JP2005311270A - 加熱ステージ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 被加熱物を載置する平坦なステージ部を備えるとともに、該ステージ部に続き、その内部に加熱手段として複数のランプが収納される円筒部を有するガラス製部材と、円筒部と底面部とを有し、ガラス製部材と一体化して減圧状態の、または不活性ガスが充填される、内部空間を構成する金属製部材とを具備した加熱ステージとする。
【選択図】図1
Description
また、従来の加熱ステージでは、加熱後の加熱ステージの降温が遅いため、加熱工程での被加熱物を交換するタクトタイムが長くなってしまうという問題点があった。
第1の手段は、被加熱物を載置する平坦なステージ部を備えるとともに、該ステージ部に続き、その内部に加熱手段として複数のランプが収納される円筒部を有するガラス製部材と、円筒部と底面部とを有し、ガラス製部材と一体化して減圧状態の、または不活性ガスが充填される、内部空間を構成する金属製部材とを具備したことを特徴とする加熱ステージとするものである。
同図において、31はシール箔32を介してフィラメント34とランプリード線6とを接続すると共に、管型封体の伸びる方向に対して直角方向に屈曲し、ガラスステージ部50の上部表面とは反対側に伸びる方向に配置されるランプ封止部、32はモリブデン箔等からなるシール箔、33はガラス製の筒からなるバルブまたは封体、34はバルブ33内に挿入されたフィラメント、35はサポーターである。
なお、バルブ33内にはハロゲンガスが封入されており、また、このような管型封体の両端にシール部を有するランプをダブルエンドタイプという。
図3(a)は、本発明に係るランプ3の構成を示す図、図3(b)は、本発明に係るランプ3と対比するためのランプの構成を示す図である。
接近して配置することができ、上記と同様に、非発光部がガラスステージ部50表面に対面する割合を少なくして、被加熱物WFを均一に加熱することができる。
くなるように入力電力を制御する。各ランプ3は直列に接続されており、複数のランプを1つのゾーンとして電力制御が可能である。
同図に示すように、被加熱物WFを均一に加熱したい場合は、ランプ3とガラスステージ部50上面との間に均熱板4を設けるとよい。ランプ3からの光は均熱板4に照射され、ガラスステージ部50上面に載置された被加熱物WFは、この均熱板4からの輻射によって加熱される。均熱板4に用いられるカーボンプレートは熱伝導性が高く、ランプ3の発光部がない部分にも熱を伝え、全体的に均一に温度上昇させることができる。そのため、被加熱物WFを均一に加熱することができる。
冷却手段の構造の例を挙げれば、図7、図9に示すものがある。図7は、冷却ガス吹き出し管をガラスステージ部50の下方に設けた構造である。図7(a)は加熱ステージ100の上方から見たときの冷却ガス吹き出し管60の配置を示す図であり、ステージ部内にあるため、破線で示している。60aはガス吹き出し口であり、矢印は冷却ガスの吹き出し方向である。冷却ガス吹き出し管60は例えば石英ガラス製である。図7(b)は加熱ステージ100の断面図中で冷却ガス吹き出し管60の配置を示した図である。矢印は冷却ガスの流れる方向を示す。なお、図7、図9ではランプ3は便宜上1本で表しているが、
実際は図4で示した配置になっている。
そして、ランプ消灯後120秒では、冷却なしの場合は石英ガラスのガラスステージ部の温度(図中(c))は約250℃であり、冷却ありの場合はガラスステージ部の温度(図中(d))は約190℃まで降温した。また、シリコンウエハの温度は、冷却なしの場合は約210℃であったが、冷却ありの場合は約150℃まで降温した。
4 均熱板
5 光反射板
6 ランプリード線
8 電流導入端子
9 ガス排出口
10 ガス導入口
11 ガス導入管
12 外部給電線
13 貫通孔
14 支持柱部材
20 金属筐体部
21 挟持部材A
22 挟持部材B
23a、23b ネジ
24a、24b、24c O-リング
25 金属製フランジ部
26 底部
31 ランプ封止部
32 シール箔
33 バルブ
34 フィラメント
35 サポーター
41 給電線
42 抵抗発熱体
43 セラミック基体
50 ガラスステージ部
50a 支柱
51 円筒部
52 フランジ部
60 冷却ガス吹き出し管
60a ガス吹き出し口
60b 脚部
70 支柱
100 加熱ステージ
100A ガラス製部材
100B 金属製部材
200 加熱ステージ
WF 被加熱物
G 隙間
Claims (6)
- 被加熱物を載置する平坦なステージ部を備えるとともに、該ステージ部に続き、その内部に加熱手段として複数のランプが収納される円筒部を有するガラス製部材と、
円筒部と底面部とを有し、ガラス製部材と一体化して減圧状態の、または不活性ガスが充填される、内部空間を構成する金属製部材とを具備したことを特徴とする加熱ステージ。 - 前記ランプは、両端に封止部を有するとともに管型封体の内部にフィラメントを有し、該ランプの封止部は、上記被加熱物を支持する領域を有する表面とは反対方向に屈曲していることを特徴とする請求項1に記載の加熱ステージ。
- 前記ランプの背面にセラミック繊維からなるシートを反射部材として具備したことを特徴とする請求項1に記載の加熱ステージ。
- 前記ステージ部に冷却手段を設けたことを特徴とする請求項1に記載の加熱ステージ。
- 前記冷却手段がステージ部下方に設けた冷却ガス吹き出し管からなることを特徴とする請求項4に記載の加熱ステージ。
- 前記ステージ部を中空構造とし、該中空構造の隙間に冷却ガスを流すことを特徴とする請求項4に記載の加熱ステージ。
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