JP2005290409A5 - - Google Patents
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2004
- 2004-03-31 JP JP2004102899A patent/JP4356071B2/ja not_active Expired - Lifetime
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP7108606B2 (ja) | 2016-09-29 | 2022-07-28 | プランゼー エスエー | スパッタリングターゲット |