JP2005265507A - 加速度センサ - Google Patents
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Abstract
【課題】 高周波振動と低周波振動が混在する振動を1台で検出する加速度センサを提供する。
【解決手段】 加速度センサ1は、本体10に入力コネクタ12と出力コネクタ14を有する。支柱20に圧電素子30が支持され、外周部に錘40が当接される。錘40の上部には電子基板50が取付けられる。電子基板50上には電子部品60とともに加速度センサIC70が搭載される。加速度センサIC70は、ピエゾ抵抗型等のICパッケージされたセンサで低周波の振動を検知する。圧電素子のセンサは高周波の振動を検知し、1台で広範囲な振動を検知することができる。
【選択図】 図1
【解決手段】 加速度センサ1は、本体10に入力コネクタ12と出力コネクタ14を有する。支柱20に圧電素子30が支持され、外周部に錘40が当接される。錘40の上部には電子基板50が取付けられる。電子基板50上には電子部品60とともに加速度センサIC70が搭載される。加速度センサIC70は、ピエゾ抵抗型等のICパッケージされたセンサで低周波の振動を検知する。圧電素子のセンサは高周波の振動を検知し、1台で広範囲な振動を検知することができる。
【選択図】 図1
Description
本発明は、超低周波から高周波までの計測周波数範囲の広い加速度センサに関する。
従来、振動加速度を計測するための接触型加速度センサには圧電型、動電型、差動トランス型、ストレンゲージ型、ピエゾ抵抗型、ピエゾ容量型等がある。それぞれ特長を持ち、計測目的によってどのタイプのセンサを使用するかを決めることになる。
計測対象で発生している振動現象としては、例えば図5に示すように、低周波の振動中に高周波の振動が混在している高周波の振動を計測する接続型のセンサとして、圧電型のセンサが知られている。
下記の特許文献は、圧電型振動センサを開示する。
しかしながら、低周波の振動の測定にはピエゾ容量型等の低周波振動センサを別個に用意して並用する必要があった。
特開平5−203663号公報
しかしながら、低周波の振動の測定にはピエゾ容量型等の低周波振動センサを別個に用意して並用する必要があった。
本発明の目的は、超低周波から高周波までの周波数範囲の振動を計測することができる加速度センサを提供するものである。
本発明の加速度センサは、基本的な手段として、電源入力コネクタと出力コネクタを有するセンサ本体と、センサ本体に取付けられる圧電素子と圧電素子に当接される錘とを備えて高周波振動を検出する圧電型加速度センサと、錘に取付けられる電子基板と、電子基板に搭載されて低周波振動を検出する加速度センサICを備える。
そして、加速度センサICは、ピエゾ抵抗型、ピエゾ容量型又は静電容量型のICパッケージされた加速度センサであり、さらに、圧電型加速度センサの出力が通過するハイパスフィルタ回路と、加速度センサICの出力が通過するローパスフィルタ回路とハイパスフィルタ回路の出力とローパスフィルタ回路の出力が入力される比較回路を備え、比較回路は入力される2つの信号のうち大きな方の信号を選択して出力する機能を備えるものである。
本発明によれば、圧電型加速度センサの構成部品である、錘に圧電型増幅アンプの電子回路基板を設置し、更にその電子回路基板上にピエゾ抵抗型、ピエゾ容量型、静電容量型等のICパッケージされた加速度センサおよびそれに伴う電子回路を設けることにより1個の加速度センサのみで図5に示すようなDC(直流成分)を含む超低周波から数kHzに渡る高周波を測定することができる。
図1は、本発明の加速度センサの構造を示す説明図である。
全体を符号1で示す加速度センサは、本体10を有し、本体10に電源入力コネクタ12と信号の出力コネクタ14を備える。電源入力コネクタ12と出力コネクタ14は、それぞれラインL1,L2を介して後述する電子基板50の回路に連結されている。
全体を符号1で示す加速度センサは、本体10を有し、本体10に電源入力コネクタ12と信号の出力コネクタ14を備える。電源入力コネクタ12と出力コネクタ14は、それぞれラインL1,L2を介して後述する電子基板50の回路に連結されている。
本体10のベース16上には、支柱20が立設され、支柱20の外周部に圧電素子30が取付けられる。この圧電素子の外周部には錘40が取付けられる。これらの部材の外周部は、ケース18で覆われて保護される。
錘40が振動を受けると、錘40の作動により圧電素子にかかる圧力が変化し、電気信号を発する。この圧電素子の信号は、圧電素子30の上部に装備される電子基板50に伝達される。電子基板50上には各種の電子部品60が搭載されており、電源回路、増幅回路、フィルタ回路、比較回路等が構成されている。
錘40が振動を受けると、錘40の作動により圧電素子にかかる圧力が変化し、電気信号を発する。この圧電素子の信号は、圧電素子30の上部に装備される電子基板50に伝達される。電子基板50上には各種の電子部品60が搭載されており、電源回路、増幅回路、フィルタ回路、比較回路等が構成されている。
この電子基板上には、ピエゾ抵抗型、ピエゾ容量型、静電容量型等のICパッケージされた加速度センサ70が搭載される。
本明細書中にあっては、上述したICパッケージされた加速度センサ70を加速度センサICと称する。
本明細書中にあっては、上述したICパッケージされた加速度センサ70を加速度センサICと称する。
図2は、本発明の加速度センサの構成を示す制御回路のブロック図である。
全体を符号100で示す制御回路は、電源回路110を有し、加速度センサIC120とその増幅回路122、ローパスフィルタ(LPF)回路124と比較回路150に電力を供給する。
電源回路110は、同時に圧電素子30の出力130を増幅する増幅回路132、ハイパスフィルタ(HPF)回路134にも電力を供給する。
全体を符号100で示す制御回路は、電源回路110を有し、加速度センサIC120とその増幅回路122、ローパスフィルタ(LPF)回路124と比較回路150に電力を供給する。
電源回路110は、同時に圧電素子30の出力130を増幅する増幅回路132、ハイパスフィルタ(HPF)回路134にも電力を供給する。
加速度センサIC120で検知された低周波振動による出力は、増幅回路122で増幅され、ローパスフィルタ124を通過し、ライン126を介して比較回路150へ送られる。
圧電素子で検知された高周波振動による出力130は、増幅回路132で増幅され、ハイパスフィルタ134を通過し、ライン136を介して比較回路150へ送られる。比較回路150では、入力された信号を比較して、セレクトハイ出力としてライン160へ出力する。
セレクトハイ信号は、後述するように、立上りの良い加速度ICの出力特性と維持性の良い圧力素子の出力特性を選択して組合されたものである。
セレクトハイ信号は、後述するように、立上りの良い加速度ICの出力特性と維持性の良い圧力素子の出力特性を選択して組合されたものである。
図3は、本発明の加速度センサの出力特性を示すグラフである。
圧電素子30の出力回路130の周波数特性は比較的高いので、例えばハイパスフィルタ134を図3に示すように、30Hzに設定しておき、圧電素子の高周波数特性が5000Hz程度と仮定すると、図の実線カーブK1で示すような特性を示す。
圧電素子30の出力回路130の周波数特性は比較的高いので、例えばハイパスフィルタ134を図3に示すように、30Hzに設定しておき、圧電素子の高周波数特性が5000Hz程度と仮定すると、図の実線カーブK1で示すような特性を示す。
一方、加速度センサIC70の回路120からの出力は増幅回路122で増幅されて、ローパスフィルタ124を通路し、ライン126を介して比較回路150へ入力される。
加速度センサICは、DC〜500Hz程度の周波数特性を有する。
そこで、ローパスフィルタ124を30Hzに設定しておくと、破線のカーブK2で示すような特性を示す。
加速度センサICは、DC〜500Hz程度の周波数特性を有する。
そこで、ローパスフィルタ124を30Hzに設定しておくと、破線のカーブK2で示すような特性を示す。
そこで、ローパスフィルタ124を30Hzに設定しておくと、破線のカーブK2で示すような特性を示す。
比較回路150は、ライン126,136からの入力信号を比較し、常に大きい方の入力信号を選択してライン160側へ出力する。
比較回路150は、ライン126,136からの入力信号を比較し、常に大きい方の入力信号を選択してライン160側へ出力する。
そこで、パスフィルタ124,134で設定された30Hz以下では、加速度ICからの出力が選択され、30Hz以上では、圧電素子からの出力が選ばれる。
K1とK2の出力を予め増幅回路の調整で、K1=K2=V0としておけば、合成された出力特性は、図の(b)で示す一点鎖線のカーブK3となる。
本発明の加速度センサは以上のように、1つのセンサでDCから高周波までの加速度信号を検出することができる。
K1とK2の出力を予め増幅回路の調整で、K1=K2=V0としておけば、合成された出力特性は、図の(b)で示す一点鎖線のカーブK3となる。
本発明の加速度センサは以上のように、1つのセンサでDCから高周波までの加速度信号を検出することができる。
上述した周波数特性は、使用する圧電素子30や加速度センサIC70の特性によってローパスフィルタ124とハイパスフィルタ134の遮断周波数を任意に調整することができる。
また、各増幅回路22,132の増幅度の圧電素子と加速度センサICの出力が同一となるように設定される。
また、各増幅回路22,132の増幅度の圧電素子と加速度センサICの出力が同一となるように設定される。
図4は、比較回路150の構成の一例を示す。
比較回路150は、コンパレータ152とアナログスイッチ154を有する加速度センサIC120のライン126からの入力信号と、圧電素子信号130のライン136からの入力信号は、コンパレータ152で比較され、アナログスイッチ154は大きな方の信号を選択して、ライン160へ出力する。
比較回路150は、コンパレータ152とアナログスイッチ154を有する加速度センサIC120のライン126からの入力信号と、圧電素子信号130のライン136からの入力信号は、コンパレータ152で比較され、アナログスイッチ154は大きな方の信号を選択して、ライン160へ出力する。
1 加速度センサ
10 本体
20 支柱
30 圧電素子
40 錘
50 電子基板
60 電子部品
70 加速度センサIC
10 本体
20 支柱
30 圧電素子
40 錘
50 電子基板
60 電子部品
70 加速度センサIC
Claims (3)
- 電源入力コネクタと出力コネクタを有するセンサ本体と、センサ本体に取付けられる圧電素子と圧電素子に当接される錘とを備えて高周波振動を検出する圧電型加速度センサと、錘に取付けられる電子基板と、電子基板に搭載されて低周波振動を検出する加速度センサICを備える加速度センサ。
- 加速度センサICは、ピエゾ抵抗型、ピエゾ容量型又は静電容量型のICパッケージされた加速度センサである請求項1記載の加速度センサ。
- 圧電型加速度センサの出力が通過するハイパスフィルタ回路と、加速度センサICの出力が通過するローパスフィルタ回路とハイパスフィルタ回路の出力とローパスフィルタ回路の出力が入力される比較回路を備え、
比較回路は入力される2つの信号のうち大きな方の信号を選択して出力する機能を備える加速度センサ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2004075785A JP2005265507A (ja) | 2004-03-17 | 2004-03-17 | 加速度センサ |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2004075785A JP2005265507A (ja) | 2004-03-17 | 2004-03-17 | 加速度センサ |
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JP2005265507A true JP2005265507A (ja) | 2005-09-29 |
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ID=35090236
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JP (1) | JP2005265507A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104019890A (zh) * | 2014-06-05 | 2014-09-03 | 无锡智感星际科技有限公司 | 一种次声波检测方法及其检测装置 |
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2004
- 2004-03-17 JP JP2004075785A patent/JP2005265507A/ja active Pending
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