JP2001503598A - 光学的位置測定装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 本発明は、特に互いに移動可能な２つの駆動ユニットを有する、精密な位置決め駆動装置用の光学的位置測定装置であって、両駆動ユニットは一体的な構成部分として測定目盛を有するものに関する。光学的位置測定装置は、他方の駆動ユニットと接続していて位置に依存する出力信号を発生するための走査ユニットによって走査可能である。目盛は、直接的又は間接的に、少なくとも駆動ユニットの平坦な表面の部分領域上に配設されており、それによって両駆動ユニットの間の距離が、両駆動ユニットの共働において、両駆動ユニットの間の特定された相対運動が可能となるように設定される。

Description

【発明の詳細な説明】 光学的位置測定装置 本発明は、特に正確な位置決め駆動装置と関連して使用可能な、光学的位置測 定装置に関する。 半導体製造において、種々の構成部分の正確な相対位置決めのために、度々駆 動装置として種々の構造形式のリニアモータが使用され、可能な使用領域は、ウ エハ処理又はいわゆるウエハ試験である。その際可動構成部分は、一次元のみな らず、二次元においても位置決めされるべきである場合、相異なる座標方向にお ける各移動が検出されるために使用される測定システムへの特定の要求が生じる 。２つの座標方向における移動運動の検出の他に、そのために度々所定の軸線の まわりでの位置決めされるべき構成部分の回動運動を検出することが必要である 。この際各移動位相のために米国特許第４６５４５７１号明細書から、別個の干 渉計を設けることが公知である。制限された測定範囲、測定光路の遮断等につい ての問題の他に、目下のところ干渉計の高いコストに基づいて、比較的大きな出 費が生じる。 その他に、この際使用されるリニアモータで通常は存在するステータユニット の周期的構造を、駆動運動の発生以外に測定目的にも利用するという付加的問題 が存在する。使用されるリニアモータの構成に従って、この構造では、二次元に 配設された歯状の軟鉄構造又は相異なる又は同一極性の周期的に配設された永久 磁石が対象とされ得る。移動に依存して変調される走査信号を発生させるために 、この構造を磁界感応要素又は相応した線輪構造によって走査することが公知で ある。その際駆動運動の発生のために使用される周期的構造は、２〜３ｎｍのオ ーダの最小のピッチ周期を有する。生じた走査信号について、精密使用のために 時々不十分に達成可能な最大の分解能が得られる。測定精度又は分解能を高める ために、従って、可動駆動ユニットの間に、測定目盛を上に付けられる公知のガ ラス目盛板を配置すること、即ち例えばそのような駆動装置に、市販のクロス格 子測定システムを内蔵することが提案される。クロス格子測定目盛に対して相対 的に移動可能な駆動ユニットには１つ又は複数の好適な走査ユニットが配設され ており、その走査ユニットを介して測定目盛の光学的走査及び関連する回動角を 含む位置の相応した決定が公知の方法で行われることができる。原理的にはその ように精密使用でも位置決めの際の充分な分解能が達成される、そのわけは明ら かにｎｍ範囲に位置する目盛周期をもったそのようなクロス格子が製造されるこ とができるからである。しかし周期的な軟鉄構造を有するステップモータの場合 に、達成可能な推力は敏感にステータと可動駆動ユニット又はロータとの間の距 離に依存する。互いに移動可能な両駆動ユニットの間の所定の距離を越えた場合 、駆動運動の発生は最早不可能である。このことは、市販のクロス格子測定シス テムの２〜３ｍｍの厚さの前記ガラス目盛板がステップモータの両可動ユニット の間に配設された場合である。 本発明の課題は、特に種々の要素の精密位置決め駆動装置と関連してこれらの 要素の相対位置の正確な決定を可能にするための光学的位置測定装置を案出する ことである。各型の駆動装置の機能方法は、その際追加の位置測定装置によって 影響されるべきではない。このためにそのような位置測定装置のできる限り簡単 な構造が要求される。 この課題は、請求項１に記載の特徴を有する光学的位置測定装置によって解決 される。 本発明による光学的測定装置の有利な実施形態は、従属請求項中の措置から得 される。 相対的に互いに移動可能な両駆動ユニットの一方と一体的な構成部分としての 測定目盛の形状に基づいて、両駆動ユニットの間の距離が、特定された相対運動 の発生のために両駆動ユニットの高い効率をもった共働が可能であるように選択 されることができる。それによって比較的距離に敏感に作動するステップモータ の機能も保証される。例えば軟鉄ステータを備えたステップモータも、その機能 方法を損なうことなしに、本発明による光学的位置測定装置と交換されることが できる。μｍ領域の目盛周期を有する光学的測定目盛が使用される場合、同時に 位置測定装置では所望の高い分解能が確保される。 付設の測定目盛を備えた駆動ユニットの構成に関して本発明によれば、種々雑 多の可能性が存在する。例えば測定目盛は、直接駆動装置−ステータユニットの 平坦な表面上又はその目盛領域に配設されることができる。駆動装置−ステータ ユニットの平坦な表面上に配設された目盛板上に測定目盛を付けることも可能で ある。一連の種々の実施バリエーションは、従属請求項に記載されている。 その際本発明による光学的位置測定装置は、一次元走行運動の測定のためにも 一平面内の位置決め機能における走行運動及び又は回動運動の特定のためにも使 用されることができる。特に一平面における位置決め機能の場合に、互いに移動 可能に配設された駆動ユニットの間に空気軸受を設けることが有利であることが 実証され、その結果摩擦のない位置決めが可能である。 請求項１２による有利な実施形態は、本発明により構成される複数の駆動装置 −ステータユニットが、互いに直接隣接して配設されかつ走査が、共通のスライ ダに配設された２つの別個の走査ユニットを介して実施される場合に得られる。 本発明による位置測定装置のそのような実施形態は、それによって大きな走行運 動も検出されることができかつ同時に比較的コンパクトな駆動装置−ステータユ ニットしか必要としない限り好適であることが実証される。基本的には駆動装置 −ステータユニットのそのように変形された構成では互いに境を接する駆動装置 −ステータユニットの突き当て個所に対する所定の要求が充足される場合に、単 一の走査ユニットのみが設けられることができる。 本発明による光学的位置測定装置の他の利点並びに詳細は、図面に基づく実施 例の次の記載から得られる。即ち、 図１ａは、本発明による光学的位置測定装置の図式的に表された第１実施形態 を破断して示す平面図である。 図１ｂは、図１ａの本発明による位置測定装置の側面断面図である。 図２は、本発明による光学的位置測定装置の駆動装置−ステータユニットを図 式的に表した第２実施形態の側面断面図である。 図３ａ及び図３ｂは、本発明による光学的位置測定装置の駆動装置−ステータ ユニットの第３実施形態の２つの図である。 図４は、互いに突き当てられた不動の駆動装置ユニットを備えた本発明による 位置測定装置の他のバリエーションを表わす図である。 本発明による光学的位置測定装置の第１実施形態は、図式的表示により図１ａ に部分的に示されている。図１ａに記入された切断線に沿うこの第１実施例の側 面断面図を図１ｂが示す。その際本発明による光学的位置測定装置の図示の実施 例が、一平面内で互いに相対的に移動可能な構成要素の正確な位置決めのために 、例えば半導体製造に使用されることができる駆動装置と関連して示されている 。この際駆動装置は、不動の駆動ユニット、即ち駆動装置−ステータユニット１ と、これに対して可動的な駆動ユニット２とを有するステップモータとして形成 されている。有利な実施形態において、可動駆動ユニット２は、好適な空気軸受 を介して駆動装置−ステータユニット１上に摩擦なしに支承されている。駆動装 置−ステータユニット１は、更にこの実施例において軟鉄ステータとして形成さ れており、軟鉄ステータは、基体５上に立方体状の隆起６とこれらの間に位置す る凹部９とを備えた立体的に構成された領域を有する。駆動運動の発生のために 、可動駆動ユニット２は、図示しない複数の励磁線輪を有し、励磁線輪は、公知 の方法で制御され、即ち励磁線輪の時間的に特定された励起を介してｘｙ平面内 での可動駆動ユニット２のステップ状の位置決めが可能である。このために可動 駆動ユニット２は、接続導線を介して好適に形成された制御及び評価ユニット３ と接続している。ｘｙ平面内での可動駆動ユニット２の所望の、高い分解能をも った位置決めのために、この実施例において移動に依存した走査信号を発生する 光学的位置測定装置が設けられている。その際公知の方法で形成され、可動駆動 ユニット２の側面に配設された１つ又は複数の走査ユニットによって、駆動装置 −ステータユニット１に付設された測定目盛８が走査される。図１a及び１ｂの 表示中、可動駆動ユニット２の側面に単一の走査ユニット１０のみが認められる が、可動駆動ユニット２が垂直軸線のまわりに回動されることができる角度φの 決定も含めてｘｙ平面内の移動の検出の完全のために、そのような３つの走査ユ ニットが設けられている。各走査ユニット１０は、この目的のために光源１１並 びに少なくとも１つのオプトロニック検出要素１２を有し、オプトロニック検出 要素１２は、測定目盛８から反射する光を受光する。走査ユニット１０の構成に 関して、追加の好適な送信光学系、走査格子、複数の好適に接続された検出機要 素等を設ける多くの公知の可能性が存在する。反射光又は照明光によって走査さ れる測定目盛８は、図示の可動駆動ユニット２の二次元移動の場合のクロス格子 として形成されており、クロス格子は公知の方法でインクリメンタル位置情報の 取得のために走査される。測定目盛８の目盛周期は、光学的走査の場合に既に述 べたように、例えば他の走査原理を介して位置情報を取得するために走査される ことができる立方体状の隆起６の周期よりも明らかに小さい。測定目盛８の意味 のある目盛周期は、１〜１００μｍの範囲に位置する。形成される走査信号の１ ００重の補間の場合、それによって０．０１〜１μｍの位置特定の場合に可能な 分解能が得られる。 勿論次に説明する本発明による光学的位置測定装置の構成は、二次元における 移動の図示の場合に制限されない、即ち、一次元における位置決めのみを可能に する類似したリニアステップモータをも備える。この場合、例えば前記空気軸受 機構は不要にされることができかつ可動駆動部分の別個の案内が設けられること もできる。測定目盛としては、この場合測定方向に周期的な目盛構造の配列を備 えた公知の一次元の、反射型インクリメンタル目盛が使用される。 所望の位置決めと関連してもステップモータの機能を保証するために、本発明 によれば、図示の実施例において、駆動装置ステータユニット１の一体的な構成 部分として測定目盛８を載せられた目盛板７の形成が考慮される。この目的で、 駆動装置−ステータユニット１の隆起６の間にある凹部９が充填材料を備え、そ の結果駆動装置−ステータユニット１の平坦な表面が得られる。この実施例に使 用される凹部９のための充填材料について、所定の必要条件が考慮される。先ず 、ステップモータの機能にできる限り影響を及ぼさないために、充填材料は非磁 性体でなければならない。そのために使用される材料は、駆動装置−ステータユ ニット１のできる限り平坦な表面の製造を保証し、即ちできる限り良好に磨かれ かつ膨らんではいけない。 更に場合によっては上に付けられる層のできる限り良好な付着が確保されるべ きである。更に、使用される充填材料が駆動装置−ステータユニット１の周囲の 材料と類似した熱膨張率を有することは有利である。この必要条件の下に硬質は んだが好適な充填材料とされる。他の非磁性金属又は合成樹脂の充填も選択的に 行われることができる。好適な充填材料による凹部９の充填後、これに続く加工 ステップにおける平坦度要求に従ってこの駆動ユニットの表面の磨きがかけられ ることができる。駆動装置ステータユニット１のできる限り平坦な表面上に、目 盛板７として役立つ薄い層が付けられる。目盛板の材料では、公知の方法で塗ら れる、例えばいわゆるスピンオンガラス又はしかしゾル−ゲル材料が対象とされ 得る。更に目盛板として、例えば薄い金属層、例えばクロムが使用されることが できる。目盛板７として使用される層の厚さは数ｎｍである。続いて目盛板７上 に固有の測定目盛８が付けられ又は目盛板７が構成される。この場合照明光で走 査される測定目盛８が、例えばＴｉＮから成る反射領域と、ＴｉＯ₂から成る非 反射領域とを有する周期的構造が好適である。選択的に、反射しないＣｒＯ層上 にＣｒから成る反射領域が配設された構造も可能である。そのように構成された 目盛板７が配設される。種々の領域の固有の構造は、その際公知のフオトリゾグ ラフ技術を介して行われることができる。 結局、目盛板を、公知の方法で、即ち鋼測定尺製造のために公知の技術で、構 成され得る金属フィルムとして形成することも、選択的に可能である。例えば構 成のためのこの関連で、レーザ等の使用も可能である。金属フィルムは、その上 に配設された目盛構造も含んで、続いて駆動装置−ステータユニットの平坦な表 面上に接着されることができる。 市販のクロス格子測定システムのガラス板を単に駆動装置−ステータユニット １の表面上に配列することとは異なり、本発明による措置によって、一方の駆動 部分１と他方の可動駆動部分２の励磁線輪との間の距離ｄは、大き過ぎずかつ場 合によっては駆動運動は最早行われ得ないことが確保されることができる。目盛 板７と測定目盛９とを有する駆動装置−ステータユニット１の平坦な表面上に配 設された層は、１μｍのオーダの厚さを有する。それによって、記載の実施例に おいて、駆動装置−ステータユニット１のこれに対して相対的に可動の駆動ユニ ット２との共働が可能でありかつそのように両駆動ユニット１、２の間の特定さ れた相対移動が発生されることができる。 不動の駆動ユニットの側面に周期的構造を有するこれまでに説明したバリエー ションに対して選択的に、勿論同様な方法で、可動駆動ユニットとして周期的構 造を有する駆動ユニットが使用されることができる。測定目盛を含めて目盛板は 、この場合、上記の説明と同様な方法で可動駆動ユニットに付設されている。 本発明による光学的位置測定装置に使用されることができる駆動装置ステータ ユニット２１の第２実施形態は、図２に図式的に表されている。記載された第１ 実施形態とは異なり、他の周期的構造が駆動装置−ステータユニット２１の側面 に設けられており、駆動装置−ステータユニットは、永久磁石−リニアモータに 使用されることができる。駆動装置−ステータユニット２１の基体２５上に、周 期的パターンとして第１実施例に類似して矩形状の永久磁石２６が配設されてお り、その際図２には隣接した永久磁石２６が相異なる極性を有する配列がなされ ている。選択的にこれらの永久磁石は、一括してもそれぞれ同一の方向に整列し て配設されることができる。図示しない相対的に可動的な駆動ユニットの駆動運 動の発生は、それぞれ他方の駆動ユニットにおける励磁線輪の相応した制御によ って公知の方法で行われる。第１実施例のように、永久磁石２６の間の凹部２９ に充填材料を充填することが行われ、その結果駆動ユニット２１の平坦な表面が 得られる。そのような平坦な表面上に、続いて目盛板２７として使用される層が 付けられ、その層上には更に測定目盛２８が配設される。目盛板２７、測定目盛 ２８の可能な構成について並びに充填材料に対する要求に対して上記の説明が参 照される。 本発明による光学的位置測定装置の他の実施形態は、２つの部分図、図３ａ及 び図３ｂに図式的に表されている。測定目盛５８は、更に駆動ユニット５１に付 設されており、駆動ユニットは第１実施例に類似して、隆起５６と、これらの間 に位置する凹部５９とを基体５５上に備えた周期的構造を有し、即ち軟鉄ステー タとして形成された駆動装置−ステータユニット５１の上方に配設され、励磁線 輪を有する可動駆動ユニット並びに駆動装置−ステータユニット５１上の測定目 盛５８の照明光走査のために使用される１つ又は複数の駆動ユニットは、図示し てない。先に説明した両実施形態とは異なり、不動の駆動ユニット５１の一体的 な構成部分としてクロス格子として形成された測定目盛５８を直接平坦な又は平 坦にされた構成部分上に配設することが行われ、即ち別個の目盛板は不要にされ る。 相応する表面の平坦化は、先に説明したように、即ち充填材料、例えば硬質は んだによる凹部５６の充填によって行われる。続いて表面は、測定目盛５８を付 けるために、固有の構造形成が行われる前に磨かれる。その際測定目盛５８は、 ＴｉＮ／ＴｉＯ₂等から成るような周期的に配設された反射する領域と、反射し ない領域とから成る。図示のバリエーションに対して選択的に、測定目盛は各測 定要求に従って駆動装置−ステータユニットの表面の部分領域においてのみ、例 えば隆起等の平坦な表面上にのみ付けられることができる。 本発明による光学的位置測定装置の特別に有利な実施形態は、図４に図式的に 表されている。この際互いに隣接して配設された２つの別個の駆動装置−ステー タユニット３１．１、３１．２が示されている。両駆動装置−ステータユニット ３１．１、３１．２の構成は、図１ａ及び図１ｂに記載された第１の実施例の駆 動装置−ステータユニットに相応し、即ち駆動装置−ステータユニット３１．１ 、３１．２の表面上にはそれぞれ駆動装置−ステータユニットの一体的な構成部 分としての測定目盛３８．１、３８．２としてクロス格子が配設されている。両 駆動装置−ステータユニット３１．１、３１．２の上方には、空気軸受を介して ｘｙ平面に位置決めされ得る可動駆動ユニット３２が設けられている。可動駆動 ユニット３２は、図示の実施例において、特に２つの走査ユニット４０．１、４ ０．２を有し、走査ユニット４０．１、４０．２は、駆動ユニット３２の両横面 に配設されておりかつそれによってクロス格子測定目盛の光学的走査が行われる 。ｘｙ平面における移動量の決定の他に図示の機構によってｚ方向に向いた垂直 軸線のまわりの可動駆動ユニット３２の回動も検出されることができる。この実 施例を介して本発明に基づいてそのような駆動装置で可動駆動ユニットの大きな 走行範囲も実現可能でありかつ同時に高い分解能の光学的位置測定装置が可能で ある。このために、一括して記載の方法で構成された複数の小さい駆動装置−ス テータユニットが互いに整列されることができる。そのために、大きな面積の測 定目盛を含む単一の大きな面積の駆動装置−ステータユニットをつくることは必 要なく、必要な走行領域に従って相応して整列される、所定のステータ寸法が使 用されることができる。図４に示された実施例において、可動駆動ユニット３２ の側面に２つの間隔を置いて走査ユニット４０．１、４０．２が配設されており 、即ち両走査ユニット４０．１、４０．２の１つによる、互いに境を接する駆動 装置ステータユニット３１．１、３１．２の突き合わせ個所上の通過は行われな い。このために他の実施形態において選択的に可動駆動ユニットが、駆動装置− ステータユニットのモジュール構造でも単一の走査ユニットのみを有する。この 場合更に、この個所でも正確な位置決めを保証するために、走査ユニットによっ て通過可能な突き当て個所での所定の要求が設定される。第１のバリエーション において、測定目盛の充分に精密な製造によって、特に直接境を接する駆動装置 −ステータユニットの突き当て個所の領域において、この個所に誤測定が生じな いことを確保する。この領域に単一の走査ユニットのみを有する第２のバリエー ションにおいて、選択的に互いに境を接する駆動装置−ステータユニットの間に 特定の大きさの距離を設けることが可能である。この特定距離は、個々のモジュ ールから成る全駆動装置−ステータユニットの組立の際に、好適な光学的調整装 置を介して調整されることができる。そのようにしても走査ユニットによる突き 当て個所の通過の際に位置決定に誤差が生じないことが確保される。 本発明による構成に基づいて、種々のステップモータバリエーションと関連し て、許容される高い分解能の、光学的位置決定を保証する一連の実施可能性が得 られる。

【手続補正書】特許法第１８４条の８第１項 【提出日】平成１０年９月１５日（１９９８．９．１５） 【補正内容】 請求の範囲 １．互いに移動可能な２つの駆動ユニット（１、２；２１；３１．１、３１．２ 、３２，５１）を有する精密位置決め駆動装置用の光学的位置測定装置であって 、その際 両駆動ユニット（１；２１；３１．１、３１．２、３２；５１）の一方が、一 次元又は二次元に配設された隆起部（６；２６）と、これらの間にある凹部（９ ；２９）とを備えた立体的に構成された領域を有し、そして これらの駆動ユニット（１；２１；３１．１、３１．２、；５１）が、一体的 な構成部分としての測定目盛（８；２８；３８．１、３８．２；５８）を有し、 測定目盛は、他方の駆動ユニット（２；３２）と接続していて位置に依存する出 力信号の発生のための走査ユニット（１０；４０．１、４０．２）によって走査 可能であり、そして 目盛板（７；２７）として役立つ層の上の測定目盛（８；２８；３８．１、３ ８．２；５８）は、各駆動ユニット（１；２１；３１．１、３１．２）の平坦な 表面上に配設されており、その際測定目盛（８；２８；３８．１、３８．２；５ ８）を含み目盛板（７；２７）として役立つ層は、この駆動ユニット（１；２１ ；３１．１、３１．２）と、これに対して相対的に移動可能な他方の駆動ユニッ ト（１０；４０．１、４０．２）との共働が可能であるように、選択されており 、そして 目盛板（７，２７）と、測定目盛（８；２８；３８．１、３８．２）とを備え た駆動ユニット（１；２１；３１．１、３１．２；５１）の表面の平坦化のため に、凹部（９；２９）は充填材料を備え、充填材料は、両駆動ユニット（１；２ １；３１．１、３１．２；１０；４０．１、４０．２）の交換作用を阻害せず、 所属の駆動ユニット（１；２１；３１．１、３１．２）の平坦な表面の製造を可 能にしかつ更に当該表面上に配設された層の良好な接着を確保することを特徴と する前記光学的位置測定装置。 ２．充填材料が、駆動装置−ステータユニットの周囲材料と類似の熱膨張率を有 する、請求項１に記載の光学的位置測定装置。 ３．目盛板（７；２７）の材料として、スピンオンガラスが選択されている、請 求項１に記載の光学的位置測定装置。 ４．目盛板（７；２７）の材料として、ゾル−ゲル材料が選択されている、請求 項１に記載の光学的位置測定装置。 ５．目盛板（７；２７）が、薄い金属フィルムとして形成されている、請求項１ に記載の光学的位置測定装置。 ６．測定目盛としての金属フィルムが、反射する領域と反射しない領域とを有す る、請求項５に記載の光学的位置測定装置。 ７．一平面内で移動可能な構成部分の精密位置決め装置であって、該装置は、請 求項１に記載の測定目盛（３８．１、３８．２）を備えた隣接して配設された２ つ又はそれ以上の駆動ユニット（３１．１、３１．２）を有しかつ少なくとも１ つの走査ユニット（４０．１、４０．２）を備えていて前記駆動ユニットに対し て相対的に移動可能な駆動ユニット（３２）を有し、該走査ユニットは、他方の 駆動ユニット（３１．１、３１．２）上に配設された測定目盛（３８．１、３８ ．２）の光学的走査のために形成されていることを特徴とする前記精密位置決め 装置。 ８．可動駆動ユニット（３２）が、間隔を隔てた２つの駆動ユニット（４０．１ 、４０．２）を有する、請求項７に記載の装置。 ９．可動駆動ユニットが、単一の走査ユニットを有し、可動駆動ユニット上に配 設された目盛を備えた駆動ユニットが、直接互いに境を接して配設されておりか つ駆動ユニットは、突き当て個所で互いに境を接する測定目盛に正確に接続する 、請求項７に記載の装置。 １０．可動駆動ユニットが、単一の走査ユニットを有しかつ可動駆動ユニットの 上に配設された測定目盛を備えた駆動ユニットが、互いに特定された間隔で配設 されている、請求項７に記載の装置。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 カリミツィ・クリスティアン ドイツ連邦共和国、Ｄ―83714 ミースバ ッハ、アンガー、25

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １．２つの互いに移動可能な駆動ユニット（１、２；２１；３１．１、３１．２ 、３２；５１）を有する精密位置決め駆動装置用の光学的位置測定装置であって 、その際両駆動ユニットの一方（１；２１；３１．１、３１．２；５１）が、一 体的な構成部分としての測定目盛（８；２８；３８．１、３８．２；５８）を有 し、測定目盛は、他方の駆動ユニット（２；３２）と接続していて位置に依存す る出力信号の発生のための走査ユニット（１０；４０．１、４０．２）によって 走査可能でありかつ測定目盛（８；２８；３８．１、３８．２；５８）は、一方 の駆動ユニット（１；２１；３１．１、３１．２；５１）の平坦な表面の少なく とも部分領域上に直接的又は間接的に配設されており、それによって両駆動ユニ ット（１、２；２１；３１．１、３１．２、３２；５１）の間の距離（ｄ）は、 両駆動ユニット（１、２；２１；３１．１、３１．２、３２；５１）の共働にお いて、両駆動ユニット（１、２；２１；３１．１、３１．２、３２；５１）の間 の特定された相対的移動が可能であるように設定されていることを特徴とする、 前記光学的位置測定装置。 ２．目盛板（７；２７）として役立つ層の上の測定目盛（８；２８；３８．１、 ３８．２）が、各駆動ユニット（１；２１；３１．１、３１．２）の平坦な表面 上に配設されておりかつ測定目盛（８；２８；３８．１、３８．２）を含んで目 盛板（７；２７）として役立つ層は、この駆動ユニット（１；２１；３１．１、 ３１．２）と、これに対して相対的に移動可能な他方の駆動ユニット（１０；４ ０．１、４０．２）との共働が可能であるように選択されている、請求項１に記 載の光学的位置測定装置。 ３．測定目盛（５８）が、直接各駆動ユニット（５１）の平坦な表面上の少なく とも部分領域に配設されている、請求項１に記載の光学的位置測定装置。 ４．目盛板（７；２７）と、測定目盛（８；２８；３８．１、３８．２）とが、 駆動装置−ステータユニットに付設されており、駆動装置−ステータユニットは 、隆起（６；２６）を備えた立体的に構成された領域と、これらの間にあり、一 次元又は二次元に周期的に配設された凹部（９；２９）を有する、請求項２に記 載の光学的位置測定装置。 ５．目盛板（２７）と測定目盛（２８）とが、駆動装置−ステータユニットに付 設されており、駆動装置−ステータユニットは、一次元又は二次元に周期的に配 設されていて特定された磁化パターンを有する請求項２に記載の光学的位置測定 装置。 ６．駆動装置−ステータユニットにおける凹部（９；２９）が、充填材料を備え る、請求項４に記載の光学的位置測定装置。 ７．充填材料が、駆動装置−ステータユニットの周囲材料と類似した熱膨張率を 有する、請求項６に記載の光学的位置測定装置。 ８．目盛板（７；２７）の材料としてスピンオンガラスが選択されている、請求 項２に記載の光学的位置測定装置。 ９．目盛板（７；２７）の材料としてゾル−ゲル材料が選択されている、請求項 ２に記載の光学的位置測定装置。 １０．目盛板（７；２７）が、薄い金属フィルムとして形成されている、請求項 ２に記載の光学的位置測定装置。 １１．測定目盛としての金属フィルムが、反射する領域と反射しない領域とを有 する、請求項１０に記載の光学的位置測定装置。 １２．一平面内で移動可能な構成部分の精密な位置決め装置であって、該装置は 、請求項１に記載の測定目盛（３８．１、３８．２）を備えていて隣接して配設 された２つ又はそれ以上の駆動ユニット（３１．１、３１．２）とこれに対して 相対的に移動可能で少なくとも１つの走査ユニット（４０．１、４０．２）を備 えた駆動ユニット（３２）とを有し、この走査ユニットは、他方の駆動ユニット （３１．１、３１．２）上に配設された測定目盛（３８．１、３８．２）の光学 的走査のために形成されていることを特徴とする前記精密位置決め装置。 １３．可動駆動ユニット（３２）が、間隔をおいて位置する２つの走査ユニット （４０．１、４０．２）を有する、請求項１２に記載の装置。 １４．可動駆動ユニットが、単一の走査ユニットを有し、可動駆動ユニット上に 配設された目盛を備えた駆動ユニットが、直接互いに境を接して配設されており かつ駆動ユニットは、突き当て個所で互いに境を接する測定目盛に正確に互いに 接続する、請求項１２に記載の装置。 １５．可動駆動ユニットが、単一の走査ユニットを有しかつ可動駆動ユニット上 に配設された測定目盛を備えた駆動ユニットが互いに特定された間隔で配設され ている、請求項１２に記載の装置。