JP7336864B2 - 切断用ブレード - Google Patents
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Description
また、金属被覆ビトリファイドボンド相を形成するための金属の使用量を削減可能とするとともに金属皮膜を形成する時間を短縮することができる。
また、上記金属被覆ビトリファイドボンド相によって、切れ刃の刃痩せを抑制することができる。
つまり、切れ刃の刃先が、その断面視で径方向外側へ向けた凸V字状となるように摩耗進行する不具合を抑制できる。従って、切断の加工品位を良好に維持することができる。
また、非導電性(絶縁体)のビトリファイドボンド相とは、砥粒、結合材が導電性であったとしても、上記三次元架橋構造として非導電性である場合が含まれるものとする。したがって、結合材が導電性物質からなるフィラー等を含んでいてもよい。
そこで、ビトリファイドボンド相の結合材を非導電性として、結合材(すなわち、ビトリファイドボンド相)の強度を確保して、切断加工時において、ビトリファイドボンド相の摩耗量を減少させることができる。
また、金属被覆ビトリファイドボンド相の側面からの厚さを20μm以上100μm以下に設定することにより、切断用ブレードの厚さを薄肉化した場合であっても、ブレード強度が十分に確保される。
従って、切断加工時(ダイシング時)のカーフ幅(切断加工により被切断材に形成される切断ラインの幅)を小さく抑えることができ、その分被切断材の材料歩留まりを向上でき、かつ、例えば化合物半導体素子や電子部品基板等のさらなる小型化への要求に容易に対応可能である。
これにより、被切断材の切屑が表層部の気孔に詰まって、切屑により表層部が目詰まりを起こすことを防ぐことができる。
すなわち、切断用ブレードは、被切断材として、セラミックス等の硬度が高い所謂難削材からなる電子材料等の精密切断加工に特に適している。被切断材の具体的な例としては、パワーデバイスに用いられる炭化ケイ素(SiC)や車載用LEDのベース材となる高純度アルミナ(Al2O3)や窒化アルミ(AlN)、LEDチップのベース材となるサファイア等が挙げられる。
具体的に、この切断用ブレード100は、被切断材として、例えば、パワーデバイスに用いられる炭化ケイ素(SiC)や車載用LEDのベース材となる高純度アルミナ(Al2O3)や窒化アルミ(AlN)、LEDチップのベース材となるサファイア等、非常に硬度が高く、所謂難削材と称される材料の精密切断加工に特に適している。
すなわち、切断用ブレード100は、ビトリファイドボンド相10と、金属被覆ビトリファイドボンド相10Aと、を備えている。
金属被覆されていないビトリファイドボンド相10B(10)は、図3(B)に示すように、超砥粒20と、結合材30とを有し、超砥粒20が結合材30の架橋により分散され、多数(複数)の気孔50が形成された多孔質の三次元架橋構造に形成されている。
切断用ブレード100は、切断加工装置の主軸によって中心軸O回りに回転させられつつ、被切断材に対して中心軸Oに垂直な方向(具体的には、高さ方向であるZ方向)に移動させられる。これにより、切断用ブレード100のうちフランジよりも径方向外側に突出させられた外周縁部(切れ刃11A)で、被切断材を切断加工する。
また、中心軸Oに直交する方向を径方向という。径方向のうち、中心軸Oに接近する向きを径方向内方(径方向の内側)といい、中心軸Oから離間する向きを径方向の外側という。
また、中心軸O回りに周回する方向を周方向という。
側面12A、12Bは、中心軸O方向に間隔をおいて配置され、中心軸O方向を向く平坦な円形リング状の面をなしている。
外周面11は、側面12A、12Bの外周縁に沿って、中心軸O回りに周回する周方向に円形の面をなしている。円形孔表面13は、側面12A、12Bの内周縁に沿って、中心軸O回りに周回する周方向に円形の面をなし、切断用ブレード100の円形孔10Hを形成している。
金属被覆ビトリファイドボンド相10Aは、切断用ブレード100の側面12A、12B、外周面11、及び円形孔表面13から設定した厚さに形成されている。
また、金属被覆ビトリファイドボンド相10Aは、例えば、切断用ブレード100の外周面11から径方向の内側に厚さ20~100μmで形成され、超砥粒20及び結合材30の表面を被覆する。さらに、金属被覆ビトリファイドボンド相10Aは、例えば、切断用ブレード100の円形孔表面13から径方向外方に厚さ20~100μmで形成され、超砥粒20及び結合材30の表面を被覆する。
金属被覆膜40には、例えばダイヤモンド砥粒やCBN(立方晶窒化ホウ素)砥粒等の砥粒が分散されていてもよい。
本実施形態においては、金属被覆ビトリファイドボンド相10Aの側面12A、12B(12)からの厚さを20μm以上100μm以下に設定する例について説明するが、例えば、ブレード使用後、再びカッターセットをするときの通電性の観点から金属被覆ビトリファイドボンド相10Aの側面12A、12B(12)からの厚さを30μm以上100μm以下に設定することが好適である。
本実施形態においては、金属被覆ビトリファイドボンド相10Aの気孔率Poを0<Po≦20%に設定した例について説明するが、例えば、表面の滑らかさの観点から金属被覆ビトリファイドボンド相10Aの気孔率Poを0≦Po≦15%に設定することがより好適である。
本実施形態の切断用ブレード100の製造方法は、図5に示されるように、ビトリファイドボンド相形成工程(S1)と、金属被覆形成工程(S2)と、を備えている。
ビトリファイドボンド相形成工程(S1)では、ビトリファイドボンド相10の材料であるビトリファイド粉末及び超砥粒20を混合したものを金型にセットする。
そして、圧力を加えて円板状に成型し、この円板成形体を焼結する。これにより、図3(B)に示すような金属被覆膜40が形成されていない多数(複数)の気孔50を有し3次元架橋構造とされた多孔質体のビトリファイドボンド相10を形成する。
なお、ビトリファイドボンド相10に超砥粒20及びフィラーを分散させる場合には、上述の混合時において、ビトリファイド粉末、超砥粒20及びフィラーを混合する。
焼結は、上記円板成形体を焼結炉に入れて加熱することにより行う。
次に、金属被覆形成工程(S2)において、円板成形体の側面、外周面、及び円形孔表面から設定した厚さの範囲に、超砥粒20及び結合材30の表面に金属被覆膜40を形成して、図3(A)に示すような金属被覆ビトリファイドボンド相10Aを形成する。このとき、多孔質体の気孔50が可能な限り維持されていることが好適である。
具体的には、例えば、無電解めっき洋のプライマーとしてパラジウム(Pd)化合物(例えば、レッドシューマー(登録商標)日本カニゼン株式会社製)の3%水溶液に、ビトリファイドボンド相10の金属被膜形成予定部を浸漬して、ビトリファイドボンド相10の外表面から設定した領域(厚さ)にパラジウム化合物を付着させる。
その後、例えば、20%のNiめっき溶液(例えば、SE-680 日本カニゼン株式会社製)に、70℃~90℃で30秒~5分間浸漬して、超砥粒20及び結合材30の表面にNiめっき(金属被覆)を形成する。このとき、Niめっきは、パラジウム化合物が付着した領域に形成される。
その結果、図4に示すように、中心軸O方向内方に金属被覆されていないビトリファイドボンド相10B(10)が維持されたまま、側面12A、12B(12)から厚さLの設定した範囲に金属被覆ビトリファイドボンド相10Aが形成される。
金属被覆形成工程において、金属被覆膜40を形成することにより、切断用ブレード100が完成する。
また、金属被覆ビトリファイドボンド相10Aによって、切れ刃11Aの刃痩せを抑制することができる。
つまり、切れ刃11Aの刃先が、その断面視で径方向外側へ向けた凸V字状となるように摩耗進行する不具合を抑制できる。従って、切断の加工品位を良好に維持することができる。
例えば、上記実施形態においては、結合材がともに非導電性である場合について説明したが、いずれか一方又は双方が導電性材料で形成されていてもよい。
なお、ビトリファイドボンド相10として、非導電性とされた非導電性ビトリファイドボンド相で大きな効果が得られる。
また、外周面11、ない周面13からの厚さについても任意に設定することが可能である。
10A 金属被覆ビトリファイドボンド相
10B 金属被覆されていないビトリファイドボンド相
11 外周面
11A 切れ刃
12、12A、12B 側面
20 超砥粒(砥粒)
30 結合材
40 金属被覆膜
50 気孔
100 切断用ブレード
O 中心軸
Claims (4)
- 円板状をなし、切れ刃により被切断材を切断する切断用ブレードであって、
砥粒と、分散された砥粒を結合する結合材と、を有し、前記結合材が前記砥粒を三次元架橋構造により結合して形成された多孔質性を有するビトリファイドボンド相において前記砥粒と前記結合材とを被覆する金属被覆膜を備え、
前記ビトリファイドボンド相は、前記多孔質性を維持するように前記砥粒及び前記結合材が金属被覆膜で被覆された金属被覆ビトリファイドボンド相を有し、
前記金属被覆ビトリファイドボンド相は、前記切断用ブレードの中心軸方向の前記ビトリファイドボンド相の両側面に形成されており、前記ビトリファイドボンド相における前記金属被覆膜で被覆されていない部分が、前記切断用ブレードの中心軸方向において前記金属被覆ビトリファイドボンド相の間に配されている、ことを特徴とする切断用ブレード。 - 前記砥粒及び前記結合材は、非導電性であることを特徴とする、請求項1に記載の切断用ブレード。
- 前記金属被覆ビトリファイドボンド相は、前記中心軸方向における側面からの厚さが20μm以上100μm以下に形成されていることを特徴とする、請求項1又は2に記載の切断用ブレード。
- 前記金属被覆ビトリファイドボンド相は、前記両側面における気孔率Poが0≦Po≦20%である、請求項1~3のいずれか一項に記載の切断用ブレード。
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US20030154658A1 (en) | 2002-02-15 | 2003-08-21 | Salmon Stuart C. | Grinding wheel with titanium aluminum nitride and hard lubricant coatings |
JP2012086304A (ja) | 2010-10-19 | 2012-05-10 | Allied Material Corp | 超砥粒ホイールならびに成形体およびその加工方法 |
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