JP2005285976A - 半導体装置及びその製造方法、並びにこれを備えた電気光学装置及び電子機器 - Google Patents
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Abstract
【課題】 半導体装置において、薄膜トランジスタの下側遮光膜を低抵抗で且つ遮光性に優れる膜とする。
【解決手段】 基板上に設けられた薄膜トランジスタのゲート電極と、基板とゲート電極との間に設けられた薄膜トランジスタの活性層となる半導体膜と、半導体膜に接続される薄膜トランジスタのソース電極及びドレイン電極と、アルミニウムを含む材料を用いて構成される第1の膜とチタンを含む材料を用いて構成される第2の膜とを含む積層膜として形成されると共に、基板と活性層との間に設けられた下側遮光膜とを備える。
【選択図】 図6
【解決手段】 基板上に設けられた薄膜トランジスタのゲート電極と、基板とゲート電極との間に設けられた薄膜トランジスタの活性層となる半導体膜と、半導体膜に接続される薄膜トランジスタのソース電極及びドレイン電極と、アルミニウムを含む材料を用いて構成される第1の膜とチタンを含む材料を用いて構成される第2の膜とを含む積層膜として形成されると共に、基板と活性層との間に設けられた下側遮光膜とを備える。
【選択図】 図6
Description
本発明は、例えば液晶装置等の電気光学装置などに用いられる、基板上に薄膜トランジスタ(Thin Film Transistor;以下適宜、“TFT”と称する)を備えた半導体装置及びその製造方法、並びにこのような半導体装置を備えてなる、例えば液晶装置等の電気光学装置及び例えば液晶プロジェクタ等の電子機器の技術分野に関する。
この種の半導体装置として、特許文献1又は2には、TFTの下側に下側遮光膜を設ける構成が開示されている。これにより、TFTの下側から該TFTに入射する光を遮光し、光リーク電流を抑制することが可能となる。
特許文献1によれば、下側遮光膜は、チタン(Ti)を材料とする第1の膜、及び窒化チタン(TiN)を材料とする第2の膜を含む積層膜として形成されている。そして、このような積層膜として形成された下側遮光膜の端部をテーパー形状として加工し、該下側遮光膜上に形成される絶縁膜及び後工程への影響を低減する。
他方、特許文献2によれば、下側遮光膜は、高融点金属や高融点金属シリサイドを材料として形成されている。また、下側遮光膜の膜厚を10[nm]から100[nm]の範囲内とすることにより、遮光性を確保する。
しかしながら、上述したような構成によれば、下側遮光膜における抵抗は比較的高い値となる。従って、下側遮光膜を配線として利用する際の用途は、該配線の抵抗値が比較的高くてもよい、例えば補助配線に限られる。
また、下側遮光膜の反射率は、TFTの上側、即ち半導体膜側から斜めに入射する光が下側遮光膜によって反射され、TFTに入射するのを防止するために、低い値であるのが好ましい。
更には、上述した半導体装置の構成では、下側遮光膜と、TFTのゲート電極、ソース電極、又はドレイン電極とは、互いに異なる材料を用いて形成されている。従って、半導体装置の製造プロセスにおいて、TFTの各種電極と、下側遮光膜とは、夫々異なる成膜装置や加工装置により作製されるため、製造効率が低下するという問題点を生じる。
本発明は、上記問題点に鑑み成されたものであり、容易に製造可能である共に、低抵抗で且つ遮光性に優れるTFTの下側遮光膜を備える半導体装置及びその製造方法、並びにそのような半導体装置を備えてなる電気光学装置及び該電気光学装置を備えてなる電子機器を提供することを解決課題とする。
本発明の半導体装置は上記課題を解決するために、基板上に設けられた薄膜トランジスタのゲート電極と、前記基板と前記ゲート電極との間に設けられた前記薄膜トランジスタの活性層となる半導体膜と、前記半導体膜に接続される前記薄膜トランジスタのソース電極及びドレイン電極と、アルミニウムを含む材料を用いて構成される第1の膜とチタンを含む材料を用いて構成される第2の膜とを含む積層膜として形成されると共に、前記基板と前記活性層との間に設けられた下側遮光膜とを備える。
本発明の半導体装置では、TFTは、ゲート電極、活性層となる半導体膜、ソース電極、及びドレイン電極を備えた、例えばトップゲート型のトランジスタとして構成されている。TFTにおいて、半導体膜としてポリシリコン膜若しくはアモルファスシリコン膜が用いられる。
そして、基板上におけるTFTの下側に下側遮光膜が設けられている。下側遮光膜は、第1の膜及び第2の膜を含む積層膜として形成されている。第1の膜は、アルミニウム(Al)を材料とするか、又はアルミニウム(Al)と、1種類以上の他の金属とを含むアルミニウム(Al)合金を材料として用いて構成されている。
また、第2の膜は、チタン(Ti)又はチタン(Ti)合金を材料として用いて構成されている。ここで、チタン(Ti)合金とは、チタン(Ti)と、一種類以上の他の金属又は非金属とを含むものをいう。
下側遮光膜において第1の膜はアルミニウム(Al)を含む材料を用いて形成されているため、チタン(Ti)やチタン(Ti)合金、或いは高融点金属等を材料とする場合と比較して、下側遮光膜における抵抗を低下させることが可能となる。よって、下側遮光膜を補助配線に限らず、各種の配線に利用することができる。即ち、下側遮光膜を配線として有効に利用することが可能となる。
また、下側遮光膜は、第1及び第2の膜を含む積層膜として構成されているため、該下側遮光膜における反射率を、該下側遮光膜を第1の膜のみで形成する場合よりも、低下させることが可能となる。よって、下側遮光膜の表面で、該下側遮光膜にTFTの上側から入射した光が反射されることにより迷光となって、TFTに入射するのを防止することができる。また、下側遮光膜によって、TFTの下側から該TFTに入射する光が遮光される。従って、TFTにおける光リーク電流をより確実に抑制することが可能となる。また、下側遮光膜をフォトリソグラフィ法を用いてパターニングする場合に、該下側遮光膜をより微細なパターンとして容易に加工することができる。
このように本発明の半導体装置において、下側遮光膜では、低抵抗を維持しつつ遮光性を向上させることが可能となる。
本発明の半導体装置の一態様では、前記第1の膜は、アルミニウムを含む合金を用いて構成されている。
この態様によれば、第1の膜における抵抗値を低く維持することが可能となる。また、当該半導体装置の製造プロセスで、第1の膜におけるヒロックの発生をより確実に防止することができる。よって、下側遮光膜形成後の後工程における、下側遮光膜の耐熱性を向上させることが可能となる。加えて、下側遮光膜の端部を加工して、該端部の形状をテーパー形状とする場合も、残渣が下側遮光膜の端部に残るのをより確実に防止することができる。
本発明の半導体装置の他の態様では、前記積層膜は、前記第1の膜上に、前記第1の膜の上表面を覆うように前記第2の膜が積層されて形成された2層構造を有する。
この態様によれば、下側遮光膜の表面で、該下側遮光膜にTFTの上側から入射した光が反射されるのを防止することができる。
本発明の半導体装置の他の態様では、前記積層膜は、前記第1の膜及び前記第2の膜が積層されて形成された3層構造を有する。
この態様によれば、基板側から下側遮光膜に入射する光が、該下側遮光膜表面において反射されるのを防止することが可能となる。従って、下側遮光膜における遮光性をより向上させることができる。
本発明の半導体装置の他の態様では、前記下側遮光膜の厚さは150[nm]以下である。
この態様によれば、下側遮光膜における遮光性をより向上させることができる。第1の膜のみを用いて下側遮光膜を構成する場合と比較して、第2の膜の膜厚を調整することにより、第1の膜の膜厚をより薄くすることが可能となる。即ち、第2の膜の膜厚を調整することによって、下側遮光膜の遮光性を確保すればよい。このようにすれば、後工程において第1の膜によって与える影響を少なくすることが可能となる。
本発明の半導体装置の他の態様では、前記下側遮光膜の端部の形状はテーパー形状である。
この態様によれば、下側遮光膜上に低温ポリシリコン技術によって形成されたTFTの特性を向上させ、ばらつきを低減することが可能となる。
この、下側遮光膜の端部の形状をテーパー形状とする態様では、前記下側遮光膜の端部におけるテーパー角度は10度から40度の範囲内の値であるように構成してもよい。
このように構成すれば、下側遮光膜上に低温ポリシリコン技術によってTFTを形成する場合、半導体膜の前駆膜として形成されるアモルファスシリコン膜の表面に、下側遮光膜の端部により段差が生じるのをより確実に防止することが可能となる。ここで、10度以下のテーパー角度とすると、アモルファスシリコン膜を、必要な精度及び寸法でパターンを形成することが困難となる。また、特殊な加工技術が必要となるため、アモルファスシリコン膜の加工も困難となる。他方、40度以上のテーパー角度とすると、十分な段差低減の効果が得られず、TFTの特性の低下を招く。特に、20度から30度のテーパー角度の時に、実用性の高いパターン精度及び寸法が得られ、TFTの特性も向上させることが出来る。
本発明の半導体装置の他の態様では、前記下側遮光膜は、前記ゲート電極、前記ソース電極、及び前記ドレイン電極のいずれかと電気的に接続された配線として又は他の配線として設けられている。
この態様によれば、下側遮光膜は低抵抗であるため、補助配線に限らす、各種の配線に、有効利用することができる。
本発明の半導体装置の他の態様では、前記ゲート電極、前記ソース電極又は前記ドレイン電極は、前記積層膜を用いて構成されている。
この態様によれば、下側遮光膜とTFTとを共通の成膜装置及び加工装置により形成することが可能となる。従って、本発明の半導体装置を製造する際には、その製造工程を簡略化させることができる。
本発明の電気光学装置は上記課題を解決するために、上述した本発明の半導体装置(但し、その各種態様を含む)と、前記半導体装置によりアクティブ駆動される画素電極とを備える。
本発明の電気光学装置によれば、TFTにおける光リーク電流をより確実に抑制することが可能なため、各画素において、TFTの誤動作やフリッカの発生を防止すると共に、コントラストを向上させることができる。よって、高品質な画像表示を行うことが可能となる。
本発明の電気光学装置の一態様では、前記下側遮光膜は、前記画素電極に蓄積容量を付加するための容量線として設けられている。
この態様によれば、低抵抗である下側遮光膜を容量線として用いる。これにより、当該電気光学装置の駆動時、蓄積容量を用いることで各画素電極における画像信号の保持特性を向上させることが可能となる。よって、この態様によれば、更に高品質な画像を表示することが可能となる。
本発明の電子機器は上記課題を解決するために、上述した本発明の電気光学装置(但し、その各種態様を含む)を具備する。
本発明の電子機器は、上述した本発明の電気光学装置を具備してなるので、高品質な画像表示を行うことが可能な、投射型表示装置、テレビ、携帯電話、電子手帳、ワードプロセッサ、ビューファインダ型又はモニタ直視型のビデオテープレコーダ、ワークステーション、テレビ電話、POS端末、タッチパネルなどの各種電子機器を実現できる。また、本発明の電子機器として、例えば電子ペーパなどの電気泳動装置、電子放出装置(Field Emission Display及びConduction Electron-Emitter Display)、これら電気泳動装置、電子放出装置を用いた装置としてDLP(Digital Light Processing)等を実現することも可能である。
本発明の半導体装置の製造方法は上記課題を解決するために、基板上に、アルミニウムを含む材料を用いて構成される第1の膜、及びチタンを含む材料を用いて構成される第2の膜を積層することによって、下側遮光膜を形成する工程と、薄膜トランジスタの活性層となる半導体膜を、前記基板と前記活性層との間に前記下側遮光膜が配置されるように形成する工程と、前記薄膜トランジスタのゲート電極を、前記基板と前記ゲート電極との間に前記活性層が配置されるように形成する工程と、前記活性層に接続される前記薄膜トランジスタのソース電極及びドレイン電極を形成する工程とを含む。
本発明の半導体装置の製造方法では、下側遮光膜を形成した後の後工程でTFTが形成される。よって、後工程における加熱工程で、アルミニウム(Al)を含む材料を用いて形成される第1の膜においてヒロックが発生するのを、第1の膜に第2の膜を積層させることにより、防止することが可能となる。
本発明のこのような作用及び他の利得は次に説明する実施の形態から明らかにされる。
以下では、本発明の実施の形態について図を参照しつつ説明する。以下の実施形態は、本発明の電気光学装置を液晶装置に適用したものである。
<1:電気光学装置の全体構成>
本発明の電気光学装置の全体構成について、図1及び図2を参照して説明する。ここに、図1は、TFTアレイ基板をその上に形成された各構成要素と共に対向基板の側から見た電気光学装置の平面図であり、図2は、図1のH−H’断面図である。ここでは、電気光学装置の一例である駆動回路内蔵型のTFTアクティブマトリクス駆動方式の液晶装置を例にとる。
本発明の電気光学装置の全体構成について、図1及び図2を参照して説明する。ここに、図1は、TFTアレイ基板をその上に形成された各構成要素と共に対向基板の側から見た電気光学装置の平面図であり、図2は、図1のH−H’断面図である。ここでは、電気光学装置の一例である駆動回路内蔵型のTFTアクティブマトリクス駆動方式の液晶装置を例にとる。
図1及び図2において、本実施形態に係る電気光学装置では、TFTアレイ基板10と対向基板20とが対向配置されている。TFTアレイ基板10と対向基板20との間に液晶層50が封入されており、TFTアレイ基板10と対向基板20とは、画像表示領域10aの周囲に位置するシール領域に設けられたシール材52により相互に接着されている。
シール材52は、両基板を貼り合わせるための、例えば紫外線硬化樹脂、熱硬化樹脂等からなり、製造プロセスにおいてTFTアレイ基板10上に塗布された後、紫外線照射、加熱等により硬化させられたものである。また、シール材52中には、TFTアレイ基板10と対向基板20との間隔(基板間ギャップ)を所定値とするためのグラスファイバ或いはガラスビーズ等のギャップ材が散布されている。
シール材52が配置されたシール領域の内側に並行して、画像表示領域10aの額縁領域を規定する遮光性の額縁遮光膜53が、対向基板20側に設けられている。但し、このような額縁遮光膜53の一部又は全部は、TFTアレイ基板10側に内蔵遮光膜として設けられてもよい。
画像表示領域10aの周辺に位置する周辺領域のうち、シール材52が配置されたシール領域の外側に位置する領域には、データ線駆動回路101及び外部回路接続端子102がTFTアレイ基板10の一辺に沿って設けられている。また、走査線駆動回路104は、この一辺に隣接する2辺に沿い、且つ、前記額縁遮光膜53に覆われるようにして設けられている。更に、このように画像表示領域10aの両側に設けられた二つの走査線駆動回路104間をつなぐため、TFTアレイ基板10の残る一辺に沿い、且つ、前記額縁遮光膜53に覆われるようにして複数の配線105が設けられている。
また、対向基板20の4つのコーナー部には、両基板間の上下導通端子として機能する上下導通材106が配置されている。他方、TFTアレイ基板10にはこれらのコーナー部に対向する領域において上下導通端子が設けられている。これらにより、TFTアレイ基板10と対向基板20との間で電気的な導通をとることができる。
ここで、本実施形態では、図1又は図2には図示しないが、TFTアレイ基板10上には、本発明の半導体装置が設けられている。半導体装置の構成について詳細は後述するが、半導体装置には画素スイッチング用のTFTが含まれる。そして、図2において、TFTアレイ基板10上には、画素スイッチング用のTFTの他、走査線、データ線等の配線が形成された後の画素電極9a上に、配向膜が形成されている。他方、対向基板20上には、対向電極21の他、格子状又はストライプ状の遮光膜23、更には最上層部分に配向膜が形成されている。また、液晶層50は、例えば一種又は数種類のネマティック液晶を混合した液晶からなり、これら一対の配向膜間で、所定の配向状態をとる。
なお、図1及び図2に示したTFTアレイ基板10上には、これらのデータ線駆動回路101、走査線駆動回路104等に加えて、画像信号線上の画像信号をサンプリングしてデータ線に供給するサンプリング回路、複数のデータ線に所定電圧レベルのプリチャージ信号を画像信号に先行して各々供給するプリチャージ回路、製造途中や出荷時の電気光学装置の品質、欠陥等を検査するための検査回路等を形成してもよい。
<2:画素部の構成>
以下では、本実施形態における電気光学装置の画素部の構成について、図3から図5を参照して説明する。ここに図3は、電気光学装置の画像表示領域を構成するマトリクス状に形成された複数の画素における各種素子、配線等の等価回路であり、図4は、データ線、走査線、画素電極等が形成されたTFTアレイ基板の任意の画素部の平面図であり、図5は図4に示す画素部のA−A’断面図である。なお、図5においては、各層・各部材を図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各層・各部材ごとに縮尺を異ならしめてある。
以下では、本実施形態における電気光学装置の画素部の構成について、図3から図5を参照して説明する。ここに図3は、電気光学装置の画像表示領域を構成するマトリクス状に形成された複数の画素における各種素子、配線等の等価回路であり、図4は、データ線、走査線、画素電極等が形成されたTFTアレイ基板の任意の画素部の平面図であり、図5は図4に示す画素部のA−A’断面図である。なお、図5においては、各層・各部材を図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各層・各部材ごとに縮尺を異ならしめてある。
図3において、本実施形態における電気光学装置の画像表示領域を構成するマトリクス状に形成された複数の画素には、それぞれ、画素電極9aと画素電極9aをスイッチング制御するためのTFT30とが形成されており、画像信号が供給されるデータ線6aがTFT30のソースに電気的に接続されている。データ線6aに書き込む画像信号S1、S2、…、Snは、この順に線順次に供給しても構わないし、相隣接する複数のデータ線6a同士に対して、グループ毎に供給するようにしてもよい。
また、TFT30のゲートにゲート電極3aが電気的に接続されており、所定のタイミングで、走査線11a及びゲート電極3aにパルス的に走査信号G1、G2、…、Gmを、この順に線順次で印加するように構成されている。画素電極9aは、TFT30のドレインに電気的に接続されており、スイッチング素子であるTFT30を一定期間だけそのスイッチを閉じることにより、データ線6aから供給される画像信号S1、S2、…、Snを所定のタイミングで書き込む。
画素電極9aを介して電気光学物質の一例としての液晶に書き込まれた所定レベルの画像信号S1、S2、…、Snは、対向基板20に形成された対向電極21との間で一定期間保持される。液晶は、印加される電圧レベルにより分子集合の配向や秩序が変化することにより、光を変調し、階調表示を可能とする。ノーマリーホワイトモードであれば、各画素の単位で印加された電圧に応じて入射光に対する透過率が減少し、ノーマリーブラックモードであれば、各画素の単位で印加された電圧に応じて入射光に対する透過率が増加され、全体として電気光学装置からは画像信号に応じたコントラストをもつ光が出射する。
ここで書き込まれた画像信号を保持し、リークによる影響を低減するため、画素電極9aと対向電極との間に形成される液晶容量と並列に蓄積容量70を付加する。この蓄積容量70は、走査線11aに並んで設けられ、固定電位側容量電極を含むとともに定電位に固定された本発明に係る「容量線」に相当する容量電極300を含んでいる。
以下では、図4及び図5に加えて図6を参照して、任意の一の画素部におけるTFTアレイ基板10側の構成についてより詳細に説明する。
ここに、図6は、図5に示す断面の構成より本発明の半導体装置の主要部の構成を抜粋して示す断面図である。
図5において、ガラス基板等の透明基板を用いて構成されるTFTアレイ基板10上には、下地保護膜12が形成されている。下地保護膜12上に、本発明の半導体装置が形成されている。本発明の半導体装置は、トップゲート型のTFT30と、TFT30の下側に形成された容量電極としても機能する下側遮光膜300とを備えている。
下側遮光膜300は、第1の膜310上に、第1の膜310の上表面を覆うように第2の膜320が積層されて形成された2層構造となっている。第1の膜310は、アルミニウム(Al)と、銅(Cu)とを含むアルミニウム(Al)合金を材料として用いて構成されている。ここで、アルミニウム(Al)合金における、銅(Cu)の含有率は0.5[重量%]とするのが好ましい。また、第1の膜310は、アルミニウム(Al)を材料としてもよいし、アルミニウム(Al)合金として、アルミニウム(Al)と、パラジウム(Pd)、ネオジウム(Nd)、イットリウム(Y)等のうち1種類以上の金属とを含むものを材料として用いて構成されてもよい。これらの金属を加えることで、アルミニウム合金の耐熱性を向上させると共に、ヒロックの発生を防止することが出来る。尚、アルミニウム(Al)とパラジウム(Pd)と含む合金において、パラジウム(Pd)の含有率は10[重量%]とするのが好ましい。アルミニウム(Al)合金に含まれる金属を、パラジウム(Pd)の代わりにネオジウム(Nd)若しくはイットリウム(Y)を用いる場合も、パラジウム(Pd)と同様の含有率とするのがよい。このように構成すれば、ヒロックの発生を防止の効果が得られるとともに、第1の膜310における抵抗値を低く維持することが可能となる。
また、第2の膜320は、窒化チタン(TiN)を材料として用いて構成されている。ここで、第2の膜320を構成する材料としては、窒化チタン(TiN)の他のチタン(Ti)合金又はチタン(Ti)を用いるようにしてもよい。
本実施形態では、下側遮光膜300は第1の膜310を含むため、下側遮光膜300は低抵抗となり容量電極として利用することが可能となる。また、下側遮光膜300は、第1の膜310及び第2の膜320を積層することで形成した2層構造を有するため、下側遮光膜300において低い反射率を得ることが可能となる。よって、下側遮光膜300では、低抵抗を維持しつつTFTに対して高い遮光効果を得ることが可能となる。
ここで、図6を参照して、下側遮光膜300の構成について更に詳細に説明する。本実施形態では、下側遮光膜300において、第1の膜310の膜厚d1は、100[nm]とし、第2の膜320の膜厚は30[nm]として構成されている。本実施形態では、特に、第2の膜320の膜厚を調整することによって、第1の膜310の膜厚を薄膜化させると共に、下側遮光膜の遮光性を確保するのが好ましい。これにより、下側遮光膜300の膜厚は、150[nm]以下とするのがよい。第1の膜310は、低抵抗を維持しつつ遮光性を確保するために、50[nm]から100[nm]の範囲内の膜厚とするのが好ましい。第1の膜310の膜厚を100[nm]より大きくすると、下側遮光膜300の膜厚が厚くなってしまい、下側遮光膜300の端部を覆うように形成された第1層間絶縁膜13の表面に、大きな段差が生じる等の不具合が生じる。さらに、表面粗さが大きくなり、後述するレーザーアニールを用いた結晶化に影響を与えやすい。
また、第2の膜320は、安定した膜質を得ると共に下側遮光膜300における反射率を低下させるために、10[nm]から50[nm]の範囲内の膜厚とするのが好ましい。第2の膜320の膜厚を50[nm]より大きくすると、下側遮光膜300の膜厚が厚くなってしまい、第2の膜320における膜応力も大きくなり、剥がれ易くなる等の不具合を生じる。他方、第2の膜320の膜厚を10[nm]より小さくすると、半導体装置を製造する際、アルミニウム(Al)を含む材料を用いて形成される第1の膜310においてヒロックが発生するのを防止することができなくなる。
更に、本実施形態では、図5及び図6に示すように、下側遮光膜300の端部の形状をテーパー形状とするのが好ましい。図6において、下側遮光膜300の端部におけるテーパー角度θは10度から40度の範囲内の値であるのがよい。
また、図5及び図6において、下側遮光膜300上には、下側遮光膜300を埋め込んで第1層間絶縁膜13が形成されており、第1層間絶縁膜13上に、Nチャネル型若しくはPチャネル型のTFT30が形成されている。そして、TFT30は、半導体膜3、ゲート絶縁膜2、及びゲート電極3aを含む。半導体膜3は、第1層間絶縁膜13上に、例えば低温ポリシリコン技術を用いて結晶化されたポリシリコン膜として形成されている。半導体膜3には、TFT30のチャネル領域を挟んでその両側に不純物の低濃度領域1bが形成されている。また、半導体膜3において、低濃度領域1bに隣接して、TFT30のソース領域及びドレイン領域となる不純物の高濃度領域1aが形成されている。即ち、図4、図5並びに図6に示すTFT30はLDD(Lightly Doped Drain)構造を有している。
半導体膜3上には、半導体膜3を埋め込んでゲート絶縁膜2が形成されており、ゲート絶縁膜2上にゲート電極3aが形成されている。ゲート電極3a、並びにデータ線6a及びドレイン電極510は、下側遮光膜300と共通の成膜装置及び加工装置によって形成されるのが好ましい。この場合、ゲート電極3aは、第1の膜310及び第2の膜320が積層されて形成された、下側遮光膜300と同様の2層構造を有している。尚、図4に示す走査線11aは、好ましくはゲート電極3aと同一の工程で形成した積層膜によって、形成される。
また、下地保護膜12上には蓄積容量70が形成されている。蓄積容量70は、容量電極300、及び高濃度領域が形成された半導体膜3の一部によって形成される上部容量電極を含む。第1層間絶縁膜13は誘電体膜として形成されており、上部容量電極は、第1層間絶縁膜13の一部を容量電極300との間に挟持する。
図5において、ゲート電極3a及び図示しない走査線11aを埋め込んで、第2層間絶縁膜41が形成されており、第2層間絶縁膜41上に更に第3層間絶縁膜42が形成されている。
ここで、本実施形態では、データ線6a及びドレイン電極510は、ゲート電極3aと同様に、第1の膜310及び第2の膜320が積層された積層膜として形成されている。データ線6a及びドレイン電極510の構成は次のようになっている。第2及び第3層間絶縁膜41及び42には、第3層間絶縁膜42の表面から、第2及び第3層間絶縁膜41及び42並びにゲート酸化膜2を貫通して、半導体層3における高濃度領域1aの表面に至るコンタクトホール501及び502が形成されている。そして、コンタクトホール501及び502の各々の内壁に沿って第3層間絶縁膜42の表面上まで連続的に第1の膜310及び第2の膜320が積層されて形成されている。より具体的には、2つの第2の膜320によって、1つの第1の膜310が挟持されて形成された3層構造の積層膜が形成されており、積層膜によって、第3層間絶縁膜42上に、TFT30のソースに電気的に接続するデータ線6a並びにドレイン電極510が夫々形成されている。
また、第3層間絶縁膜42上には第4層間絶縁膜60が形成されると共に、第4層間絶縁膜60上には更に第5層間絶縁膜80が形成されている。そして、第5層間絶縁膜80の表面から、第4及び第5層間絶縁膜60及び80を貫通してドレイン電極510の表面に至るコンタクトホール505が開孔されている。コンタクトホール505内に、例えばITO(Indium Tin Oxide)を用いて構成される導電性材料を埋め込んで、図4に示すように画素部の開口領域に対応する領域に画素電極9aが形成されている。
本実施形態では、電気光学装置の駆動時、例えば光源からの光は、図2に示す対向基板20側から入射して、各画素において液晶層50を透過して表示光として、TFTアレイ基板10側から出射されることにより、画像表示が行われる。上述したように、下側遮光膜300は反射率の低い膜として形成されている。よって、電気光学装置において画像表示を行う際、図5及び図6中、下側遮光膜300の表面で、下側遮光膜300にTFT30の側から入射した光が反射されることにより迷光となって、TFT30に入射するのを防止することが出来る。また、図5及び図6中、下側遮光膜300によって、下側遮光膜300側からTFT30に入射する光が遮光される。従って、TFT30における光リーク電流をより確実に抑制することが可能となる。よって、各画素において、TFT30の誤動作やフリッカの発生を防止すると共に、コントラストを向上させることができる。よって、高品質な画像表示を行うことが可能となる。
ここで、本実施形態における半導体装置の製造方法について、図6に加えて図7を参照して説明する。
ここに、図7は、図6に示す下側遮光膜及び半導体膜の端部の形状をより詳細に説明するための、説明図である。
先ず、TFTアレイ基板10上に形成された下地保護膜12上に、第1の膜310及び第2の膜320を順次積層して下側遮光膜300を形成した後、下側遮光膜300を例えばフォトリソグラフィ法を用いてパターニングする。この際、下側遮光膜300における反射率は比較的低い値となっているため、露光工程において反射光の影響を抑えられ、ハレーション等の問題を起こすことが無い。このため、下側遮光膜300をより微細なパターンとして容易に加工することが可能となる。
ここで、例えば露光時のフォーカスオフセットを浅い側にずらし、現像時間を短めにする等の方法で、側面がテーパー形状となるレジストパターンを形成する。その形状をレジストと下側遮光膜300の選択比の低い条件のドライエッチング法を用いて、下側遮光膜300に転写することによって、下側遮光膜300の端部をテーパー形状とすることができる。この様な加工を行っても、下側遮光膜300はアルミニウムを含む材料を用いているため端部に、残渣が残り難い。尚、下側遮光膜300のパターニングの際、チタン(Ti)と酸化還元反応を起こすガス、例えば三塩素化ホウ素(BCl3)を含むガスを用いることにより、より確実に下側遮光膜300の端部に残渣が残るのを防止することができる。
下側遮光膜300を形成した後、第1層間絶縁膜13を形成する。そして、第1層間絶縁膜13上にTFT30を形成する。TFT30の作製において、レーザーアニールによって、アモルファスシリコン膜を結晶化させて、低温ポリシリコン技術により結晶化した半導体膜3を形成する。このような加熱工程では、第1の膜310においてヒロックが発生する恐れがある。本実施形態では、第1の膜310をアルミニウム(Al)合金を材料として形成すると共に、第1の膜310上に第2の膜320を積層させて形成するため、ヒロックの発生をより確実に防止することができる。よって、後工程による影響を受け難くすることが可能となる。また、上述したように、第2の膜320の膜厚を調整することによって、第1の膜310の膜厚を薄膜化させることにより、後工程において第1の膜310によって与える影響を少なくすることが可能となる。
ここで、テーパー形状に加工した下側遮光膜300の端部に残渣が残っていると、残渣により生じた下側遮光膜300の端部の表面には段差が生じることとなる。この段差は、半導体膜3の前駆膜として下側遮光膜300上に形成されたアモルファスシリコン膜に第1層間絶縁膜13を介して伝わって、アモルファスシリコン膜の表面には段差が生じる。また、下側遮光膜300の端部をテーパー形状として加工しない場合には、より顕著に、アモルファスシリコン膜の表面には下側遮光膜300の端部により段差が生じる。このようにアモルファスシリコン膜の表面に段差が生じている状態で上述したレーザーアニールによる結晶化を行うと、アブレーションにより、半導体膜3の結晶性が乱れたり、膜の剥離が起こる可能性がある。TFT30の活性層となる半導体膜3の結晶性が乱れると、TFT30におけるデバイス特性が劣化し、ばらつきが増大する。
図7には、残渣の無いテーパー形状で形成された下側遮光膜300の端部、及び半導体膜3の端部について、その形状を詳細に示してある。図7に示すように、下側遮光膜300の端部の形状が残渣の無いテーパー形状として形成されると、アモルファスシリコン膜を表面に段差が無く平坦性の高い膜として形成することができる。更に、下側遮光膜300における第1の膜310は比較的熱伝導性に優れるため、レーザーアニールにおいてアモルファスシリコン膜に均一に熱を伝導させることが可能となる。その結果、レーザーアニールによってアモルファスシリコン膜を均一に結晶化させることが可能となり、TFT30のデバイス特性を向上させ、ばらつきを低減することが可能となる。
加えて、上述したようにTFT30のゲート電極3a、データ線6a、及びドレイン電極510を、第1の膜310及び第2の膜320を用いて形成することにより、下側遮光膜300とTFT30とを共通の成膜装置及び加工装置により形成することが可能となる。従って、半導体装置の製造工程を簡略化させることができる。
<3;変形例>
上述した本実施形態の変形例について、図8及び図9を参照して説明する。
ここに、図8は、図5に対応する断面の構成を示す断面図であって、図9は、図8に示す断面の構成より半導体装置の主要部の構成を抜粋して示す断面図である。
上述した本実施形態の変形例について、図8及び図9を参照して説明する。
ここに、図8は、図5に対応する断面の構成を示す断面図であって、図9は、図8に示す断面の構成より半導体装置の主要部の構成を抜粋して示す断面図である。
本変形例において、下側遮光膜300aは、最下層(第1層)に第2の膜320、第2層に第1の膜310、及び最上層(第3層)に第2の膜320が積層されて形成された3層構造となっている。図8において、例えば、最下層の第2の膜320の膜厚d2aは20[nm]、第2層の第1の膜310の膜厚d1は90[nm]、並びに最上層の第2の膜320の膜厚d2bは30[nm]として夫々形成されており、下側遮光膜300aの膜厚は150[nm]以下となっている。
従って、本変形例では、最下層の第2の膜320によって、TFTアレイ基板10側から下側遮光膜300aに入射する光が、下側遮光膜300a表面において反射されるのを防止することが可能となる。従って、下側遮光膜300aによって反射された光が迷光となって、TFT30に入射するのを防止することができる。その結果、よりTFTに対する高い遮光効果を得ることができる。
<4;電子機器>
次に、上述した電気光学装置である液晶装置を各種の電子機器に適用する場合について説明する。
次に、上述した電気光学装置である液晶装置を各種の電子機器に適用する場合について説明する。
<4−1:プロジェクタ>
まず、この液晶装置をライトバルブとして用いたプロジェクタについて説明する。図10は、プロジェクタの構成例を示す平面配置図である。この図に示されるように、プロジェクタ1100内部には、ハロゲンランプ等の白色光源からなるランプユニット1102が設けられている。このランプユニット1102から射出された投射光は、ライトガイド1104内に配置された4枚のミラー1106および2枚のダイクロイックミラー1108によってRGBの3原色に分離され、各原色に対応するライトバルブとしての液晶パネル1110R、1110Bおよび1110Gに入射される。
まず、この液晶装置をライトバルブとして用いたプロジェクタについて説明する。図10は、プロジェクタの構成例を示す平面配置図である。この図に示されるように、プロジェクタ1100内部には、ハロゲンランプ等の白色光源からなるランプユニット1102が設けられている。このランプユニット1102から射出された投射光は、ライトガイド1104内に配置された4枚のミラー1106および2枚のダイクロイックミラー1108によってRGBの3原色に分離され、各原色に対応するライトバルブとしての液晶パネル1110R、1110Bおよび1110Gに入射される。
液晶パネル1110R、1110Bおよび1110Gの構成は、上述した液晶装置と同等であり、画像信号処理回路から供給されるR、G、Bの原色信号でそれぞれ駆動されるものである。そして、これらの液晶パネルによって変調された光は、ダイクロイックプリズム1112に3方向から入射される。このダイクロイックプリズム1112においては、RおよびBの光が90度に屈折する一方、Gの光が直進する。したがって、各色の画像が合成される結果、投射レンズ1114を介して、スクリーン等にカラー画像が投写されることとなる。
ここで、各液晶パネル1110R、1110Bおよび1110Gによる表示像について着目すると、液晶パネル1110Gによる表示像は、液晶パネル1110R、1110Bによる表示像に対して左右反転することが必要となる。
なお、液晶パネル1110R、1110Bおよび1110Gには、ダイクロイックミラー1108によって、R、G、Bの各原色に対応する光が入射するので、カラーフィルタを設ける必要はない。
<4−2:モバイル型コンピュータ>
次に、液晶装置を、モバイル型のパーソナルコンピュータに適用した例について説明する。図11は、このパーソナルコンピュータの構成を示す斜視図である。図において、コンピュータ1200は、キーボード1202を備えた本体部1204と、液晶表示ユニット1206とから構成されている。この液晶表示ユニット1206は、先に述べた液晶装置1005の背面にバックライトを付加することにより構成されている。
次に、液晶装置を、モバイル型のパーソナルコンピュータに適用した例について説明する。図11は、このパーソナルコンピュータの構成を示す斜視図である。図において、コンピュータ1200は、キーボード1202を備えた本体部1204と、液晶表示ユニット1206とから構成されている。この液晶表示ユニット1206は、先に述べた液晶装置1005の背面にバックライトを付加することにより構成されている。
<4−3;携帯電話>
さらに、液晶装置を、携帯電話に適用した例について説明する。図12は、この携帯電話の構成を示す斜視図である。図において、携帯電話1300は、複数の操作ボタン1302とともに、反射型の液晶装置1005を備えるものである。この反射型の液晶装置1005にあっては、必要に応じてその前面にフロントライトが設けられる。
さらに、液晶装置を、携帯電話に適用した例について説明する。図12は、この携帯電話の構成を示す斜視図である。図において、携帯電話1300は、複数の操作ボタン1302とともに、反射型の液晶装置1005を備えるものである。この反射型の液晶装置1005にあっては、必要に応じてその前面にフロントライトが設けられる。
尚、図10から図12を参照して説明した電子機器の他にも、液晶テレビや、ビューファインダ型、モニタ直視型のビデオテープレコーダ、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳、電卓、ワードプロセッサ、ワークステーション、テレビ電話、POS端末、タッチパネルを備えた装置等などが挙げられる。そして、これらの各種電子機器に適用可能なのは言うまでもない。
本発明は、上述した実施形態に限られるものではなく、請求の範囲及び明細書全体から読み取れる発明の要旨或いは思想に反しない範囲で適宜変更可能であり、そのような変更を伴う半導体装置及びその製造方法、並びにこのような半導体装置を備えてなる電気光学装及び該電気光学装置を備えてなる電子機器もまた本発明の技術的範囲に含まれるものである。
2…ゲート絶縁膜、3…半導体膜、3a…ゲート電極、6a…データ線、510…ドレイン電極、10…TFTアレイ基板、13…第1層間絶縁膜、30…TFT、300…下側遮光膜、310…第1の膜、320…第2の膜
Claims (13)
- 基板上に設けられた薄膜トランジスタのゲート電極と、
前記基板と前記ゲート電極との間に設けられた前記薄膜トランジスタの活性層となる半導体膜と、
前記半導体膜に接続される前記薄膜トランジスタのソース電極及びドレイン電極と、
アルミニウムを含む材料を用いて構成される第1の膜とチタンを含む材料を用いて構成される第2の膜とを含む積層膜として形成されると共に、前記基板と前記活性層との間に設けられた下側遮光膜と
を備えることを特徴とする半導体装置。 - 前記第1の膜は、アルミニウムを含む合金を用いて構成されていること
を特徴とする請求項1に記載の半導体装置。 - 前記積層膜は、前記第1の膜上に、前記第1の膜の上表面を覆うように前記第2の膜が積層されて形成された2層構造を有すること
を特徴とする請求項1又は2に記載の半導体装置。 - 前記積層膜は、前記第1の膜及び前記第2の膜が積層されて形成された3層構造を有すること
を特徴とする請求項1又は2に記載の半導体装置。 - 前記下側遮光膜の厚さは150[nm]以下であることを特徴とする請求項1から4のいずれか一項に記載の半導体装置。
- 前記下側遮光膜の端部の形状はテーパー形状であることを特徴とする請求項1から5のいずれか一項に記載の半導体装置。
- 前記下側遮光膜の端部におけるテーパー角度は10度から40度の範囲内の値であること
を特徴とする請求項6に記載の半導体装置。 - 前記下側遮光膜は、前記ゲート電極、前記ソース電極、及び前記ドレイン電極のいずれかと電気的に接続された配線として又は他の配線として設けられていること
を特徴とする請求項1から7のいずれか一項に記載の半導体装置。 - 前記ゲート電極、前記ソース電極又は前記ドレイン電極は、前記積層膜を用いて構成されていること
を特徴とする請求項1から8のいずれか一項に記載の半導体装置。 - 請求項1から9のいずれか一項に記載の半導体装置と、
前記半導体装置によりアクティブ駆動される画素電極と
を備えることを特徴とする電気光学装置。 - 前記下側遮光膜は、前記画素電極に蓄積容量を付加するための容量線として設けられていること
を特徴とする請求項10に記載の電気光学装置。 - 請求項10又は11に記載の電気光学装置を具備してなることを特徴とする電子機器。
- 基板上に、アルミニウムを含む材料を用いて構成される第1の膜、及びチタンを含む材料を用いて構成される第2の膜を積層することによって、下側遮光膜を形成する工程と、
薄膜トランジスタの活性層となる半導体膜を、前記基板と前記活性層との間に前記下側遮光膜が配置されるように形成する工程と、
前記薄膜トランジスタのゲート電極を、前記基板と前記ゲート電極との間に前記活性層が配置されるように形成する工程と、
前記活性層に接続される前記薄膜トランジスタのソース電極及びドレイン電極を形成する工程と
を含むことを特徴とする半導体装置の製造方法。
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-
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