JP2005271498A - 成形型の製造方法及び光学素子の製造方法 - Google Patents
成形型の製造方法及び光学素子の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005271498A JP2005271498A JP2004090853A JP2004090853A JP2005271498A JP 2005271498 A JP2005271498 A JP 2005271498A JP 2004090853 A JP2004090853 A JP 2004090853A JP 2004090853 A JP2004090853 A JP 2004090853A JP 2005271498 A JP2005271498 A JP 2005271498A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- mold
- base
- resin
- manufacturing
- original
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)
- Casting Or Compression Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
Abstract
【構成】成形品と同形状の転写部34、及びその周辺に配置される土台受け部33,35を有する元型3を準備すると共に、溶融樹脂50が充填される樹脂溜りL及び、その周辺に配置され、土台受け部33,35と同じ間隔の元型受け部41,44で樹脂成形型土台Aを成し、同形の樹脂成形型土台を複数備えている土台型4を予め準備し、複数の樹脂成形型土台の樹脂溜りLの各々に、順次溶融樹脂50を充填し、元型受け部41,44に土台受け部33,35を突き合せ、転写部34の反転形状を溶融樹脂50に形成し、複数の樹脂溜りLの各々に樹脂成形型を形成する
【選択図】 図2
Description
成形品と同形状の転写部、及び、該転写部の周辺に配置されている土台受け部を有する元型と、溶融樹脂が充填される樹脂溜り、及び、該樹脂溜りの周辺に配置され、前記土台受け部の配置間隔と同じ間隔で配置された元型受け部を有する樹脂成形型土台を複数備えている土台型と、を準備する準備工程と、複数の樹脂成形型土台の前記樹脂溜りのそれぞれに、順次、溶融樹脂を充填する樹脂充填工程と、前記溶融樹脂を充填した該樹脂溜りの周辺に配置されている前記元型受け部に、前記元型の前記土台受け部を突き合せて、該元型の前記転写部の反転形状を前記溶融樹脂に形成する突合せ工程と、を有することを特徴とする。
請求項1に記載の成形型の製造方法において、
前記土台型が有している複数の前記元型受け部は、全て同じ高さであることを特徴とする。
請求項1及び2のいずれか一項に記載の成形型の製造方法において、
前記樹脂溜りは、前記溶融樹脂が貯まる領域を囲む堤防壁を有していることを特徴とする。
請求項3に記載の成形型の製造方法において、
前記成形型で得られる前記成形品の厚さを調節するために、前記元型の土台受け部の高さと、前記土台型の前記元型受け部の高さ及び前記堤防部の高さとを変えることを特徴とする。
複数の前記樹脂成形型土台は、一方向にのみ配置されていてもよし、2次元的に配置されていてもよい。
前記成形型の前記樹脂成形型に、前記光学素子を形成する素材の溶融物質を充填して、該光学素子を形成すること
を特徴とする光学素子の製造方法である。
(1)土台型4に設けられた堤防壁42,42a,43で形成される樹脂溜りLに、及び堤防壁46,46a,47で形成される樹脂溜りLに、ディスペンサを用いて紫外線硬化樹脂50を、充填する。(2)微動ステージによって、元型3を、樹脂成形型土台Aと対向する位置に移動させる。つまり、土台受け部33,35は元型受け部41,44と各々対向し、周辺部341,343は堤防壁42,43に各々対向する。
(1)微動ステージを操作し、元型3を、ゆっくり、鉛直に引き上げる。(2)更に、微動ステージを操作し、元型3を、スライドさせ、樹脂成形型土台Bと対向する位置に移動させる。その位置では、土台受け部33と元型受け部45、土台受け部35と元型受け部48、周辺部341と堤防壁46、周辺部343と堤防壁47、が各々対向する。(3)以下、ステップ4と同様に、土台型4上の樹脂成形型土台Bに、新たな成形部52を形成する。
(1)ディスペンサによって、製品成形型5の表面に紫外線硬化樹脂50を塗布する。(2)シランカップリング処理をした石英ガラス基板62を、微動ステージにより処理面を下にして紫外線硬化樹脂50に接液させる。(3)ロードセルにより石英ガラス基板62に均等に荷重をかけると共に、所望の光学素子厚に応じて微動ステージにより石英ガラス基板62の高さ制御を行なう。(4)石英ガラス基板62の上部から紫外線を照射し、紫外線硬化樹脂50を硬化させ、製品樹脂部61とする。この製品樹脂部61と石英ガラス基板62とで、型抜き製品列6を構成する。
図4(B)は、図4(A)で成形された製品成形型5、および、製品成形型5を用いて成形された型抜き製品列6の、断面図である。
この結果、図4(F)に示すように型抜き製品列6から切り出した光学素子63の素子部631の肉厚を厚くすることが可能となる。
上記ステップでは、(1)土台型401側から光学顕微鏡を使って、土台型401上のアラインメントマーク(+)と、対応する元型701上のアラインメントマーク(+)とが重なるように、微動ステージにより元型701を水平に移動させる。(2)微動ステージを垂直に降下させ、土台受け部702と土台型401の元型受け部4021,4024とが突き合うように、元型701を土台型401上に設置する。その際、パターン転写部705は、堤防壁4022、4023の間の凹部C2に充填された紫外線硬化樹脂に接液する。そして、余分な紫外線硬化樹脂を、堤防壁4022と元型受け部4021との間の凹部C1と、堤防壁4023と元型受け部4024との間の凹部C1とに、溢れ出させる。(3)土台型401の下側から紫外線を照射し、土台型401と元型701との間にある紫外線硬化樹脂を硬化させ、成形部54を形成する。
Claims (5)
- 成形型の製造方法において、
成形品と同形状の転写部、及び、該転写部の周辺に配置されている土台受け部を有する元型と、
溶融樹脂が充填される樹脂溜り、及び、該樹脂溜りの周辺に配置され、前記土台受け部の配置間隔と同じ間隔で配置された元型受け部を有する樹脂成形型土台を複数備えている土台型と、
を準備する準備工程と、
複数の樹脂成形型土台の前記樹脂溜りのそれぞれに、順次、溶融樹脂を充填する樹脂充填工程と、
前記溶融樹脂を充填した該樹脂溜りの周辺に配置されている前記元型受け部に、前記元型の前記土台受け部を突き合せて、該元型の前記転写部の反転形状を前記溶融樹脂に形成する突合せ工程と、
を有することを特徴とする成形型の製造方法。 - 請求項1に記載の成形型の製造方法において、
前記土台型が有している複数の前記元型受け部は、全て同じ高さである、
ことを特徴とする成形型の製造方法。 - 請求項1及び2のいずれか一項に記載の成形型の製造方法において、
前記樹脂溜りは、前記溶融樹脂が貯まる領域を囲む堤防壁を有している、
ことを特徴とする成形型の製造方法。 - 請求項3に記載の成形型の製造方法において、
前記成形型で得られる前記成形品の厚さを調節するために、前記元型の土台受け部の高さと、前記土台型の前記元型受け部の高さ及び前記堤防部の高さとを変える、
を特徴とする成形型の製造方法。 - 請求項1から4のいずれか一項に記載の成形型の製造方法で、光学素子の成形型を製造し、
前記成形型の前記樹脂成形型に、前記光学素子を形成する素材の溶融物質を充填して、該光学素子を形成すること、
を特徴とする光学素子の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004090853A JP4345539B2 (ja) | 2004-03-26 | 2004-03-26 | 光学素子成形型の製造方法及び光学素子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004090853A JP4345539B2 (ja) | 2004-03-26 | 2004-03-26 | 光学素子成形型の製造方法及び光学素子の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005271498A true JP2005271498A (ja) | 2005-10-06 |
JP4345539B2 JP4345539B2 (ja) | 2009-10-14 |
Family
ID=35171637
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004090853A Expired - Fee Related JP4345539B2 (ja) | 2004-03-26 | 2004-03-26 | 光学素子成形型の製造方法及び光学素子の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4345539B2 (ja) |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007164058A (ja) * | 2005-12-16 | 2007-06-28 | Nikon Corp | 光学基材、金型、及び複合型光学部品の製造方法 |
WO2008081660A1 (ja) * | 2006-12-28 | 2008-07-10 | Konica Minolta Opto, Inc. | 光学素子の製造方法、中間部材及び光学素子 |
JP2008165039A (ja) * | 2006-12-28 | 2008-07-17 | Konica Minolta Opto Inc | 光学素子の製造方法、中間部材及び光学素子 |
JP2008162182A (ja) * | 2006-12-28 | 2008-07-17 | Konica Minolta Opto Inc | 光学素子の製造方法、インサート部材及び光学素子 |
WO2009093382A1 (ja) * | 2008-01-21 | 2009-07-30 | Aji Co., Ltd. | 光学部品の製造方法、型の製造方法、光学部品製造装置、及び型製造装置 |
JP2009530135A (ja) * | 2006-03-20 | 2009-08-27 | ヘプタゴン・オサケ・ユキチュア | オーバーフロー体積部を有するツールを使用した光学素子の成形 |
JP2011104811A (ja) * | 2009-11-13 | 2011-06-02 | Fujifilm Corp | マスタ型、マスタの作成方法及びマスタ |
EP2168746A4 (en) * | 2007-06-14 | 2012-02-22 | Aji Co Ltd | MOLDING METHOD, LENS PRODUCTION METHOD, MOLDING APPARATUS, METHOD FOR PRODUCTION OF PUNCHING MACHINE, APPARATUS FOR MANUFACTURING JIG, PRODUCTION SYSTEM FOR PUNCHING MACHINE AND APPARATUS FOR PRODUCTION OF PUNCHING MACHINE |
EP2371509A4 (en) * | 2008-12-01 | 2016-04-06 | Aji Co Ltd | MOLDING PROCESS |
-
2004
- 2004-03-26 JP JP2004090853A patent/JP4345539B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007164058A (ja) * | 2005-12-16 | 2007-06-28 | Nikon Corp | 光学基材、金型、及び複合型光学部品の製造方法 |
JP2012093765A (ja) * | 2006-03-20 | 2012-05-17 | Heptagon Oy | オーバーフロー体積部を有するツールを使用した光学素子の成形 |
JP2009530135A (ja) * | 2006-03-20 | 2009-08-27 | ヘプタゴン・オサケ・ユキチュア | オーバーフロー体積部を有するツールを使用した光学素子の成形 |
JP2008162182A (ja) * | 2006-12-28 | 2008-07-17 | Konica Minolta Opto Inc | 光学素子の製造方法、インサート部材及び光学素子 |
JP2008165039A (ja) * | 2006-12-28 | 2008-07-17 | Konica Minolta Opto Inc | 光学素子の製造方法、中間部材及び光学素子 |
WO2008081660A1 (ja) * | 2006-12-28 | 2008-07-10 | Konica Minolta Opto, Inc. | 光学素子の製造方法、中間部材及び光学素子 |
EP2168746A4 (en) * | 2007-06-14 | 2012-02-22 | Aji Co Ltd | MOLDING METHOD, LENS PRODUCTION METHOD, MOLDING APPARATUS, METHOD FOR PRODUCTION OF PUNCHING MACHINE, APPARATUS FOR MANUFACTURING JIG, PRODUCTION SYSTEM FOR PUNCHING MACHINE AND APPARATUS FOR PRODUCTION OF PUNCHING MACHINE |
US8540906B2 (en) | 2007-06-14 | 2013-09-24 | Aji Co., Ltd. | Method of molding, process for producing lens, molding apparatus, process for producing stamper, master production apparatus, stamper production system, and stamper production apparatus |
US9149964B2 (en) | 2007-06-14 | 2015-10-06 | Aji Co., Ltd. | Method of molding, process for producing lens, molding apparatus, process for producing stamper, master production apparatus, stamper production system, and stamper production apparatus |
WO2009093382A1 (ja) * | 2008-01-21 | 2009-07-30 | Aji Co., Ltd. | 光学部品の製造方法、型の製造方法、光学部品製造装置、及び型製造装置 |
EP2241428A1 (en) * | 2008-01-21 | 2010-10-20 | Aji Co., Ltd. | Process for producing optical part, process for producing mold, apparatus for producing optical part, and apparatus for producing mold |
EP2241428A4 (en) * | 2008-01-21 | 2014-08-06 | Aji Co Ltd | PROCESS FOR PRODUCING OPTICAL PART, METHOD FOR PRODUCING MOLD, APPARATUS FOR PRODUCING OPTICAL PART, AND APPARATUS FOR PRODUCING MOLD |
EP2371509A4 (en) * | 2008-12-01 | 2016-04-06 | Aji Co Ltd | MOLDING PROCESS |
JP2011104811A (ja) * | 2009-11-13 | 2011-06-02 | Fujifilm Corp | マスタ型、マスタの作成方法及びマスタ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4345539B2 (ja) | 2009-10-14 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR100624414B1 (ko) | 회절 렌즈 어레이 몰드의 제조 방법 및 uv 디스펜서 | |
JP5404140B2 (ja) | テンプレート及び半導体装置の製造方法 | |
JP4345539B2 (ja) | 光学素子成形型の製造方法及び光学素子の製造方法 | |
KR101354742B1 (ko) | 템플릿 기판 및 그 제조 방법 | |
JP5426489B2 (ja) | テンプレートの製造方法 | |
CN1643650A (zh) | 激光辅助直接压印平板印刷术 | |
EP1672393A1 (en) | Microlens array sheet and method for manufacturing the same | |
EP3631538B1 (en) | Method of manufacturing a master plate | |
JP2019140394A (ja) | スーパーストレート | |
EP2187263A1 (en) | A method for forming a multi-level surface on a substrate with areas of different wettability and a semiconductor device having the same. | |
CN108549122A (zh) | 形成具有柱状透镜阵列的膜的方法 | |
CN111033325B (zh) | 经高度调制的衍射母板及其制造方法 | |
KR101114469B1 (ko) | 2차원 고분자 광도파로의 제조 방법 | |
TWI421629B (zh) | 製造複製工具,副母模或複製品的方法 | |
CN1600723A (zh) | 蚀刻制品,生产它的模板结构及该模板结构的生产方法 | |
JP4899638B2 (ja) | モールドの製造方法 | |
KR101932300B1 (ko) | 화학적 기계적 폴리싱을 이용하여 비평면형 멤브레인들을 형성하는 방법 | |
KR20090128680A (ko) | 몰드 제조용 마스터, 이를 이용한 표시 장치 제조용 몰드및 그 제조 방법, 그리고 이를 이용한 표시 장치의 제조방법 | |
TWI556935B (zh) | 成形模、晶圓透鏡及光學透鏡之製造方法 | |
US20130038952A1 (en) | Wafer Lens, Laminated Wafer Lens, Wafer Lens Cutting Method and Laminated Wafer Lens Cutting Method | |
KR100983043B1 (ko) | 마이크로 렌즈용 마스터 및 마이크로 렌즈 제조방법 | |
CN113138530B (zh) | 一种具有高深宽比的母版的制作方法、母版及其应用 | |
JP6515618B2 (ja) | インプリントモールドとこれを用いたインプリント方法 | |
JPH08118479A (ja) | 三次元形状の形成方法 | |
KR100702261B1 (ko) | 쾌속광조형기 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070123 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090428 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090519 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20090623 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20090706 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4345539 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120724 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150724 Year of fee payment: 6 |
|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313531 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150724 Year of fee payment: 6 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150724 Year of fee payment: 6 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |