JP2005305526A - 銅とセラミックス又は炭素基銅複合材料との接合用ろう材及び同接合方法 - Google Patents
銅とセラミックス又は炭素基銅複合材料との接合用ろう材及び同接合方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】 (Cu−Mg)+Ti系ろう材14は、Cu−Mg合金粉末15と、Ti粉末粒子16とを、樹脂のバインダー17で練ってペースト状としたものである。
【効果】 ろう材に含まれるMgは、ろう材の融点を下げることができ、より低温でのろう付けを可能とし、加熱温度をより低くすることができるので、本発明のろう材を用いることで接合体を製造するためのランニングコストの削減を行うことができる。
ろう材はCu、Mg、Tiの3元系で、高価なAgの使用を避けているので低コストである。
【選択図】 図2
Description
ろう付けや半田付けで一体化しようとすると、ろうや半田がセラミックス又は炭素基銅複合材料においては、金属から剥がれやすい。すなわち、炭素基銅複合材料はろう材や半田と濡れ性が悪く、接合性が悪い。また、セラミックスは表面に薄い酸化物膜が存在し、この酸化物膜のためにろうや半田との濡れ性が悪く、接合を阻害する。
図10は従来の技術の比較例を示す図であり、Cuと99.5%アルミナを3種類のろう材を用いて接合したもの(以下、Cuーアルミナ接合体とする。)について、ろう接温度とろう接強度の関係を求めたものである。
比較例2のCu−アルミナ接合体は、51wt%Cu、14wt%Ti、35wt%Snの3成分からなるろう材を使用した接合体であり、比較例1と比べて、ろう接温度が高く、また、約20MPa高いろう接強度を得た。
さらに、比較例3は、1123Kでのろう接強度が200MPaに達し、著しく強いことが判明した。
このろう材は、Mgが20〜45質量%、Tiが3〜15質量%、残部がCuである組成物であるとともに、Cu−Mg合金にTiを添加したもの、又はCu−Mg合金にTi−Cu合金を添加したもの、又はCu−Mg−Ti合金であることを特徴とする。
また、Mgは45質量%より多いと、昇華しきれず残ったMgが欠陥として作用し、被接合材を溶かしてしまう。
Tiは3質量%未満の含有量では活性金属としての効果が不十分で、ろう付け強度が不足する。
また、Tiは15質量%より多いと、ろう材中のTi−Cu金属間化合物粒子が粗大化し且つその量も増加し、ろう付け時にTiの拡散が遅くなり、ろう付け後にろう付け面においてTi−Cu金属間化合物粒子が残留し、ろう付け強度が低下すると共にろう付け強度のばらつきも大きくなる。
接合対象物間にろう材を介在させる工程と、
ろう材を介在させた接合対象物を、560〜800℃の窒素ガス雰囲気下で処理する工程とからなる銅とセラミックス又は炭素基銅複合材料との接合方法であることを特徴とする。
また、ろう材に含まれるMgは、ろう材の融点を下げることができ、より低温でのろう付けを可能とし、加熱温度をより低くすることができるので、請求項1のろう材を用いることで接合体を製造するためのランニングコストの削減を行うことができる。
さらに、ろう材はCu、Mg、Tiの3元系で、高価なAgの使用を避けているので低コストである。
したがって、請求項4によれば、低コストで且つ接着性が良好である銅とセラミックス又は炭素基銅複合材料との接合方法を提供することができる。
図1は本発明に係る接合対象物の準備からろう材を介在させるまでの作用説明図(第1実施例)である。
(a)において、銅板11と、接合材を構成するためのペースト状ろう材12と、セラミックスとしてのSi3N4板13とからなる出発材料を準備する。
ペースト状ろう材12は、必要な量のみを付着させることができ、被接合体の形状の自由度が高まる。
加熱により加熱炉20内及びるつぼ18内で次の反応が起こる。
Mg3N2は、標準生成エネルギーの観点からTiNより安定する。不安定なTiNは仮に生成したとしてもその形で存在することはない。そのため安定したMg3N2が主として生成し、不安定なTiNは実質的に生成しない。
一方、TiはTi単体として存在する可能性があるので、その場合、Tiが濡れ性促進剤としての役割を果す。
700℃の加熱により、ペースト状ろう材12は、Si3N4板13及び銅板11に浸透し、良好な接着が行える。
Si3N4、SiO2での酸化物膜はSiO2であり、上記(3)式により還元できる。AlN、Al2O3での酸化物膜はAl2O3であり、同様にMg3N2での還元が可能である。TiCでの酸化物膜はTiO2であり、同様にMg3N2での還元が可能である。
すなわち、セラミックスは酸化物、窒化物、炭化物など何れでもよい。
図5は本発明に係る接合対象物の準備からろう材を介在させるまでの作用説明図(第2実施例)である。
(a)において、銅板11と、接合材を構成するためのペースト状ろう材12と、炭素基銅複合材26とからなる出発材料を準備する。炭素基銅複合材26は、図面ではC/Cuと表記する。
ペースト状ろう材12は、必要な量のみを付着させることができ、被接合体の形状の自由度が高まる。
(Cu−Mg−Ti)系ろう材33においても、Mg、Tiは図8の場合と同様の作用を及ぼすので、説明を省略する。
Claims (4)
- 高温の窒素ガス雰囲気下で、銅とセラミックスとを接合する、又は銅と炭素基銅複合材とを接合するときに用いるろう材であって、
このろう材は、Mgが20〜45質量%、Tiが3〜15質量%、残部がCuである組成物であるとともに、Cu−Mg合金にTiを添加したもの、又はCu−Mg合金にTi−Cu合金を添加したもの、又はCu−Mg−Ti合金であることを特徴とする銅とセラミックス又は炭素基銅複合材料との接合用ろう材。 - 前記Cu−Mg合金、Ti、Ti−Cu合金又はCu−Mg−Ti合金は、粉末であることを特徴とする請求項1記載の銅とセラミックス又は炭素基銅複合材料との接合用ろう材。
- 前記ろう材は、バインダーを用いてペースト状としたことを特徴とする請求項1記載の銅とセラミックス又は炭素基銅複合材料との接合用ろう材。
- Mgが20〜45質量%、Tiが3〜15質量%、残部がCuである組成物であるとともに、Cu−Mg合金にTiを添加したもの、又はCu−Mg合金にTi−Cu合金を添加したもの、又はCu−Mg−Ti合金であるろう材を準備すると共に、接合対象物である銅とセラミックス、又は銅と炭素基銅複合材を準備する工程と、
前記接合対象物間に前記ろう材を介在させる工程と、
ろう材を介在させた接合対象物を、560〜800℃の窒素ガス雰囲気下で処理する工程と、からなる銅とセラミックス又は炭素基銅複合材料との接合方法。
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