JP2005262739A - 液体噴射ヘッド及び液体噴射装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 外部環境に起因する圧電素子の破壊を防止すると共に、圧電素子の特性を向上した液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】 ノズル開口に連通する圧力発生室12が形成される流路形成基板10と、流路形成基板10の一方面側に振動板を介して設けられる下電極60、圧電体層70及び上電極80からなる複数の圧電素子300と、流路形成基板10の圧電素子300側の面に接合されると共に圧電素子300を保護する圧電素子保持部31を有する保護基板30とを具備する液体噴射ヘッドであって、保護基板30の圧電素子保持部31の短手方向の外側領域に、圧電素子保持部30の短手方向に延びるスリット部33を、圧電素子保持部31の長手方向に沿って所定の間隔で複数設ける。
【選択図】 図2
【解決手段】 ノズル開口に連通する圧力発生室12が形成される流路形成基板10と、流路形成基板10の一方面側に振動板を介して設けられる下電極60、圧電体層70及び上電極80からなる複数の圧電素子300と、流路形成基板10の圧電素子300側の面に接合されると共に圧電素子300を保護する圧電素子保持部31を有する保護基板30とを具備する液体噴射ヘッドであって、保護基板30の圧電素子保持部31の短手方向の外側領域に、圧電素子保持部30の短手方向に延びるスリット部33を、圧電素子保持部31の長手方向に沿って所定の間隔で複数設ける。
【選択図】 図2
Description
本発明は、液滴を吐出する液体噴射ヘッド及び液体噴射装置に関し、特に、インク滴を吐出するノズル開口と連通する圧力発生室に供給されたインクを圧電素子によって加圧することにより、ノズル開口からインク滴を吐出させるインクジェット式記録ヘッド及びインクジェット式記録装置に関する。
インク滴を吐出するノズル開口と連通する圧力発生室の一部を振動板で構成し、この振動板を圧電素子により変形させて圧力発生室のインクを加圧してノズル開口からインク滴を吐出させるインクジェット式記録ヘッドには、圧電素子の軸方向に伸長、収縮する縦振動モードの圧電アクチュエータを使用したものと、たわみ振動モードの圧電アクチュエータを使用したものの2種類が実用化されている。そして、たわみ振動モードのアクチュエータを使用したものとしては、例えば、振動板の表面全体に亙って成膜技術により均一な圧電材料層を形成し、この圧電材料層をリソグラフィ法により圧力発生室に対応する形状に切り分けて各圧力発生室毎に独立するように圧電素子を形成したものが知られている。
また、このような圧電素子は、例えば、湿気等の外部環境に起因して破壊され易いという問題がある。このため、例えば、圧力発生室が形成される流路形成基板に、圧電素子保持部を有する接合基板を接合し、この圧電素子保持部内に並設された複数の圧電素子を密封するようにしたものがある(例えば、特許文献1参照)。
このように接合基板を流路形成基板に接合した構造では、各圧電素子の破壊は防止することはできる。しかしながら、圧電素子の特性が低下してしまうという問題がある。すなわち、接合基板の周縁部近傍は、圧電素子保持部が設けられた中央領域よりも剛性が高く、この接合基板の剛性の違いに起因して圧電素子の特性が低下してしまうという問題がある。なお、このような問題は、インクを吐出するインクジェット式記録ヘッドだけでなく、勿論、インク以外の液体を吐出する他の液体噴射ヘッドの製造方法においても、同様に存在する。
本発明はこのような事情に鑑み、外部環境に起因する圧電素子の破壊を防止すると共に、圧電素子の特性を向上した液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを課題とする。
上記課題を解決する本発明の第1の態様は、ノズル開口に連通する圧力発生室が形成される流路形成基板と、該流路形成基板の一方面側に振動板を介して設けられる下電極、圧電体層及び上電極からなる複数の圧電素子と、前記流路形成基板の前記圧電素子側の面に接合されると共に当該圧電素子を保護する圧電素子保持部を有する保護基板とを具備する液体噴射ヘッドであって、前記保護基板の前記圧電素子保持部の短手方向の外側領域に、当該圧電素子保持部の短手方向に延びるスリット部が、前記圧電素子保持部の長手方向に沿って所定の間隔で複数設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる第1の態様では、圧電素子保持部の短手方向において、保護基板の剛性の差が小さく抑えられる。したがって、この剛性の違いに起因する圧電素子の特性低下が抑えられる。
かかる第1の態様では、圧電素子保持部の短手方向において、保護基板の剛性の差が小さく抑えられる。したがって、この剛性の違いに起因する圧電素子の特性低下が抑えられる。
本発明の第2の態様は、第1の態様において、前記保護基板の端部側の前記スリット部の形成密度が、前記保護基板の中央部よりも高くなっていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる第2の態様では、圧電素子保持部の長手方向における保護基板の剛性の差も、このスリット部によって小さく抑えられ、保護基板の剛性の違いに起因する圧電素子の特性のばらつきが抑えられる。
かかる第2の態様では、圧電素子保持部の長手方向における保護基板の剛性の差も、このスリット部によって小さく抑えられ、保護基板の剛性の違いに起因する圧電素子の特性のばらつきが抑えられる。
本発明の第3の態様は、第2の態様において、前記保護基板の端部近傍の前記スリット部の開口面積が、前記保護基板の中央部の前記スリット部の開口面積よりも広くなっていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる第3の態様では、圧電素子保持部の長手方向における保護基板の剛性の差を、容易且つ確実に小さく抑えることができる。
かかる第3の態様では、圧電素子保持部の長手方向における保護基板の剛性の差を、容易且つ確実に小さく抑えることができる。
本発明の第4の態様は、第2又は3の態様において、前記保護基板の端部近傍の前記スリット部の間隔が、前記保護基板の中央部の前記スリット部の間隔よりも狭くなっていることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる第4の態様では、圧電素子保持部の長手方向における保護基板の剛性の差を、容易且つ確実に小さく抑えることができる。
かかる第4の態様では、圧電素子保持部の長手方向における保護基板の剛性の差を、容易且つ確実に小さく抑えることができる。
本発明の第5の態様は、第1〜4の何れかの態様の液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置にある。
かかる第5の態様では、高い信頼性を有する液体噴射装置を比較的容易に実現することができる。
かかる第5の態様では、高い信頼性を有する液体噴射装置を比較的容易に実現することができる。
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
(実施形態1)
図1は、本発明の実施形態1に係るインクジェット式記録ヘッドを示す分解斜視図であり、図2は、図1の上面図であり、図3はそのA−A′断面図である。図示するように、流路形成基板10は、本実施形態では面方位(110)のシリコン単結晶基板からなり、その一方の面には予め熱酸化によって形成された厚さ1〜2μmの二酸化シリコンからなる弾性膜50が設けられている。この流路形成基板10には、隔壁11によって画成された複数の圧力発生室12がその幅方向に並設されている。また、流路形成基板10の圧力発生室12の長手方向外側の領域には連通部13が形成され、連通部13と各圧力発生室12とが、各圧力発生室12毎に設けられたインク供給路14を介して連通されている。連通部13は、後述する保護基板30のリザーバ部32と連通して各圧力発生室12の共通のインク室となるリザーバ100の一部を構成する。インク供給路14は、圧力発生室12よりも狭い幅で形成されており、連通部13から圧力発生室12に流入するインクの流路抵抗を一定に保持している。
(実施形態1)
図1は、本発明の実施形態1に係るインクジェット式記録ヘッドを示す分解斜視図であり、図2は、図1の上面図であり、図3はそのA−A′断面図である。図示するように、流路形成基板10は、本実施形態では面方位(110)のシリコン単結晶基板からなり、その一方の面には予め熱酸化によって形成された厚さ1〜2μmの二酸化シリコンからなる弾性膜50が設けられている。この流路形成基板10には、隔壁11によって画成された複数の圧力発生室12がその幅方向に並設されている。また、流路形成基板10の圧力発生室12の長手方向外側の領域には連通部13が形成され、連通部13と各圧力発生室12とが、各圧力発生室12毎に設けられたインク供給路14を介して連通されている。連通部13は、後述する保護基板30のリザーバ部32と連通して各圧力発生室12の共通のインク室となるリザーバ100の一部を構成する。インク供給路14は、圧力発生室12よりも狭い幅で形成されており、連通部13から圧力発生室12に流入するインクの流路抵抗を一定に保持している。
また、流路形成基板10の開口面側には、圧力発生室12を形成する際のマスクとして用いられたマスク膜51を介して、各圧力発生室12のインク供給路14とは反対側の端部近傍に連通するノズル開口21が穿設されたノズルプレート20が接着剤や熱溶着フィルム等を介して固着されている。なお、ノズルプレート20は、厚さが例えば、0.01〜1mmで、線膨張係数が300℃以下で、例えば2.5〜4.5[×10-6/℃]であるガラスセラミックス、シリコン単結晶基板又はステンレス鋼などからなる。
一方、このような流路形成基板10の開口面とは反対側には、上述したように、厚さが例えば約1.0μmの弾性膜50が形成され、この弾性膜50上には、酸化ジルコニウム等からなり厚さが例えば、約0.4μmの絶縁体膜55が形成されている。さらに、この絶縁体膜55上には、白金及びイリジウム等からなり厚さが例えば、約0.2μmの下電極膜60と、チタン酸ジルコン酸鉛(PZT)等からなり厚さが例えば、約1.0μmの圧電体層70と、イリジウム等からなり厚さが例えば、約0.05μmの上電極膜80とが、後述するプロセスで積層形成されて、圧電素子300を構成している。ここで、圧電素子300は、下電極膜60、圧電体層70及び上電極膜80を含む部分をいう。一般的には、圧電素子300の何れか一方の電極を共通電極とし、他方の電極及び圧電体層70を各圧力発生室12毎にパターニングして構成する。そして、ここではパターニングされた何れか一方の電極及び圧電体層70から構成され、両電極への電圧の印加により圧電歪みが生じる部分を圧電体能動部という。本実施形態では、下電極膜60は圧電素子300の共通電極とし、上電極膜80を圧電素子300の個別電極としているが、駆動回路や配線の都合でこれを逆にしても支障はない。何れの場合においても、各圧力発生室毎に圧電体能動部が形成されていることになる。また、ここでは、圧電素子300と当該圧電素子300の駆動により変位が生じる振動板とを合わせて圧電アクチュエータと称する。上述した例では、弾性膜50、絶縁体膜55及び下電極膜60が振動板としての役割を果たす。
また、このような各圧電素子300の上電極膜80には、例えば、金(Au)等からなるリード電極90がそれぞれ接続され、このリード電極90を介して各圧電素子300に選択的に電圧が印加されるようになっている。
さらに、このような流路形成基板10の圧電素子300側の面には、圧電素子300に対向する領域に圧電素子保持部31を有する保護基板30が接着剤35によって接着されている。この圧電素子保持部31は、複数の圧電素子300を一体的に覆う大きさで形成されており、各圧電素子300は、この圧電素子保持部31内に配置されている。これにより、各圧電素子300は外部環境の影響を殆ど受けない状態に保護されている。なお、圧電素子保持部31は、必ずしも密封されている必要はない。また、本実施形態では、圧電素子300の列の両端部外側に、実際には駆動されないダミーの圧電素子301が複数形成されており、これらダミーの圧電素子301もこの圧電素子保持部31内に配置されている。なお、保護基板30の材料としては、例えば、ガラス、セラミックス材料、金属、樹脂等が挙げられるが、流路形成基板10の熱膨張率と略同一の材料で形成されていることが好ましく、本実施形態では、流路形成基板10と同一材料のシリコン単結晶基板を用いて形成した。
また、この保護基板30には、リザーバ100の少なくとも一部を構成するリザーバ部32が設けられている。そして、このリザーバ部32は、上述したように、流路形成基板10の連通部13と連通され、これらリザーバ部32及び連通部13によってリザーバ100が形成されている。
ここで、保護基板30の圧電素子保持部31の短手方向(ノズル開口21が並設される方向と直交する方向)の外側、例えば、本実施形態では、圧電素子保持部31のリザーバ部と反対側の領域に、圧電素子保持部31の短手方向に延びるスリット部33が所定間隔で複数設けられている。これにより、圧電素子保持部31の短手方向における保護基板30及び流路形成基板10の剛性の差が小さく抑えられる。したがって、これら保護基板30及び流路形成基板10の中央部と周縁部との剛性の差に起因する圧電素子300の特性低下が抑えられる。すなわち、保護基板30にスリット部33を設けていない構造と比較して、各圧電素子300の特性を実質的に向上させることができる。
なお、本実施形態では、各スリット部33は、大きさ(開口面積)がそれぞれ同一となるように形成されており、圧電素子保持部31の長手方向(ノズル開口21が並設される方向)におけるスリット部33の形成密度は一定であるが、これに限定されず、圧電素子保持部31の長手方向において、スリット部33の形成密度を変化させるようにしてもよい。例えば、図4に示すように、保護基板30の端部側のスリット部33aの開口面積を、中央部のスリット部33bの開口面積よりも広くするようにしてもよい。また、例えば、図5に示すように、保護基板30の端部側のスリット部33aの間隔L1が、中央部のスリット部33bの間隔L2よりも狭くなるようにしてもよい。
このように保護基板30の端部側のスリット部33の形成密度を、中央部よりも高くなるようにすることで、並設されている各圧電素子300の特性のばらつきも抑えることができる。すなわち、保護基板30には、圧電素子保持部31が形成されて剛性が低い領域と、その周囲の剛性が高い領域とが境界が存在する。そして、流路形成基板10と保護基板30とを加圧接着する際、この境界部分に応力が集中してしまい、この応力集中に起因して圧電素子300の特性のばらつきが生じてしまう。しかしながら、保護基板30の端部側のスリット部33(33a)の形成密度を、中央部のスリット部33(33b)の形成密度よりも高くすることで、保護基板30の中央部と周縁部との剛性の差を小さく抑えることができる。したがって、流路形成基板10と保護基板30とを接着する際の応力集中を防止することができ、並設された各圧電素子300の特性のばらつきを抑えることができる。
なお、本実施形態では、上述したように、並設された圧電素子300の外側に複数のダミーの圧電素子301が設けられている。このような構成では、流路形成基板10の端部近傍に位置するダミーの圧電素子301は駆動されないので、実際にインク吐出に用いられる各圧電素子300の特性はさらに均一化される。
また、このような保護基板30上には、封止膜41及び固定板42とからなるコンプライアンス基板40が接合されている。ここで、封止膜41は、剛性が低く可撓性を有する材料(例えば、厚さが6μmのポリフェニレンサルファイド(PPS)フィルム)からなり、この封止膜41によってリザーバ部31の一方面が封止されている。また、固定板42は、金属等の硬質の材料(例えば、厚さが30μmのステンレス鋼(SUS)等)で形成される。この固定板42のリザーバ100に対向する領域は、厚さ方向に完全に除去された開口部43となっているため、リザーバ100の一方面は可撓性を有する封止膜41のみで封止され、内部圧力の変化によって変形可能な可撓部となっている。
さらに、保護基板30上には、圧電素子300を駆動するための駆動IC110(半導体集積回路)が実装されている。そして、この駆動IC110と、各圧電素子300から引き出されたリード電極90とが、ボンディングワイヤからなる接続配線120によって接続されることで、各圧電素子300と駆動IC110とが電気的に接続されている。
このような本実施形態のインクジェット式記録ヘッドでは、図示しない外部インク供給手段と接続したインク導入口からインクを取り込み、リザーバ100からノズル開口21に至るまで内部をインクで満たした後、駆動回路110からの記録信号に従い、圧力発生室12に対応するそれぞれの下電極膜60と上電極膜80との間に電圧を印加し、弾性膜50、絶縁体膜55、下電極膜60及び圧電体層70をたわみ変形させることにより、各圧力発生室12内の圧力が高まりノズル開口21からインク滴が吐出する。
(他の実施形態)
以上、本発明の各実施形態を説明したが、インクジェット式記録ヘッドの基本的構成は上述したものに限定されるものではない。例えば、上述の実施形態では、圧電素子保持部31のリザーバ部32とは反対側の領域の保護基板30にスリット部33を設けるようにしたが、勿論、圧電素子保持部31とリザーバ部32との間の領域に設けるようにしてもよい。また、このようなインクジェット式記録ヘッドは、インクカートリッジ等と連通するインク流路を具備する記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェット式記録装置に搭載される。図6は、そのインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。図6に示すように、インクジェット式記録ヘッドを有する記録ヘッドユニット1A及び1Bは、インク供給手段を構成するカートリッジ2A及び2Bが着脱可能に設けられ、この記録ヘッドユニット1A及び1Bを搭載したキャリッジ3は、装置本体4に取り付けられたキャリッジ軸5に軸方向移動自在に設けられている。この記録ヘッドユニット1A及び1Bは、例えば、それぞれブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐出するものとしている。
以上、本発明の各実施形態を説明したが、インクジェット式記録ヘッドの基本的構成は上述したものに限定されるものではない。例えば、上述の実施形態では、圧電素子保持部31のリザーバ部32とは反対側の領域の保護基板30にスリット部33を設けるようにしたが、勿論、圧電素子保持部31とリザーバ部32との間の領域に設けるようにしてもよい。また、このようなインクジェット式記録ヘッドは、インクカートリッジ等と連通するインク流路を具備する記録ヘッドユニットの一部を構成して、インクジェット式記録装置に搭載される。図6は、そのインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。図6に示すように、インクジェット式記録ヘッドを有する記録ヘッドユニット1A及び1Bは、インク供給手段を構成するカートリッジ2A及び2Bが着脱可能に設けられ、この記録ヘッドユニット1A及び1Bを搭載したキャリッジ3は、装置本体4に取り付けられたキャリッジ軸5に軸方向移動自在に設けられている。この記録ヘッドユニット1A及び1Bは、例えば、それぞれブラックインク組成物及びカラーインク組成物を吐出するものとしている。
そして、駆動モータ6の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト7を介してキャリッジ3に伝達されることで、記録ヘッドユニット1A及び1Bを搭載したキャリッジ3はキャリッジ軸5に沿って移動される。一方、装置本体4にはキャリッジ軸5に沿ってプラテン8が設けられており、図示しない給紙ローラなどにより給紙された紙等の記録媒体である記録シートSがプラテン8上を搬送されるようになっている。
なお、上述した実施形態では、液体噴射ヘッドの一例としてインクジェット式記録ヘッドを挙げて説明したが、本発明は、広く液体噴射ヘッド全般を対象としたものであり、インク以外の液体を噴射する液体噴射ヘッドにも勿論適用することができる。その他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、プリンタ等の画像記録装置に用いられる各種の記録ヘッド、液晶ディスプレー等のカラーフィルタの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ELディスプレー、FED(面発光ディスプレー)等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオchip製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられる。
10 流路形成基板、 12 圧力発生室、 13 連通部、 14 インク供給路、 20 ノズルプレート、 21 ノズル開口、 30 保護基板、 31 圧電素子保持部、 32 リザーバ部、 33 スリット部、 40 コンプライアンス基板、 50 弾性膜、 55 絶縁体膜、 60 下電極膜、 70 圧電体層、 80 上電極膜、 90 リード電極、 100 リザーバ、 300 圧電素子
Claims (5)
- ノズル開口に連通する圧力発生室が形成される流路形成基板と、該流路形成基板の一方面側に振動板を介して設けられる下電極、圧電体層及び上電極からなる複数の圧電素子と、前記流路形成基板の前記圧電素子側の面に接合されると共に当該圧電素子を保護する圧電素子保持部を有する保護基板とを具備する液体噴射ヘッドであって、
前記保護基板の前記圧電素子保持部の短手方向の外側領域に、当該圧電素子保持部の短手方向に延びるスリット部が、前記圧電素子保持部の長手方向に沿って所定の間隔で複数設けられていることを特徴とする液体噴射ヘッド。 - 請求項1において、前記保護基板の端部側の前記スリット部の形成密度が、前記保護基板の中央部よりも高くなっていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
- 請求項2において、前記保護基板の端部近傍の前記スリット部の開口面積が、前記保護基板の中央部の前記スリット部の開口面積よりも広くなっていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
- 請求項2又は3において、前記保護基板の端部近傍の前記スリット部の間隔が、前記保護基板の中央部の前記スリット部の間隔よりも狭くなっていることを特徴とする液体噴射ヘッド。
- 請求項1〜4の何れかの液体噴射ヘッドを具備することを特徴とする液体噴射装置。
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