JP2005263592A - ダイヤモンド単結晶基板 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】ダイヤモンド単結晶基板全面にわたり、測定温度を40K以下として測定した電子線ルミネッセンススペクトル或いは光ルミネッセンススペクトルにおける575nmの発光ピーク強度が、図1に示す様に200nmから900nm区間の任意の波長ピーク及びバックグランド強度の中で最大強度の2倍以上10倍以下の強度であり、かつ、575nmのピーク半値全幅が2.5nm以下であることを特徴とする。
【選択図】図1
Description
(1)ダイヤモンド単結晶基板全面にわたり、測定温度を40K以下として測定した電子線ルミネセンススペクトルにおける575nmの発光ピークについて、575nmの発光ピーク強度が、200nmから900nm区間の任意の波長ピーク及びバックグラウンド強度の中で最大強度の2倍以上10倍以下の強度であり、かつ、575nmのピーク半値全幅が2.5nm以下であることを特徴とする、ダイヤモンド単結晶基板。
(2)ダイヤモンド単結晶基板全面にわたり、測定温度を40K以下として、波長514.5nmの励起光源を使用して測定した光ルミネセンススペクトルにおける575nmの発光ピークについて、575nmの発光ピーク強度が、500nmから900nm区間の任意の波長(励起波長及びダイヤモンド格子振動に起因するラマンピークを除く)ピーク、及びバックグラウンド強度の中で最大強度の2倍以上10倍以下の強度であり、かつ、575nmのピーク半値全幅が2.5nm以下であることを特徴とする、ダイヤモンド単結晶基板。
(4)差し渡し径が10mm以上であることを特徴とする前記(1)から(3)のいずれかに記載の、ダイヤモンド単結晶基板。
(5)ダイヤモンド単結晶種基板から気相成長して得られたダイヤモンド単結晶基板であって、単結晶成長前に、前記種基板の表面層を反応性イオンエッチングによりエッチング除去してから単結晶成長させて得られることを特徴とする、前記(1)から(4)のいずれかに記載のダイヤモンド単結晶基板。
(6)前記反応性イオンエッチングにおけるエッチングガスは、酸素とフッ化炭素の混合ガスであることを特徴とする前記(5)記載のダイヤモンド単結晶基板。
(7)前記反応性イオンエッチングにおけるエッチング圧力は、1.33Pa以上13.3Pa以下であることを特徴とする前記(5)又は(6)に記載のダイヤモンド単結晶基板。
(8)前記反応性イオンエッチングにおけるエッチング厚さは、0.5μm以上であることを特徴とする前記(5)ないし(7)の何れかに記載のダイヤモンド単結晶基板。
(9)前記反応性イオンエッチングにおけるエッチング時の基板温度は、800K以下であることを特徴とする前記(5)ないし(8)の何れかに記載のダイヤモンド単結晶基板。
結晶の不純物・欠陥準位を同定する方法として、電子線ルミネセンス(以下、CLと略す)スペクトル測定法、及び光ルミネセンス(以下、PLと略す)スペクトル測定法が確立されている。本発明者らは、気相合成のダイヤモンド単結晶について、CL、PLのスペクトル分布と導入ガス組成、及び結晶性の相関について鋭意研究した結果、前記本発明を得るに至った。すなわち、30Kの低温に冷却したダイヤモンド単結晶におけるCLスペクトルを測定し、575nmの発光ピーク強度が200nmから900nm区間の任意の波長ピーク及びバックグラウンド強度の中で最大強度の2倍以上10倍以下の強度であり、かつ575nmのピーク半値全幅が2.5nm以下とする。また、励起光源の波長が514.5nmでPLスペクトルを測定した結果の575nm発光ピークについて、CLと同様に規定したものとする。ここで各ピーク強度とは、それぞれのピーク最大値から、バックグラウンド値を除いた、実質的なピークの強さと定義したものであり、通常はガウス・ローレンツフィッティングで得られる。
高周波周波数:13.56MHz
高周波電力:300W
チャンバ内圧力:6.67Pa
O2ガス流量:10sccm
CF4ガス流量:10sccm
基板温度:550K
表1の条件により1時間エッチングしたところ、種基板の主面は0.6μmエッチング除去された。
次に、基板上に公知のマイクロ波プラズマCVD法で単結晶をホモエピタキシャル成長させた。成長条件を表2に示す。
表2
マイクロ波周波数:2.45GHz
マイクロ波電力:5kW
チャンバ内圧力:1.33×104Pa
H2ガス流量:100sccm
CH4ガス流量:15sccm
H2及びCH4ガス純度:99.9999%以上
気相中窒素濃度:3ppm
基板温度:1300K
成長時間:30時間
表3
測定温度:30K
電子加速電圧:15kV
電子電流:17nA
波長分解能:0.8nm以下
表4
測定温度:30K
光源波長:514.5nm
投射光出力:10mW
波長分解能:0.9nm以下
Claims (9)
- ダイヤモンド単結晶基板全面にわたり、測定温度を40K以下として測定した電子線ルミネセンススペクトルにおいて、575nmの発光ピーク強度が、200nmから900nm区間の任意の波長ピーク及びバックグラウンド強度の中で最大強度の2倍以上10倍以下の強度であり、かつ、575nmのピーク半値全幅が2.5nm以下であることを特徴とするダイヤモンド単結晶基板。
- ダイヤモンド単結晶基板全面にわたり、測定温度を40K以下として、波長514.5nmの励起光源を使用して測定した光ルミネセンススペクトルにおいて、575nmの発光ピーク強度が、500nmから900nm区間の任意の波長(励起波長及びダイヤモンド格子振動に起因するラマンピークを除く)ピーク、及びバックグラウンド強度の中で最大強度の2倍以上10倍以下の強度であり、かつ、575nmのピーク半値全幅が2.5nm以下であることを特徴とするダイヤモンド単結晶基板。
- 結晶中の窒素濃度が10ppm以下であることを特徴とする、請求項1又は2に記載のダイヤモンド単結晶基板。
- 差し渡し径が10mm以上であることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載のダイヤモンド単結晶基板。
- ダイヤモンド単結晶種基板から気相成長により得られたダイヤモンド単結晶基板であって、単結晶成長前に、前記種基板の表面層を反応性イオンエッチングによりエッチング除去してから単結晶成長させて得られることを特徴とする請求項1から4のいずれかに記載のダイヤモンド単結晶基板。
- 前記反応性イオンエッチングにおけるエッチングガスは、酸素とフッ化炭素の混合ガスであることを特徴とする請求項5記載のダイヤモンド単結晶基板。
- 前記反応性イオンエッチングにおけるエッチング圧力は、1.33Pa以上13.3Pa以下であることを特徴とする請求項5又は請求項6に記載のダイヤモンド単結晶基板。
- 前記反応性イオンエッチングにおけるエッチング厚さは、0.5μm以上であることを特徴とする請求項5ないし請求項7の何れかに記載のダイヤモンド単結晶基板。
- 前記反応性イオンエッチングにおけるエッチング時の基板温度は、800K以下であることを特徴とする請求項5ないし請求項8の何れかに記載のダイヤモンド単結晶基板。
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