JP2005279376A - 塗膜形成方法、および液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法 - Google Patents

塗膜形成方法、および液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法 Download PDF

Info

Publication number
JP2005279376A
JP2005279376A JP2004094759A JP2004094759A JP2005279376A JP 2005279376 A JP2005279376 A JP 2005279376A JP 2004094759 A JP2004094759 A JP 2004094759A JP 2004094759 A JP2004094759 A JP 2004094759A JP 2005279376 A JP2005279376 A JP 2005279376A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
substrate
atmospheric pressure
pressure plasma
coating
coating film
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2004094759A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2005279376A5 (enExample
Inventor
Masanori Okamura
昌紀 岡村
Toshinori Nakahara
敏典 中原
Yasushi Kobayashi
裕史 小林
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toray Industries Inc
Original Assignee
Toray Industries Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toray Industries Inc filed Critical Toray Industries Inc
Priority to JP2004094759A priority Critical patent/JP2005279376A/ja
Publication of JP2005279376A publication Critical patent/JP2005279376A/ja
Publication of JP2005279376A5 publication Critical patent/JP2005279376A5/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Optical Filters (AREA)
  • Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
JP2004094759A 2004-03-29 2004-03-29 塗膜形成方法、および液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法 Pending JP2005279376A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004094759A JP2005279376A (ja) 2004-03-29 2004-03-29 塗膜形成方法、および液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2004094759A JP2005279376A (ja) 2004-03-29 2004-03-29 塗膜形成方法、および液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2005279376A true JP2005279376A (ja) 2005-10-13
JP2005279376A5 JP2005279376A5 (enExample) 2007-05-24

Family

ID=35178335

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2004094759A Pending JP2005279376A (ja) 2004-03-29 2004-03-29 塗膜形成方法、および液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2005279376A (enExample)

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008303232A (ja) * 2007-06-05 2008-12-18 Mitsubishi Plastics Inc ポリエステルフィルム
JP2016049396A (ja) * 2014-09-02 2016-04-11 株式会社オーク製作所 脱臭装置
WO2017141738A1 (ja) * 2016-02-17 2017-08-24 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス 基板処理装置および基板処理方法
JP2019070766A (ja) * 2017-10-11 2019-05-09 シャープ株式会社 液晶パネルの製造方法

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008303232A (ja) * 2007-06-05 2008-12-18 Mitsubishi Plastics Inc ポリエステルフィルム
JP2016049396A (ja) * 2014-09-02 2016-04-11 株式会社オーク製作所 脱臭装置
WO2017141738A1 (ja) * 2016-02-17 2017-08-24 株式会社Ｓｃｒｅｅｎホールディングス 基板処理装置および基板処理方法
US11400480B2 (en) 2016-02-17 2022-08-02 SCREEN Holdings Co., Ltd. Substrate processing apparatus and substrate processing method
JP2019070766A (ja) * 2017-10-11 2019-05-09 シャープ株式会社 液晶パネルの製造方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6322956B1 (en) Thin film coater and coating method
JP2002282807A (ja) 基板の洗浄方法および洗浄装置
JP2005279376A (ja) 塗膜形成方法、および液晶表示装置用カラーフィルタの製造方法
JPH05182945A (ja) 洗浄装置
KR101252481B1 (ko) 세정장치를 구비한 인-라인 현상장비 및 이를 이용한 액정표시장치의 제조방법
JP4254119B2 (ja) カラーフィルタおよびカラーフィルタの製造方法
JP3934947B2 (ja) カラーフィルター又は液晶用構造材の現像方法
JP3367081B2 (ja) カラーフィルタの製造方法
JP4906259B2 (ja) 表示装置用基板の製造方法
KR101052953B1 (ko) 기판 처리 방법
JP4055479B2 (ja) プラズマディスプレイ装置の製造方法
JP2009237082A (ja) カラーフィルタの製造方法
JP2006251607A (ja) カラーフィルタの製造方法
KR100469558B1 (ko) 알코올과 에테르를 포함하는 새로운 에지 비드 제거용세정 용액 및 이를 이용한 세정 방법
JP2002333516A (ja) 透明基板および透明基板の製造方法
JPH11326626A (ja) カラーフィルタの製造方法
JP2000338317A (ja) 液晶ディスプレイ用カラーフィルタおよびその製造方法
JP4453074B2 (ja) 基板の現像方法およびそれを用いたプラズマディスプレイ用部材の製造方法
CN107179655A (zh) 一种显影方法及显影装置
JPH09281323A (ja) カラーフィルターの製造方法
JP2007094311A (ja) 露光・現像・洗浄方法および露光・現像・洗浄装置
JP2002082426A (ja) フォトマスクの洗浄方法および洗浄装置
JP5104605B2 (ja) カラーフィルタ用ガラス基板の再生方法
JP2009237078A (ja) カラーフィルタの製造方法
JP2012252079A (ja) カラーフィルタ、およびその製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
A521 Written amendment

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20070329

A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20070329

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20090729

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20090811

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20100119