JP2005297374A - 圧電素子アクチュエータとその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 単結晶のシリコン基板1に、酸化シリコン膜層2、Pt下部電極3、圧電体厚膜4および上部Au電極5を順次積層形成する。シリコン基板1の背面側の圧電体厚膜4に対応する位置の部分のシリコン基板1が、ドライエッチングにより完全に除去され、酸化シリコン膜層2が露出して圧力室7が形成され、酸化シリコン膜層2およびPt下部電極が振動板6の役割をする。Pt下部電極3は、ガラスを含む厚膜電極3a、ガラスを含まない厚膜電極3bおよび薄膜電極の積層構造より構成し、シリコン基板1のエッチングをアルカリによるウエットエッチングにより行っても良い。
【選択図】図1
Description
2 酸化シリコン膜層
3 下部電極
4 圧電体厚膜
5 上部電極
6 振動板
7 圧力室
8 ノズル
9 ノズル板
10 インクジェットヘッド
Claims (4)
- 単結晶のシリコン基板に、酸化シリコン膜層、Pt下部電極、圧電体厚膜、及び上部Au電極が順次積層形成され、前記シリコン基板の背面側の前記圧電体厚膜に対応する位置の部分の前記シリコン基板が、エッチングにより完全に除去され、前記酸化シリコン膜層およびPt下部電極が振動板として機能することを特徴とする圧電素子アクチュエータ。
- 前記Pt下部電極は、ガラスを含む厚膜電極、ガラスを含まない厚膜電極、及び薄膜電極の積層構造より構成されたことを特徴とする請求項1記載の圧電素子アクチュエータ。
- 単結晶のシリコン基板に、酸化シリコン膜層、及びPt下部電極を順次積層形成し、圧電体厚膜に対応する位置の部分の前記シリコン基板を、前記酸化シリコン膜層が露出する程度にエッチングにより除去することを特徴とする圧電素子アクチュエータの製造方法。
- 前記Pt下部電極は、ガラスを含む厚膜電極、ガラスを含まない厚膜電極、及び薄膜電極の積層構造より構成し、前記シリコン基板のエッチングを、アルカリによるウエットエッチングにより行うことを特徴とする請求項3記載の圧電素子アクチュエータの製造方法。
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JP2004117467A JP2005297374A (ja) | 2004-04-13 | 2004-04-13 | 圧電素子アクチュエータとその製造方法 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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KR101113614B1 (ko) | 2009-12-15 | 2012-02-13 | 김성철 | 압전체 후막의 제조 방법 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1183500A (ja) * | 1997-07-09 | 1999-03-26 | Denso Corp | 角速度検出用振動子の製造方法 |
JPH11348285A (ja) * | 1998-06-10 | 1999-12-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | インクジェット記録装置とその製造方法 |
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2004
- 2004-04-13 JP JP2004117467A patent/JP2005297374A/ja active Pending
Patent Citations (2)
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