JP2005308325A - 冷凍装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 循環水を循環させて温度制御対象の温調を行う冷凍装置において、配管内に滞る気泡を初期運転立ち上げ時において取り除き、循環水中のバクテリアの増殖を抑制する。
【解決手段】 冷凍装置（1）の初期運転立ち上げ時において、循環ポンプ（33）をコントローラー（35）によって間欠運転させることにより、配管内で間欠流れを発生させ、この水圧変化によって気泡を圧送する。そして、気泡をバッファタンク（30）内の上部に回収した後、逃がし弁（34）を開放し、循環経路（2）の外部へ排出する。
【選択図】 図１

Description

本発明は、熱搬送媒体と温度制御対象とを熱交換させて温度制御対象の温調を行う冷凍装置に係り、特に上記熱搬送媒体として循環水を用いた冷凍装置に関するものである。

従来より、半導体製造装置などの温度制御対象に温調した循環水を供給し、この循環水と温度制御対象とを熱交換させる冷凍装置が知られている。

例えば、冷凍装置は、循環水の温度調整を行う温度調整部と、該温度調整部によって温調された循環水と温度制御対象とを熱交換させる熱交換部とを備えている。上記温度調整部と上記熱交換部とは、配管で接続されており、循環水の循環経路が構成されている。また、配管には循環水を循環経路内で循環移送するポンプが接続されいる。

以上の構成により、この従来例の冷凍装置は、半導体製造装置と、上記温度調整部によって温調された循環水とを上記熱交換部において熱交換させることにより、半導体制御装置の温調を行い、この半導体製造装置によって製造される半導体の品質を向上できるようにしている。
特開２００２−１１０４９２

ところで、特許文献１に開示されているような冷凍装置は、循環経路を構成する配管内を空にした状態で据え付けを行い、その後の初期運転立ち上げ時において、配管内に循環水を供給するのが一般的である。このため、循環水の供給時において配管内の空気が気泡となって配管内に付着し、気泡が配管内に滞ってしまう可能性がある。そして、このように気泡が配管内に滞ると、その後の通常運転時に上記気泡中の酸素などが循環水中に溶け込んでしまう可能性がある。ここで、循環水中の溶存酸素濃度が高くなると、循環水中内でバクテリアが増殖し、このバクテリアの増殖に起因して循環水中にスカムが発生するため、このスカムによって配管内が汚れる、あるいは循環経路内で目詰まりが生じてしまうという問題がある。

また、例えば冷凍装置のメンテナンス時に配管内の循環水を一度引き抜き、新たに水を配管内に供給する場合にも、やはり気泡が配管内に滞る可能性があり、この気泡によって上述と同様の問題が生じる。

本発明は、このような問題点に鑑みて創案されたものであり、その目的は、循環水を循環させて温度制御対象の温調を行う冷凍装置において、配管内に滞る気泡を初期運転立ち上げ時において取り除き、循環水中のバクテリアの増殖を抑制することである。

本発明は、冷凍装置の初期運転立ち上げ時において、配管内に滞る気泡を水の間欠流れによって圧送するようにしたものである。

具体的に、第１の発明は、熱搬送媒体としての循環水の温度調整を行う温度調整部（10）と、該温度調整部（10）によって温調された循環水と温度制御対象（S）とを熱交換させる熱交換部（20）と、上記温度調整部（10）と該熱交換部（20）とに接続されて水の循環経路（2）を構成する配管と、上記配管内の循環水を移送するポンプ（33）とを備えた冷凍装置を前提としている。そして、この冷凍装置は、配管内で水の間欠流れを発生させることにより、配管内に滞る気泡を初期運転立ち上げ時に圧送する脱気泡手段（50）を備えているものである。ここで、上記「初期運転立ち上げ時」とは、冷凍装置が据え付けられて初めて運転を立ち上げる時点という意味に加え、例えば冷凍装置の循環水を引き抜いてメンテナンスを行い、再度、循環経路（2）に水を供給した上で運転を立ち上げる時点の意味も含むものである。

上記第１の発明では、循環水が温度調整部（10）によって温調されて熱交換部（20）を流通する際、この循環水と温度制御対象（S）とが熱交換部（20）を介して熱交換されることで、温度制御対象（S）の温度制御が行われる。

ここで、本発明では、冷凍装置の初期運転立ち上げ時において、脱気泡手段（50）が配管内で水の間欠流れを発生させることにより、配管内の水圧を所定の間隔で変化させることができる。そして、このような水圧変化により、初期運転立ち上げ時において配管内に滞った気泡を圧送することができる。よって、この気泡を例えば循環経路（2）の外部へ排出する、あるいは循環水と接触しにくい箇所に回収することで、気泡中の酸素が循環水中に溶け込んでしまうことを抑制できる。

第２の発明は、第１の発明の冷凍装置において、脱気泡手段（50）が、ポンプ（33）と該ポンプ（33）を間欠運転させるコントローラー（35）とで構成されるものである。

上記第２の発明では、コントローラー（35）によってポンプ（33）を所定の間隔で間欠運転することにより、配管内で水の間欠流れを発生できる。このため、初期運転立ち上げ時において、配管内に滞った気泡を上記ポンプ（33）の間欠運転に起因する水圧変化によって圧送することができる。よって、この気泡を例えば循環経路（2）の外部へ排出する、あるいは循環水と接触しにくい箇所に回収することで、気泡中の酸素が循環水中に溶け込むことを抑制できる。

第３の発明は、第１又は第２の発明の冷凍装置において、脱気泡手段（50）によって圧送された気泡を循環経路（2）の外部へ排出する気泡排出手段（60）を備えたものである。

上記第３の発明では、脱気泡手段（50）による水の間欠流れによって圧送された気泡が、気泡排出手段（60）によって循環経路（2）の外部へ排出される。したがって、循環経路（2）内に残存した気泡（空気）中の酸素が、循環水中に溶け込んでしまうことを確実に抑制できる。

第４の発明は、第３の発明の冷凍装置において、配管には、循環水が一時的に貯留される密閉タンク（30）が接続され、気泡排出手段（60）は、上記密閉タンク（30）内の上部に貯まった気体を該密閉タンク（30）の外部へ排出するように密閉タンク（30）の上縁に形成された逃がし弁（34）で構成されるものである。

上記第４の発明では、循環経路（2）を構成する配管に、循環水のバッファタンクである密閉タンク（30）が接続される。

ここで、本発明では、脱気泡手段（50）による水の間欠流れによって圧送された気泡が、上記密閉タンク（30）内の上部に形成される気相部に回収される。ここで、上記密閉タンク（30）の上縁には、気泡排出手段（60）として逃がし弁（34）が形成されている。このため、上記逃がし弁（34）を開放することで上記密閉タンク（30）の上部に回収された気泡（空気）を循環経路（2）の外部へ排出することができる。したがって、循環経路（2）内に残存した気泡（空気）中の酸素が、循環水中に溶け込んでしまうことを確実に抑制できる。

第５の発明は、第１から第４のいずれか１の発明の冷凍装置において、配管には、循環水中の酸素を循環経路（2）の外部へ排出する脱気装置（40）が接続されていることを特徴とするものである。

上記第５の発明では、循環経路（2）を構成する配管に脱気装置（40）が接続される。このため、初期運転立ち上げ時において循環水中に酸素が溶け込んでしまった場合にも、上記脱気装置（40）によって循環水中の溶存酸素を気体として遊離させ、循環経路（2）の外部へ排出することができる。

本発明では、以下の効果が発揮される。

上記第１及び第２の発明によれば、冷凍装置の据え付け時やメンテナンス時に配管内に滞る気泡を脱気泡手段（50）により発生する水の間欠流れによって圧送できるようにしている。そして、この気泡を循環経路（2）の外部へ排出する、あるいは循環水と接触しにくい箇所に回収することで、気泡中の酸素が循環水中に溶け込んでしまうことを抑制できるようにしている。このため、循環水中の溶存酸素濃度を低減でき、溶存酸素の上昇に伴うバクテリアの増殖を抑制できる。したがって、バクテリアの増殖に起因するスカムの発生も抑制でき、スカムによる配管の汚れ、あるいはスカムによる配管の目詰まりなども抑制できる。

また、このようにバクテリアやスカムの発生を抑制することで、循環水の抵抗率（絶縁性）の低下を抑えることができる。このようにすると、絶縁性の高い熱搬送媒体によって温度制御されることが好ましい、例えばプラズマエッチングやステッパなどの温度制御に本発明の冷凍装置を適用することができる。

特に、上記第２の発明によれば、ポンプ（33）を間欠運転させることで水の間欠流れを発生させ、気泡を圧送できるようにしている。ここで、上記ポンプ（33）は、通常運転時において循環水を移送するために元来設けられるものであり、また、間欠流れは、所定の間隔でポンプ（33）の出力を変更させることで容易に得ることができる。すなわち、単純な構成及び制御によって、気泡を圧送でき、循環水中のバクテリアの増殖を抑制することができる。

上記第３及び第４の発明によれば、脱気泡手段（50）によって圧送された気泡を、気泡排出手段（60）によって循環経路（2）の外部へ排出することにより、圧送された後の気泡中の酸素などが循環水に溶け込んでしまうことを確実に抑制できるようにしている。したがって、循環水中の溶存酸素濃度を確実に低減でき、循環水中のバクテリアの増殖を効果的に抑制できる。

特に、第４の発明によれば、上記気泡排出手段（60）として、密閉タンク（30）と逃がし弁（34）とを利用するようにしている。ここで、上記密閉タンク（30）を循環経路（2）に接続することで、循環経路（2）内の循環水量を多くすることができる。このように、循環水量を多くすると、温度調整部（10）、あるいは熱交換部（20）によって循環水の温度が急激に変動してしまうことを抑制できる。したがって、この冷凍装置の温度制御精度を向上させることができる。

上記第５の発明によれば、脱気装置（40）を設けることで、初期運転時において循環水中に溶け込んでしまった酸素を循環経路（2）の外部へ排出し、循環水中の溶存酸素濃度を低減できるようにしている。したがって、例えば気泡中の酸素が既に循環水中に溶け込んでしまった場合にも、確実に循環水中の溶存酸素濃度を低減でき、バクテリア（スカム）の発生を確実に防止できる。

また、上記脱気装置（40）を通常運転時における循環水中の溶存酸素濃度の低減手段として利用できる。

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。

実施形態に係る冷凍装置は、半導体製造装置を温度制御対象（S）とし、熱搬送媒体である循環水によって上記半導体製造装置の温度制御を行う、いわゆる水冷式のチラー装置である。具体的に、この冷凍装置は、半導体製造装置を冷却することで該半導体製造装置を所定の温度に保持するように構成されている。

図１に示すように、冷凍装置（1）は、循環水の温度調整を行う温度調整部（10）と、該温度調整部（10）によって温調された循環水と半導体制御装置（S）とを熱交換させる熱交換部（20）とが配管に接続されることにより、循環水が循環する循環経路（2）が構成されている。

温度調整部（10）は、冷媒回路（3）に接続されており、該冷媒回路（3）内の冷媒が冷凍サイクルにおける蒸発行程を行う蒸発器として機能している。そして、この温度調整部（10）は、循環水と冷媒とを熱交換させることにより循環水の熱を吸熱して、循環水の冷却を行うように構成されている。

熱交換部（20）は、温度制御対象である半導体製造装置（S）と隣接して配置されている。そして、冷却された循環水が熱交換部（20）を流通することで、この熱交換部（20）は、循環水と半導体製造装置（S）とを熱交換させ、該半導体制御装置（S）を冷却するように構成されている。

上記温度調整部（10）と上記熱交換部（20）との間で、該熱交換部（20）の上流側の循環経路（2）には、密閉タンク（バッファタンク）（30）と脱気装置（40）とが接続されている。

バッファタンク（30）は、温度調整部（10）の下流側に配置されている。このバッファタンク（30）は、円筒形の胴部（31）と、該胴部（31）の上部に配置された円筒形の上部タンク（32）とを備えている。

胴部（31）の底部寄りには、温度調整部（10）からの配管が接続されている。また、上部タンク（32）は、胴部（31）の半径よりも小径となる半径を有する円筒形に構成されており、胴部（31）の上縁に一体的形成されている。そして、胴部（31）と上部タンク（32）とが密閉タンクを構成し、その内部に循環水が一時的に貯留されるように構成されている。

また、バッファタンク（30）には、循環経路（2）の配管内の循環水を移送するポンプ（循環ポンプ）（33）が備えられている。この循環ポンプ（33）は、いわゆる浸漬型ポンプで構成されており、バッファタンク（30）内に設けられて循環水を吸引する吸引部（33a）とバッファタンク（30）の上縁に積載された吐出部（33b）とを備えている。

吸引部（33a）は、胴部（31）の中間位置より上部タンク（32）の上端まで延在している。この吸引部（33a）の内部には、上下方向に延在する駆動軸と、該駆動軸の外周面において軸方向に所定の間隔で配列された複数の羽根とが備えられている（図示省略）。

一方、吐出部（33b）の下端は、吸引部（33a）の上端と連結されている。この吐出部（33b）には、その外周部に配管が接続されており、この配管が上記熱交換部（20）まで延在している。さらに、吐出部（33b）の上方寄りには、モータが収納されており、このモータに上記駆動軸が連結されている（図示省略）。以上の構成により、モータが起動すると、上記駆動軸を介して複数の羽根が回転駆動され、その結果、上記バッファタンク（30）内の循環水が吸引部（33a）より上方に吸い上げられる。そして、この循環水は、吐出部（33b）に接続された配管より熱交換部（20）に向かって移送される。なお、循環経路（2）におけるバッファタンク（30）の下流側には、この移送された循環水中の微小粒子を除去するフィルタ（36）が設けられている。

上記脱気装置（40）は、循環水中の酸素を循環経路（2）外へ排出するためのものである。この脱気装置（40）は、大略的に脱気膜（41）、液トラップ（42）、脱気ポンプ（43）、減圧弁（44）、及び電磁弁（45）とで構成されている。

脱気膜（41）は、電磁弁（45）及び減圧弁（44）を介して上記バッファタンク（30）と熱交換部（20）との間の配管に接続されている。また、脱気膜（41）は、上記バッファタンク（30）の胴部（31）と接続されている。さらに、脱気膜（41）は、水分中から遊離した酸素などの気体が吸引される第１酸素分離用配管（5a）を介して液トラップ（42）と接続されている。なお、液トラップ（42）は、上記酸素分離用配管（5a）で吸引された気体中に含まれる水分を捕捉するように構成されており、この水分を液トラップ（42）の外部へ排出するドレン配管（42a）を備えている。さらに、液トラップ（42）は、第２酸素分離用配管（5b）を介して脱気ポンプ（43）と接続されている。

なお、上記電磁弁（45）は、開閉自在に構成されており、電磁弁（45）が開の状態となると、バッファタンク（30）より熱交換部（20）へ流通する循環水の一部が減圧弁（44）で減圧された後、脱気装置（40）に導入される一方、電磁弁（45）が閉の状態となると、バッファタンク（30）より熱交換部（20）へ流通する循環水は、脱気装置（40）に導入されず、通常の循環経路（2）を流通する。

また、本発明の特徴として、冷凍装置（1）は、初期運転立ち上げ時において、配管内に滞る気泡を圧送する脱気泡手段（50）を備えている。具体的に、脱気泡手段（50）は、初期運転立ち上げ時において配管内で水の間欠流れを発生させるように構成されており、本実施形態の冷凍装置（1）では、上記脱気泡手段（50）が、上記循環ポンプ（33）と該循環ポンプ（33）を間欠運転させるコントローラー（35）とで構成されている。

さらに、本実施形態では、上記脱気泡手段（50）によって圧送された気泡を循環経路（2）の外部へ排出する気泡排出手段（60）を備えている。具体的に、この気泡排出手段（60）は、上記バッファタンク（30）の上部タンク（32）の上縁に形成された逃がし弁（34）で構成されている。そして、この逃がし弁（34）は、上記脱気泡手段（50）によって圧送されてバッファタンク（30）内の上部に貯まった気体（気泡）をバッファタンク（30）の外部へ排出する（循環経路（2）の外部へ排出する）ように構成されている。

−運転動作−
次に、本実施形態の冷凍装置の運転動作について説明する。

まず、冷凍装置（1）の通常運転時においては、図１に示す循環ポンプ（33）が起動するとともに、温度調整部（10）が蒸発器として機能する。また、脱気装置（40）の電磁弁（45）が閉の状態となる。

循環水が温度調整部（10）を流通すると、この循環水は、冷媒に蒸発熱を奪われて所定の温度に冷却される。このようにして温度調整された循環水は、バッファタンク（30）に流入し、一時的に貯留される。そして、バッファタンク（30）内に貯留された循環水は、循環ポンプ（33）の吸引部（33a）より上方へ吸い上げられ、吐出部（33b）に接続された配管へ流出する。その後、循環水はフィルタ（36）を通過する。この際、循環水中の微小粒子は、フィルタ（36）に捕集される。フィルタ（36）を通過した循環水は、熱交換部（20）を流通する。そして、この熱交換部（20）において、循環水と半導体製造装置（S）とが熱交換され、該半導体製造装置（S）が冷却される。一方、半導体製造装置（S）の熱を吸熱して加温された循環水は、再び温度調整部（10）を流通する。そして、この循環水が再び冷却され所定の温度に温度調整される。このように、循環水が温度調整部（10）と熱交換部（20）とを介して循環経路（2）を循環することで、半導体制御装置（S）の温度が一定温度に保持される。

次に、冷凍装置（1）において、循環水中の溶存酸素濃度を制御する運転について説明する。例えば循環水中の溶存酸素濃度が高くなると、循環水中でバクテリアが繁殖し、このバクテリアに起因するスカムなどの発生によって循環水が汚れてしまう可能性がある。このため、本実施形態の冷凍装置（1）においては、所定の頻度で循環水を脱気装置（40）に流通させ、この脱気装置（40）によって循環水中の酸素などの気体を遊離させ、循環経路（2）の外部へ排出するようにしている。

具体的に、脱気装置（40）の電磁弁（45）が開の状態となり、脱気ポンプ（43）が起動すると、バッファタンク（30）より熱交換部（20）へ流通する循環水の一部が減圧弁（44）、及び電磁弁（45）を介して脱気膜（41）へ流入する。ここで、脱気膜（41）には、脱気ポンプ（43）によって負圧が作用しており、脱気膜（41）を流通する循環水中の酸素などは、気体となって分離され、第１酸素分離用配管（5a）より液トラップ（42）へ流出する。この際、気体に含まれたわずかな水分は、ドレン配管（42a）より液トラップ（42）の外部へ排出される。また、液トラップ（42）に捕集された酸素を含む気体は、さらに第２酸素分離用配管（5b）を介して脱気ポンプ（43）に吸引され、循環経路（2）の外部へ排出される。一方、脱気膜（41）によって酸素などの気体が分離された循環水は、バッファタンク（30）に返送される。

次に、本実施形態の冷凍装置（1）の初期運転立ち上げ時における動作について説明する。例えば冷凍装置（1）の据え付け時において、循環経路（2）を構成する配管に水を注入した後や、冷凍装置（1）のメンテナンス時において、配管内の水を入れ替えた際には、循環経路（2）内の空気が気泡となって配管に付着し、配管内に滞ってしまう可能性がある（例えば図２参照）。そして、このように配管内に気泡が滞ると、冷凍装置（1）の通常運転時において、気泡が循環水中に溶解し、循環水中の溶存酸素濃度が高くなってしまう可能性がある。ここで、上述した脱気装置（40）において、循環水中の溶存酸素濃度を低減することが考えられるが、この場合、脱気装置（40）を長期運転させる必要があり、この冷凍装置（1）の立ち上げ時間も長くなってしまう。このため、本実施形態の冷凍装置（1）では、配管内に滞る気泡を配管内における水の間欠流れに圧送するようにしている。

具体的に、冷凍装置（1）の初期立ち上げ運転時には、コントローラー（35）が循環ポンプ（33）のON/OFFを所定の間隔で繰り返すことによって、循環ポンプ（33）の間欠運転が行われる。ここで、循環ポンプ（33）が間欠運転を行うと、循環経路（2）の配管内において、循環ポンプ（33）に起因するポンプ圧が所定の間隔で変動する。そして、このような圧力の変動により、配管内でいわゆるウォーターハンマー現象が生じると、配管内に滞った気泡がこの圧力によって圧送され、循環水と共に循環経路（2）を循環する（例えば図３参照）。

さらに、このような脱気泡手段（50）によって圧送された気泡は、バッファタンク（30）内の上部に回収される。そして、循環経路（2）内の気泡が所定量回収され、例えばバッファタンク（30）内の気相の圧力が所定値以上になると、逃がし弁（34）が開放され、バッファタンク（30）内の気体（気泡）が循環経路（2）の外部へ排出される。

−実施形態の効果−
上記実施形態では、以下の効果が発揮される。

本実施形態の冷凍装置（1）では、初期立ち上げ運転時において、脱気泡手段（50）として、循環ポンプ（33）の間欠運転を行うことで、配管内に滞る気泡を圧送するようにしている。そして、この気泡をバッファタンク（30）内に回収した後、逃がし弁（34）を開放して循環経路（2）の外部へ排出するようにしている。

このため、冷凍装置（1）の初期立ち上げ時において循環経路（2）内に残存する気泡を確実に循環経路（2）の外部へ排出することができるため、気泡中の酸素が循環水中に溶け込み、循環水中の溶存酸素濃度が上昇してしまうことを抑制できる。このため、バクテリアの増殖、及びバクテリアの増殖に伴うスカムの発生を抑制できる。したがって、スカムによる配管の汚れや目詰まりをも抑制できる。

ここで、上記脱気泡手段（50）は、通常運転時において循環水を循環経路（2）内で移送させる循環ポンプ（33）を間欠運転させることで、容易に構成できる。すなわち、冷凍装置（1）において、特別な手段を講じることなく、単純な構成及び制御によって配管内に滞る気泡を圧送することができる。

また、本実施形態では、循環水中に溶け込んでしまった酸素を遊離させて循環経路（2）の外部へ排出する脱気装置（40）を設けている。このため、通常運転時において、循環水中の溶存酸素濃度を所定値以下に抑えることができる。なお、この脱気装置（40）を上述した初期運転立ち上げ時において動作させることで、既に循環水中に溶け込んでしまった酸素を通常運転の前に循環経路（2）の外部へ排出させることができる。すなわち、初期運転立ち上げ時において、循環水中の溶存酸素濃度を一層低減させることができる。

《その他の実施形態》
本発明は、上記実施形態について、以下のような構成としてもよい。

上記実施形態では、脱気泡手段（50）として、循環ポンプ（33）を間欠運転させることで配管内において水の間欠流れを発生するようにしている。しかしながら、脱気泡手段（50）として、循環ポンプ（33）を常時起動する一方、循環経路（2）に例えば開閉弁や仕切手段を設け、所定の間隔で循環経路（2）の遮断と開放とを繰り返すようにしてもよい。この場合にも、水の間欠流れを発生することができ、配管内に滞る気泡をこの間欠流れに伴う圧力によって圧送することができる。

また、上記実施形態では、循環ポンプ（33）のON/OFFの運転を繰り返すことで水の間欠流れを発生しているが、例えば循環ポンプ（33）の出力をインバーター制御によって大きく振幅させて、水の間欠流れを発生しても良い。

さらに、上記実施形態では、気泡排出手段（60）としてバッファタンク（30）と逃がし弁（34）とを利用するようにしている。しかしながら、例えば循環経路（2）の配管に気泡が回収できる程度の容積を有する容器を設け、この容器に回収された気泡（気体）を例えば逃がし弁（34）などより循環経路（2）の外部へ排出するというように、如何なる気泡排出手段（60）を用いるようにしても良い。

本実施形態に係る冷凍装置の全体構成を示す概略回路図である。 配管内に気泡が滞る例を示す説明図である。 配管内に滞る気泡を脱気泡手段によって圧送する例を示す説明図である。

符号の説明

（1） 冷凍装置
（2） 循環経路
（10） 温度調整部
（20） 熱交換部
（30） 密閉タンク（バッファタンク）
（33） ポンプ（循環ポンプ）
（34） 逃がし弁
（35） コントローラー
（40） 脱気装置
（50） 脱気泡手段
(60） 気泡排出手段

Claims (5)

1. 熱搬送媒体としての循環水の温度調整を行う温度調整部（10）と、該温度調整部（10）によって温調された循環水と温度制御対象（S）とを熱交換させる熱交換部（20）と、上記温度調整部（10）と該熱交換部（20）とに接続されて水の循環経路（2）を構成する配管と、上記配管内の循環水を移送するポンプ（33）とを備えた冷凍装置において、
   配管内で水の間欠流れを発生させることにより、配管内に滞る気泡を初期運転立ち上げ時に圧送する脱気泡手段（50）を備えた冷凍装置。
2. 請求項１に記載の冷凍装置において、
   脱気泡手段（50）は、ポンプ（33）と該ポンプ（33）を間欠運転させるコントローラー（35）とで構成される冷凍装置。
3. 請求項１又は２に記載の冷凍装置において、
   脱気泡手段（50）によって圧送された気泡を循環経路（2）の外部へ排出する気泡排出手段（60）を備えた冷凍装置。
4. 請求項３に記載の冷凍装置において、
   配管には、循環水が一時的に貯留される密閉タンク（30）が接続され、
   気泡排出手段（60）は、上記密閉タンク（30）内の上部に貯まった気体を該密閉タンク（30）の外部へ排出するように密閉タンク（30）の上縁に形成された逃がし弁（34）で構成される冷凍装置。
5. 請求項１から４のいずれか１に記載の冷凍装置において、
   配管には、循環水中の酸素を循環経路（2）の外部へ排出する脱気装置（40）が接続されていることを特徴とする冷凍装置。

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