JP2005264282A - 金属エッチング製品及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 金属板に高次のウエットエッチングにより形成した開孔部を有する金属エッチング製品の製造方法において、金属板上に表面エネルギーの値が金属板より電着フォトレジストに近く、かつ、一次及び二次エッチング工程で用いるウエットエッチングに対し耐性のある金属薄膜で覆う工程と、レジストに開孔パターンを設け、ウエットエッチングにより第1の開孔部を形成する一次エッチング工程と、電着フォトレジストにより第1の開孔部側壁を覆い、ウエットエッチングにより第1の開孔部底部に第2の開孔部を形成する二次エッチング工程を少なくとも具備する。
【選択図】 図2
Description
212…金属薄膜
213…ネガ型ドライフイルムレジスト
223…一次エッチング工程に使用するパターン形成されたネガ型ドライフイルムレジスト
232…一次エッチング工程に使用するパターン形成された金属薄膜
254…二次エッチング工程に使用するパターン形成されたポジ型電着フォトレジスト
261…パターニングされた金属板
411…一次エッチング工程後の金属板
421…ネガ型電着フォトレジスト
422…露光できないネガ型電着フォトレジスト部分
431…ネガ型フォトマスク
Claims (3)
- 金属板に高次のウエットエッチングにより形成した開孔部を有する金属エッチング製品の製造方法において、金属板上に表面エネルギーの値が金属板より電着フォトレジストに近く、かつ、一次及び二次エッチング工程で用いるウエットエッチングに対し耐性のある金属薄膜で覆う工程と、レジストに開孔パターンを設け、ウエットエッチングにより第1の開孔部を形成する一次エッチング工程と、電着フォトレジストにより第1の開孔部側壁を覆い、ウエットエッチングにより第1の開孔部底部に第2の開孔部を形成する二次エッチング工程を少なくとも具備すること特徴とする金属エッチング製品の製造方法。
- 金属板に電着フォトレジストを用いた高次のウエットエッチングにより形成した開孔部を有する金属エッチング製品において、少なくとも金属板上に表面エネルギーの値が金属板より電着フォトレジストに近く、かつ、ウエットエッチング耐性のある金属薄膜で覆われていることを特徴とする金属エッチング製品。
- 前記金属薄膜が厚さ100nm以上のクロム膜又は黒色クロム膜であることを特徴とする請求項2記載の金属エッチング製品。
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