JP2005302326A - 表示装置、および表示装置の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】この発明は、表示輝度を十分に高めることができる表示装置、および表示装置の製造方法を提供することを課題とする。
【解決手段】ＳＥＤの前面基板の内面には、遮光層１１、および複数の蛍光体層Ｒ、Ｇ、Ｂが形成され、その上に複数の通気孔４１を有するアルミニウムフィルム４０が形成される。Ａｌフィルム４０の接着剤の焼成時に気化したガスを複数の通気孔４１を介して放出する。
【選択図】 図５

Description

この発明は、偏平な平面パネル構造の真空外囲器を有し、背面基板に設けた電子放出素子から電子を放出させて前面基板に設けた蛍光体層を励起発光させることによりカラー画像を表示する表示装置、および表示装置の製造方法に関する。

近年、偏平な平面パネル構造の真空外囲器を有する表示装置として、フィールドエミッションディスプレイ（ＦＥＤ）や、プラズマディスプレイ（ＰＤＰ）等が知られている。また、ＦＥＤの一種として、表面伝導型の電子放出素子を備えた表示装置（以下、ＳＥＤと称する）の開発が進められている。

ＳＥＤは、所定の隙間を置いて対向配置された前面基板および背面基板を有する。これらの基板は、矩形枠状の側壁を介して周縁部を互いに接合され、内部を真空にされて偏平な平面パネル構造の真空外囲器を構成している。

前面基板の内面には３色の蛍光体層が形成され、蛍光体層に重ねて金属薄膜が形成されている。背面基板の内面には、蛍光体層を励起発光させる電子の放出源として、画素毎に対応する多数の電子放出素子が整列配置されている。また、背面基板の内面上には、電子放出素子を駆動するための多数本の配線がマトリックス状に設けられ、その端部は真空外囲器の外部に引き出されている。

前面基板と背面基板の間には板状のグリッドが配設されている。このグリッドには、電子放出素子に対して整列した位置関係で多数のビーム通過孔が形成されているとともに、前面基板および背面基板の内面に当接することで基板間の隙間を維持するための複数の柱状のスペーサが設けられている。

このＳＥＤを動作させる場合、配線に接続した駆動回路を介して各電子放出素子に選択的に駆動電圧が印加される。これにより、各電子放出素子から選択的に電子ビームが放出され、これら電子ビームが、グリッドの対応するビーム通過孔を通って、金属薄膜を透過し、対応する蛍光体層に照射されて、蛍光体層が励起発光されてカラー画像が表示されるようになっている。

蛍光体層に重ねて形成した金属薄膜は、励起発光した蛍光体層からの蛍光を前面基板側に反射して表示輝度を高めるように機能する。従って、良好な表示状態を得るためには、金属薄膜の表面が平らな鏡面であることが要求される。このため、従来、蛍光体層に対して金属材料を蒸着して平らな金属薄膜を形成していた（例えば、特許文献１参照。）。

しかし、比較的ポーラスな構造を有する蛍光体層に重ねて金属薄膜を鏡面のように平らに形成することは極めて困難であり、十分に満足のいく平面度を達成することはできなかった。このため、従来のＳＥＤでは、満足のいく表示輝度を得ることはできなかった。
特開２００３−０６８２３８（段落［００２７］、図４）

この発明は、以上の点に鑑みなされたもので、その目的は、表示輝度を十分に高めることができる表示装置、および表示装置の製造方法を提供することにある。

上記目的を達成するため、本発明の表示装置は、複数の蛍光体層を形成しその上に接着剤を介して金属薄膜を形成した前面基板、および上記各蛍光体層に対応した複数の電子放出素子を形成した背面基板を互いに位置合わせして、その周縁部同士を枠状の側壁を介して封着した真空外囲器を有する表示装置であって、上記金属薄膜は、上記接着剤の焼成時におけるガス抜きのための複数の通気孔を有することを特徴とする。

また、本発明の表示装置は、複数の蛍光体層を形成しその上に有機シート材を介して金属薄膜を接着した前面基板、および上記各蛍光体層に対応した複数の電子放出素子を形成した背面基板を互いに位置合わせして、その周縁部同士を枠状の側壁を介して封着した真空外囲器を有する表示装置であって、上記金属薄膜は、上記有機シート材の焼成時におけるガス抜きのための複数の通気孔を有することを特徴とする。

上記発明によると、有機材料を焼成して気化させたガスを金属薄膜の複数の通気孔を通して放出できるため、ガスの圧力によって金属薄膜が破れたり変形したりすることを防止でき、平らな金属薄膜を形成できる。

また、本発明の表示装置は、複数の蛍光体層を形成しその上に有機シート材を介して金属薄膜を蒸着した前面基板、および上記各蛍光体層に対応した複数の電子放出素子を形成した背面基板を互いに位置合わせして、その周縁部同士を枠状の側壁を介して封着した真空外囲器を有する表示装置であって、上記有機シート材は、上記各蛍光体層それぞれに対向した複数の画素領域それぞれの４つの角部近くに複数の貫通孔を有することを特徴とする。

上記発明によると、金属薄膜を蒸着する有機シート材に複数の貫通孔を設けたため、この有機シート材を焼成して気化させるとき、貫通孔を介してガスを放出できる。このため、ガスの圧力によって金属薄膜が破れたり変形したりすることを防止でき、平らな金属薄膜を形成できる。

また、本発明の表示装置の製造方法によると、複数の蛍光体層を有する前面基板と、上記複数の蛍光体層に対応した複数の電子放出素子を有する背面基板と、を枠状の側壁を介して封着して表示装置を製造する方法であって、上記前面基板の内面に上記複数の蛍光体層を形成する工程と、これら複数の蛍光体層に重ねて接着剤を介して複数の通気孔を有する金属薄膜を形成する工程と、上記接着剤を焼成して上記複数の通気孔を介して放出する工程と、を有することを特徴とする。

また、本発明の表示装置の製造方法によると、複数の蛍光体層を有する前面基板と、上記複数の蛍光体層に対応した複数の電子放出素子を有する背面基板と、を枠状の側壁を介して封着して表示装置を製造する方法であって、上記前面基板の内面に上記複数の蛍光体層を形成する工程と、これら複数の蛍光体層に重ねて有機シート材を形成する工程と、この有機シート材に重ねて複数の通気孔を有する金属薄膜を形成する工程と、上記有機シート材を焼成して上記複数の通気孔を介して放出する工程と、を有することを特徴とする。

また、本発明の表示装置の製造方法によると、複数の蛍光体層を有する前面基板と、上記複数の蛍光体層に対応した複数の電子放出素子を有する背面基板と、を枠状の側壁を介して封着して表示装置を製造する方法であって、上記前面基板の内面に上記複数の蛍光体層を形成する工程と、これら複数の蛍光体層に重ねて複数の貫通孔を有する有機シート材を形成する工程と、この有機シート材に重ねて金属薄膜を蒸着する工程と、上記有機シート材を焼成する工程と、を有することを特徴とする。

更に、本発明の表示装置の製造方法によると、複数の蛍光体層を有する前面基板と、上記複数の蛍光体層に対応した複数の電子放出素子を有する背面基板と、を枠状の側壁を介して封着して表示装置を製造する方法であって、上記前面基板の内面に上記複数の蛍光体層を形成する工程と、これら複数の蛍光体層に重ねて表面に複数の突起を有する有機シート材を形成する工程と、この有機シート材の表面に重ねて金属薄膜を蒸着する工程と、上記有機シート材を焼成する工程と、を有することを特徴とする。

この発明の表示装置は、上記のような構成および作用を有しているので、蛍光体層に重ねる金属薄膜を鏡面のように平らに形成でき、表示輝度を十分に高めることができる。

以下、図面を参照しながら、この発明の実施の形態について詳細に説明する。始めに、本発明の実施の形態に係る表示装置の一例として、ＳＥＤについて説明する。

図１ないし図３に示すように、ＳＥＤ１は、それぞれ矩形状のガラス板からなる前面基板１０および背面基板１２を備え、これらの基板は約１．０〜２．０ｍｍの隙間をおいて対向配置されている。そして、前面基板１０および背面基板１２は、ガラスからなる矩形枠状の側壁１４を介して周縁部同志が接合され、内部が真空の扁平な平面パネル構造の真空外囲器１５を構成している。

前面基板１０の内面には画像表示面として機能する蛍光体スクリーン１６が形成されている。この蛍光体スクリーン１６は、赤、青、緑の蛍光体層Ｒ、Ｇ、Ｂ、および遮光層１１を並べて構成され、これらの蛍光体層はストライプ状あるいはドット状に形成されている。また、蛍光体スクリーン１６上には、アルミニウム等からなるメタルバック１７（金属薄膜）が形成されている。

背面基板１２の内面には、蛍光体スクリーン１６の蛍光体層を励起発光させるための電子を放出する電子放出源として、それぞれ電子ビームを放出する多数の表面伝導型の電子放出素子１８が設けられている。これらの電子放出素子１８は、画素毎に対応して複数列および複数行に配列されている。各電子放出素子１８は、図示しない電子放出部、この電子放出部に電圧を印加する一対の素子電極等で構成されている。また、背面基板１２の内面上には、各電子放出素子１８に駆動電圧を与えるための多数本の配線２１がマトリックス状に設けられ、その端部は真空外囲器１５の外部に引き出されている。

接合部材として機能する側壁１４は、例えば、低融点ガラス、低融点金属等の封着材２０により、前面基板１０の周縁部および背面基板１２の周縁部に封着され、これらの基板同志を接合している。本実施の形態では、背面基板１２と側壁１４をフリットガラスを用いて接合し、前面基板１０と側壁１４をインジウムを用いて接合した。

図２ないし図４に示すように、ＳＥＤ１は、前面基板１０と背面基板１２の間に配設されたスペーサ構体２２を備えている。本実施の形態において、スペーサ構体２２は、矩形状の金属板からなるグリッド２４と、グリッドの両面に一体的に立設された多数の柱状のスペーサ３０と、で構成されている。

グリッド２４は、前面基板１０の内面と対向した第１表面２４ａおよび背面基板１２の内面と対向した第２表面２４ｂを有し、これらの基板と平行に配置されている。そして、グリッド２４には、エッチング等により多数の電子ビーム通過孔２６が形成されている。電子ビーム通過孔２６は、それぞれ電子放出素子１８と対向して配列され、電子放出素子から放出された電子ビームを通過させる。

グリッド２４の第１表面２４ａ上には、隣接する電子ビーム通過孔２６間に位置して第１スペーサ３０ａが一体的に立設されている。第１スペーサ３０ａの延出端は、メタルバック１７、および蛍光体スクリーン１６の遮光層１１を介して前面基板１０の内面に当接している。また、グリッド２４の第２表面２４ｂ上には、隣接する電子ビーム通過孔２６間に位置して第２スペーサ３０ｂが一体的に立設されている。第２スペーサ３０ｂの延出端は、背面基板１２の内面上に設けられた配線２１上に当接している。

上記のように構成されたスペーサ構体２２は、前面基板１０および背面基板１２間に配設され、第１および第２スペーサ３０ａ、３０ｂを前面基板１０および背面基板１２の内面にそれぞれ当接せしめることにより、これらの基板に作用する大気圧荷重を支持し、基板間の間隔を所定値に維持している。

また、ＳＥＤ１は、グリッド２４および前面基板１０のメタルバック１７に電圧を印加する図示しない電圧供給部を備え、例えば、グリッド２４に１２ｋＶ、メタルバック１７に１０ｋＶの電圧が印加される。

そして、上記ＳＥＤ１において、画像を表示する場合、配線２１を介して電子放出素子１８の素子電極間に電圧を与え、任意の電子放出素子１８の電子放出部から電子ビームを放出するとともに、蛍光体スクリーン１６およびメタルバック１７にアノード電圧を印加する。電子放出部から放出された電子ビームは、アノード電圧により加速され、グリッド２４の電子ビーム通過孔２６を通った後、蛍光体スクリーン１６に衝突する。これにより、蛍光体スクリーン１６の蛍光体層が励起されて発光し、画像を表示する。

上記構造のＳＥＤ１を製造する場合、予め、蛍光体スクリーン１６およびメタルバック１７の設けられた前面基板１０と、電子放出素子１８および配線２１が設けられているとともに側壁１４が接合された背面基板１２と、を用意しておく。また、グリッド２４に多数のスペーサ３０ａ、３０ｂを設けたスペーサ構体２２を用意しておく。

そして、スペーサ構体２２を背面基板１２上に位置決め配置する。この状態で、前面基板１０、背面基板１２、およびスペーサ構体２２を図示しない真空チャンバ内に配置し、真空チャンバ内を真空排気した後、側壁１４を介して前面基板を背面基板に接合する。これにより、スペーサ構体２２を備えたＳＥＤ１が製造される。

以下、上述したように蛍光体スクリーン１６上に形成されるメタルバック１７の形状、およびメタルバック１７の形成方法について、図５および図６を参照して説明する。なお、図５では、説明を解り易くするため、各画素の構造を拡大して画素数を減らして示したが、前面基板１０上には実際には例えば１２８０×７６８［個］の画素が形成されている。

本実施の形態のメタルバック１７は、図５（ａ）に示すように、厚さ約２００［ｎｍ］のアルミニウムフィルム４０（以下、Ａｌフィルム４０と称する）に多数の微小な通気孔４１を開けて形成されている。通気孔４１の形状、大きさ、位置、数などは任意に設定可能であるが、後述するようにガス化した接着剤を効率良く放出可能なできるだけ小さい孔を多数配置することが望ましい。

本実施の形態では、直径１［μｍ］〜３［μｍ］程度の略円形の通気孔４１を、各蛍光体層Ｒ、Ｇ、Ｂにそれぞれ対向したＡｌフィルム４０の多数の矩形の画素領域４２の４つの角部近くにそれぞれ形成した。つまり、上述した画素数の４倍の数の通気孔４１を１枚のＡｌフィルム４０に形成した。

メタルバック１７は、電子ビームを通過させるとともに、各蛍光体層Ｒ、Ｇ、Ｂが励起して発光する蛍光を前面基板１０側に反射させるよう機能する。このため、電子ビームが蛍光体層Ｒ、Ｇ、Ｂに衝突するビームスポットから外れた位置に通気孔４１をできるだけ多く形成した。これにより、後述する有機ガスを効率良く放出できるとともに、反射光の損失を抑えることができ、輝度の低下を抑制することができる。

上記構造のメタルバック１７を蛍光体スクリーン１６上に形成する場合、まず、図示しないアルミニウムシール（以下、Ａｌシールと称する）を用意し、前面基板１０よりひとまわり小さい規定の寸法に切断する。このＡｌシールは、例えば、図示しない基材フィルムの表面に離型材を介してアルミニウムを所望する膜厚に蒸着することにより形成される。言い換えると、Ａｌシールは、基材フィルムの表面上に上述したＡｌフィルム４０を蒸着することにより形成される。

そして、このＡｌシールの所定位置に上述したような多数の通気孔４１を形成する。この場合、例えば、レーザ加工や機械加工によって通気孔４１を形成し、或いはＡｌフィルム４０の所定位置にエッチング剤をインクジェットによって塗布することによって通気孔４１を形成する。この際、通気孔４１は、基材フィルムを貫通してもしなくても良い。或いは、基材フィルムの表面にアルミニウムを蒸着する際に通気孔４１のパターンを有するマスクを介してアルミニウムを蒸着して基材フィルムに通気孔４１を有するＡｌフィルム４０を直接形成するようにしても良い。

次に、多数の通気孔４１を形成したＡｌシールのＡｌフィルム４０の表面に接着剤４４を塗布して、Ａｌシールを前面基板１０に対して高精度に位置決めした状態で、接着剤を塗布した面を蛍光体スクリーン１６上に貼り合わせる。そして、Ａｌシールの裏面を加熱および加圧してＡｌフィルム４０を基材フィルムから離型し、Ａｌフィルム４０を蛍光体スクリーン１６上に接着する。この状態を図５（ａ）、および図５（ｂ）に示す。

この後、接着剤４４の不要な成分を除去するため、Ａｌフィルム４０を蛍光体スクリーン１６上に接着した構造物を約５００［℃］まで加熱して接着剤４４を気化（以下、この処理を“焼成”と称する）させ、この有機ガスを通気孔４１を介して放出させる。このとき、特に、ＳＥＤ１の駆動時に邪魔になる有機物質が気化されて放出される。

より具体的には、図６に示すように、接着剤４４を気化させた有機ガス４６を比較的ポーラスな構造の蛍光体層Ｒを通して通気孔４１に導いて放出させる。これにより、不要な有機成分を除去できるとともに、Ａｌフィルム４０を蛍光体スクリーン１６上に接着できる。

以上のように、本実施の形態によると、メタルバック１７を構成するＡｌフィルム４０に予め多数の通気孔４１を形成したため、接着剤４４の焼成時に気化した有機ガス４６を通気孔４１を介して効率良く放出でき、鏡面のように平らなメタルバック１７を形成できる。

反対に、本実施の形態のようにＡｌフィルム４０に通気孔４１を形成しないと、焼成時に発生した有機ガスの逃げ道が無くなり、蛍光体スクリーン１６とメタルバック１７との間にガスが溜まってメタルバック１７が部分的に膨らんだり捲れ上がったりする問題が生じる。このように、メタルバック１７が歪むと、反射光率が低下し、蛍光体層Ｒ、Ｇ、Ｂを十分な輝度で光らせることができなくなる。

本実施の形態では、このような問題を防止するため、有機ガスの通気孔４１をＡｌフィルム４０に予め形成し、鏡面のように平らなメタルバック１７を形成し、輝度の低下を抑制するようにした。

ところで、上述した実施の形態では、蛍光体スクリーン１６上に接着剤４４を介してＡｌフィルム４０を直接接着してメタルバック１７を形成した場合について説明したが、例えば、図７に示すように、蛍光体スクリーン１６とＡｌフィルム４０との間に有機物質からなる有機シート材５１を介在させても良い。このように、有機シート材５１を介在させることにより、比較的ポーラスな構造の蛍光体層Ｒ、Ｇ、Ｂ表面の凸凹形状を吸収することができ、より平面度の高いメタルバック１７を形成できる。

有機シート材５１を介在させてメタルバック１７を形成する場合、まず、蛍光体スクリーン１６の表面上に有機シート材５１を貼り合わせ、その上に上述した多数の通気孔４１を有するＡｌフィルム４０を貼り合わせる。Ａｌフィルム４０の構造よおび形成方法は上述した実施の形態と略同様であるため、ここではその詳細な説明を省略する。

そして、今度は、有機シート材５１を除去するための焼成を行なう。このとき、気化した有機ガスは、同様にしてＡｌフィルム４０の多数の通気孔４１を介して放出され、Ａｌフィルム４０が捲れ上がったり膨らんだりすることを防止でき、鏡面のように平らなメタルバック１７を形成できる。

また、上述したように有機シート材５１をＡｌフィルム４０と蛍光体スクリーン１６との間に介在させることにより、蛍光体スクリーン１６上に有機シート材５１を貼り合わせた後に、Ａｌフィルム４０を蒸着により形成することが可能となる。この場合、Ａｌフィルム４０に多数の通気孔４１を形成するため、例えば、図８に示すように、多数の通気孔４１のパターンを有するマスク６１を介して有機シート材５１の表面にアルミニウムを蒸着させてＡｌフィルム４０を形成することもできる。或いは、アルミニウムを有機シート材５１上に蒸着させた後に、上述した実施の形態のように、レーザ加工や機械加工によってＡｌフィルム４０に多数の通気孔４１を形成しても良い。

または、図９に示すように、蛍光体スクリーン１６上に貼り合わせる有機シート材７１自体に多数の貫通孔７２を予め形成しておき、この有機シート材７１の表面７１ａにアルミニウムを蒸着するようにしても良い。この場合、有機シート材７１に形成した各貫通孔７２の下端がそれぞれ蛍光体層Ｒに露出しているため、貫通孔７２内に蒸着されたアルミニウムの一部が蛍光体層Ｒに浸透する。このため、有機シート材７１を焼成する際に、貫通孔７２の近傍から有機シート材が気化して放出される。

或いは、図１０に示すように、蛍光体スクリーン１６上に貼り合わせる有機シート材８１の表面８１ａに多数の突起８２を予め形成しておき、多数の突起８２が形成された有機シート材８１の表面８１ａにアルミニウムを蒸着するようにしても良い。この場合、有機シート材８１の焼成時に、突起８２が気化した後、突起８２があった部位に通気孔４１が形成されることになる。なお、この場合、突起８２の高さは、蒸着により形成されるＡｌフィルム４０の膜厚より少なくとも高いことが好ましい。

なお、この発明は、上述した実施の形態そのままに限定されるものではなく、実施段階ではその要旨を逸脱しない範囲で構成要素を変形して具体化できる。また、上述した実施の形態に開示されている複数の構成要素の適宜な組み合わせにより種々の発明を形成できる。例えば、上述した実施の形態に示される全構成要素から幾つかの構成要素を削除しても良い。更に、異なる実施の形態に亘る構成要素を適宜組み合わせても良い。

例えば、上述した実施の形態では、Ａｌフィルム４０の各画素領域の４つの角部近くに通気孔４１をそれぞれ設けた場合について説明したが、これに限らず、少なくとも１つの角部近くに通気孔４１を形成すれば良い。つまり、通気孔４１の数は、ガスの放出効率の点からできるだけ多く設けることが有効と考えられるが、上述したようにビームスポットから外れた角部近くに設けることが輝度の低下を抑制するために有効である。

また、上述した実施の形態では、蛍光体層に重ねて形成する金属薄膜としてＡｌフィルム４０を用いた場合について説明したが、これに限らず、他の金属材料を使用しても良い。

この発明の実施の形態に係るＳＥＤを示す外観斜視図。 図１のＳＥＤを線分II−IIに沿って切断した断面図。 図２の断面を部分的に拡大して示す部分拡大断面図。 図１のＳＥＤに組み込まれるスペーサ構体を示す外観斜視図。 蛍光体スクリーン上に形成される本実施の形態のメタルバックを示す平面図（ａ）、および断面図（ｂ）。 蛍光体スクリーン上にＡｌフィルムを直接接着した例を説明するための要部断面図。 有機シート材を介してＡｌフィルムを蛍光体スクリーン上に形成した例を説明するための要部断面図。 有機シート材上にアルミニウムを蒸着する方法について説明するための要部断面図。 貫通孔を形成した有機シート材を介してＡｌフィルムを蛍光体スクリーン上に形成した例を説明するための要部断面図。 有機シート材の表面に突起を形成し、その上にアルミニウムを蒸着した例を説明するための要部断面図。

符号の説明

１…ＳＥＤ、１０…前面基板、１１…遮光層、１２…背面基板、１４…側壁、１５…真空外囲器、１６…蛍光体スクリーン、１７…メタルバック、１８…電子放出素子、４０…Ａｌフィルム、４１…通気孔、４２…画素領域、４４…接着剤、４６…有機ガス、５１…有機シート材、７２…貫通孔、８２…突起、Ｒ、Ｇ、Ｂ…蛍光体層。

Claims (12)

1. 複数の蛍光体層を形成しその上に接着剤を介して金属薄膜を形成した前面基板、および上記各蛍光体層に対応した複数の電子放出素子を形成した背面基板を互いに位置合わせして、その周縁部同士を枠状の側壁を介して封着した真空外囲器を有する表示装置であって、
   上記金属薄膜は、上記接着剤の焼成時におけるガス抜きのための複数の通気孔を有することを特徴とする表示装置。
2. 上記複数の通気孔は、上記各蛍光体層それぞれに対向した複数の画素領域それぞれの角部近くに設けられていることを特徴とする請求項１に記載の表示装置。
3. 上記複数の通気孔は、上記画素領域の４つの角部近くにそれぞれ設けられていることを特徴とする請求項２に記載の表示装置。
4. 複数の蛍光体層を形成しその上に有機シート材を介して金属薄膜を接着した前面基板、および上記各蛍光体層に対応した複数の電子放出素子を形成した背面基板を互いに位置合わせして、その周縁部同士を枠状の側壁を介して封着した真空外囲器を有する表示装置であって、
   上記金属薄膜は、上記有機シート材の焼成時におけるガス抜きのための複数の通気孔を有することを特徴とする表示装置。
5. 上記複数の通気孔は、上記各蛍光体層それぞれに対向した複数の画素領域それぞれの４つの角部近くにそれぞれ設けられていることを特徴とする請求項４に記載の表示装置。
6. 複数の蛍光体層を形成しその上に有機シート材を介して金属薄膜を蒸着した前面基板、および上記各蛍光体層に対応した複数の電子放出素子を形成した背面基板を互いに位置合わせして、その周縁部同士を枠状の側壁を介して封着した真空外囲器を有する表示装置であって、
   上記有機シート材は、上記各蛍光体層それぞれに対向した複数の画素領域それぞれの４つの角部近くに複数の貫通孔を有することを特徴とする表示装置。
7. 上記複数の貫通孔の一端は、それぞれ上記蛍光体層に露出していることを特徴とする請求項６に記載の表示装置。
8. 複数の蛍光体層を有する前面基板と、上記複数の蛍光体層に対応した複数の電子放出素子を有する背面基板と、を枠状の側壁を介して封着して表示装置を製造する方法であって、
   上記前面基板の内面に上記複数の蛍光体層を形成する工程と、
   これら複数の蛍光体層に重ねて接着剤を介して複数の通気孔を有する金属薄膜を形成する工程と、
   上記接着剤を焼成して上記複数の通気孔を介して放出する工程と、
   を有することを特徴とする表示装置の製造方法。
9. 複数の蛍光体層を有する前面基板と、上記複数の蛍光体層に対応した複数の電子放出素子を有する背面基板と、を枠状の側壁を介して封着して表示装置を製造する方法であって、
   上記前面基板の内面に上記複数の蛍光体層を形成する工程と、
   これら複数の蛍光体層に重ねて有機シート材を形成する工程と、
   この有機シート材に重ねて複数の通気孔を有する金属薄膜を形成する工程と、
   上記有機シート材を焼成して上記複数の通気孔を介して放出する工程と、
   を有することを特徴とする表示装置の製造方法。
10. 複数の蛍光体層を有する前面基板と、上記複数の蛍光体層に対応した複数の電子放出素子を有する背面基板と、を枠状の側壁を介して封着して表示装置を製造する方法であって、
    上記前面基板の内面に上記複数の蛍光体層を形成する工程と、
    これら複数の蛍光体層に重ねて複数の貫通孔を有する有機シート材を形成する工程と、
    この有機シート材に重ねて金属薄膜を蒸着する工程と、
    上記有機シート材を焼成する工程と、
    を有することを特徴とする表示装置の製造方法。
11. 複数の蛍光体層を有する前面基板と、上記複数の蛍光体層に対応した複数の電子放出素子を有する背面基板と、を枠状の側壁を介して封着して表示装置を製造する方法であって、
    上記前面基板の内面に上記複数の蛍光体層を形成する工程と、
    これら複数の蛍光体層に重ねて表面に複数の突起を有する有機シート材を形成する工程と、
    この有機シート材の表面に重ねて金属薄膜を蒸着する工程と、
    上記有機シート材を焼成する工程と、
    を有することを特徴とする表示装置の製造方法。
12. 上記複数の突起は、上記金属薄膜を貫通して突出する高さを有することを特徴とする請求項１１に記載の表示装置の製造方法。

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