JP2005272831A - ケイ酸塩蛍光体の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】
高い輝度を示すケイ酸塩蛍光体の製造方法を提供する。
【解決手段】
酸化ケイ素を含む金属化合物の混合物を焼成することによるケイ酸塩蛍光体の製造方法において、ＢＥＴ比表面積が１０ｍ²／ｇ以上である酸化ケイ素を含有する混合物に、ハロゲン化合物を含有させ、これを焼成することを特徴とするケイ酸塩蛍光体の製造方法。ケイ酸塩蛍光体が、一般式ｍＭ¹Ｏ・ｎＭ²Ｏ・２ＳｉＯ₂（式中のＭ¹はＣａ、ＳｒおよびＢａからなる群より選ばれる１種以上、Ｍ²はＭｇおよびＺｎからなる群より選ばれる１種以上、ｍは０．５以上３．５以下、ｎは０．５以上２．５以下である。）により表される化合物に、付活剤としてＥｕ、Ｍｎからなる群より選ばれる１種以上が含有されてなるケイ酸塩蛍光体である前記記載の製造方法。
【選択図】 なし

Description

本発明は、ケイ酸塩蛍光体の製造方法に関する。

ケイ酸塩蛍光体は、蛍光灯、ブラウン管、真空紫外線励起発光素子等に用いられている。ケイ酸塩蛍光体は、金属化合物の混合物であって、焼成によりケイ酸塩蛍光体を形成する混合物を焼成して製造されている。例えば、ケイ酸塩蛍光体の一つであり真空紫外線により青色に発光する蛍光体であるＣａ_0.855Ｓｒ_0.095Ｅｕ_0.05ＭｇＳｉ₂Ｏ₆の製造においては、ＢＥＴ比表面積が２１０ｍ²／ｇの酸化ケイ素（ＳｉＯ₂）、炭酸カルシウム（ＣａＣＯ₃）、炭酸ストロンチウム（ＳｒＣＯ₃）、酸化ユーロピウム（Ｅｕ₂Ｏ₃）、塩基性炭酸マグネシウム（（ＭｇＣＯ₃）₄Ｍｇ（ＯＨ）₂・５Ｈ₂Ｏ）を混合し、２体積％Ｈ₂含有アルゴン雰囲気中で焼成して製造する方法が提案されている（例えば、特許文献１参照。）。しかし、さらに高い輝度を示すケイ酸塩蛍光体の製造方法が求められていた。

特開２００３−１８３６４４号公報

本発明の目的は、高い輝度を示すケイ酸塩蛍光体の製造方法を提供することにある。

本発明者らは、かかる状況下、上記課題を解決すべく鋭意検討を重ねた結果、本発明を完成するに至った。

すなわち本発明は、酸化ケイ素を含む金属化合物の混合物を焼成することによるケイ酸塩蛍光体の製造方法において、ＢＥＴ比表面積が１０ｍ²／ｇ以上である酸化ケイ素を含有する混合物に、ハロゲン化合物を含有させ、これを焼成することを特徴とするケイ酸塩蛍光体の製造方法を提供する。また本発明は、上記記載の製造方法によって得られたケイ酸塩蛍光体を提供する。さらに本発明は、前記ケイ酸塩蛍光体を用いてなる真空紫外線励起発光素子を提供する。

本発明の製造方法によれば、高い輝度を示すケイ酸塩蛍光体を製造することができる。このケイ酸塩蛍光体は真空紫外線励起における発光輝度が高いので、プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）や希ガスランプなどの真空紫外線励起発光素子に好適な蛍光体として工業的に極めて有用なものである。

以下に本発明について詳しく説明する。
本発明のケイ酸塩蛍光体の製造方法は、酸化ケイ素を含む金属化合物の混合物であって、焼成によりケイ酸塩蛍光体を構成しうる混合物を焼成するケイ酸塩蛍光体の製造方法に関し、酸化ケイ素を含む金属化合物の混合物にハロゲン化合物を含有させて焼成するケイ酸塩蛍光体の製造方法に関する。

本発明の製造方法において、酸化ケイ素を含む金属化合物の混合物で焼成によりケイ酸塩蛍光体を構成しうる混合物に含有される金属化合物としては、ケイ酸塩蛍光体を構成する金属元素の水酸化物、炭酸塩、硝酸塩、ハロゲン化物、シュウ酸塩など高温で酸化物となる化合物または酸化物を用いることができる。

含有させるハロゲン化合物としては、ハロゲン化アンモニウムかまたは、目的とするケイ酸塩蛍光体を構成する金属元素のうちの１つ以上の金属元素のハロゲン化物が好ましく、金属元素のハロゲン化物がより好ましい。ハロゲン化合物の量は、ハロゲン化合物と金属化合物の合計量に対して１重量％以上５０重量％以下が高い輝度を示すケイ酸塩蛍光体が得られる傾向があるので好ましく、より好ましくは３重量％以上２０重量％以下である。

例えば、青色蛍光体であるＣａ_0.96Ｅｕ_0.04ＭｇＳｉ₂Ｏ₆を製造するときは、焼成することによりＣａ_0.96Ｅｕ_0.04ＭｇＳｉ₂Ｏ₆を構成しうるＣａ、Ｍｇ、Ｓｉ、Ｅｕの化合物を出発原料とすることができる。そして例えば、ＣａＣｌ₂、ＣａＯ、ＭｇＯ、ＳｉＯ₂、Ｅｕ₂Ｏ₃を、ＣａＣｌ₂とＣａＯのモル比を１：３とし、モル比Ｃａ：Ｅｕ：Ｍｇ：Ｓｉが０．９６：０．０４：１：２となるように混合してハロゲン化合物を含有した酸化ケイ素を含む金属化合物混合物とすることができ、この場合はＣａＣｌ₂：ＣａＯ：Ｅｕ₂Ｏ₃：ＭｇＯ：ＳｉＯ₂の重量比は２６．６４：４０．３２：７．０４：４０：６０と算出されるので、混合物中のハロゲン化合物（ＣａＣｌ₂）の含有量は、１５重量％となる。

酸化ケイ素を含む金属化合物の混合物で焼成によりケイ酸塩蛍光体を構成しうる混合物は、ケイ酸塩蛍光体を構成する金属元素の化合物を所定のモル比となるように秤量して混合して得ることができる。

酸化ケイ素を含む金属化合物の混合物にハロゲン化合物を含有させるには、該金属化合物の混合物にハロゲン化合物を混合して含有させることができ、また、該金属化合物を混合する際に、ハロゲン化合物を該金属化合物に加えて混合して含有させることができる。該金属化合物を混合する際に、ハロゲン化合物を該金属化合物に加えて混合する場合、例えば、該金属化合物全量とハロゲン化合物全量を混合して行ってもよく、用いる該金属化合物のうちの一部の量と、ハロゲン化合物全量を混合し、中間混合物を得て、該金属化合物の残りの量を中間混合物に加えて混合して行ってもよく、用いる該金属化合物のうちの一部の種類の金属化合物とハロゲン化合物を混合し、得られた中間混合物に該金属化合物のうちの残りの種類のものを加えて混合して行ってもよい。また、ハロゲン化合物を水溶液とし、該金属化合物と湿式で混合してもよい。

混合には、工業的に通常用いられている混合方法を用いることができ、乾式混合を行う場合には、ボールミル、Ｖ型混合機、攪拌装置等の装置を用いて行うことができ、湿式混合を行う場合には、ボールミルや攪拌装置を用いて行うことができる。

湿式混合を行った場合には、直接乾燥するかまたは濾過や遠心分離等の方法により固体を液体から分離した後に乾燥する。乾燥温度は通常は２０〜３００℃の範囲であり、好ましくは９０〜２００℃の範囲である。乾燥させる方法としては、吸引しながら乾燥させるエバポレーションを用いても、顆粒化しながら乾燥させるスプレードライを用いてもよい。

ここで、本発明の製造方法は、酸化ケイ素を含む金属化合物の混合物が、Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａ、Ｍｇ、Ｅｕ、ＭｎおよびＺｎからなる群から選ばれる１種以上の金属元素の化合物を含む場合に好ましく適用でき、本発明の製造方法におけるケイ酸塩蛍光体としては、一般式ｍＭ¹Ｏ・ｎＭ²Ｏ・２ＳｉＯ₂（式中のＭ¹はＣａ、ＳｒおよびＢａからなる群より選ばれる１種以上、Ｍ²はＭｇおよびＺｎからなる群より選ばれる１種以上、ｍは０．５以上３．５以下、ｎは０．５以上２．５以下である。）で表される化合物に付活剤としてＥｕ、Ｍｎからなる群より選ばれる１種以上が含有されてなるケイ酸塩蛍光体が好ましい。

本発明のケイ酸塩蛍光体の製造方法は、金属化合物の混合物に含まれる金属化合物の一つとして、ＢＥＴ比表面積が１０ｍ²／ｇ以上の酸化ケイ素を用いることを特徴とする。ＢＥＴ比表面積は１００ｍ²／ｇ以上がより好ましく、２００ｍ²／ｇ以上４００ｍ²／ｇ以下の範囲がさらに好ましい。酸化ケイ素のＢＥＴ比表面積が１０ｍ²／ｇ以上であると、特に高い輝度を示すケイ酸塩蛍光体が得られる傾向がある。また、酸化ケイ素のＢＥＴ比表面積が４００ｍ²／ｇを超えると、酸化ケイ素の操作性が良好でない場合がある。

次に、金属化合物の混合物を焼成する。金属化合物の混合物の焼成は、９００℃以上１４００℃以下の温度範囲で保持して行うことができる。保持時間は、通常は０．５〜５０時間である。また、焼成の前に、６００℃以上９００℃未満の温度範囲で保持して仮焼することも可能である。ただし、ハロゲン化合物が仮焼により酸化物になる場合は、金属化合物の混合物とハロゲン化合物の混合は仮焼後に行うことが好ましい。また、焼成時の雰囲気としては、例えば水素を０．１〜１０体積％含有する窒素、水素を０．１〜１０体積％含有するアルゴン等の還元性雰囲気が挙げられる。またさらに強い還元雰囲気で焼成するために、適量の炭素を添加して焼成してもよい。また仮焼時の雰囲気は、大気等の酸化性雰囲気、上記の還元性雰囲気のいずれでもよい。

上記のようにして得られた蛍光体を、ボールミルやジェットミル等を使用して粉砕してもよく、水等で洗浄してもよく、また必要に応じ分級してもよい。また、焼成を二度以上行ってもよい。焼成を繰り返すことにより、輝度がさらに高くなることがある。焼成を２度以上繰り返す場合はその都度ハロゲン化合物を混合してもよい。本発明によって得られるケイ酸塩蛍光体の粒子は結晶性が高く、高い輝度を示す。さらに、色純度が良好なこともある。

本発明の製造方法により得られたケイ酸塩蛍光体は、高い輝度を示すので、該蛍光体を用いてなる発光素子は高い輝度を示し、特に真空紫外線励起により高い輝度を示すので、ＰＤＰなどの真空紫外線励起発光素子用に好適である。

本発明の製造方法により製造されたケイ酸塩蛍光体を用いてなる発光素子として真空紫外線励起発光素子が挙げられ、例えばＰＤＰは次のようにして製造することができる。ＰＤＰの製造方法としては、例えば、特開平１０−１９５４２８号公報に開示されているような公知の方法が使用できる。すなわち、青色、緑色、赤色発光用のそれぞれの真空紫外線励起発光素子用蛍光体を、例えば、セルロース系化合物、ポリビニルアルコールのような高分子化合物および有機溶媒からなるバインダーと混合して蛍光物質ペーストを調製する。背面基板の内面の、隔壁で仕切られアドレス電極を備えたストライプ状の基板表面と隔壁面に、蛍光体ペーストをスクリーン印刷などの方法によって塗布し、３００〜６００℃の温度範囲で焼成し、それぞれの蛍光体層を形成させる。これに、蛍光体層と直交する方向の透明電極およびバス電極を備え、内面に誘電体層と保護層を設けた表面ガラス基板を重ねて接着する。内部を排気して低圧のＸｅやＮｅ等の希ガスを封入し、放電空間を形成させることにより、ＰＤＰを製造することができる。

本発明の製造方法により得られるケイ酸塩蛍光体は、真空紫外線励起下のみならず、紫外線、陰極線あるいはＸ線励起下においても優れた発光特性を示す。

次に、本発明を実施例によりさらに詳しく説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。

実施例１
炭酸カルシウム（宇部マテリアルズ株式会社製、ＣａＣＯ₃）、炭酸ストロンチウム（堺化学工業株式会社製、ＳｒＣＯ₃）、酸化ユーロピウム（信越化学工業株式会社製、Ｅｕ₂Ｏ₃）、塩基性炭酸マグネシウム（協和化学工業株式会社製、（ＭｇＣＯ₃）₄Ｍｇ（ＯＨ）₂・５Ｈ₂Ｏ）、酸化ケイ素（日本アエロジル株式会社製、ＳｉＯ₂、ＢＥＴ比表面積は２００ｍ²／ｇ（カタログ値））各出発原料をＣａ：Ｓｒ：Ｅｕ：Ｍｇ：Ｓｉのモル比が０．８９２：０．１０：０．００８：１：２になるように秤取し、混合した後、塩化アンモニウム（和光純薬工業株式会社製、ＮＨ₄Ｃｌ）を金属の混合物との合計量に対して７重量％になるように秤取し、混合した。さらに得られた金属化合物と塩化アンモニウムの混合物をアルミナボートに充填し、２体積％Ｈ₂含有Ａｒ雰囲気中で２時間３０分かけて昇温し１１６５℃の温度で２時間保持して焼成し、式Ｓｒ_0.10Ｃａ_0.892Ｅｕ_0.008ＭｇＳｉ₂Ｏ₆で示される化合物からなる蛍光体を得た。この蛍光体に、６．７Ｐａ（５×１０^-2Ｔｏｒｒ）以下の真空槽内で、得られた蛍光体にエキシマ１４６ｎｍランプ（ウシオ電機社製、Ｈ００１２型）を用いて紫外線を照射したところ、青色に発光し、輝度は後述の比較例１を１００とすると１０６であった。

実施例２
炭酸カルシウム（宇部マテリアルズ株式会社製、ＣａＣＯ₃）、塩化ストロンチウム６水和物（堺化学工業株式会社製、ＳｒＣｌ₂・６Ｈ₂Ｏ）、酸化ユーロピウム（信越化学工業株式会社製、Ｅｕ₂Ｏ₃）、塩基性炭酸マグネシウム（協和化学工業株式会社製、（ＭｇＣＯ₃）₄Ｍｇ（ＯＨ）₂・５Ｈ₂Ｏ）、酸化ケイ素（日本アエロジル株式会社製、ＳｉＯ₂、ＢＥＴ比表面積は２００ｍ²／ｇ（カタログ値））各出発原料をＣａ：Ｓｒ：Ｅｕ：Ｍｇ：Ｓｉのモル比が０．８９２：０．１０：０．００８：１：２になるように秤取し、混合した。ＳｒＣｌ₂の含有量は金属の混合物との合計量に対して７重量％である。さらに得られた金属化合物の混合物をアルミナボートに充填し、２体積％Ｈ₂含有Ａｒ雰囲気中で２時間３０分かけて昇温し１１６５℃の温度で２時間保持して焼成し、式Ｓｒ_0.10Ｃａ_0.892Ｅｕ_0.008ＭｇＳｉ₂Ｏ₆で示される化合物からなる蛍光体を得た。この蛍光体に、６．７Ｐａ（５×１０^-2Ｔｏｒｒ）以下の真空槽内で、得られた蛍光体にエキシマ１４６ｎｍランプ（ウシオ電機社製、Ｈ００１２型）を用いて紫外線を照射したところ、青色に発光し、輝度は後述の比較例１を１００とすると１２３であった。

比較例１
炭酸カルシウム（宇部マテリアルズ株式会社製、ＣａＣＯ₃）炭酸ストロンチウム（堺化学工業株式会社製、ＳｒＣＯ₃）、酸化ユーロピウム（信越化学工業株式会社製、Ｅｕ₂Ｏ₃）、塩基性炭酸マグネシウム（協和化学工業株式会社製、（ＭｇＣＯ₃）₄Ｍｇ（ＯＨ）₂・５Ｈ₂Ｏ）、酸化ケイ素（日本アエロジル株式会社製、ＳｉＯ₂、ＢＥＴ比表面積は２００ｍ²／ｇ（カタログ値））各出発原料をＣａ：Ｓｒ：Ｅｕ：Ｍｇ：Ｓｉのモル比が０．８９２：０．１０：０．００８：１：２になるように秤取し、混合した。さらに得られた金属化合物の混合物をアルミナボートに充填し、２体積％Ｈ₂含有Ａｒ雰囲気中で２時間３０分かけて昇温し１１６５℃の温度で２時間保持して焼成し、式がＳｒ_0.10Ｃａ_0.892Ｅｕ_0.008ＭｇＳｉ₂Ｏ₆で示される化合物からなる蛍光体を得た。この蛍光体に、６．７Ｐａ（５×１０^-2Ｔｏｒｒ）以下の真空槽内で、得られた蛍光体にエキシマ１４６ｎｍランプ（ウシオ電機社製、Ｈ００１２型）を用いて紫外線を照射したところ、青色に発光し、このときの輝度を１００とした。

実施例３
炭酸カルシウム（宇部マテリアルズ株式会社製、ＣａＣＯ₃）、炭酸ストロンチウム（堺化学工業株式会社製、ＳｒＣＯ₃）、酸化ユーロピウム（信越化学工業株式会社製、Ｅｕ₂Ｏ₃）、塩基性炭酸マグネシウム（協和化学工業株式会社製、（ＭｇＣＯ₃）₄Ｍｇ（ＯＨ）₂・５Ｈ₂Ｏ）、酸化ケイ素（日本アエロジル株式会社製、ＳｉＯ₂、ＢＥＴ比表面積は２００ｍ²／ｇ（カタログ値））各出発原料をＣａ：Ｓｒ：Ｅｕ：Ｍｇ：Ｓｉのモル比が０．７８８：０．２０：０．０１２：１：２になるように秤取し、混合した後、塩化アンモニウム（和光純薬工業株式会社製、ＮＨ₄Ｃｌ）を金属の混合物との合計量に対して７重量％になるように秤取し、混合した。さらに得られた金属化合物と塩化アンモニウムの混合物をアルミナボートに充填し、２体積％Ｈ₂含有Ａｒ雰囲気中で２時間３０分かけて昇温し１１４５℃の温度で２時間保持して焼成し、式Ｓｒ_0.20Ｃａ_0.788Ｅｕ_0.012ＭｇＳｉ₂Ｏ₆で示される化合物からなる蛍光体を得た。この蛍光体に、６．７Ｐａ（５×１０^-2Ｔｏｒｒ）以下の真空槽内で、得られた蛍光体にエキシマ１４６ｎｍランプ（ウシオ電機社製、Ｈ００１２型）を用いて紫外線を照射したところ、青色に発光し、輝度は後述の比較例３を１００とすると１１０であった。

実施例４
炭酸カルシウム（宇部マテリアルズ株式会社製、ＣａＣＯ₃）、炭酸ストロンチウム（堺化学工業株式会社製、ＳｒＣＯ₃）、酸化ユーロピウム（信越化学工業株式会社製、Ｅｕ₂Ｏ₃）、塩基性炭酸マグネシウム（協和化学工業株式会社製、（ＭｇＣＯ₃）₄Ｍｇ（ＯＨ）₂・５Ｈ₂Ｏ）、酸化ケイ素（株式会社アドマテックス製、ＳｉＯ₂、ＢＥＴ比表面積は１５ｍ²／ｇ）各出発原料をＣａ：Ｓｒ：Ｅｕ：Ｍｇ：Ｓｉのモル比が０．７８８：０．２０：０．０１２：１：２になるように秤取し、混合した後、塩化アンモニウム（和光純薬工業株式会社製、ＮＨ₄Ｃｌ）を金属の混合物との合計量に対して７重量％になるように秤取し、混合した。さらに得られた金属化合物と塩化アンモニウムの混合物をアルミナボートに充填し、２体積％Ｈ₂含有Ａｒ雰囲気中で２時間３０分かけて昇温し１１４５℃の温度で２時間保持して焼成し、式Ｓｒ_0.20Ｃａ_0.788Ｅｕ_0.012ＭｇＳｉ₂Ｏ₆で示される化合物からなる蛍光体を得た。この蛍光体に、６．７Ｐａ（５×１０^-2Ｔｏｒｒ）以下の真空槽内で、得られた蛍光体にエキシマ１４６ｎｍランプ（ウシオ電機社製、Ｈ００１２型）を用いて紫外線を照射したところ、青色に発光し、輝度は後述の比較例３を１００とすると１０７であった。

比較例２
炭酸カルシウム（宇部マテリアルズ株式会社製、ＣａＣＯ₃）、炭酸ストロンチウム（堺化学工業株式会社製、ＳｒＣＯ₃）、酸化ユーロピウム（信越化学工業株式会社製、Ｅｕ₂Ｏ₃）、塩基性炭酸マグネシウム（協和化学工業株式会社製、（ＭｇＣＯ₃）₄Ｍｇ（ＯＨ）₂・５Ｈ₂Ｏ）、酸化ケイ素（株式会社アドマテックス製、ＳｉＯ₂、ＢＥＴ比表面積は５ｍ²／ｇ）各出発原料をＣａ：Ｓｒ：Ｅｕ：Ｍｇ：Ｓｉのモル比が０．７８８：０．２０：０．０１２：１：２になるように秤取し、混合した後、塩化アンモニウム（和光純薬工業株式会社製、ＮＨ₄Ｃｌ）を金属の混合物との合計量に対して７重量％になるように秤取し、混合した。さらに得られた金属化合物と塩化アンモニウムの混合物をアルミナボートに充填し、２体積％Ｈ₂含有Ａｒ雰囲気中で２時間３０分かけて昇温し１１４５℃の温度で２時間保持して焼成し、式Ｓｒ_0.20Ｃａ_0.788Ｅｕ_0.012ＭｇＳｉ₂Ｏ₆で示される化合物からなる蛍光体を得た。この蛍光体に、６．７Ｐａ（５×１０^-2Ｔｏｒｒ）以下の真空槽内で、得られた蛍光体にエキシマ１４６ｎｍランプ（ウシオ電機社製、Ｈ００１２型）を用いて紫外線を照射したところ、青色に発光し、輝度は後述の比較例３を１００とすると１０２であった。

比較例３
炭酸カルシウム（宇部マテリアルズ株式会社製、ＣａＣＯ₃）炭酸ストロンチウム（堺化学工業株式会社製、ＳｒＣＯ₃）、酸化ユーロピウム（信越化学工業株式会社製、Ｅｕ₂Ｏ₃）、塩基性炭酸マグネシウム（協和化学工業株式会社製、（ＭｇＣＯ₃）₄Ｍｇ（ＯＨ）₂・５Ｈ₂Ｏ）、酸化ケイ素（日本アエロジル株式会社製、ＳｉＯ₂、ＢＥＴ比表面積は２００ｍ²／ｇ（カタログ値））各出発原料をＣａ：Ｓｒ：Ｅｕ：Ｍｇ：Ｓｉのモル比が０．７８８：０．２０：０．０１２：１：２になるように秤取し、混合した。さらに得られた金属化合物の混合物をアルミナボートに充填し、２体積％Ｈ₂含有Ａｒ雰囲気中で２時間３０分かけて昇温し１１４５℃の温度で２時間保持して焼成し、式がＳｒ_0.20Ｃａ_0.788Ｅｕ_0.012ＭｇＳｉ₂Ｏ₆で示される化合物からなる蛍光体を得た。この蛍光体に、６．７Ｐａ（５×１０^-2Ｔｏｒｒ）以下の真空槽内で、得られた蛍光体にエキシマ１４６ｎｍランプ（ウシオ電機社製、Ｈ００１２型）を用いて紫外線を照射したところ、青色に発光し、このときの輝度を１００とした。

Claims (7)

1. 酸化ケイ素を含む金属化合物の混合物を焼成することによるケイ酸塩蛍光体の製造方法において、ＢＥＴ比表面積が１０ｍ²／ｇ以上である酸化ケイ素を含有する混合物に、ハロゲン化合物を含有させ、これを焼成することを特徴とするケイ酸塩蛍光体の製造方法。
2. ハロゲン化合物が、ハロゲン化アンモニウムである請求項１記載の製造方法。
3. ハロゲン化合物が、ケイ酸塩蛍光体を構成する金属元素のうちの１つ以上の金属元素のハロゲン化物である請求項１または２に記載の製造方法。
4. 金属化合物の混合物が、Ｃａ、Ｓｒ、Ｂａ、Ｍｇ、Ｅｕ、ＭｎおよびＺｎからなる群より選ばれる一種以上の金属元素の化合物を含む混合物である請求項１〜３のいずれかに記載の製造方法。
5. ケイ酸塩蛍光体が、一般式ｍＭ¹Ｏ・ｎＭ²Ｏ・２ＳｉＯ₂（式中のＭ¹はＣａ、ＳｒおよびＢａからなる群より選ばれる１種以上、Ｍ²はＭｇおよびＺｎからなる群より選ばれる１種以上、ｍは０．５以上３．５以下、ｎは０．５以上２．５以下である。）により表される化合物に、付活剤としてＥｕ、Ｍｎからなる群より選ばれる１種以上が含有されてなるケイ酸塩蛍光体である請求項１〜４のいずれかに記載の製造方法。
6. 請求項１〜５のいずれかに記載の製造方法によって得られることを特徴とする真空紫外線励起発光素子用ケイ酸塩蛍光体。
7. 請求項６に記載のケイ酸塩蛍光体を用いてなる真空紫外線励起発光素子。