JP2005300318A - 表面性状測定機 - Google Patents
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Abstract
【課題】 本発明の目的は、様々な方向から測定する必要があるワークであっても、表面性状測定機を定盤上で軽快に移動、回転可能とし、表面性状測定機を定盤上に着座させた際に生じる着座誤差を微調整して修正することができる表面性状測定機を提供する。
【解決手段】 定盤に平行な二次元方向の移動、回転が自在となるように表面性状測定機を浮上させて支持するとともに、表面性状測定機をこの定盤上に固定して支持する支持手段と、
表面性状測定機を定盤上で移動、回転させて検出器をワークの測定部位へ位置決めした後、表面性状測定機を定盤上に着座させて固定した際に、ワークの測定部位に対する検出器の位置ずれを微調整可能な微調整手段と、を備えた。
【選択図】 図1
【解決手段】 定盤に平行な二次元方向の移動、回転が自在となるように表面性状測定機を浮上させて支持するとともに、表面性状測定機をこの定盤上に固定して支持する支持手段と、
表面性状測定機を定盤上で移動、回転させて検出器をワークの測定部位へ位置決めした後、表面性状測定機を定盤上に着座させて固定した際に、ワークの測定部位に対する検出器の位置ずれを微調整可能な微調整手段と、を備えた。
【選択図】 図1
Description
本発明は、ワークの表面性状を測定する表面性状測定機に関し、特にワークの周囲を移動可能にして様々な方向からワークを測定可能とした表面性状測定機に関する。
一般的な測定機では、その測定方向が限定されており、そのままでは大型ワークや複数の方向から測定を行う必要のあるワークを測定することが出来ないので、このようなワークを測定する場合には、据え付けられたワークの周囲にわたって測定機を移動させ、ワーク各部の測定を行う方法が用いられている(例えば、特許文献1)。
特許文献1に記載の形状測定装置は、大型の被測定物の近傍に予め精密に測定した基準点群を備えた測定用冶具を設けておき、測定機を移動して被測定物を測定した際に、この基準点群も測定しておき、この基準点群の測定結果から移動された測定機の位置関係を求めて、被測定物の座標データを合成して、全体の形状を把握するものである。
特許文献1に記載の形状測定装置は、大型の被測定物の近傍に予め精密に測定した基準点群を備えた測定用冶具を設けておき、測定機を移動して被測定物を測定した際に、この基準点群も測定しておき、この基準点群の測定結果から移動された測定機の位置関係を求めて、被測定物の座標データを合成して、全体の形状を把握するものである。
また、測定機や被測定物の移動にあたってエアーパッドを備えた測定用補助台を用いることによって、測定機や被測定物を軽快に移動可能とする発明がある(例えば、特許文献2)。
特開平11−6728号公報
特開平7−181031号公報
ところが、ワークの表面粗さや輪郭形状などの表面性状を精密に測定する必要がある場合には、高精度な表面性状測定機を用いる必要があるが、そのような測定機は通常、相当程度の重量があり測定機自体の精密微細な移動操作が困難なため、表面性状測定機の検出器を任意方向からワークの測定部位へ精密に位置決めすることが困難であるという問題があった。そのために、ワークの表面粗さや輪郭形状などの精密な測定にあたっては、必要な測定部位での測定が行えず、また、再測定が必要となった場合においても、前回と同一の測定部位での測定を行うことが困難であるという問題があった。このような問題は、ワークが大型である場合には特に顕著な問題であった。
測定機自体の軽快な移動操作を可能にするために、特許文献2に記載された発明は、エアーパッドを備えた測定用補助台上に測定機を載置し、ワークを載置した定盤上で測定用補助台を浮上させて測定機を軽快に移動可能としたものである。
ところが、エアーパッドを用いて測定用補助台を浮上させる構成であるために、測定機の検出器をワークの測定部位へ位置決めした後に、空気軸受けの圧力源を遮断して、エアーパッドを定盤上に着座させた際に、検出器の位置がわずかに狂うという問題があった。また、定盤からエアーパッド面までの浮上量がゼロとなって、測定用補助台が沈み込み、その点でもワークに対する検出器位置に誤差が生じるという問題があった。
ところが、エアーパッドを用いて測定用補助台を浮上させる構成であるために、測定機の検出器をワークの測定部位へ位置決めした後に、空気軸受けの圧力源を遮断して、エアーパッドを定盤上に着座させた際に、検出器の位置がわずかに狂うという問題があった。また、定盤からエアーパッド面までの浮上量がゼロとなって、測定用補助台が沈み込み、その点でもワークに対する検出器位置に誤差が生じるという問題があった。
本願発明は、このような問題を解決するために、重量のある高精度な表面性状測定機であっても、ワークを載置した定盤上で軽快に移動、回転可能とし、その検出器をワークの測定部位へ位置決めした後に、表面性状測定機を定盤上に着座させた際に生じる着座誤差を微調整することができる表面性状測定機を提供する。
前記目的を達成するために、本発明にかかる表面性状測定機は、ワークの表面性状を測定する検出器を備えた表面性状測定機において、定盤上でこの定盤に平行な二次元方向の移動、回転自在に前記表面性状測定機を浮上可能に支持、あるいは前記表面性状測定機を前記定盤上に固定して支持する支持手段と、前記表面性状測定機を前記定盤上で移動、回転させて前記検出器を前記ワークの測定部位へ位置決めした後に前記表面性状測定機を前記定盤上に固定した際に、前記ワークの測定部位に対する前記検出器の位置ずれを微調整して修正可能な微調整手段とを、備えたことを特徴とする。
ここで、ワークの表面性状とは、ワークの表面粗さや輪郭形状をいう。また、定盤に平行な二次元方向に移動、回転自在とは、定盤の平面に対して平行な任意の方向、角度において移動、回転が自在に可能であることをいう。さらに、定盤上に固定とは、表面性状測定機を定盤上に載置した状態で、摩擦などによって容易には移動しない状態に固定することをいう。また、検出器の位置ずれとは、表面性状測定機を浮上状態から定盤上に固定した状態に変化させた際に生じる定盤への着座誤差をいい、少なくとも定盤に平行な二次元方向の位置決め誤差による、ワークに対する検出器の相対位置の変化をいう。
この発明によれば、支持手段によって定盤上に表面性状測定機を浮上させ、摩擦力が生じない状態として表面性状測定機を軽快に移動、回転できるので、ワークの測定部位へ表面性状測定機の検出器を容易に位置決めすることができる。そして、表面性状測定機を定盤上へ固定した際に生じる着座誤差を微調整手段によって修正できるので、検出器をワークの測定部位へ正確に位置決めすることができる。その結果、ワークの所望箇所での測定が容易に行えるようになり、さらに、再測定の場合であっても、前回と同一の測定部位への位置決めが容易に行えるので、ワークの再評価を正確に行うことが出来る。
本発明において、前記微調整手段は、手動操作可能であることが好ましい。
このようにすれば、ワークに対する検出器の位置ずれが微小であっても正確に修正することが出来る。
また、前記支持手段は、パッドを備え、前記パッドから定盤に対して少なくとも流体を噴出あるいは吸引する静圧流体軸受であることが好ましい。
このようにすれば、ワークに対する検出器の位置ずれが微小であっても正確に修正することが出来る。
また、前記支持手段は、パッドを備え、前記パッドから定盤に対して少なくとも流体を噴出あるいは吸引する静圧流体軸受であることが好ましい。
このように支持手段として静圧流体軸受を用いれば、簡易な構成で表面性状測定機を定盤から浮上させることが出来る。また、パッドから流体を吸引する吸着パッドを用いることによって、定盤に対する表面性状測定機の固定をより確実に行うことが出来る。
さらに、前記パッドは少なくともゴム材あるいは多孔質材のいずれかを含むことが好ましい。
このようにパッド材としてゴム材パッドを用いることによって、定盤の表面を傷つけるおそれがなくなる。また、多孔質材パッドを用いることによって、パッドの加工、製作が容易になる。
さらに、前記パッドは少なくともゴム材あるいは多孔質材のいずれかを含むことが好ましい。
このようにパッド材としてゴム材パッドを用いることによって、定盤の表面を傷つけるおそれがなくなる。また、多孔質材パッドを用いることによって、パッドの加工、製作が容易になる。
この発明によれば、支持手段によって表面性状測定機を浮上させて軽快に移動、回転できるので、ワークの測定部位へ検出器を容易に位置決めすることができる。そして、表面性状測定機を定盤上へ固定した際に生じる着座誤差を微調整手段によって修正できるので、検出器をワークの測定部位へ正確に位置決めすることができる。その結果、ワークの所望箇所での測定が容易に行えるようになり、なおかつ、再測定の場合であっても、前回と同一の測定部位への位置決めが容易に行えるので、ワークの再評価を正確に行うことが出来る。
以下、図面に基づき本発明の好適な実施形態について説明する。
図1は本発明の実施例1にかかる表面性状測定機10を、ワークWと共に定盤B上に載置した状態の正面図を示す。図2はその平面図である。
図1において、定盤Bの上面である載置面B1は平面仕上げされており、その一端にワークWが載置、固定されている。表面性状測定機10は載置面B1の他端に載置されている。
ワークWの側面には穴W1が穿たれており、この実施例では、その穴W1の内面の表面粗さと輪郭形状を測定する例を示す。
図1において、定盤Bの上面である載置面B1は平面仕上げされており、その一端にワークWが載置、固定されている。表面性状測定機10は載置面B1の他端に載置されている。
ワークWの側面には穴W1が穿たれており、この実施例では、その穴W1の内面の表面粗さと輪郭形状を測定する例を示す。
表面性状測定機10は、下部に支持手段2を備えてY軸微動機構3(微調整機構)を内蔵した基部4と、基部4に立設されY軸方向に微動可能なコラム5と、コラム5に沿って上下方向(Z軸方向)にZ軸駆動機構(モータ制御)によって移動可能とされた駆動部6と、この駆動部6によって左右方向(X軸方向)にX軸駆動機構(モータ制御)によって移動可能とされた検出器ホルダ7と、この検出器ホルダ7に支持され、一端に測定子11を備えた検出器1を含んで構成される。
Z軸駆動機構とX軸駆動機構は、図示しないデータ処理装置によって駆動制御され、その操作は、データ処理装置に接続された操作スイッチ箱に設けられた操作スイッチを操作しておこなうことが出来る。
測定子11をワークWの表面に接触させながら検出器ホルダ7をX軸方向に移動させると、その移動に伴って測定子11がワークWの表面を走査し、そのワークWの表面の凹凸によって測定子11が上下に変位するので、その変位を検出器1によって検出して、測定データとされる。この測定データは図示しないデータ処理装置へ入力されてワークWの表面粗さや輪郭形状などの表面性状が測定される。
測定子11をワークWの表面に接触させながら検出器ホルダ7をX軸方向に移動させると、その移動に伴って測定子11がワークWの表面を走査し、そのワークWの表面の凹凸によって測定子11が上下に変位するので、その変位を検出器1によって検出して、測定データとされる。この測定データは図示しないデータ処理装置へ入力されてワークWの表面粗さや輪郭形状などの表面性状が測定される。
基部4の下面には、支持手段2としての空気軸受が、3箇所に設置されており、この空気軸受によって表面性状測定機10を定盤Bから浮上させたり、あるいは表面性状測定機10を定盤Bに固定することが可能である。
図3は、支持手段2を示し、空気軸受部はその断面構造を示している。空気軸受部は水平断面が略円形状であり、その外筒20の内部にパッド21、空隙部22、配管接続部23を内蔵している。配管接続部23は配管24を介して圧力源26に接続されている。配管途中には切替弁25が介装されている。
図3は、支持手段2を示し、空気軸受部はその断面構造を示している。空気軸受部は水平断面が略円形状であり、その外筒20の内部にパッド21、空隙部22、配管接続部23を内蔵している。配管接続部23は配管24を介して圧力源26に接続されている。配管途中には切替弁25が介装されている。
パッド21は多孔質材(多孔質金属)で形成されており、表裏(図3の上と下)に貫通する無数の微小穴が設けられている。
圧力源26が図示しないスイッチにより起動されると、その正圧の圧搾空気が切替弁25と配管24を介して空隙部22に供給され、パッド21の微小穴から圧搾空気が定盤Bに向かって噴出され、パッド21に浮上力を与えて表面性状測定機10を定盤Bから浮上させる。この浮上状態では、摩擦力と表面性状測定機の質量(この実施例の場合は、約100kg)の影響がなくなるので、表面性状測定機10の移動、回転を軽快に行うことができる。
圧力源26が図示しないスイッチにより起動されると、その正圧の圧搾空気が切替弁25と配管24を介して空隙部22に供給され、パッド21の微小穴から圧搾空気が定盤Bに向かって噴出され、パッド21に浮上力を与えて表面性状測定機10を定盤Bから浮上させる。この浮上状態では、摩擦力と表面性状測定機の質量(この実施例の場合は、約100kg)の影響がなくなるので、表面性状測定機10の移動、回転を軽快に行うことができる。
表面性状測定機10の測定子11をワークWの所定の位置(測定部位)に位置決めした後、圧力源26を図示しないスイッチにより負圧源として負圧を発生するように切替えると、空隙部22の空気が配管24を介して吸引されるので、パッド21は定盤B側から空気を吸引することになる。この操作によってパッド21は吸着パッドとして働き、表面性状測定機10を定盤Bに吸着固定することになる。
なお、切替弁25は必要に応じて配管24の内部空気を大気に開放する。
なお、切替弁25は必要に応じて配管24の内部空気を大気に開放する。
基部4には、微調整手段としてのY軸微動機構3が内蔵されている。
図4は、図2における矢視I−Iにおける垂直断面を示す。基部4の内部には微動ハンドル31に結合された微動送りねじ32が回転可能に内蔵されており、この微動送りねじ32には微動ナット33が螺合されている。
微動ナット33はコラム5に結合されているので、微動ハンドル31を回転させると微動送りねじ32が回転し、微動ナット33が図4において左右方向(Y軸方向)に微動され、その結果、コラム5も左右方向に微動される。
図4は、図2における矢視I−Iにおける垂直断面を示す。基部4の内部には微動ハンドル31に結合された微動送りねじ32が回転可能に内蔵されており、この微動送りねじ32には微動ナット33が螺合されている。
微動ナット33はコラム5に結合されているので、微動ハンドル31を回転させると微動送りねじ32が回転し、微動ナット33が図4において左右方向(Y軸方向)に微動され、その結果、コラム5も左右方向に微動される。
駆動部6は、測定時において検出器ホルダ7をX軸方向に駆動して検出器走査を行うが、ワークWへの測定子11の位置決め時にも操作可能であり、さらに、測定子11の位置ずれ修正時の微調整手段としてのX軸微動機構としても操作可能である。
コラム5は、ワークWへの測定子11の位置決め時にも操作可能であり、さらに、測定子11の位置ずれ修正時の微調整手段としてのZ軸微動機構としても操作可能である。
つまり、Z軸駆動機構、X軸駆動機構、Y軸微動機構は微調整手段を構成する。
コラム5は、ワークWへの測定子11の位置決め時にも操作可能であり、さらに、測定子11の位置ずれ修正時の微調整手段としてのZ軸微動機構としても操作可能である。
つまり、Z軸駆動機構、X軸駆動機構、Y軸微動機構は微調整手段を構成する。
次に、この表面性状測定機10によってワークWを測定する手順を説明する。
まず、圧力源26を動作させて圧縮空気をパッド21の微小穴から噴出させて表面性状測定機10を定盤Bから浮上させる。
その後、表面性状測定機のZ軸駆動機構とX軸駆動機構を操作すると共に、表面性状測定機10を移動あるいは回転させて、ワークWの測定部位へ測定子11を位置決めする。
この位置決め状態において、圧力源26を負圧源に切替え、表面性状測定機10を定盤Bに着座、固定する。
まず、圧力源26を動作させて圧縮空気をパッド21の微小穴から噴出させて表面性状測定機10を定盤Bから浮上させる。
その後、表面性状測定機のZ軸駆動機構とX軸駆動機構を操作すると共に、表面性状測定機10を移動あるいは回転させて、ワークWの測定部位へ測定子11を位置決めする。
この位置決め状態において、圧力源26を負圧源に切替え、表面性状測定機10を定盤Bに着座、固定する。
このようにして表面性状測定機10を固定する際に、圧力源26の切替えの過程などにおいて、各空気軸受けの噴出圧力が均一に負圧に切替わらないなどによる原因や、空気軸受のパッド21が定盤Bに着座することによる表面性状測定機10の沈み込みなどによる原因によって、表面性状測定機10の位置がわずかに変動し、その結果、測定子11の位置がワークWの測定部位からわずかにずれる。
そこで、Z軸駆動機構、X軸駆動機構、Y軸微動機構によって位置ずれを微調整し、測定子11をワークWの測定部位へ正確に位置決めする。
そこで、Z軸駆動機構、X軸駆動機構、Y軸微動機構によって位置ずれを微調整し、測定子11をワークWの測定部位へ正確に位置決めする。
その後、X軸駆動機構によって測定子11をワークWの表面方向に走査し、測定データを得る。
測定が終了すると、再び圧力源26を正圧で動作させて圧縮空気をパッド21の微小穴から噴出させて表面性状測定機10を定盤Bから浮上させ、表面性状測定機10をワークWから離脱させる。
この測定に続いて、ワークWの他の測定部位の測定を行う場合は、同様の手順を繰り返す。
このように、本発明によれば、表面性状測定機10の移動、回転が自在であるので、例えば、図5に示すように、ワークWの他の側面に穴W2が穿たれており、その穴W2の内面の表面粗さと輪郭形状を測定する場合であっても、表面性状測定機10を容易に位置決めできる。
測定が終了すると、再び圧力源26を正圧で動作させて圧縮空気をパッド21の微小穴から噴出させて表面性状測定機10を定盤Bから浮上させ、表面性状測定機10をワークWから離脱させる。
この測定に続いて、ワークWの他の測定部位の測定を行う場合は、同様の手順を繰り返す。
このように、本発明によれば、表面性状測定機10の移動、回転が自在であるので、例えば、図5に示すように、ワークWの他の側面に穴W2が穿たれており、その穴W2の内面の表面粗さと輪郭形状を測定する場合であっても、表面性状測定機10を容易に位置決めできる。
本発明はこの実施例に限定されるものではない。
例えば、この実施例においては、比較的大型のワークを測定する場合を示したが、小型ワークであっても本発明によれば、従来よりもさらに容易に様々な方向からの測定が可能となる。
例えば、この実施例においては、比較的大型のワークを測定する場合を示したが、小型ワークであっても本発明によれば、従来よりもさらに容易に様々な方向からの測定が可能となる。
また、実施例1においては、表面性状測定機として、直交座標系を備えた表面粗さ測定機を用いる例を示したが、これに限らずどのような測定機でも良い。例えば、三次元測定機、輪郭形状測定機でも良く、さらに極座標系を備えた多関節アーム型の測定機などであっても良く、また、円筒座標系や各種座標系を複合して用いる測定機であっても良い。また、検出器1あるいは測定子11を延長アームを介して装着するものでも良く、さらに検出器1あるいは測定子11は交換可能であっても良い。
また、検出器1としては接触式測定を行うもののほか、レーザ、静電容量、画像などを用いる非接触式測定を行うものでも良く、さらに、ポイント測定プローブの他、倣い測定プローブであっても良い。
さらに、ワーク形状として、略直方6面体のワークを示したが、ワーク形状は任意であり、また、ワークWを定盤Bの中央位置に載置してその周囲を本願発明の表面性状測定機10によって測定可能としても良い。
さらに、ワーク形状として、略直方6面体のワークを示したが、ワーク形状は任意であり、また、ワークWを定盤Bの中央位置に載置してその周囲を本願発明の表面性状測定機10によって測定可能としても良い。
実施例1においては、支持手段2は、表面性状測定機10の基部4の下面に3個を設ける構成を示したが、表面性状測定機の質量などに応じて1個以上であれば、その数は限定されない。
実施例1においては、支持手段2として空気軸受を示し、表面性状測定機固定時には、空気軸受のパッドを定盤に着座させる構成を示したが、これに限らずパッドとは異なる上下に進退可能な固定脚を設け、載置テーブル固定時には、この固定脚を進出させて定盤に固定するものであっても良い。
実施例1においては、支持手段2として空気軸受を示し、表面性状測定機固定時には、空気軸受のパッドを定盤に着座させる構成を示したが、これに限らずパッドとは異なる上下に進退可能な固定脚を設け、載置テーブル固定時には、この固定脚を進出させて定盤に固定するものであっても良い。
また、表面性状測定機固定時には、圧力源26において負圧を発生させ、パッド21を吸着パッドとする例を示したが、これに限らず、圧力源26を停止させ、切替弁25を切替えて配管24内部の空気を大気に開放して、パッド21を定盤Bに着座させ、摩擦力によって表面性状測定機10を固定するものでも良い。
さらに、複数の空気軸受を用いる場合に、圧力源26を共用出来ることは言うまでもない。
また、パッド21は多孔質金属を用いる例を示したが、ゴム材でもよく、パッド構造や用いる材質は公知の各種構造、材質を用いても良い。
実施例1において、微調整手段として、Z軸方向、X軸方向、Y軸方向の3軸方向へ微調整可能な微調整手段を示したが、例えば、定盤に平行な二次元方向における位置ずれを微調整可能なものであっても良い。
また、パッド21は多孔質金属を用いる例を示したが、ゴム材でもよく、パッド構造や用いる材質は公知の各種構造、材質を用いても良い。
実施例1において、微調整手段として、Z軸方向、X軸方向、Y軸方向の3軸方向へ微調整可能な微調整手段を示したが、例えば、定盤に平行な二次元方向における位置ずれを微調整可能なものであっても良い。
また、微調整手段は手動操作、自動操作のいずれでも良く、例えば実施例1におけるY軸微動機構は微動ハンドル31による手動操作の例を示したが、モータ制御による自動操作であっても良い。
さらに、微調整手段は、実施例1で示した直交軸方向の調整に限らず、コラム5を基部4に対して回転して微調整するものであっても良い。
さらに、微調整手段は、実施例1で示した直交軸方向の調整に限らず、コラム5を基部4に対して回転して微調整するものであっても良い。
また、微調整手段は、定盤Bに対して基部4の位置を微調整するものでも良く、例えば、支持手段2に微調整手段を含んで、着座に伴う位置ずれを微調整するものであっても良い。
さらに、データ処理装置の操作スイッチ箱や、圧力源26の起動/切替/停止スイッチなどは、基部4へ取付けあるいは組込みとして、操作性を向上させても良い。
また、Z軸駆動機構、X軸駆動機構、Y軸微動機構において、駆動量を測定する測定器を備え、駆動部6、検出器ホルダ7、コラム5の駆動量を表示可能としても良い。
さらに、データ処理装置の操作スイッチ箱や、圧力源26の起動/切替/停止スイッチなどは、基部4へ取付けあるいは組込みとして、操作性を向上させても良い。
また、Z軸駆動機構、X軸駆動機構、Y軸微動機構において、駆動量を測定する測定器を備え、駆動部6、検出器ホルダ7、コラム5の駆動量を表示可能としても良い。
以上説明したように本発明にかかる表面性状測定機によれば、支持手段によって表面性状測定機を浮上させて軽快に移動、回転できるので、様々な方向からワークの測定部位へ検出器を容易に位置決めすることができる。そして、表面性状測定機を定盤上へ固定した際に生じる着座誤差を微調整手段によって修正できるので、検出器をワークの測定部位へ正確に位置決めすることができる。その結果、ワークの所望箇所での測定が容易に行えるようになり、測定の信頼性が向上する。
また、検出器位置決めが容易に行えるので、測定子衝突事故などの発生を防止可能で安全性の高い測定作業が可能になる。さらに再測定の場合であっても、前回と同一の測定部位への位置決めが容易に行えるので、ワークの再評価を正確に行うことが出来るので、ワークを不必要に廃棄処分にする必要がなく、経済性が高い。
以上の通り、本発明は測定の分野において極めて効果的に実施することができる。
以上の通り、本発明は測定の分野において極めて効果的に実施することができる。
1 検出器
2 支持手段
3 Y軸微動機構
4 基部
5 コラム
6 駆動部
7 検出器ホルダ
10 表面性状測定機
11 測定子
B 定盤
W ワーク
2 支持手段
3 Y軸微動機構
4 基部
5 コラム
6 駆動部
7 検出器ホルダ
10 表面性状測定機
11 測定子
B 定盤
W ワーク
Claims (4)
- ワークの表面性状を測定する検出器を備えた表面性状測定機において、
定盤上でこの定盤に平行な二次元方向の移動、回転自在に前記表面性状測定機を浮上可能に支持、あるいは前記表面性状測定機を前記定盤上に固定して支持する支持手段と、
前記表面性状測定機を前記定盤上で移動、回転させて前記検出器を前記ワークの測定部位へ位置決めした後に前記表面性状測定機を前記定盤上に固定した際に、前記ワークの測定部位に対する前記検出器の位置ずれを微調整して修正可能な微調整手段と、
を備えたことを特徴とする表面性状測定機。 - 請求項1に記載の表面性状測定機において、前記微調整手段は、手動操作可能であることを特徴とする表面性状測定機。
- 請求項1または請求項2に記載の表面性状測定機において、前記支持手段は、パッドを備え、前記パッドから定盤に対して少なくとも流体を噴出あるいは吸引する静圧流体軸受であることを特徴とする表面性状測定機。
- 請求項3に記載の表面性状測定機において、前記パッドは少なくともゴム材あるいは多孔質材のいずれかを含むことを特徴とする表面性状測定機。
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Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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2004
- 2004-04-09 JP JP2004115970A patent/JP2005300318A/ja active Pending
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