JP2005297523A - カッターピン - Google Patents
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Abstract
【課題】加工が容易で、所望の寿命が得られるカッターピンを提供する。
【解決手段】脆性基板分断用のカッターホイールの軸孔に摺動可能に嵌合され、その両端部でチップホルダーに対してカッターホイールを回転可能に保持するカッターピンであって、ダイヤモンド焼結体層を金属層で挟持した積層焼結体が層厚方向に軸線を有する円柱に切断され、前記ダイヤモンド焼結体層が少なくともカッターホイールの軸孔と摺動する部分を構成するよう前記円柱が仕上げられてなる。
【選択図】 図3
【解決手段】脆性基板分断用のカッターホイールの軸孔に摺動可能に嵌合され、その両端部でチップホルダーに対してカッターホイールを回転可能に保持するカッターピンであって、ダイヤモンド焼結体層を金属層で挟持した積層焼結体が層厚方向に軸線を有する円柱に切断され、前記ダイヤモンド焼結体層が少なくともカッターホイールの軸孔と摺動する部分を構成するよう前記円柱が仕上げられてなる。
【選択図】 図3
Description
本発明は、カッターピンに関し、特にチップホルダーに取り付けられ、脆性基板上にスクライブライン(刻線)を形成するためのカッターホイールの軸孔に摺動可能に嵌合され、その両端部でチップホルダーに対してカッターホイールを回転可能に保持するカッターピンに関する。
半導体ウェハ、ガラス基板、セラミック基板等の脆性基板を分断するためにカッターチップが用いられる。
カッターチップは、図7に示すように、ディスク状ホイール111の外周部に沿ってV字形の刃112を有するとともに中心部に軸方向に貫通する円形の軸孔113が設けられたカッターホイール110と、前記カッターホイール110の軸孔113に摺動可能に嵌合され、チップホルダー100に対してカッターホイール110を回転可能に保持するカッターピン120とからなる。
カッターチップは、図7に示すように、ディスク状ホイール111の外周部に沿ってV字形の刃112を有するとともに中心部に軸方向に貫通する円形の軸孔113が設けられたカッターホイール110と、前記カッターホイール110の軸孔113に摺動可能に嵌合され、チップホルダー100に対してカッターホイール110を回転可能に保持するカッターピン120とからなる。
チップホルダー100は、ロッド101を介して図示しないスクライブヘッドに接続され、スクライブヘッドによって付加される所定の押圧力を、カッターピン120およびカッターホイール110を介して脆性基板上に作用させ、スクライブラインを形成することができる。
カッターピンは、鋼、超硬合金、鋼にダイヤモンドを電着したもの、超硬合金にDLC(Diamond Like Carbon)をコーティングしたもの、焼結ダイヤモンド(Polycrystalline Diamond)などが材料として用いられる。これらのうち、寿命、寸法精度の仕上げの難易およびコスト等を考慮して、焼結ダイヤモンドおよび超硬合金が一般に使用されている。
カッターピンは、鋼、超硬合金、鋼にダイヤモンドを電着したもの、超硬合金にDLC(Diamond Like Carbon)をコーティングしたもの、焼結ダイヤモンド(Polycrystalline Diamond)などが材料として用いられる。これらのうち、寿命、寸法精度の仕上げの難易およびコスト等を考慮して、焼結ダイヤモンドおよび超硬合金が一般に使用されている。
特許文献1には、ダイヤモンド焼結体を超硬合金にてサンドイッチにした構成とし、外周部の刃先部は、ダイヤモンド焼結体のみからなるようにして、刃先部の寿命を長くすると共に安価にし、且つ靭性のあるスクライブ用カッターホイールが開示されている。
特許文献1に記載されたように、カッターホイールに焼結ダイヤモンドを用いた場合、カッターホイールを支持するためにその軸孔に摺動可能に嵌合されるカッターピンも焼結ダイヤモンドを用いることにより、寿命が長くなるという利点がある。しかし、超硬合金に比較して寸法を高精度に仕上げるのが困難であり、材料コストおよび加工コストが高くなるという問題がある。
本発明は、上記の問題点に鑑みなされたものであって、加工が容易で、所望の寿命が得られるカッターピンを提供することを目的とする。
この発明によれば、脆性基板分断用のカッターホイールの軸孔に摺動可能に嵌合され、その両端部でチップホルダーに対してカッターホイールを回転可能に保持するカッターピンであって、ダイヤモンド焼結体層を金属層で挟持した積層焼結体が層厚方向に軸線を有する円柱に切断され、前記ダイヤモンド焼結体層が少なくともカッターホイールの軸孔と摺動する部分を構成するよう前記円柱が仕上げられてなるカッターピンが提供される。
この発明では、脆性基板分断用のカッターピンが、ダイヤモンド焼結体層が少なくともカッターホイールの軸孔と摺動する部分を構成し、ダイヤモンド焼結体層は2つの金属層で挟持され、これらの金属層はカッターホイールの軸孔と摺動しないカッターピンの両端部を構成する。したがって、耐摩耗性は高いが高価なダイヤモンド焼結体の使用を必要最小限の範囲にとどめることができる。
また、ダイヤモンド焼結体層を2つの金属層で挟持した積層焼結体が層厚方向に軸線を有する円柱に切断され、次いで仕上げられたものであるので、ロウ付けなどによる接合と異なり、ダイヤモンド焼結体層と2つの金属層は強固に結合され、両者が容易に分離することはない。
さらに、カッターピンの両端部は2つの金属層で構成されているので、カッターピンの軸線方向における長さの仕上げをダイヤモンド焼結体層よりも研磨の容易な2つの金属層の加工により行うことができる。
積層焼結体は、少なくともコバルトを含む結合剤とダイヤモンド粒子とからなるダイヤモンド焼結体層を、少なくとも一方側がコバルトを含む超硬合金層である2つの金属層からなり、ダイヤモンド焼結体層を挟持する前記2つの金属層は、ダイヤモンド焼結体層と同時に加圧焼結されてなるので、コバルトを含む結合剤とダイヤモンド粒子とからなるダイヤモンド焼結体層とコバルトを含む超硬合金層との間で、互いの層のコバルトが隣接する層内に相互に浸透して強固な接合を形成し、ダイヤモンド焼結体層と超硬合金層は強固な結合を形成し、ロウ付けなどによる接合と異なり、両者が容易に分離することはない。なお、少なくとも一方側がコバルトを含む超硬合金層である2つの金属層とは、2つの金属層が、どちらもコバルトを含む超硬合金層であってもよいし、一方側がコバルトを含む超硬合金層であり、他方側がコバルトを含まない金属層であってもよい。
ダイヤモンド焼結体層を挟持する前記2つの金属層は、一方側がコバルトを含む超硬合金層であり、他方側がタングステンまたはモリブデンの金属層からなるので、超硬合金層からダイヤモンド焼結体層へ向かう方向にコバルトが浸透していき、さらにダイヤモンド焼結体層から他方側の金属層に浸透したコバルトは、ダイヤモンド焼結体層とタングステンまたはモリブデンの金属層の境界面付近で、加圧焼結によりタングステンまたはモリブデンと強固な接合を形成する。したがって、2つの金属層が、どちらもコバルトを含む超硬合金層の場合に生じるダイヤモンド焼結体層でのコバルトのせめぎあいがなく、これら3つの層は、互いに強固な結合を形成し、ロウ付けなどによる接合と異なり、両者が容易に分離することはない。
ダイヤモンド焼結体層を挟持する前記2つの金属層は、一方側がコバルトを含む超硬合金層であり、他方側がタングステンまたはモリブデンの金属層からなるので、超硬合金層からダイヤモンド焼結体層へ向かう方向にコバルトが浸透していき、さらにダイヤモンド焼結体層から他方側の金属層に浸透したコバルトは、ダイヤモンド焼結体層とタングステンまたはモリブデンの金属層の境界面付近で、加圧焼結によりタングステンまたはモリブデンと強固な接合を形成する。したがって、2つの金属層が、どちらもコバルトを含む超硬合金層の場合に生じるダイヤモンド焼結体層でのコバルトのせめぎあいがなく、これら3つの層は、互いに強固な結合を形成し、ロウ付けなどによる接合と異なり、両者が容易に分離することはない。
ダイヤモンド焼結体材料層のダイヤモンド粒子は、粒子平均径が0.5μmから10.0μmの範囲にあるのが好ましく、2.0μmから5μmの範囲にあるのがより好ましい。
ダイヤモンド粒子の粒子平均径が0.5μm未満であれば、ダイヤモンド焼結体層に占めるコバルトの体積が相対的に増加し耐摩耗性が低下する。ダイヤモンド粒子の粒子平均径が10.0μmを超えると、カッターピンの外周面の研磨が困難になるとともに、ダイヤモンド焼結体層に占めるコバルトの体積がその製造方法に起因して低下し、曲げ強度(抗折力)が低下する。
ダイヤモンド粒子の粒子平均径が0.5μm未満であれば、ダイヤモンド焼結体層に占めるコバルトの体積が相対的に増加し耐摩耗性が低下する。ダイヤモンド粒子の粒子平均径が10.0μmを超えると、カッターピンの外周面の研磨が困難になるとともに、ダイヤモンド焼結体層に占めるコバルトの体積がその製造方法に起因して低下し、曲げ強度(抗折力)が低下する。
カッターピンは、カッターホイールの軸孔の長さを超える長さのダイヤモンド焼結体層を有するので、カッターピンの軸線方向におけるカッターホイールの振れが生じた場合に、カッターホイールがカッターピンの2つの金属層で摺動するのを防止することができる。
以下、この発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
なお、本発明のカッターピンによって支持されるカッターホイールのスクライブの対象である脆性基板としては、形態、材質、用途および大きさについて特に限定されるものではなく、単板からなる基板または2枚以上の単板を貼り合わせた貼り合せ基板であってもよく、これらの表面または内部に薄膜あるいは端子部などの半導体材料を付着あるいは包含させたものであってもよい。
脆性基板の材質としては、ガラス、セラミックス、シリコン、サファイヤ等が挙げられ、その用途としては液晶パネル、プラズマディスプレイパネル、有機ELディスプレイパネル等のフラットディスプレイパネルが挙げられる。
なお、本発明のカッターピンによって支持されるカッターホイールのスクライブの対象である脆性基板としては、形態、材質、用途および大きさについて特に限定されるものではなく、単板からなる基板または2枚以上の単板を貼り合わせた貼り合せ基板であってもよく、これらの表面または内部に薄膜あるいは端子部などの半導体材料を付着あるいは包含させたものであってもよい。
脆性基板の材質としては、ガラス、セラミックス、シリコン、サファイヤ等が挙げられ、その用途としては液晶パネル、プラズマディスプレイパネル、有機ELディスプレイパネル等のフラットディスプレイパネルが挙げられる。
この発明のカッターピンの実施の形態を以下に示すが、この発明のカッターピンはこれらに限定されるものではない。
図1から図6を用いて、この発明のカッターピンの実施の形態を説明する。
図1は、この発明のカッターピンによってカッターチップに支持される公知のカッターホイール10の正面図であり、図2は、図1の側面図である。
図1は、この発明のカッターピンによってカッターチップに支持される公知のカッターホイール10の正面図であり、図2は、図1の側面図である。
図1および図2に示すように、カッターホイール10は、ディスク状ホイール11の外周部に沿ってV字形の刃12を有するとともに中心部に軸方向に貫通する円形の軸孔13が設けられている。
図3は、この発明のカッターピン20の正面図である。
カッターピン20は、カッターホイール10の軸孔13に摺動可能に嵌合され、図7のチップホルダー100に対してカッターホイール10を回転可能に保持する。
カッターピン20は、カッターピン20の軸線方向に3つの層が積層された構造を有する。すなわち、カッターホイール10の軸孔13に摺動する部分を形成するダイヤモンド焼結体層21と、カッターホイール10の軸孔13に摺動しない部分を形成する超硬合金の層22およびタングステン層22‘のそれぞれとからなる。
カッターピン20は、カッターホイール10の軸孔13に摺動可能に嵌合され、図7のチップホルダー100に対してカッターホイール10を回転可能に保持する。
カッターピン20は、カッターピン20の軸線方向に3つの層が積層された構造を有する。すなわち、カッターホイール10の軸孔13に摺動する部分を形成するダイヤモンド焼結体層21と、カッターホイール10の軸孔13に摺動しない部分を形成する超硬合金の層22およびタングステン層22‘のそれぞれとからなる。
カッターピン20におけるダイヤモンド焼結体層21の軸方向の長さは、カッターホイール10の軸孔13の全長、すなわち、ホイール11の厚さに相当する長さであってもよいし、カッターホイール10の軸孔13の全長を超える長さであってもよい。
以下、図4〜図6に基づいて、カッターピン20の製造方法の一例を説明する。
まず、少なくともコバルトを含む結合剤とダイヤモンド粒子とからなるダイヤモンド焼結体材料の層を、コバルトを含む超硬合金材料の層とタングステン層で挟持し、5MPaの加圧条件下で1370℃まで昇温して積層焼結体を作製する。なお、ダイヤモンド粒子は、粒子平均径が0.5μmから10.0μmである。
図4に示すように、作製された積層焼結体30は、少なくともコバルトを含む結合剤とダイヤモンド粒子とからなるダイヤモンド焼結体層31を、コバルトを含む超硬合金層32およびタングステン層32‘で挟持してなり、ダイヤモンド焼結体層31を挟持する2つの金属層32、32‘は、ダイヤモンド焼結体層31と同時に加圧焼結される。
図4に示すように、作製された積層焼結体30は、少なくともコバルトを含む結合剤とダイヤモンド粒子とからなるダイヤモンド焼結体層31を、コバルトを含む超硬合金層32およびタングステン層32‘で挟持してなり、ダイヤモンド焼結体層31を挟持する2つの金属層32、32‘は、ダイヤモンド焼結体層31と同時に加圧焼結される。
積層焼結体30の2つの金属層32、32‘がそれぞれ露出した両底面を研磨器で研磨し、所望するカッターピン20の全長よりわずかに大きい厚さに仕上げる。
次いで、図5に示すように、所望する厚みに仕上げられた積層焼結体30aを、ワイヤー放電加工により、カッターピン20の直径よりわずかに大きい外径を有する円柱35として積層焼結体30から抜き出す。
次いで、図5に示すように、所望する厚みに仕上げられた積層焼結体30aを、ワイヤー放電加工により、カッターピン20の直径よりわずかに大きい外径を有する円柱35として積層焼結体30から抜き出す。
積層焼結体30から抜き出された円柱35を図6に示す。次いで、円柱35の外周部にダイヤモンド砥石による研磨を施して仕上げる。さらに、両端部に面取り加工を施すとともに所定の全長に仕上げることにより、図3に示したカッターピン20が作製される。
上記の実施例では、一方の金属層としてタングステン層22‘を用いたが、これをモリブデンに置き換えてもよい。
上記の実施例では、一方の金属層としてタングステン層22‘を用いたが、これをモリブデンに置き換えてもよい。
前記したように、この発明のカッターピン20では、耐摩耗性は高いが高価なダイヤモンド焼結体の使用を必要最小限の範囲にとどめることができる。
また、カッターピン20は、そのダイヤモンド焼結体層31の部分でカッターホイール10と摺動するので、スクライブの品質の安定性と高寿命が得られる。
また、カッターピン20は、そのダイヤモンド焼結体層31の部分でカッターホイール10と摺動するので、スクライブの品質の安定性と高寿命が得られる。
カッターピン20は、カッターピン20の軸方向の長さの仕上げをダイヤモンド焼結体層31の外側にあってダイヤモンド焼結体層31より加工が容易な2つの金属層32、32‘の加工で行うことができる。したがって、加工コストが低減され、加工精度が向上するので、チップホルダー100に対する脱着が容易になる。
ダイヤモンド焼結体層21を挟持する2つの金属層は、一方側がコバルトを含む超硬合金層22であり、他方側がタングステン層22‘からなるので、コバルトは超硬合金層22からダイヤモンド焼結体層21へ向かう方向の浸透となり、さらにダイヤモンド焼結体層21から浸透しダイヤモンド焼結体層21とタングステン層22‘の境界面付近で、加圧焼結によりタングステンと強固な接合を形成する。したがって、これら3つの層は、互いに強固な結合を形成し、ロウ付けなどによる接合と異なり、両者が容易に分離することはない。
本発明のカッターピンは、半導体ウェハ、ガラス基板、セラミック基板等の脆性基板上にスクライブラインを形成するためのカッターホイールの軸孔に摺動可能に嵌合され、その両端部でチップホルダーに対してカッターホイールを回転可能に保持するカッターピンである。
カッターピンが、ダイヤモンド焼結体層が少なくともカッターホイールの軸孔と摺動する部分を構成し、ダイヤモンド焼結体層は2つの金属層で挟持されているので、これらの金属層は、カッターホイールの軸孔と摺動しないカッターピンの両端部を構成する。したがって、耐摩耗性は高いが高価なダイヤモンド焼結体の使用を必要最小限の範囲にとどめることができる。
ダイヤモンド焼結体層を2つの金属層で挟持した積層焼結体が層厚方向に軸線を有する円柱に切断され、次いで仕上げられたものであるので、ロウ付けなどによる接合と異なり、ダイヤモンド焼結体層と2つの金属層は強固に結合され、両者が容易に分離することはない。
カッターピンが、ダイヤモンド焼結体層が少なくともカッターホイールの軸孔と摺動する部分を構成し、ダイヤモンド焼結体層は2つの金属層で挟持されているので、これらの金属層は、カッターホイールの軸孔と摺動しないカッターピンの両端部を構成する。したがって、耐摩耗性は高いが高価なダイヤモンド焼結体の使用を必要最小限の範囲にとどめることができる。
ダイヤモンド焼結体層を2つの金属層で挟持した積層焼結体が層厚方向に軸線を有する円柱に切断され、次いで仕上げられたものであるので、ロウ付けなどによる接合と異なり、ダイヤモンド焼結体層と2つの金属層は強固に結合され、両者が容易に分離することはない。
さらに、カッターピンの両端部はそれぞれが金属層で構成されているので、カッターピンの軸線方向における長さの仕上げをダイヤモンド焼結体層よりも研磨の容易な金属層の加工により行うことができる。
積層焼結体は、少なくともコバルトを含む結合剤とダイヤモンド粒子とからなるダイヤモンド焼結体層を、少なくとも一方側がコバルトを含む超硬合金層である2つの金属層からなり、ダイヤモンド焼結体層を挟持する前記2つの金属層は、ダイヤモンド焼結体層と同時に加圧焼結されてなるので、コバルトを含む結合剤とダイヤモンド粒子とからなるダイヤモンド焼結体層とコバルトを含む超硬合金層との間で、互いの層のコバルトが隣接する層内に相互に浸透して強固な接合を形成し、ダイヤモンド焼結体層と超硬合金層は強固な結合を形成し、ロウ付けなどによる接合と異なり、両者が容易に分離することはない。
積層焼結体は、少なくともコバルトを含む結合剤とダイヤモンド粒子とからなるダイヤモンド焼結体層を、少なくとも一方側がコバルトを含む超硬合金層である2つの金属層からなり、ダイヤモンド焼結体層を挟持する前記2つの金属層は、ダイヤモンド焼結体層と同時に加圧焼結されてなるので、コバルトを含む結合剤とダイヤモンド粒子とからなるダイヤモンド焼結体層とコバルトを含む超硬合金層との間で、互いの層のコバルトが隣接する層内に相互に浸透して強固な接合を形成し、ダイヤモンド焼結体層と超硬合金層は強固な結合を形成し、ロウ付けなどによる接合と異なり、両者が容易に分離することはない。
カッターピンは、カッターホイールの軸孔の長さを超える長さのダイヤモンド焼結体層を有するので、カッターピンの軸線方向におけるカッターホイールの振れが生じた場合に、カッターホイールがカッターピンの金属層で摺動するのを防止することができる。
本発明によれば、加工が容易で、所望の寿命が得られるカッターピンを提供することができる。
本発明によれば、加工が容易で、所望の寿命が得られるカッターピンを提供することができる。
10 カッターホイール
11 ホイール
12 刃
13 軸孔
20 カッターピン
21 ダイヤモンド焼結体層
22 コバルトを含む超硬合金層
22‘ タングステン層
30 積層焼結体
31 ダイヤモンド焼結体層
32 コバルトを含む超硬合金層
22‘ タングステン層
35 円柱
11 ホイール
12 刃
13 軸孔
20 カッターピン
21 ダイヤモンド焼結体層
22 コバルトを含む超硬合金層
22‘ タングステン層
30 積層焼結体
31 ダイヤモンド焼結体層
32 コバルトを含む超硬合金層
22‘ タングステン層
35 円柱
Claims (6)
- 脆性基板分断用のカッターホイールの軸孔に摺動可能に嵌合され、その両端部でチップホルダーに対してカッターホイールを回転可能に保持するカッターピンであって、
ダイヤモンド焼結体層を金属層で挟持した積層焼結体が層厚方向に軸線を有する円柱に切断され、前記ダイヤモンド焼結体層が少なくともカッターホイールの軸孔と摺動する部分を構成するよう前記円柱が仕上げられてなるカッターピン。 - 積層焼結体は、少なくともコバルトを含む結合剤とダイヤモンド粒子とからなるダイヤモンド焼結体層を、少なくとも一方側がコバルトを含む超硬合金層である2つの金属層からなり、ダイヤモンド焼結体層を挟持する前記2つの金属層は、ダイヤモンド焼結体層と同時に加圧焼結されてなる請求項1に記載のカッターピン。
- ダイヤモンド焼結体層を挟持する前記2つの金属層は、一方側がコバルトを含む超硬合金層であり、他方側がタングステンまたはモリブデンの金属層からなる請求項2に記載のカッターピン。
- ダイヤモンド焼結体材料層のダイヤモンド粒子は、粒子平均径が0.5μmから10μmの範囲にある請求項2に記載のカッターピン。
- ダイヤモンド焼結体材料層のダイヤモンド粒子は、粒子平均径が2.0μmから5μmの範囲にある請求項2に記載のカッターピン。
- カッターピンは、カッターホイールの軸孔の長さを超える長さのダイヤモンド焼結体層を有する請求項1に記載のカッターピン。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2004140453A JP2005297523A (ja) | 2004-04-06 | 2004-04-06 | カッターピン |
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Country Status (1)
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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KR101258478B1 (ko) | 2009-10-29 | 2013-04-26 | 미쓰보시 다이야몬도 고교 가부시키가이샤 | 스크라이빙 휠의 제조 방법 |
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2004
- 2004-04-06 JP JP2004140453A patent/JP2005297523A/ja active Pending
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