JP2005292083A - フォトセンサの感度分布測定方法および装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 フォトセンサの感度特性を詳細に把握する。
【解決手段】 感度分布測定装置２は、黒線２２および黒塗り領域２３を有する偏心円２０が検査面１１ａに描かれた検査板１１と、発光素子１０ａおよび受光素子１０ｂが配される配置面１０ｃが検査面１１ａに正対するように、フォトセンサ１０および検査板１１を保持するセンサホルダー１２、検査板ホルダー１３と、配置面１０ｃを検査面１１ａに対して回転させる第１ステッピングモータ１４と、検査板１１を等速度で回転させる第２ステッピングモータ１５と、第１ステッピングモータ１４を駆動して配置面１０ｃを複数回回転させ、回転させる毎に第２ステッピングモータ１５を駆動して、このときの受光素子１０ｂの出力信号を元に、２次元で表される感度分布Ｄ₂ を導出し、得られた複数の感度分布Ｄ₂ を合成して、３次元で表される感度分布Ｄ₃ を導出するホストコンピュータ１６とを備える。
【選択図】 図１

Description

本発明は、対象物に投光する発光素子と、対象物からの反射光を受光する受光素子とからなるフォトセンサの感度分布を測定する方法および装置に関する。

対象物に投光する発光素子と、対象物からの反射光を受光する受光素子とからなるフォトセンサは、例えば、写真プリンタなどで用いられるロール紙の巻き芯に形成された情報コードを読み取るためのセンサとして用いられている（特許文献１参照）。

フォトセンサを用いる場合には、最適な感度で使用するために、取り付け位置の調整や出力信号の電気的な補正が必要であった。このため、調整や補正作業に掛かる負担が大きくなり、製造コストの増大を招くおそれがあった。

上記問題を解決するために、受光素子からの出力信号を増幅するアンプと、アンプで得られた信号をデジタル信号に変換するＡ／Ｄ変換器と、デジタル信号値に基づいて受光素子の出力信号値を変化させるマイコンと、マイコンの制御に従って受光素子の出力信号値をアンプの前段で可変させる抵抗回路とを備えた光検出装置が提案されている（特許文献２参照）。

特開２００１−３１２６８８号公報 特開２００１−１７５７９９号公報

しかしながら、特許文献２に記載の光検出装置では、フォトセンサのＳ／Ｎ比は改善されるものの、フォトセンサの感度特性を詳細に把握しておらず、実際には感度が良くないところで使用していることもあり得るので、より精密且つ正確な検出が要求される用途には不向きである。

本発明は、上記課題を鑑みてなされたものであり、簡便な手法および構成で、フォトセンサの感度特性を詳細に把握することができるフォトセンサの感度分布測定方法および装置を提供することを目的とする。

上記目的を達成するために、本発明は、対象物に投光する発光素子と、対象物からの反射光を受光する受光素子とからなるフォトセンサの感度分布を測定する方法であって、前記対象物として、少なくとも２色のパターンが検査面に描かれた検査板を用い、前記発光素子および前記受光素子が配される前記フォトセンサの面が前記検査面に正対するように、前記フォトセンサおよび前記検査板を配置し、前記フォトセンサの面と前記検査面との位置関係を段階的に複数回変化させて、前記フォトセンサを前記検査板に対して等速度で相対的に移動させ、このときの前記受光素子の出力信号を元に、２次元で表される感度分布を導出し、これにより得られた複数の感度分布を合成して、３次元で表される感度分布を導出することを特徴とする。

なお、前記少なくとも２色のパターンは、白黒のパターンであることが好ましく、前記白黒のパターンは、白塗り領域に描かれた黒線、黒線と黒塗り領域、または黒点のうちのいずれかであることが好ましい。

前記黒線が描かれた検査板を用いた場合、前記黒線の通過時に取得した前記出力信号と前記位置関係とから、前記フォトセンサの面における感度が最大となる点、および感度分布の幅を求め、これらに基づいて前記２次元で表される感度分布を導出する。

また、前記黒線と前記黒塗り領域とが描かれた検査板を用いた場合、前記黒線の通過時に取得した前記出力信号と前記位置関係とから、前記フォトセンサの面における感度が最大となる点を求めるとともに、前記黒塗り領域の通過時に取得した前記出力信号と前記位置関係とから、前記フォトセンサの面における感度分布の幅を求め、これらに基づいて前記２次元で表される感度分布を導出する。

なお、前記３次元で表される感度分布を表示することが好ましい。

また、本発明は、対象物に投光する発光素子と、対象物からの反射光を受光する受光素子とからなるフォトセンサの感度分布を測定する装置であって、前記対象物として用いられ、少なくとも２色のパターンが検査面に描かれた検査板と、前記発光素子および前記受光素子が配される前記フォトセンサの面が前記検査面に正対するように、前記フォトセンサおよび前記検査板を保持するホルダーと、前記フォトセンサの面と前記検査面との位置関係を段階的に変化させる変位手段と、前記フォトセンサを前記検査板に対して等速度で相対的に移動させる移動手段と、前記変位手段を駆動して前記位置関係を複数回変化させ、変化させる毎に前記移動手段を駆動して、このときの前記受光素子の出力信号を元に、２次元で表される感度分布を導出し、これにより得られた複数の感度分布を合成して、３次元で表される感度分布を導出する制御手段とを備えたことを特徴とする。

なお、前記少なくとも２色のパターンは、白黒のパターンであることが好ましく、前記白黒のパターンは、白塗り領域に描かれた黒線、黒線と黒塗り領域、または黒点のうちのいずれかであることが好ましい。

前記黒線が描かれた検査板を用いた場合、前記制御手段は、前記黒線の通過時に取得した前記出力信号と前記位置関係とから、前記フォトセンサの面における感度が最大となる点、および感度分布の幅を求め、これらに基づいて前記２次元で表される感度分布を導出する。

また、前記黒線と前記黒塗り領域とが描かれた検査板を用いた場合、前記制御手段は、前記黒線の通過時に取得した前記出力信号と前記位置関係とから、前記フォトセンサの面における感度が最大となる点を求めるとともに、前記黒塗り領域の通過時に取得した前記出力信号と前記位置関係とから、前記フォトセンサの面における感度分布の幅を求め、これらに基づいて前記２次元で表される感度分布を導出する。

なお、前記３次元で表される感度分布を表示する表示手段を備えることが好ましい。

本発明のフォトセンサの感度分布測定方法および装置によれば、対象物として、少なくとも２色のパターンが検査面に描かれた検査板を用い、発光素子および受光素子が配されるフォトセンサの面が検査面に正対するように、フォトセンサおよび検査板を配置し、フォトセンサの面と検査面との位置関係を段階的に複数回変化させて、フォトセンサを検査板に対して等速度で相対的に移動させ、このときの受光素子の出力信号を元に、２次元で表される感度分布を導出し、これにより得られた複数の感度分布を合成して、３次元で表される感度分布を導出するので、簡便な手法および構成で、フォトセンサの感度特性を詳細に把握することができる。したがって、感度特性に応じてフォトセンサの選別を行うことが可能となり、また、より精密且つ正確な検出が要求される用途などに利用範囲が広がるので、フォトセンサ自体の製品価値を高めることができる。

図１において、本発明を適用したフォトセンサの感度分布測定装置２は、フォトセンサ１０、検査板１１がそれぞれ回転可能に取り付けられるセンサホルダー１２、検査板ホルダー１３と、これらのホルダー１２、１３に内蔵され、フォトセンサ１０、検査板１１を各々回転させるための第１、第２ステッピングモータ１４、１５と、感度分布測定装置２の全体を統括的に制御するホストコンピュータ１６とから構成される。

フォトセンサ１０は、検査板１１の検査面１１ａに投光する発光素子１０ａと、検査板１１からの反射光を受光する受光素子１０ｂとからなる。このフォトセンサ１０は、受光素子１０ｂで取得した出力信号をホストコンピュータ１６に送信する。

第１、第２ステッピングモータ１４、１５は、ホストコンピュータ１６から送信される制御命令により駆動制御される。第１ステッピングモータ１４は、発光素子１０ａおよび受光素子１０ｂが配されるフォトセンサ１０の面（以下、配置面と略記する。）１０ｃを、検査面１１ａに対して所定角度、例えば４５°毎に回転させる。第２ステッピングモータ１５は、検査板１１をフォトセンサ１０に対して等速度で図中矢印方向（反時計方向）に回転させる。

ホストコンピュータ１６は、第１、第２ステッピングモータ１４、１５に制御命令を送信するとともに、フォトセンサ１０の受光素子１０ｂからの出力信号を受信する。このホストコンピュータ１６は、キーボードやマウス、モニタ１６ａなどを備えており、受光素子１０ｂからの出力信号の波形や、測定したフォトセンサ１０の感度分布などをモニタ１６ａに表示することが可能となっている。

図２に示すように、検査板１１は、半径Ｒ１、回転中心Ｏ１の円板からなり、検査面１１ａには偏心円２０が描かれている。偏心円２０は、回転中心Ｏ１を通る弦２１上の、回転中心Ｏ１から偏心量Ｅだけずれた位置に中心Ｏ２を持ち、半径Ｒ２＝Ｒ１−Ｅを有する検査板１１の内接円である。この偏心円２０の弦２１で分割される上半分は、弦２１の弧を形成する黒線２２、下半分は、黒く塗り潰された黒塗り領域２３から構成され、他の部分は白塗り領域２４となっている。なお、弦２１は、検査板１１の回転基準位置を検出するために、検査板１１を半回転させたときの目印として機能する。

図中点線で示すように、各ホルダー１２、１３は、配置面１０ｃが、検査面１１ａに正対するように、且つ、検査板１１を一回転させたときに、黒線２２、白塗り領域２４、弦２１、白塗り領域２４、黒塗り領域２３、白塗り領域２４の順に、フォトセンサ１０が検査板１１に対して相対的に移動するように、フォトセンサ１０および検査板１１を保持している。

次に、上記構成を有する感度分布測定装置２を用いて、フォトセンサ１０の感度分布を測定する手順について、図３〜図８を参照して説明する。まず、感度分布を測定するフォトセンサ１０をセンサホルダー１２に取り付け、各ホルダー１２、１３を所定の位置に配置した後、検査面１１ａ上に投影した配置面１０ｃの中心Ｏ３と、検査板１１の回転中心Ｏ１との距離Ｌsens（図３参照）を測定する。

Ｌsensの測定後、ホストコンピュータ１６により、第２ステッピングモータ１５を駆動して、検査板１１をフォトセンサ１０に対して等速度で図中矢印方向（反時計方向）に一回転させる。このとき、検査面１１ａ上に投影した配置面１０ｃの中心Ｏ３は、図３に一点鎖線で示すような軌跡３０を描く。

軌跡３０は、検査板１１の回転中心Ｏ１を中心として、Ｌsensを半径とする円であり、検査面１１ａ上に投影した配置面１０ｃの半分が黒塗り領域２３に掛かる点ａから、配置面１０ｃが黒塗り領域２３から離れて白塗り領域２４に包含される点ｂ、配置面１０ｃの一部が黒線２２に掛かり始める点ｃ、配置面１０ｃの中心Ｏ３が黒線２２と交わる点ｄ、配置面１０ｃが黒線２２から離れて白塗り領域２４に包含される点ｅ、配置面１０ｃの中心Ｏ３が弦２１と交わる点ｆを通って半周し、配置面１０ｃが白塗り領域２４から黒塗り領域２３に掛かり始める点ｇ、配置面１０ｃの中心Ｏ３が黒塗り領域２３と白塗り領域２４との境界線２５と交わる点ｈ、配置面１０ｃが黒塗り領域２３に包含される点ｉ、点ｊを順に通って、再び点ａに戻る。

上記のような軌跡３０に沿って移動するフォトセンサ１０の受光素子１０ｂの出力信号は、図４に模式的に示すような波形となる。すなわち、検査面１１ａ上に投影した配置面１０ｃの半分が黒塗り領域２３に掛かる点ａ付近では、Ｈｉｇｈ信号（白塗り領域２４検出時）とＬｏｗ信号（黒塗り領域２３検出時）との中間の信号レベル（５０％）をとり、配置面１０ｃが黒塗り領域２３から離れて白塗り領域２４に包含される点ｂ付近から、配置面１０ｃの一部が黒線２２に掛かり始める点ｃ付近までは、白塗り領域２４の通過によりＨｉｇｈ信号をとる。そして、点ｃ付近から配置面１０ｃの中心Ｏ３が黒線２２と交わる点ｄ付近までは、黒線２２の通過により出力がＨｉｇｈ信号から落ち込み、点ｄ付近で感度が最大となる。

点ｄ付近から配置面１０ｃが黒線２２から離れて白塗り領域２４に包含される点ｅ付近までは、黒線２２の通過により出力が立ち上がり、点ｅ付近で再びＨｉｇｈ信号をとる。配置面１０ｃの中心Ｏ３が弦２１と交わる点ｆ付近では、弦２１の通過により出力がＨｉｇｈ信号から鋭く落ち込んで立ち上がり、検査板１１がフォトセンサ１０に対して半回転したことを示す。

次いで、点ｆ付近から配置面１０ｃが白塗り領域２４から黒塗り領域２３に掛かり始める点ｇ付近までは、白塗り領域２４の通過によりＨｉｇｈ信号をとり、点ｇ付近から配置面１０ｃが黒塗り領域２３に包含される点ｉ付近までは、黒塗り領域２３の通過によりＨｉｇｈ信号からＬｏｗ信号へと出力が落ち込み、配置面１０ｃの中心Ｏ３が黒塗り領域２３と白塗り領域２４との境界線２５と交わる点ｇと点ｉとの間の点ｈ付近で再び感度が最大となる。点ｉから点ｊまでは、黒塗り領域２３の通過によりＬｏｗ信号をとり、点ａ付近で再び５０％の信号レベルをとる。

図５に示すように、ホストコンピュータ１６は、フォトセンサ１０の感度が最大となる配置面１０ｃ上の点Ｐ１（感度最大点、図７参照）を検査面１１ａ上に投影した黒線２２上の点Ｑ１（図４において、受光素子１０ｂの出力が最も落ち込む点ｄ付近に存在する。）と、検査板１１の回転中心Ｏ１との距離Ｌmax を、次式より算出する。
Ｌmax ＝Ｅcos θ＋｛（Ｒ２）² −（Ｅsin θ）² ｝^0.5

ここで、角度θ（単位rad ）は、弦２１と、点Ｑ１と検査板１１の回転中心Ｏ１を結ぶ線とのなす角であり、この角度θは、図４に示すように、受光素子１０ｂの出力が５０％となる点ａ付近の点から点Ｑ１に至るまでの測定時間Ｔ１と、点Ｑ１から点ｆ付近の点に至るまでの測定時間Ｔ２とにより、次式で表される。
θ＝πＴ１／（Ｔ１＋Ｔ２）

ホストコンピュータ１６は、フォトセンサ１０を元の状態から９０°回転させたときのＬmax と、元の状態のときのＬmax とから、点Ｑの２次元的な位置を把握する。そして、この算出した２つのＬmax とＬsensとの関係から、配置面１０ｃ上の感度最大点Ｐ１を求める。

配置面１０ｃの中心Ｏ３が点ｈ付近を通過して、フォトセンサ１０の感度が再び最大となったときに、感度最大点Ｐ１を検査面１１ａ上に投影した、黒塗り領域２３と白塗り領域２４との境界線２５上の点Ｑ１’（点ｈ付近に存在する。）は、検査板１１と偏心円２０との対称性から、弦２１を対称軸として点Ｑ１と対称な位置にある。言い換えれば、この点Ｑ１’は、検査板１１の回転中心Ｏ１を中心として、半径をＬmax とする円が、偏心円２０の黒塗り領域２３と白塗り領域２４との境界線２５と交わる点であり、点ｆから見ると、時計方向にπ−θの位置にある。当然ながら、点ｆ付近の点から点Ｑ１’に至るまでの測定時間は、点Ｑ１から点ｆ付近の点に至るまでの測定時間Ｔ２となる。

ホストコンピュータ１６は、フォトセンサ１０の感度分布の両端点Ｐ２、Ｐ３（図７参照）を検査面上に投影した、黒塗り領域２３と白塗り領域２４との境界線２５上にある点Ｑ２、Ｑ３（図４において、受光素子１０ｂの出力がＨｉｇｈ信号から落ち込み始める点ｇ付近と、Ｌｏｗ信号をとり始める点ｉ付近に存在する。）と、検査板１１の回転中心Ｏ１との距離Ｌmin １およびＬmin ２を、次式より算出する。
Ｌmin １＝｛（Ｒ２）² −（Ｅsin φ）² ｝^0.5 −Ｅcos φ
Ｌmin ２＝｛（Ｒ２）² −（Ｅsin δ）² ｝^0.5 −Ｅcos δ

ここで、角度φ（単位rad ）は、弦２１と、点Ｑ２と検査板１１の回転中心Ｏ１を結ぶ線とのなす角であり、この角度φは、図４に示すように、点ｆ付近の点から点Ｑ２に至るまでの測定時間Ｔ３と、点ｆ付近の点から点Ｑ１’に至るまでの測定時間Ｔ２とにより、次式で表される。
φ＝（π−θ）Ｔ３／Ｔ２

また、角度δ（単位rad ）は、弦２１と、点Ｑ３と検査板１１の回転中心Ｏ１を結ぶ線とのなす角であり、この角度δは、図４に示すように、点ｆ付近の点から点Ｑ３に至るまでの測定時間Ｔ４と、点ｆ付近の点から点Ｑ１’に至るまでの測定時間Ｔ２とにより、次式で表される。
δ＝（π−θ）Ｔ４／Ｔ２

ホストコンピュータ１６は、求めたＬmin １、Ｌmin ２とＬmax との差分（Ｌmin １−Ｌmax 、Ｌmax −Ｌmin ２）から、フォトセンサ１０の感度分布の幅Ｗ（図７も参照）を求める。そして、求めたＬsens、Ｌmax 、Ｌmin １、Ｌmin ２、およびＷと、受光素子１０ｂの出力とに基づいて、図６の下段に示すような２次元で表される感度分布Ｄ₂ を導出する。なお、下段のグラフの横軸は、点ｈ付近で感度が最大となったときの受光素子１０ｂの出力を１とした規格化感度を表す。

ホストコンピュータ１６は、第１ステッピングモータ１４を駆動して、配置面１０ｃを検査面１１ａに対して４５°毎に回転させ、その都度第２ステッピングモータ１５を駆動して、検査板１１をフォトセンサ１０に対して等速度で図中矢印方向（反時計方向）に一回転させ、上記と同様の手順で感度分布Ｄ₂ を導出する。ホストコンピュータ１６は、第１ステッピングモータ１４に与える駆動パルス数を管理して、配置面１０ｃと検査面１１ａとの位置関係が元の状態に戻るまで、上記の処理を繰り返し行う。そして、これにより得られた７つの感度分布Ｄ₂ を合成し、図７に示す３次元で表される感度分布Ｄ₃ を導出する。

上記のように、検査板１１を等速度で一回転させて、このときの受光素子１０ｂの出力信号を取得し、この処理を配置面１０ｃを検査面１１ａに対して複数回回転させて繰り返し行うだけで、フォトセンサ１０の３次元で表される感度分布Ｄ₃ を容易に導出することができる。これにより、フォトセンサ１０の使用時には、この感度分布Ｄ₃ を考慮して、感度最大点Ｐ１の位置に検出する対象物を配置することで、フォトセンサ１０の性能をフルに活用した最高の精度で検出を行うことができる。

上記実施形態では、黒線２２および黒塗り領域２３を有する偏心円２０が描かれた円板状の検査板１１を用いているが、回転中心Ｏ１を有し、偏心円２０が描かれていればよく、検査板１１の形状は特に限定されない。

また、図９に示すような検査板４０を用いてもよい。検査板４０は、正方形状に形成されており、中心Ｏ４から上側の辺の中点に黒線４１が引かれ、左下の１／４の部分が黒塗り領域４２、その他の部分は白塗り領域４３となっている。この場合、図中一点鎖線で示す軌跡４４に沿って配置面１０ｃの中心Ｏ３が移動するように、フォトセンサ１０または検査板４０を等速度で移動させ、上記実施形態と同様に、このときの受光素子１０ｂの出力信号、および検査板４０の中心Ｏ４と配置面１０ｃの中心Ｏ３との位置関係から２次元で表される感度分布Ｄ₂ を導出し、配置面１０ｃを検査面４０ａに対して回転させて、回転させる毎に感度分布Ｄ₂ を導出していき、得られた複数の感度分布Ｄ₂ を合成して、３次元で表される感度分布Ｄ₃ を導出する。なお、図中の点ａ’〜ｊ’は、上記実施形態における点ａ〜ｊに対応している。また、符号４５は、上記実施形態の弦２１と同様に、軌跡４４を半周したことを示す指標として機能する。

なお、より詳細な感度分布Ｄ₃ が要求される場合は、検査面１１ａに対する配置面１０ｃの回転角度を、例えば５°毎などに設定すればよい。逆に、点Ｐ２〜点Ｐ１、点Ｐ１〜点Ｐ３までの感度分布の勾配特性が比較的粗野であっても十分な場合は、黒線２２のみを通過させて、このときの受光素子１０ｂの出力信号（図４において、点ｃ付近から点ｅ付近まで）、および配置面１０ｃと検査面１１ａとの位置関係とから、２次元で表される感度分布Ｄ₂ を導出してもよい。

また、図１０に示すような検査板５０を用いてもよい。検査板５０は、中心Ｏ５に黒点５１を有し、他の部分は白塗り領域５２となっている。この場合、図中一点鎖線で示す軌跡５３の横方向に、ΔＸの分だけ配置面１０ｃの中心Ｏ３が移動するように、フォトセンサ１０または検査板５０を等速度で移動させ、このときの受光素子１０ｂの出力信号から２次元で表される感度分布Ｄ₂ を導出する。これを軌跡５３の縦方向にΔＹの分だけフォトセンサ１０または検査板５０をずらす毎に行って複数の感度分布Ｄ₂ を導出し、これらを合成して３次元で表される感度分布Ｄ₃ を導出する。なお、黒点５１のサイズとしては、受光素子１０ｂの出力信号が解析可能なレベルとなるようにすることが好ましい。

上記実施形態では、白黒のパターンが描かれた検査板１１、４０、５０を例に挙げて説明したが、必ずしも白黒のパターンでなくともよく、少なくとも２色のパターンが検査板に描かれていればよい。

本発明を適用したフォトセンサの感度分布測定装置の概略構成を示す図である。 検査板の構成を示す平面図である。 フォトセンサの配置面の中心が検査板上に描く軌跡を示す説明図である。 検査板を一回転させたときの受光素子の出力信号の波形を示すグラフである。 感度最大点および感度の幅を求める際に参照するＬmax 、Ｌmin １、Ｌmin ２を示す説明図である。 受光素子の出力信号の波形の後半部分、および２次元で表される感度分布Ｄ₂ を示すグラフである。 ３次元で表される感度分布Ｄ₃ を示すグラフである。 感度分布を測定する際の処理手順を示すフローチャートである。 検査板の別の実施形態を示す図である。 検査板のさらに別の実施形態を示す図である。

符号の説明

２ 感度分布測定装置
１０ フォトセンサ
１０ａ 発光素子
１０ｂ 受光素子
１０ｃ 配置面
１１、４０、５０ 検査板
１１ａ、４０ａ、５０ａ 検査面
１２ センサホルダー
１３ 検査板ホルダー
１４、１５ 第１、第２ステッピングモータ
１６ ホストコンピュータ
１６ａ モニタ
２０ 偏心円
２１ 弦
２２、４１ 黒線
２３、４２ 黒塗り領域
２４、４３、５２ 白塗り領域
２５、４４、５３ 軌跡
５１ 黒点

Claims (12)

1. 対象物に投光する発光素子と、対象物からの反射光を受光する受光素子とからなるフォトセンサの感度分布を測定する方法であって、
   前記対象物として、少なくとも２色のパターンが検査面に描かれた検査板を用い、
   前記発光素子および前記受光素子が配される前記フォトセンサの面が前記検査面に正対するように、前記フォトセンサおよび前記検査板を配置し、
   前記フォトセンサの面と前記検査面との位置関係を段階的に複数回変化させて、
   前記フォトセンサを前記検査板に対して等速度で相対的に移動させ、
   このときの前記受光素子の出力信号を元に、２次元で表される感度分布を導出し、
   これにより得られた複数の感度分布を合成して、３次元で表される感度分布を導出することを特徴とするフォトセンサの感度分布測定方法。
2. 前記少なくとも２色のパターンは、白黒のパターンであることを特徴とする請求項１に記載のフォトセンサの感度分布測定方法。
3. 前記白黒のパターンは、白塗り領域に描かれた黒線、黒線と黒塗り領域、または黒点のうちのいずれかであることを特徴とする請求項２に記載のフォトセンサの感度分布測定方法。
4. 前記黒線が描かれた検査板を用いた場合、
   前記黒線の通過時に取得した前記出力信号と前記位置関係とから、前記フォトセンサの面における感度が最大となる点、および感度分布の幅を求め、これらに基づいて前記２次元で表される感度分布を導出することを特徴とする請求項３に記載のフォトセンサの感度分布測定方法。
5. 前記黒線と前記黒塗り領域とが描かれた検査板を用いた場合、
   前記黒線の通過時に取得した前記出力信号と前記位置関係とから、前記フォトセンサの面における感度が最大となる点を求めるとともに、
   前記黒塗り領域の通過時に取得した前記出力信号と前記位置関係とから、前記フォトセンサの面における感度分布の幅を求め、これらに基づいて前記２次元で表される感度分布を導出することを特徴とする請求項３に記載のフォトセンサの感度分布測定方法。
6. 前記３次元で表される感度分布を表示することを特徴とする請求項１ないし５のいずれかに記載のフォトセンサの感度分布測定方法。
7. 対象物に投光する発光素子と、対象物からの反射光を受光する受光素子とからなるフォトセンサの感度分布を測定する装置であって、
   前記対象物として用いられ、少なくとも２色のパターンが検査面に描かれた検査板と、 前記発光素子および前記受光素子が配される前記フォトセンサの面が前記検査面に正対するように、前記フォトセンサおよび前記検査板を保持するホルダーと、
   前記フォトセンサの面と前記検査面との位置関係を段階的に変化させる変位手段と、
   前記フォトセンサを前記検査板に対して等速度で相対的に移動させる移動手段と、
   前記変位手段を駆動して前記位置関係を複数回変化させ、変化させる毎に前記移動手段を駆動して、このときの前記受光素子の出力信号を元に、２次元で表される感度分布を導出し、
   これにより得られた複数の感度分布を合成して、３次元で表される感度分布を導出する制御手段とを備えたことを特徴とするフォトセンサの感度分布測定装置。
8. 前記少なくとも２色のパターンは、白黒のパターンであることを特徴とする請求項７に記載のフォトセンサの感度分布測定装置。
9. 前記白黒のパターンは、白塗り領域に描かれた黒線、黒線と黒塗り領域、または黒点のうちのいずれかであることを特徴とする請求項８に記載のフォトセンサの感度分布測定装置。
10. 前記黒線が描かれた検査板を用いた場合、
    前記制御手段は、前記黒線の通過時に取得した前記出力信号と前記位置関係とから、前記フォトセンサの面における感度が最大となる点、および感度分布の幅を求め、これらに基づいて前記２次元で表される感度分布を導出することを特徴とする請求項９に記載のフォトセンサの感度分布測定装置。
11. 前記黒線と前記黒塗り領域とが描かれた検査板を用いた場合、
    前記制御手段は、前記黒線の通過時に取得した前記出力信号と前記位置関係とから、前記フォトセンサの面における感度が最大となる点を求めるとともに、
    前記黒塗り領域の通過時に取得した前記出力信号と前記位置関係とから、前記フォトセンサの面における感度分布の幅を求め、これらに基づいて前記２次元で表される感度分布を導出することを特徴とする請求項９に記載のフォトセンサの感度分布測定装置。
12. 前記３次元で表される感度分布を表示する表示手段を備えたことを特徴とする請求項７ないし１１のいずれかに記載のフォトセンサの感度分布測定装置。

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