JP2005294091A - 非水電解質二次電池用電極 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】集電体と、前記集電体上に堆積され、電気化学的または化学的にリチウムを吸蔵・放出する活物質からなる薄膜とを備えた非水電解質二次電池用電極において、前記集電体は前記薄膜の堆積前に電子線照射を受けた表面を有する金属箔から構成される非水電解質二次電池用電極とする。
【選択図】なし
Description
本発明で用いる集電体の表面形状は、例えば、表面粗さRaおよび局部山頂の平均間隔Sで規定できる。表面粗さRaは、日本工業規格(JIS B 0601−1994)に定められた方法により表面形状測定器などを用いて測定できるが、本発明においては表面粗さRaの値は特に限定されない。集電体の材質は、銅および銅合金からなる群から選択された少なくとも1種類から構成された金属箔であることが特に好ましい。
図1は電子線照射から薄膜製造の工程を模式的に示す装置概略図である。図1に示すように、電子線照射は電子線照射装置10から、負極集電体である銅箔基板20に電子線を照射することによって行った。電子線照射装置10の対向面上を銅箔基板20が通過することにより、連続的に電子線照射処理を行うことが出来る。熱陰極への印加電圧は−2V〜−20kVとし、電子線のエミッション電流は0.02mA/cm2〜5mA/cm2の範囲とした。
集電体である銅箔基板20上にシリコン薄膜22を形成するために、本発明では蒸着法を用いた。シリコン薄膜22の厚みは4μmとした。蒸着のための蒸着成膜源40には電子ビームを使用し、概ね0.15μm/sでシリコン薄膜22を堆積させた。ガス導入前の真空度は5×10−3Paで、これにさらに水素ガスを微量導入して蒸着を行った。水素ガスの導入量は0.09Pa・m3/sとした。このシリコン薄膜22のラマン分光分析を行ったところ、520cm−1近傍のピークが検出されなかったことから、非晶質であることが分かった。一方、堆積速度を0.1μm/hrとし、円筒状ローラ15の温度を300℃とした場合のシリコン薄膜に対してラマン分光分析を行ったところ、520cm−1近傍のピークと480cm−1近傍のピークの両方が検出され、ピーク強度比(480cm−1近傍/520cm−1近傍)は0.4であった。従って、この条件で作成したシリコン薄膜は微結晶であることが分かった。
以下に、試験用扁平形電池(試験セル)の作製方法を図2の扁平形電池の縦断面図とともに説明する。
図1の電子線照射装置において、厚さ20μmの電解銅箔を集電体として用いた。この銅箔に対して10−3Paの真空中において、印加電圧は−50Vとし、電子線のエミッション電流は0.02mA/cm2として10分間電子線照射を行った。次に、この銅箔を用いて非晶質となる製膜条件下でシリコン薄膜を2μm堆積して電極を作製した。この電極を用いて電池を作製し、サイクル特性を測定して放電維持率が80%となるサイクル数を求めた。
図1の電子線照射装置において、水素ガスを導入して10−2Paの圧力となるように調整しながら電子線照射を行った。これ以外は、実施例1と同様にして放電維持率が80%となるサイクル数を求めた。
実施例1と同様の手法により銅箔に対して電子線照射を行った。次に、この銅箔を用いて微結晶となる製膜条件下でシリコン薄膜を2μm堆積して電極を作製した。この電極を用いて電池を作製し、サイクル特性を測定して放電維持率が80%となるサイクル数を求めた。
実施例2と同様の手法により得られた銅箔を用いて、実施例3と同様の条件でシリコン薄膜を作製した。この電極を用いて電池を作製し、サイクル特性を測定して放電維持率が80%となるサイクル数を求めた。
図1において、電子線照射装置の代わりにプラズマ源を設置し、ECRアルゴンプラズマを発生させ、マイクロ波電力200W、アルゴンガス分圧0.06Paで10分間、実施例1で用いた銅箔に対してプラズマ照射を行った。これ以外は、実施例1と同様の手法により電池を作製し、放電維持率が80%となるサイクル数を求めた。
比較例1で作製したプラズマ照射された銅箔を用い、実施例3と同様の手法によりシリコン薄膜を堆積させて電極とした。この電極を用いて、実施例1と同様の手法により電池を作製して放電維持率が80%となるサイクル数を求めた。
2 正極リード
3 負極
4 負極リード
5 セパレータ
6 枠体
7 電池ケース
8 封口板
10 電子線照射装置
11 巻き出しロール
12 搬送ロール
13 巻き取りロール
15 円筒状ローラ
20 銅箔基板
22 シリコン薄膜
30 真空槽
32 排気ポンプ
34 ガス導入管
36 マスク
40 蒸着成膜源
45 仕切り
Claims (6)
- 集電体と、前記集電体上に堆積され、電気化学的または化学的にリチウムを吸蔵・放出する活物質からなる薄膜とを備えた非水電解質二次電池用電極であって、前記集電体は前記薄膜の堆積前に電子線照射を受けた表面を有する金属箔から構成されている、非水電解質二次電池用電極。
- 前記金属箔は、前記薄膜の堆積前に真空中で電子線照射を受けた表面を有する、
請求項1に記載の非水電解質二次電池用電極。 - 前記金属箔は、前記薄膜の堆積前に還元性ガス雰囲気下で電子線照射を受けた表面を有する、
請求項1に記載の非水電解質二次電池用電極。 - 前記金属箔は、銅および銅合金からなる群から選択された少なくとも1種類から構成された、
請求項1から3のいずれかに記載の非水電解質二次電池用電極。 - 前記薄膜は、シリコン、ゲルマニウムおよび錫からなる群から選択された少なくとも1種類を有する、
請求項1から4のいずれかに記載の非水電解質二次電池用電極。 - 前記薄膜は、微結晶シリコンまたは非晶質シリコンから構成されている、
請求項1から4のいずれかに記載の非水電解質二次電池用電極。
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JP2004108829A JP2005294091A (ja) | 2004-04-01 | 2004-04-01 | 非水電解質二次電池用電極 |
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- 2004-04-01 JP JP2004108829A patent/JP2005294091A/ja active Pending
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