系または炭化水素系の高分子材料で形成されたイオン伝導性(プロトン伝導性)を有する電解質膜104と、酸化剤極用の触媒を有する触媒層105と、酸化剤極用のガス拡散層106と、酸化剤極用の配流板107とを厚み方向に順に積層して形成されている。ガス拡散層102,106は、反応ガスを透過できるようにガス透過性を有する。電解質膜104はイオン伝導性(プロトン伝導性)を有するガラス系で形成しても良い。
図9は集電用のキャパシタを模式的に示す。キャパシタは、炭素系材料で形成された多孔質の正極201と、炭素系材料で形成された多孔質の負極202と、正極201および負極202を仕切るセパレータ203とを有する。本発明に係るカーボンナノチューブ複合体は、大きな比表面積をもち、多孔質であるため、正極201および/または負極202に使用されるとき、集電容量の増加を期待でき、キャパシタの能力を向上できる。
上記した実施例1によれば、エタノールとテルピネオールとを8:2の質量比率で混合し、テルピネオールを質量比で20%とした混合溶媒を形成しているが、これに限らず、テルピネオールを質量比で40%とした混合溶媒としても良く、テルピネオールを質量比で10%とした混合溶媒としても良い。上記実施例1によれば、混合溶媒に硝酸鉄を0.3モル/Lの濃度になるように投入して処理液を形成しているが、これに限定されるものではない。硝酸鉄を0.05〜1.0モル/Lの濃度になるように投入して処理液を形成しても良い。処理液が基板の表面に付着した状態で、基板を250℃×30分間大気中で乾燥させているが、乾燥のための温度および時間はこれに限定されるものではない。本発明は上記した実施形態、実施例および適用例のみに限定されるものではなく、要旨を逸脱しない範囲内で適宜変更して実施可能である。
Claims (4)
- 複数個の第1カーボンナノチューブを並設させたカーボンナノチューブ集合体と、
前記カーボンナノチューブ集合体を構成する前記第1カーボンナノチューブのうち前記第1カーボンナノチューブの長さ方向の一部に部分的に絡み合っている複数個の第2カーボンナノチューブとを具備するカーボンナノチューブ複合体。 - 請求項1において、前記第2カーボンナノチューブは、前記第1カーボンナノチューブのうち前記第1カーボンナノチューブの長さ方向の一端側に絡み合っているカーボンナノチューブ複合体。
- 請求項1または2において、前記第1カーボンナノチューブは複数個集合して束状とされて、カーボンナノチューブ束を形成しているカーボンナノチューブ複合体。
- 触媒または触媒を有する化合物を含む処理液を基板に塗布させた後に乾燥させ、複数の島状をなす種触媒粒子を前記基板の表面に形成する工程と、
前記種触媒粒子を有する前記基板の前記表面にカーボンナノチューブ形成反応を発生させる工程とを順に実施することにより、請求項1に係るカーボンナノチューブ複合体を前記基板の表面に形成するカーボンナノチューブ複合体の製造方法。
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