JP2005290351A - 新規なアゾ化合物、着色剤含有硬化性組成物、並びに、カラーフィルタおよびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】着色剤を含む硬化性組成物であって、前記着色剤が一般式(I)で表される新規なアゾ化合物であり、該組成物を支持体上に塗布後露光・現像しカラーフィルターを製造する。これを用いたカラーフィルタおよびその製造方法。
〔R1およびR2は、H、C1〜21のアルキル基、C2〜21のアルケニル基、C6〜21のアリール基等。R1およびR2は、これらと結合している窒素原子と共にヘテロ環を形成してもよい。R3は、ハロゲン原子、トリハロメチル基、C1〜21のアルコキシ基、ニトロ基を表す。nは0〜4の整数を表す。R4は、ハロゲン原子、−SO3M基を表す。Mは金属原子または含窒素化合物からなるカチオンを表す。mは0〜5の整数を表す。〕
【選択図】なし
Description
さらに、高い耐光性或いは耐熱性を示す染料は水や溶剤に対する溶解性が低下する場合が多く、産業利用上問題を生じることが多かった。
(1)通常、色素はアルカリ水溶液または有機溶剤のいずれかに溶解性が低いため、所望のスペクトルを有する液状の硬化性組成物を得るのが困難である。
(2)染料は、硬化性組成物中の他の成分と相互作用を示す場合が多いため、硬化部、非硬化部の溶解性(現像性)の調節が困難である。
(3)染料のモル吸光係数(ε)が低い場合には、多量の染料を添加しなければならず、この為、硬化性組成物中の重合性化合物(モノマー)やバインダー、光重合開始剤等の他の成分を減らさざるを得なくなり、組成物の硬化性や硬化後の耐熱性や(非)硬化部の現像性が低下する等の問題を生じる。
(4)染料は一般的に顔料に比べ、耐光性、耐熱性に劣る。
等である。
このため、上述の問題を解決することのできる染料や硬化性組成物の開発が望まれていた。
本発明の第2の目的は、染料のモル吸光係数や色価、耐光性、耐熱性、およびパターン形成性(現像性)に優れた着色剤含有硬化性組成物、並びに、カラーフィルタおよびその製造方法を提供することにある。
この製造方法は、必要により上記パターンを加熱および/または露光によって硬化する工程を含んでいてもよいし、これらの工程を複数回繰り返すものであってもよい。
本発明の着色剤含有硬化性組成物(以下、「本発明の組成物」という場合がある。)は、着色剤を含んでなる着色剤含有硬化性組成物であって、前記着色剤が下記一般式(I)で表される化合物(本発明のアゾ化合物)を含むことを特徴とする。
また、本発明の組成物は、特に色価を向上させたことによって、染料の添加量を低減することができる。これにより、他の添加物の含有量を増加させることができ、レジストの諸性能を向上させることができる。さらに、本発明の組成物によれば、露光部または未露光部の現像性および残膜率を向上させることができるため、良好なパターン形成性を発揮することができる。また、本発明の組成物は、製造プロセスにおいて、上記の諸性能の劣化の懸念がない為、生産性が高い。
また、本発明の組成物がポジ型の組成物である場合には、上記着色剤に加えて、有機溶剤、または、硬化剤、感光剤若しくは光酸発生剤を含む。
本発明の組成物は、着色剤として上記一般式(I)で表される化合物(本発明のアゾ化合物)を含む。本発明の組成物は、上記一般式(I)で表される化合物を2種類以上含んでもよい。以下、本発明における着色剤(色素化合物)について詳述する。
上記一般式(I)で表されるアゾ化合物は、従来に無い、高い耐光性と高い耐熱性とを同時に満足し、かつ、必要であれば水または溶剤に自由に溶解することが可能な新規な化合物である。
また、上記炭素数1〜21のアルキル基は、直鎖または分岐若しくは環状のアルキル基でもよい。該アルキル基としては、例えば、メチル基、エチル基、n−プロピル基、n−ブチル基、n−アミル基、n−ヘキシル基、n−ヘプチル基、n−オクチル基、n−ノニル基、n−デシル基、n−ウンデシル基、n−ドデシル基、n−トリデシル基、n−テトラデシル基、n−ペンタデシル基、n−ヘキサデシル基、n−ヘプタデシル基、n−オクタデシル基、n−ノナデシル基、n−エイコサニル基、i−プロピル基、sec−ブチル基、i−ブチル基、t−ブチル基、1−メチルブチル基、1−エチルプロピル基、2−メチルブチル基、i−アミル基、ネオペンチル基、1,2−ジメチルプロピル基、1,1−ジメチルプロピル基、t−アミル基、1,3−ジメチルブチル基、3,3−ジメチルブチル基、2−エチルブチル基、2−エチル−2−メチルプロピル基、直鎖または分岐のヘプチル基、1−メチルヘプチル基、2−エチルヘキシル基、1,5−ジメチルヘキシル基、t−オクチル基、分岐したノニル基、分岐したデシル基、分岐したウンデシル基、分岐したドデシル基、分岐したトリデシル基、分岐したテトラデシル基、分岐したペンタデシル基、分岐したヘキサデシル基、分岐したヘプタデシル基、分岐したオクタデシル基、直鎖または分岐のノナデシル基、直鎖または分岐のエイコサニル基、シクロプロピル基、シクロプロピルメチル基、シクロブチル基、シクロブチルメチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロヘキシルメチル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基、シクロヘキシルプロピル基、シクロドデシル基、ノルボルニル基、ボルニル基、シス−ミルタニル基、イソピノカンフェニル基、ノルアダマンチル基、アダマンチル基、アダマンチルメチル基、1−(1−アダマンチル)エチル基、3,5−ジメチルアダマンチル基、キヌクリジニル基、シクロペンチルエチル基、ビシクロオクチル基が好ましい。
R1およびR2で表される炭素数2〜21のアルケニル基としては、例えば、ビニル基、イソプロペニル基、2−プロペニル基、2−メチル−プロペニル基、1−メチル−1−プロペニル基、1−ブテニル基、3−ブテニル基、1−メチル−1−ブテニル基、1,1−ジメチル−3−ブテニル基、1−ペンテニル基、2−ペンテニル基、1−エチル−1−ペンテニル基、1−ヘキセニル基、1−ヘプテニル基、2,6−ジメチル−5−ヘプテニル基、9−デセニル基、1−シクロペンテニル基、2−シクロペンテニルメチル基、シクロヘキセニル基、1−メチル−2−シクロヘキセニル基、1,4−ジヒドロ−2−メチルフェニル基、オクテニル基、シトロネリル基、オレイル基、ゲラニル基、ファーネシル基、2−(1−シクロヘキセニル)エチル基が好ましく、この中でも、ビニル基、イソプロペニル基、2−プロペニル基、2−メチル−プロペニル基、1−メチル−1−プロペニル基、1−ブテニル基、3−ブテニル基、1−メチル−1−ブテニル基、1,1−ジメチル−3−ブテニル基、1−ペンテニル基、2−ペンテニル基、1−エチル−1−ペンテニル基、1−ヘキセニル基、1−ヘプテニル基、1−シクロペンテニル基、2−シクロペンテニルメチル基、シクロヘキセニル基、1−メチル−2−シクロヘキセニル基、1,4−ジヒドロ−2−メチルフェニル基がより好ましく、更には、ビニル基、イソプロペニル基、2−プロペニル基、2−メチル−プロペニル基、1−メチル−1−プロペニル基、1−ブテニル基、3−ブテニル基、1−メチル−1−ブテニル基、1,1−ジメチル−3−ブテニル基、1−ペンテニル基、2−ペンテニル基、1−エチル−1−ペンテニル基、1−ヘキセニル基、1−シクロペンテニル基、2−シクロペンテニルメチル基、シクロヘキセニル基、1−メチル−2−シクロヘキセニル基、1,4−ジヒドロ−2−メチルフェニル基が特に好ましい。
置換基を有していてもよい炭素数6〜21のアリール基としては、例えば、フェニル基、ナフチル基、ビフェニレニル基、アセナフテニル基、フルオレニル基、アントラセニル基、アンスラキノニル基、ピレニル基等が好ましく、この中でも、フェニル基、ナフチル基、ビフェニレニル基、アセナフテニル基、フルオレニル基、アントラセニル基等がさらに好ましく、更には、フェニル基、ナフチル基、ビフェニレニル基、フルオレニル基等が特に好ましい。
置換基を有していてもよい炭素数7〜21のアラルキル基としては、例えば、ベンジル基、ジフェニルメチル基、1,2−ジフェニルエチル基、フェニル−シクロペンチルメチル基、α−メチルベンジル基、フェニルエチル基、α−メチル−フェニルエチル基、β−メチル−フェニルエチル基、3−フェニルプロピル基、3,3−ジフェニルプロピル基、4−フェニルブチル基、ナフチルメチル基、スチリル基、シンナミル基、フルオレニル基、1−ベンゾシクロブテニル基、1,2,3,4−テトラヒドロナフチル基、インダニル基、ピペロニル基、ピレンメチル基が好ましく、この中でも、ベンジル基、フェニル−シクロペンチルメチル基、α−メチルベンジル基、フェニルエチル基、α−メチル−フェニルエチル基、β−メチル−フェニルエチル基、3−フェニルプロピル基、4−フェニルブチル基、スチリル基、シンナミル基、フルオレニル基、1−ベンゾシクロブテニル基、1,2,3,4−テトラヒドロナフチル基がより好ましく、更には、ベンジル基、α−メチルベンジル基、フェニルエチル基、α−メチル−フェニルエチル基、β−メチル−フェニルエチル基、3−フェニルプロピル基、スチリル基、シンナミル基、フルオレニル基、1−ベンゾシクロブテニル基、1,2,3,4−テトラヒドロナフチル基が特に好ましい。
また、これらの置換基はさらに同様の置換基で置換されていてもよい。
炭素数1〜7のアルコキシ基の好ましい例は、上記のR1およびR2で表されるアルキル基の好ましい例として挙げたアルキル基を有する、アルキルオキシ基である。
上記mは0〜5の整数である。上記mとしては、0〜4の整数が好ましく、0〜3の整数が特に好ましい。
以下に上記含窒素化合物からなるカチオンの具体例を挙げるが、これらに限定されるものではない。また、カチオンの形としては、下記の含窒素化合物がプロトネーションされ、カチオンとなった状態を表す。
上記酸性染料について説明する。上記酸性染料は、スルホン酸やカルボン酸等の酸性基を有するものであれば特に限定されないが、有機溶剤や現像液に対する溶解性、塩形成性、吸光度、硬化性組成物中の他の成分との相互作用、耐光性、耐熱性等の必要とされる性能の全てを勘案して選択される。
以下に上記酸性染料の具体例を挙げるが、これらに限定されるものではない。例えば、acid alizarin violet N;
acid black 1,2,24,48;
acid blue 1,7,9,15,18,23,25,27,29,40,45,62,70,74,80,83,86,87,90,92,103,112,113,120,129,138,147,158,171,182,192;
acid chrome violet K;
acid Fuchsin;
acid green 1,3,5,9,16,25,27,50;
acid orange 6,7,8,10,12,50,51,52,56,63,74,95;
acid red 1,4,8,14,17,18,26,27,29,31,34,35,37,42,44,50,51,52,57,66,73,80,87,88,91,92,94,97,103,111,114,129,133,134,138,143,145,150,151,158,176,183,198,211,215,216,217,249,252,257,260,266,274;
acid violet 6B,7,9,17,19;
acid yellow 1,3,7,9,11,17,23,25,29,34,36,42,54,65,72,73,76,79,98,99;111,112,114,116,169,243;
Food Yellow 3;およびこれらの染料の誘導体が挙げられる。
acid black 24;
acid blue 23,25,29,62,86,87,92,138,158;
acid orange 8,51,56,74,63,74;
acid red 1,4,8,34,37,42,52,57,80,97,114,143,145,151,183,217;
acid violet 7;
acid yellow 17,23,25,29,34,42,72,76,99,111,112,114,116,163,243等の染料およびこれらの染料の誘導体が好ましい。
上記酸性染料の誘導体としては、酸性染料のスルホン酸をスルホン酸アミド、スルホン酸エステルに変換した化合物などが有用に利用できる。
上記酸性染料と塩を形成する原子団については、上記酸性染料のアニオンと塩を形成するカチオン性のものであれば限定はない。このような原子団としては、例えば、Li、Na、K、Rb、Cs、Ag,Mg,Ca,Sr,Ba、Zn、Al、Ni、Cu、Co、Fe、または含窒素化合物からなるカチオン等が挙げられる。
上記酸性染料と対塩を形成する含窒素化合物について説明する。本発明において、酸性染料と塩を形成する含窒素化合物は、有機溶剤や現像液に対する溶解性、塩形成性、染料の吸光度、硬化性組成物中の他の成分との相互作用等の全てを考慮して選択される。吸光度の観点のみで選択すると、できるだけ分子量の低いものが好ましく、そのなかで、分子量245以下であることが好ましく、分子量240以下であることがさらに好ましく、分子量230以下であることが特に好ましい。
一般式(I)の化合物(または酸性染料)と塩を形成する原子団/(一般式(I)の化合物(または酸性染料)のモル比(以下、「L」という場合がある。)について説明する。上記Lは酸性染料分子と対イオンである原子団とのモル比率を決定する値であり、酸性染料原子団の塩形成条件によって自由に選択することができる。具体的には、酸性染料中の酸の官能基数の0≦L≦10の間の数値であり、有機溶剤や現像液に対する溶解性、塩形成性、吸光度、硬化性組成物中の他の成分との相互作用、耐光性、耐熱性等、必要とする性能の優先順位の全てを勘案して選択される。吸光度のみの観点で選択すると、上記Lは0≦L≦7の間の数値をとることが好ましく、0≦L≦6の間の数値をとることがさらに好ましく、0≦L≦5の間の数値をとることが特に好ましい。
次に、一般式(I)で表される化合物(酸性染料等の他の染料を併用する場合は他の染料を含む)の使用濃度について説明する。本発明の染料含有硬化性組成物中の全固形成分中における一般式(I)の化合物(上記酸性染料を併用する場合は酸性染料を含む)の濃度は、染料の種類によって異なるが、0.5〜80質量%が好ましく、0.5〜60質量%がより好ましく、0.5〜50質量%が特に好ましい。
次にバインダーについて説明する。本発明に使用するバインダーはアルカリ可溶性であれば、特に限定されないが、耐熱性、現像性、入手性等の観点から選ばれることが好ましい。
アルカリ可溶性のバインダーとしては、線状有機高分子重合体で、有機溶剤に可溶で、弱アルカリ水溶液で現像できるものが好ましい。このような線状有機高分子重合体としては、側鎖にカルボン酸を有するポリマー、例えば特開昭59−44615号、特公昭54−34327号、特公昭58−12577号、特公昭54−25957号、特開昭59−53836号、特開昭59−71048号明細書に記載されているようなメタクリル酸共重合体、アクリル酸共重合体、イタコン酸共重合体、クロトン酸共重合体、マレイン酸共重合体、部分エステル化マレイン酸共重合体等があり、また同様に側鎖にカルボン酸を有する酸性セルロース誘導体が有用である。この他に水酸基を有するポリマーに酸無水物を付加させたもの等やポリヒドロキシスチレン系樹脂、ポリシロキサン系樹脂、ポリ(2−ヒドロキシエチル(メタ)アクリレート)、ポリビニールピロリドンやポリエチレンオキサイド、ポリビニルアルコール、等も有用である。
その他親水性を有するモノマーとしては、テトラヒドロフルフリル基、燐酸、燐酸エステル、4級アンモニウム塩、エチレンオキシ鎖、プロピレンオキシ鎖、スルホン酸およびその塩、モルホリノエチル基等を含んだモノマー等も有用である。
OH基を有する例えば2−ヒドロキシエチルアクリレートと、COOH基を含有する例えばメタクリル酸と、およびこれらと共重合可能なアクリル系若しくはビニル系化合物等のモノマーとの共重合体に、OH基と反応性を有するエポキシ環と炭素−炭素不飽和結合基を有する化合物、例えばグリシジルアクリレートのような化合物を反応させて得られる化合物等が使用できる。OH基との反応ではエポキシ環の他に酸無水物、イソシアネート基を有し、アクリロイル基を有する化合物も使用できる。また特開平6−102669号、特開平6−1938号に開示されるエポキシ環を有する化合物にアクリル酸のような不飽和カルボン酸を反応させて得られる化合物に、飽和若しくは不飽和多塩基酸無水物を反応させて得られる反応物も使用できる。
上記ノボラック樹脂としては、例えばフェノール類とアルデヒド類とを酸触媒の存在下に縮合させて得られるものが挙げられる。上記フェノール類としては、例えばフェノール、クレゾール、エチルフェノール、ブチルフェノール、キシレノール、フェニルフェノール、カテコール、レゾルシノール、ピロガロール、ナフトールまたはビスフェノールA等が挙げられる。上記フェノール類は単独若しくは2種以上を組み合わせて用いることができる。上記アルデヒド類としては、例えばホルムアルデヒド、パラホルムアルデヒド、アセトアルデヒド、プロピオンアルデヒドまたはベンズアルデヒド等が挙げられる。
上記バインダーの本発明の組成物中の使用量は、本発明の組成物中の全固形分に対して10〜90質量%が好ましく、20〜80質量%がさらに好ましく、30〜70質量%が特に好ましい。
次に架橋剤について説明する。本発明は上記一般式(I)で表される染料を使用し、従来に比較して膜の硬化反応をより高度に進行させ、硬化性の良好な膜が得られることが発明の主旨であるが、補足的に、架橋剤を用いて更に高度に硬化させた膜を得ることも可能である。本発明に使用する架橋剤は、架橋反応によって膜硬化を行えるものであれば特に限定されないが、例えば(a)エポキシ樹脂、(b)メチロール基、アルコキシメチル基およびアシロキシメチル基から選ばれた少なくとも一つの置換基で置換されたメラミン化合物、グアナミン化合物、グリコールウリル化合物またはウレア化合物、(c)メチロール基、アルコキシメチル基およびアシロキシメチル基から選ばれた少なくとも一つの置換基で置換されたフェノール化合物、ナフトール化合物またはヒドロキシアントラセン化合物が挙げられ、特に多官能エポキシ樹脂が好ましい。
上記メラミン化合物として、例えば、ヘキサメチロールメラミン、ヘキサメトキシメチルメラミン、ヘキサメチロールメラミンのメチロール基の1〜5個がメトキシメチル化した化合物またはその混合物、ヘキサメトキシエチルメラミン、ヘキサアシロキシメチルメラミン、ヘキサメチロールメラミンのメチロール基の1〜5個がアシロキシメチル化した化合物またはその混合物などが挙げられる。
また、骨格となるナフトール化合物、ヒドロキシアントラセン化合物も、OH基のオルト位、パラ位が全て置換されている化合物が好ましい。
骨格となるフェノール化合物の3位または5位は未置換であってもよいし、置換基を有していてもよい。骨格となるナフトール化合物においても、OH基のオルト位以外は未置換であってもよいし、置換基を有していてもよい。
また、アルコキシメチル基含有化合物は、上記メチロール基含有化合物をアルコール中で塩酸、硫酸、硝酸、メタンスルホン酸等の酸触媒の存在下で加熱する事により得られる。
アシロキシメチル基含有化合物は、上記メチロール基含有化合物を塩基性触媒の存在下アシルクロリドと反応させることにより得られる。
アシロキシメチル基含有化合物としては、例えば、上記メチロール基含有化合物のメチロール基を、一部または全部アシロキシメチル化した化合物が挙げられる。
これらは単独で使用してもよく、組み合わせて使用してもよい。
次に本発明の組成物がネガ型の組成物である場合に含まれる重合性化合物(以下、「モノマー」と称する。)について説明する。上記モノマーとしては、少なくとも1個の付加重合可能なエチレン基を有し、且つ、常圧下で100℃以上の沸点を持つ化合物が好ましく、その例としては、ポリエチレングリコールモノ(メタ)アクリレート、ポリプロピレングリコールモノ(メタ)アクリレート、フェノキシエチル(メタ)アクリレート、等の単官能のアクリレートやメタアクリレート;ポリエチレングリコールジ(メタ)アクリレート、トリメチロールエタントリ(メタ)アクリレート、ネオペンチルグリコールジ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールトリ(メタ)アクリレート、ペンタエリスリトールテトラ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールペンタ(メタ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メタ)アクリレート、ヘキサンジオール(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ(アクリロイルオキシプロピル)エーテル、トリ(アクリロイロキシエチル)イソシアヌレート、グリセリンやトリメチロールエタン等の多官能アルコールにエチレンオキサイドやプロピレンオキサイドを付加させた後(メタ)アクリレート化したもの、特公昭48−41708号、特公昭50−6034号、特開昭51−37193号各公報に記載されているようなウレタンアクリレート類、特開昭48−64183号、特公昭49−43191号、特公昭52−30490号各公報に記載されているポリエステルアクリレート類、エポキシ樹脂と(メタ)アクリル酸との反応生成物であるエポキシアクリレート類等の多官能のアクリレートやメタアクリレートおよびこれらの混合物をあげることができる。更に、日本接着協会誌Vol.20、No.7、300〜308頁に光硬化性モノマーおよびオリゴマーとして紹介されているものが挙げられる。
上記モノマーとしては、(メタ)アクリルエステル系モノマーが好ましく、4官能以上の(メタ)アクリルエステル系モノマーが特に好ましい。
上記モノマーの本発明の組成物中における含有量は、固形分に対して0.1〜90質量が好ましく、1.0〜80質量%がさらに好ましく、2.0〜70質量%が特に好ましい。
次に本発明の組成物がネガ型の組成物である場合に含まれる光重合開始剤について説明する。光重合開始剤は上述の重合性を有するモノマーを重合させられるものであれば特に限定されないが、特性、開始効率、吸収波長、入手性、コスト等の観点で選ばれることが好ましい。
上記光重合開始剤としては、トリハロメチルトリアジン系化合物、ベンジルジメチルケタール化合物、α−ヒドロキシケトン化合物、α−アミノケトン化合物、フォスフィンオキサイド系化合物、メタロセン化合物、オキシム系化合物、トリアリルイミダゾールダイマー、ベンゾチアゾール系化合物、ベンゾフェノン化合物、アセトフェノン化合物およびその誘導体、シクロペンタジエン−ベンゼン−鉄錯体およびその塩、ハロメチルオキサジアゾール化合物、3−アリール置換クマリン化合物、等が挙げられ、α−アミノケトン化合物、フォスフィンオキサイド系化合物、メタロセン化合物、オキシム系化合物、トリアリルイミダゾールダイマーからなる群より選ばれる少なくとも一種の化合物を含むことが好ましい。
また上記光重合開始剤としては、分解によって酸を発生しない化合物であることが好ましい。
その具体例として、ベンゾイン、ベンゾインメチルエーテル、ベンゾイン、9−フルオレノン、2−クロロ−9−フルオレノン、2−メチル−9−フルオレノン、9−アントロン、2−ブロモ−9−アントロン、2−エチル−9−アントロン、9,10−アントラキノン、2−エチル−9,10−アントラキノン、2−t−ブチル−9,10−アントラキノン、2,6−ジクロロ−9,10−アントラキノン、キサントン、2−メチルキサントン、2−メトキシキサントン、2−メトキシキサントン、チオキサントン、2,4−ジエチルチオキサントン、アクリドン、10−ブチル−2−クロロアクリドン、ベンジル、ジベンザルアセトン、p−(ジメチルアミノ)フェニルスチリルケトン、p−(ジメチルアミノ)フェニル−p−メチルスチリルケトン、ベンゾフェノン、p−(ジメチルアミノ)ベンゾフェノン(またはミヒラーケトン)、p−(ジエチルアミノ)ベンゾフェノン、ベンゾアントロン等や特公昭51−48516号公報記載のベンゾチアゾール系化合物等や、チヌビン1130、同400等が挙げられる。
具体的には、米国特許第2,367,660号明細書に開示されているビシナールポリケトルアルドニル化合物、米国特許第2,367,661号および第2,367,670号明細書に開示されているα−カルボニル化合物、米国特許第2,448,828号明細書に開示されているアシロインエーテル、米国特許第2,722,512号明細書に開示されているα−炭化水素で置換された芳香族アシロイン化合物、米国特許第3,046,127号および第2,951,758号明細書に開示されている多核キノン化合物、米国特許第3,549,367号明細書に開示されているトリアリルイミダゾールダイマー/p−アミノフェニルケトンの組合せ、特公昭51−48516号公報に開示されているベンゾチアゾール系化合物/トリハロメチール−s−トリアジン系化合物等を挙げることができる。
本発明に使用される溶剤は組成物の溶解性、塗布性を満足すれば基本的に特に限定されないが、特に染料、バインダーの溶解性、塗布性、安全性を考慮して選ばれることが好ましい。
本発明の組成物を調製する際に使用する溶剤としては、エステル類、例えば酢酸エチル、酢酸−n−ブチル、酢酸イソブチル、ギ酸アミル、酢酸イソアミル、酢酸イソブチル、プロピオン酸ブチル、酪酸イソプロピル、酪酸エチル、酪酸ブチル、アルキルエステル類、乳酸メチル、乳酸エチル、オキシ酢酸メチル、オキシ酢酸エチル、オキシ酢酸ブチル、メトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル、メトキシ酢酸ブチル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル、
ポジ型画像を得る為、即ち本発明の組成物がポジ型の組成物の場合、本発明の組成物には、溶剤とともに感光剤が含まれる。該感光剤としては、ナフトキノンジアジド化合物が好ましい。また、ポジ型着色剤含有硬化性組成物は硬化剤を含んでいてもよい。
上記ナフトキノンジアジド化合物としては、例えば、o−ベンゾキノンジアジドスルホン酸エステルまたはo−ナフトキノンジアジドスルホン酸エステルが挙げられる。具体的には、例えば、o−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸エステル、o−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸アミド、o−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸エステル、o−ナフトキノンジアジド−4−スルホン酸アミド等が挙げられる。これらのエステルやアミド化合物は、例えば特開平2−84650号公報、特開平3−49437号公報に一般式(I)で記載されているフェノール化合物等を用いて公知の方法により製造することができる。
上記光酸発生剤としては、露光により酸を発生する化合物であれば特に限定されないが、α−(4−トルエンスルフォニルオキシイミノ)フェニルアセテートニトリル(α−(4−toluenesulfonyloxyimino)phenylacetonitrile)等の各種オキシム系化合物、各種ヨードニウム化合物、各種スルフォニウム化合物、各種トリハロメチルトリアジン化合物等が挙げられる。
本発明のカラーフィルタは、少なくとも着色剤として上記一般式(I)で表される化合物(本発明のアゾ化合物)を含む。また、本発明の組成物を用いて製造されるのが好ましい。
この際に使用される放射線としては、特にg線、h線、i線等の紫外線が好ましく用いられる。
また、これらの支持体上に必要により、上部の層との密着改良、物質の拡散防止或いは基板表面の平坦化の為に、下塗り層を設けてもよい。
上記有機溶剤としては、本発明の組成物を調整する際に使用される前述の溶剤が挙げられる。
以下に、本発明のアゾ化合物の実施の例として合成例を示す。
[合成例1]:具体例(1)の合成
下記スキームにしたがって本発明のアゾ化合物の合成を行なった。なお、下記の各反応段階に示す(1)〜(5)の数字は化合物(1)〜(5)を示す。
合成例1において、化合物(2)をシクロヘキシルアミンに、4−メトキシ−2−ニトロベンゼンスルホニルクロライドを2−ニトロベンゼンスルホニルクロライドに、それぞれ代えたこと以外、合成例1と同様に合成を行なって本発明のアゾ化合物〔既述の具体例(2)〕を得ると共に、同様にNMRによる構造確認、λmax、ε、半値幅の測定を行なった。
1H−NMR(300MHz、溶媒:ジメチル−d6スルホキシド、標準物質:テトラメチルシラン)δ8.00ppm(2H,s)、7.91(1H,d)、7.79(1H,d)、7.67(1H,t)、7.60〜7.50(4H,m)、7.50〜7.35(2H,m)、7.18(1H,d)、3.20(1H,m)、2.43(3H,s)、1.55(4H,m)、1.45(1H,m)、1.25〜0.90(5H,m)。メタノール中でのλmax=392nm、ε=17000[l・mol-1cm-1]、半値幅=128nm。
合成例1において、化合物(2)をシクロヘキシルアミンに代えたこと以外、合成例1と同様に合成を行なって本発明のアゾ化合物〔既述の具体例(3)〕を得ると共に、同様にNMRによる構造確認、λmax、ε、半値幅の測定を行なった。
1H−NMR(300MHz、溶媒:ジメチル−d6スルホキシド、標準物質:テトラメチルシラン)δ8.02ppm(2H,s)、7.85(1H,d)、7.60〜7.45(4H,m)、7.40(1H,m)、7.25(1H,s)、7.02〜6.85(2H,m)、3.85(3H,s)、3.10(1H,m)、2.43(3H,s)、1.55(4H,m)、1.42(1H,m)、1.20〜0.85(5H,m)。メタノール中でのλmax=394nm、ε=17000[l・mol-1cm-1]、半値幅=135nm。
合成例1において、化合物(2)をN−エチルアニリンに代えたこと以外、合成例1と同様に合成を行なって本発明のアゾ化合物〔既述の具体例(4)〕を得ると共に、同様にNMRによる構造確認、λmax、ε、半値幅の測定を行なった。
1H−NMR(300MHz、溶媒:ジメチル−d6スルホキシド、標準物質:テトラメチルシラン)δ7.80ppm(2H,s)、7.63(1H,d)、7.60〜7.45(4H,m)、7.40(1H,m)、7.30〜7.10(4H,m)、7.02〜6.85(3H,m)、3.85(3H,s)、3.55(2H,q)、2.43(3H,s)、0.90(3H,t)。メタノール中でのλmax=401nm、ε=15800[l・mol-1cm-1]、半値幅=141nm。
合成例1において、化合物(2)をN−エチルアニリンに、4−メトキシ−2−ニトロベンゼンスルホニルクロライドを2−ニトロベンゼンスルホニルクロライドに、それぞれ代えたこと以外、合成例1と同様に合成を行なって本発明のアゾ化合物〔既述の具体例(5)〕を得ると共に、同様にNMRによる構造確認、λmax、ε、半値幅の測定を行なった。
1H−NMR(300MHz、溶媒:ジメチル−d6スルホキシド、標準物質:テトラメチルシラン)δ7.82〜7.62ppm(5H,m)、7.60〜7.45(4H,m)、7.45(1H,m)、7.30(2H,m)、7.30〜7.10(3H,m)、7.00(2H,d)、3.59(2H,q)、2.40(3H,s)、0.93(3H,t)。メタノール中でのλmax=399nm、ε=15500[l・mol-1cm-1]、半値幅=139nm。
合成例1において、化合物(2)を3−ヒドロキシメチルアニリンに、4−メトキシ−2−ニトロベンゼンスルホニルクロライドを2−ニトロベンゼンスルホニルクロライドに、それぞれ代えたこと以外、合成例1と同様に合成を行なって本発明のアゾ化合物〔既述の具体例(26)〕を得ると共に、同様にNMRによる構造確認、λmax、ε、半値幅の測定を行なった。
1H−NMR(300MHz、溶媒:ジメチル−d6スルホキシド、標準物質:テトラメチルシラン)δ10.00ppm(1H,s)、8.00(2H,s)、7.78(2H,d)、7.45〜7.65(5H,m)、7.30〜7.50(2H,m)、7.05〜7.20(2H,m)、6.95(2H,d)、5.18(1H,t)、4.35(2H,d)、2.40(3H,s)。メタノール中でのλmax=395nm、ε=16600[l・mol-1cm-1]、半値幅=135nm。
合成例1において、化合物(2)をp−クロロ−N−メチルアニリンに、4−メトキシ−2−ニトロベンゼンスルホニルクロライドを2−ニトロベンゼンスルホニルクロライドに、それぞれ代えたこと以外、合成例1と同様に合成を行なって本発明のアゾ化合物〔既述の具体例(6)〕を得ると共に、同様にNMRによる構造確認、λmax、ε、半値幅の測定を行なった。
1H−NMR(300MHz、溶媒:ジメチル−d6スルホキシド、標準物質:テトラメチルシラン)δ7.85〜7.65ppm(5H,m)、7.60〜7.45(4H,m)、7.30〜7.50(2H,m)、7.20(2H,d)、7.05(2H,d)、3.05(3H,s)、2.40(3H,s)。メタノール中でのλmax=402nm、ε=14400[l・mol-1cm-1]、半値幅=142.5nm。
合成例1において、化合物(2)を3,4−ジメトキシアニリンに、4−メトキシ−2−ニトロベンゼンスルホニルクロライドを2−ニトロベンゼンスルホニルクロライドに、それぞれ代えたこと以外、合成例1と同様に合成を行なって本発明のアゾ化合物〔既述の具体例(28)〕を得ると共に、同様にNMRによる構造確認、λmax、ε、半値幅の測定を行なった。
1H−NMR(300MHz、溶媒:ジメチル−d6スルホキシド、標準物質:テトラメチルシラン)δ9.45ppm(1H,s)、7.94(2H,s)、7.79(1H,d)、7.71(1H,d)、7.65(2H,d)、7.56(5H,m)、7.40(2H,m)、6.71(1H,d)、6.53(2H,m)、3.61(3H,s)、3.56(3H,s)、2.40(3H,s)。メタノール中でのλmax=397nm、ε=14100[l・mol-1cm-1]、半値幅=150.5nm。
合成例1において、化合物(2)を4’−(N−エチルアミノ)−アセトフェノンに、4−メトキシ−2−ニトロベンゼンスルホニルクロライドを4−ニトロベンゼンスルホニルクロライドに、それぞれ代えたこと以外、合成例1と同様に合成を行なって本発明のアゾ化合物〔既述の具体例(25)〕を得ると共に、同様にNMRによる構造確認、λmax、ε、半値幅の測定を行なった。
1H−NMR(300MHz、溶媒:ジメチル−d6スルホキシド、標準物質:テトラメチルシラン)δ7.95ppm(2H,d)、7.88(2H,d)、7.70(2H,br.s)、7.65(2H,d)、7.60〜7.50(4H,m)、7.41(1H,m)、7.30(2H,d)、3.70(2H,q)、2.56(3H,s)、2.40(3H,s)、1.00(3H,t)。メタノール中でのλmax=392.5nm、ε=23900[l・mol-1cm-1]、半値幅=118.0nm。
合成例1において、化合物(2)を4’− (N−エチルアミノ)−アセトアニリドに、4−メトキシ−2−ニトロベンゼンスルホニルクロライドを4−ニトロベンゼンスルホニルクロライドに、それぞれ代えたこと以外、合成例1と同様に合成を行なって本発明のアゾ化合物〔既述の具体例(29)〕を得ると共に、同様にNMRによる構造確認、λmax、ε、半値幅の測定を行なった。
1H−NMR(300MHz、溶媒:ジメチル−d6スルホキシド、標準物質:テトラメチルシラン)δ10.05ppm(1H,s)、7.88(2H,d)、7.70(2H,br.s)、7.65〜7.50(8H,m)、7.43(1H,m)、7.00(2H,d)、3.58(2H,q)、2.40(3H,s)、2.05(3H,s)、0.99(3H,t)。メタノール中でのλmax=392.0nm、ε=23700[l・mol-1cm-1]、半値幅=114.0nm。
合成例1において、化合物(2)を4,4’−ジアミノ−2,2’−ビフェニルジスルホン酸に、4−メトキシ−2−ニトロベンゼンスルホニルクロライドを4−ニトロベンゼンスルホニルクロライドに、それぞれ代えたこと以外、合成例1と同様に合成を行なって本発明のアゾ化合物〔既述の具体例(31);ビスアゾ体〕を得ると共に、同様にNMRによる構造確認、λmax、ε、半値幅の測定を行なった。
1H−NMR(300MHz、溶媒:ジメチル−d6スルホキシド、標準物質:テトラメチルシラン)δ10.18ppm(2H,br.s)、8.40〜6.40(28H,br.m)、2.40(6H,s)。メタノール中でのλmax=395.0nm、ε=26700[l・mol-1cm-1]、半値幅=138.0nm。
以下、本発明の着色剤含有硬化性組成物についての実施例により具体的に説明する。
[実施例1]
1)レジスト溶液の調製
下記組成を混合して溶解し、レジスト溶液を調製した。
〔レジスト溶液用組成〕
・プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート 19.00部
(PGMEA)
・エチルラクテート 36.00部
・シクロヘキサノン 0.87部
・バインダー 30.51部
(アリルメタクリレート/メタクリル酸)共重合体(モル比=65:35)41%PGMEA溶液
・ジペンタエリスリトールヘキサアクリレート 12.20部
・重合禁止剤(p−メトキシフェノール) 0.0075部
・フッ素系界面活性剤 0.95部
(商品名:F−475、大日本インキ化学工業(株)製)
・2−(O−ベンゾイルオキシム)−1−[4−(フェニルチオ)フェニル]−1,2−オクタンジオン(光重合開始剤) 0.600部
ガラス基板(コーニング1737)を1%NaOH水で超音波洗浄した後、水洗、脱水ベーク(200℃/30分)を行った。
ついで上記1)のレジスト溶液を洗浄したガラス基板上に膜厚2μmになるようにスピンコーターを用いて塗布し、220℃で1時間加熱乾燥し、硬化膜を形成し、下塗り層付ガラス基板を得た。
上記1)で得られたレジスト溶液9.4gと上記一般式(I)で表される化合物の具体例(22)0.6gとを混合して溶解し、着色剤含有レジスト溶液を得た。
上記3)で得られた染料レジスト溶液を上記2)で得られた下塗り層付ガラス基板の下塗り層の上に膜厚が1.0μmになるようにスピンコーターを用いて塗布し、120℃で120秒間プリベークした。
次いで、露光装置を使用して、塗布膜に365nmの波長で厚み20μmのマスクを通して800mJ/cm2の露光量で照射した。露光後、現像液(商品名:CD−2000、60%、富士フイルム・アーチ(株)製)を使用して、26℃・60秒間の条件で現像した。その後、流水で20秒間リンスした後、スプレー乾燥し、画像を形成した。
また、「未露光部現像性」、「露光部残膜率」は色度計(商品名:MCPD−1000、大塚電子(株)製)で測定した。
また、「未露光部現像性」とは、現像前後の膜の吸光度値の変化率を示し、ネガ型感光性組成物の場合には値が大きいほうがよい。さらに、「露光部残膜率」とは、現像前後の膜の吸光度値の維持率を示し、ネガ型感光性組成物の場合には値が大きいほうがよい。
上記未露光部現像性および上記露光部残膜率が共に高い値であるということは、パターン形成性がよいということを意味する。
また「耐光性」は、染料レジスト溶液を塗布したガラス基板に対し、キセノンランプを20万luxで10時間照射(200万lux・h相当)したのち、色度変化すなわちΔEab値を測定した。ΔEab値の小さいほうが耐光性がよい。
モル吸光係数(ε)は、メタノール中での吸光度から算出した。色価はモル吸光係数(ε)を染料のMwで除した値:ε/Mwを用いた。
これらの結果を表1に示す。
実施例1の3)着色剤含有レジスト溶液の調製において、着色剤を下記表1に示される化合物に変更した以外は、実施例1と同様にして画像を形成し、同様の評価をおこなった。結果を下記表1に示す。
実施例1〜7のガラス基板をシリコンウエハー基板に変更した以外は、実施例1と同様にして、画像を形成した。未露光部現像性、露光部の残膜率は実施例1〜7と同じ結果が得られた。
実施例8〜14においては、シリコンウエハー基板を用いており、実施例1〜7と基板が異なるが、着色剤レジスト溶液は実施例1〜14を通してすべて下塗り層上に塗布されているため、実質的に違いが生じることはなく、同じ諸性能が得られた。
実施例1の1)レジスト溶液の調製において、光重合開始剤をTAZ−107(みどり化学(株)製)に変更した以外は実施例1と同様にして画像を形成し、同様の評価を行った。結果を表1に示す。
実施例1の1)レジスト溶液の調製において、光重合開始剤を、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−4−モルホリノブチロフェノンに変更した以外は実施例1と同様にして画像を形成し、同様の評価を行った。結果を表1に示す。
実施例1の3)着色剤含有レジスト溶液の調製において、着色剤を下記のイエロー染料(比較用化合物1〜2)にそれぞれ変更した以外は実施例1と同様にして画像を形成し、同様の評価を行った。結果を表1に示す。
特に色価を向上させたことにより、染料の添加量を低減することができ、レジストの諸性能を向上させることができる。
また、表1の結果から明白であるように、従来の染料を用いた比較例1だと、露光部の残膜率、耐熱性、耐光性、色価が劣る性能を示すことが明白となった。
また、従来のピラゾロン−アゾ系染料を使用した比較例2だと、未露光部現像性、露光部の残膜率、耐熱性、耐光性が著しく劣る性能を示し、本発明のアゾ化合物(アミノピラゾール染料)の優位性が明白となった。
実施例1の3)着色剤含有レジスト溶液の調製において、着色剤含有レジスト溶液の代わりに下記により調製されたポジ型着色感光性樹脂組成物Aを用い、更に、露光において低圧水銀ランプを使用し、塗布膜に245nmおよび185nmの波長で厚み20μmのマスクを通して800mJ/cm2の露光量で照射した以外は実施例1と同様にして画像を形成し、同様の評価をおこなった。結果を下記表2に示す。
下記組成を混合して溶解し、ポジ型着色感光性樹脂組成物Aを得た。
〔組成〕
・エチルラクテート 75.0部
・下記バインダー(P−1) 14.0部
・上記一般式(I)で表される化合物の具体例(22) 6.0部
・光酸発生剤(下記PAG−1) 4.0部
・フッ素系界面活性剤 0.4部
(商品名:F−475、大日本インキ化学工業(株)製)
実施例1の3)着色剤含有レジスト溶液の調製において、着色剤含有レジスト溶液の代わりに下記により調製されたポジ型着色感光性樹脂組成物Bを用いた以外は実施例1と同様にして画像を形成し、同様の評価をおこなった。結果を下記表2に示す。
〔ポジ型着色感光性樹脂組成物Bの調製〕
・エチルラクテート 210.0部
・p−クレゾールとホルムアルデヒドとを縮合したノボラック樹脂(ポリスチレン換算分子量5500) 20.0部
・ヘキサメトキシメチロールメラミン 15.0部
・上記一般式(I)で表される化合物の具体例(22) 35.0部
・2,3,4−トリヒドロキシベンゾフェノンとo−ナフトキノンジアジド−5−スルホニルクロリドとのエステル化物(エステル化率:80mol%;キノンジアジド化合物) 15.0部
[4−(7,8−ジヒドロキシ−2,4,4−トリメチル−2−クロマニル)ピロガロール]とo−ナフトキノンジアジド−5−スルホン酸とのエステル
15.0部
実施例1の3)着色剤含有レジスト溶液の調製において、着色剤を下記表3に示される化合物に変更した以外は、実施例1と同様にして画像を形成し、同様の評価をおこなった。結果を下記表3に示す。
特に色価を向上させたことによって、染料の添加量を低減させることができることから、レジストの諸性能を向上させることができる。
Claims (4)
- 着色剤を含んでなる着色剤含有硬化性組成物であって、前記着色剤が下記一般式(I)で表される化合物を含むことを特徴とする着色剤含有硬化性組成物。
- 請求項2に記載の着色剤含有硬化性組成物を支持体上に塗布後、マスクを通して露光し、現像してパターンを形成することを特徴とするカラーフィルタの製造方法。
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