JP2005262475A - 光ビーム発光制御装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】 複数の光ビームに対して、単一の補正系で電圧源の制御信号を補正する場合に、全ての光ビームに対応する保持手段に精度よく制御値を保持させる。
【解決手段】 駆動回路26の電圧源76の電圧を補正制御電圧で補正する場合に、従来、この電圧源76の電圧のベースをドライバGND基準としていたが、電圧の基準ベースをドライバGNDから切り離し、独立した基準オフセット端子72を設け、この基準オフセット端子72へ補正電圧を供給するようにした。これにより、ドライバGNDの変動による補正電圧の変動がなく、電圧源76で生成される電圧のベースの増減がなされるため、安定した補正制御が可能となる。また、補正手段50のシグナルGNDをICパッケージ52内のドライバGND等のグランドとは電気的に切り離し、かつICパッケージ52の外まで延出して、発光素子14AのLD−GNDと低インピーダンスで接続したため、補正電圧の設定時に発光素子14AのLD−GNDの変動に追従させることができ、さらに精度を向上することができる。
【選択図】 図2

Description

本発明は、画像データに基づいて光源から発光する複数の光ビームを走査し、像担持体上に静電潜像を形成した後に現像し、記録媒体上に画像を転写することで画像を形成する画像形成装置に用いられ、前記光源から発光する複数の光ビームの発光を制御する光ビーム発光制御装置に関するものである。
従来、画像形成装置では、光源としてレーザーから発光する光ビームを画像データに基づいて照射し、これをポリゴンミラー等の走査手段で走査(主走査)し、fθレンズ等の光学系を介して、予め帯電露光された像担持体(感光体ドラム等)へ静電潜像を記録すると共に、トナーを供給して顕像化する現像処理を実行した後、トナー像を所定の記録媒体(記録用紙)に転写することで画像を得るようになっている。
ところで、近年、VCSELと称される面発光レーザーが、上記画像形成装置の光源として適用されている。この面発光レーザーでは、同時期に複数本(例えば32本)の光ビームを同一面から照射することが可能となっている。すなわち、複数本の主走査が同時に実行されるため、画像形成の処理速度を飛躍的に向上することができる。
面発光レーザーは、一般のレーザーに比べて、内部抵抗が高いため、従来の端面発光レーザー同様に光量安定性に優れた電流駆動では変調速度が上がらない。そこで、レーザー駆動波形の立ち上がり時、立ち下がり時のみ電圧を印加してその後電流駆動をすることで、変調速度と光量安定性を両立させている(特許文献1参照)。
しかし、面発光レーザーを用いた装置では、多チャンネルの配線をレイアウトする必要があるので、配線の引き回しが長くなり配線の寄生容量が大きくなる。その為、前述のように立ち上がり・立ち下がり時に電圧駆動する駆動制御を行ったとしても、配線寄生容量Cと抵抗(=スイッチON抵抗Rint+配線抵抗R1)の時定数(Rint+R1)xCの影響による波形なまりが、無視できない程度になる(図8の点線補正無し参照)。その結果、バルス幅−積分光量特性(以下、Cin特性という)が理想曲線(直線)よりも低くなる(図7補正無し参照)。
そこで、図6に示される如く、駆動回路100の電圧源102に対して、補正手段104を配設し、この補正手段104により、電圧駆動時の電圧源102の電圧値を補正することが考えられている。
図6に示される如く、駆動回路100は、定電流源106、電圧源102、スイッチ108、110を備えており、前述のように電圧駆動と電流駆動を併用するようにスイッチ108を立ち上がり・下がり時のみオン、スイッチ110を点灯時常時オンすることで、発光素子LDを発光させる。
補正手段104は、補正電流源112を備えており、補正制御信号に基づいて電流値が定まるようになっている。また、電圧源102は、負荷114を介して接地されている。前記補正電流源112の出力線は、スイッチ116を介して、前記電圧源102と負荷114との間に接続されている。
ここで、スイッチ116がオンされると、負荷114に補正電流が流れ、電圧源102では、この補正電流源112からの電流で負荷114の両端にかかる電圧に相当する電圧が増減される。図8にこのような補正の結果、負荷114の両端の電圧差すなわち補正電圧がV1になるように補正を行った場合の駆動波形を示した(図9の実践補正有り参照)。電圧駆動を行う立ち上がり時の電圧が、安定動作となる電流駆動時の駆動電圧に対し大きめに補正されたことで、積分光量が増大するように補正がなされている。 この結果、図7に示される如く、補正無しのCin特性に対して、電圧V1の補正がなされると、補正有りのCin特性は、理想曲線にほぼ一致することがわかる。これにより、発光素子LDのCin特性を安定して補正することができる。
特開2003−347663公報
しかしながら、複数の発光素子LDを有する光源(面発光レーザー)において、同時に複数の光ビームを発光する場合、上記図6の回路を並列に接続し、各駆動回路100毎に負荷114へ補正電流源112からの電流を流し、グランド(接地)ベースで電圧源の補正電圧を定めていると、それぞれの駆動回路100のデバイスの特性のばらつき(例えば、トランジスタのしきい値電圧のばらつき)等が原因で補正電流源112からの電流値が個々に異なり、補正電圧も個々に異なってしまう。
すなわち、図9に示される如く、上記電圧V1の補正が必要であるのに、補正電圧にばらつき(ΔV)があると、その電圧の変動が各発光素子LDの補正時の光量をばらつかせる原因となる。例えば、補正電圧がV2=(V1+ΔV)になると、図9に示される如く、補正時の光量が目標光量L1と異なるので、レーザーの積分光量つまりCin特性が目標と異なってしまう。レーザーの積分光量が画像濃度に変換されるレーザーゼログラフィにおいては、このようにレーザー毎にCin特性がばらついてしまうと画像濃度の走査ライン毎に変動し、特にハーフトーン部で画像すじとなりやすいという問題がある。
本発明は上記事実を考慮し、複数の光ビームに対して、単一の補正系で電圧源の制御信号を補正する場合に、全ての光ビームに対応する保持手段に精度よく制御電圧を印加して補正を行うことができる光ビーム光量制御装置を得ることが目的である。
本発明は、画像データに基づいて光源から発光する複数の光ビームを走査し、像担持体上に静電潜像を形成した後に現像し、記録媒体上に画像を転写することで画像を形成する画像形成装置に用いられ、前記光源から発光する複数の光ビームの発光を制御する光ビーム発光制御装置であって、前記各光ビームの発光量を制御する制御信号をそれぞれ個々に保持する複数の保持手段と、前記それぞれの保持手段に保持された制御信号に基づいて、前記光源から光ビームを発光するように電圧駆動時の電圧を設定する電圧源、電流駆動時の電流を設定する電流源をそれぞれ備えた複数の駆動手段と、前記電圧駆動時に前記電圧源から出力する点灯時の立ち上がり電圧を補正するための補正電圧を出力端から出力する補正手段とを有し、前記駆動手段のそれぞれの電圧源で発生する電圧のベースとなる基準信号線を共通化し、この共通とされた基準信号線を前記補正手段の出力端に接続することで、前記補正電圧により前記電圧源で発生する電圧のベースのオフセット量を設定することを特徴としている。
本発明によれば、複数の駆動手段の電圧源は、補正手段から補正電圧を受けて電圧源のベースのオフセット量が設定されることで補正されて電圧が設定される。このとき、電圧源で発生する電圧のベースとなる基準信号線を共通化して、補正手段の出力端に接続することで、補正手段に適用されるデバイスの変動による各駆動手段へのオフセット量の差異を抑制することができ、各駆動手段での補正電圧を一致させることができる。
本発明において、前記複数の保持手段、複数の駆動手段、並びに補正手段が単一のICパッケージ化されて構成されており、前記補正手段のグランドを前記ICパッケージ内のグランドとは、電気的に独立させることを特徴としている。
このとき、補正手段のグランドをICパッケージ内のグランドと共通にすると、駆動手段による制御状態によって、IC全体の消費電流が変動してグランド信号線の配線抵抗の影響でグランドレベルが変動して、補正手段の補正電圧を変動させる原因となる。そこで、補正手段のグランドをICパッケージ内のグランドとは、電気的に独立させることで、補正手段のグランド変動を抑制して、Cin特性の補正の安定化を図ることができる。
また、本発明において、前記補正手段のグランドが、前記光源のグランドと低インピーダンスで接続されていることを特徴としている。
光源のグランドと補正手段のグランドとを共通とすることで、光源のグランドレベルを基準として、補正電圧を生成することができるので、補正手段と光源のグランドレベルがそれぞれ別々に変動して、正味の補正電圧が変動するのを最低源に抑制できる。
以上説明した如く本発明では、複数の光ビームに対して、単一の補正系で電圧源の制御信号を補正する場合に、全ての光ビームに対応する保持手段に精度よく制御電圧を印加してCin特性の補正を行うことができるという優れた効果を有する。
図1には、本発明の光ビーム発光制御装置が適用された画像形成装置10の走査光学系ユニット12の概略構成が示されている。
走査光学系ユニット12は、面発光レーザー(VCSEL)14を備えており、同時期に複数本(本実施の形態では32本)の光ビームを発光可能となっている。
面発光レーザー14から照射される光ビームの光軸方向下流側には、集光レンズ16が配設され、この集光レンズ16を通過した光ビームは、走査光学系としてのポリゴンミラー18へ入力するようになっている。ポリゴンミラー18は、図示しないポリゴンモータの駆動力で高速に一定速度で図1の矢印A方向へ回転するようになっている。
このため、ポリゴンミラー18の複数の反射面(図1では、8面)18Aに順次入射し、その反射光は、露光面上の走査速度を補正するfθレンズ20や走査方向にレンズパワーを持つ面倒れ補正用のシリンドリカルレンズ22等により構成された光学系を通過して、感光体ドラム24上で走査されるようになっている。
感光体ドラム24は、前記主走査と直交する方向へ回転(副走査)しており、この感光体ドラム24を回転させながら、主走査を繰り返すことで、感光体ドラム24上に所定領域の静電潜像を形成することができる。
なお、感光体ドラム24は、その周囲に帯電部、現像部、転写部(図示省略)が位置しており、帯電部によって一様に帯電された状態で、画像データに応じて発光制御される前記光ビームが照射されることで露光され、現像部によって現像処理されることでトナー像が形成され、転写部において記録媒体(記録用紙)に記録される。
前記走査光学系ユニット12の面発光レーザー14は、図3に示す駆動回路26によって駆動制御されるようになっている。
駆動回路26は、各光ビームの発光点(発光素子14A)に対して、1:1の関係で設けられている。
また、本実施の形態では、電圧駆動時における立ち上がり電圧の補正のための補正手段50(図2参照)を備えている。この補正手段50では、駆動回路26で発生する電圧駆動時の電圧を補正して、Cin特性を図7に示す理想曲線(直線)に近似させるようにしている。
図2に、上記補正手段50、駆動回路26(図2ではドライバ1〜Nと表示)を含めた光ビーム発光制御回路の全体の概略構成を示す。
この光ビーム発光制御回路は、ICとしてパッケージされて構成されている(以下、ICパッケージ52という)。
駆動回路26は、同時に発光する発光素子14Aの数に対応してN個(本実施の形態では、32個)が併設されている。各駆動回路26は、複数の入力端と出力端を備えており、LD−OUT端子54には、発光素子14Aの一端(アノード側)が接続されている。この発光素子14Aの他端(カソード側)はそれぞれ共通のLDグランド信号線56に接続されている。以下、このグランド信号線54の接地をLD−GNDという。
また、各駆動回路26のGND端子(GND−1〜GND−N)58は、共通のドライバグランド信号線60に接続されている。以下、このドライバグランド信号線60の接地をドライバGNDという。
さらに前記補正手段50の出力端は、それぞれの駆動回路26に設けられた基準オフセット端子72に接続されている。この、基準オフセット端子72は、前記ドライバGNDとは切り離された状態でそれぞれ補正手段50の出力端と接続されている。
補正手段50には、補正制御信号が入力されることで、補正信号(補正電圧)が生成されるようになっている。補正手段50によって生成された共通の補正信号(補正電圧)は、それぞれの駆動回路26の基準オフセット端子72に入力される。
この補正手段50は、補正グランド信号線74によって接地されている。以下、この補正グランド信号線74の接地を、シグナルGNDという。
ここで、シグナルGNDは、ICパッケージ52の外部へ延出され、前記LD−GNDに低インピーダンスで接続されている(図2の一点鎖線参照)。言い換えれば、シグナルGNDは、前記ドライバGND等の接地ベースとなるICのグランドとは独立したかたちで、発光素子14AのLD−GNDと共通に接地されるようになっている。
また、この前記光ビーム発光制御回路は、発光素子14Aの発光光量を検出しフィードバック制御を行い、目標光量になるようにそれぞれ駆動回路26の制御電圧を設定するAPC制御機能を有している。以下図2を用いてAPC制御機能の回路動作を説明する。
複数の発光素子14Aの近傍には、光検出器62が設けられている。光検出器62は、発光素子14Aから発光する光ビームの光量を検出し、電気信号に変換する光電変換素子を備えている。このため、光検出器52の出力は、発光光量に応じた電流値となる。
光検出器62の出力信号線64は、電流電圧変換器I/V66を介して差動増幅器68のマイナス側入力端に接続されている。
また、差動増幅器68のプラス側入力端には、基準値(基準電圧Vref)が入力されている。
差動増幅器68では、入力される基準電圧と検出電圧とが入力され、両者の差分が0になるような出力電圧が出力されるようになっている。
この出力電圧が、前記駆動回路26における発光素子14Aを発光するための制御電圧となる。このため、差動増幅器68の出力端は、各駆動回路26の制御電圧端子70に接続されている。
例えば、発光素子14Aの発光光量が少ない場合は、差動増幅器68に入力する検出電圧が低く、基準電圧の方が高い電圧となる。差動増幅器68の出力は、この電圧差に相当する電圧値が増加された電圧が出力され、これが発光素子14Aの発光時の制御電圧となり、発光素子14Aは光量が増加する。
逆に、発光素子14Aの発光光量が多い場合は、差動増幅器60に入力する検出電圧が高く、基準電圧の方が低い電圧となる。差動増幅器60の出力は、この電圧差に相当する電圧値が減少された電圧が出力され、これが発光素子14Aの発光時の制御電圧となり、発光素子14Aは光量が減少する。
図3には、駆動回路26における入力端及び出力端の内部接続状態が示されている。なお、図3では、図2に示した入力端及び出力端と対応した関係になっている。
図3に示される如く、駆動回路26には、発光素子14Aに対して、電圧駆動をする時の電圧を印加するのための電圧源76と、電流駆動をする時の電流を供給する電流源78とを備えている。
電圧源76はスイッチ80を介して、電流源78はスイッチ82を介して、LD−OUT端子54に接続されている。電流源78は、スイッチ78−2を介して前記制御電圧端子70と接続されている。
これらスイッチの切り替え動作を図5のタイミングチャートで説明する。まずAPC時にはスイッチ78-2がオンになり図2のAMP68より制御電圧が入力される。APC終了時には保持手段であるサンプルホールドコンデンサ78−1に目標光量に対応した電流を流すための制御電圧が保持される。また電圧源76の制御電圧として、同様にAPC時にスイッチ76−1がオンになり、目標光量で発光している時の発光素子の端子電圧がサンプルホールドコンデンサ84に保持される。
次に変調時つまり画像形成時には図5のタイミングチャートにあるように、点灯立ち上がり時のみに電圧源側のスイッチ80はオンになり電圧駆動を行う。電流源側のスイッチ82は常時オンになり、立ち上がり後スイッチ80がオフになると電流駆動で点灯を行う。画像形成時に前述のようにCin特性の補正を実施する時には、理想のCin特性になるように電圧源の出力電圧値が補正手段50から出力された補正電圧により補正されることになる。
また、電圧源76は、印加する電圧のベースとなる基準信号線86が基準オフセット端子72に接続されており、前述の如く、この基準オフセット端子72が複数の駆動回路26のそれぞれの電圧源76の間で共通としている。
この基準オフセット端子72の共通化により、補正手段50から供給される補正電圧に変動があっても、これを全ての駆動回路26で共通に対応することができ、それぞれの電圧源の出力電圧がばらつくのを抑制することができる。
図4には、補正手段50の内部構成が示されている。
補正手段50には、基準電流源88と補正電流源90とが設けられており、補正電流源90には、補正制御信号が入力されている。
また、基準電流源88と補正電流源90とは、スイッチ92を介して接続され、スイッチ92がオフのときは、基準電流源88のみの電流が負荷94にかけられ、スイッチ92がオンのときは、基準電流源88の電流と補正電流源90の電流が重畳されて負荷94にかけられる。
負荷94の両端電圧はバッファアンプ96のプラス側入力端に入力されている。バッファアンプ96のマイナス側入力端は、出力端と接続されている。
バッファアンプ96の出力端に接続された信号線97は、直接駆動回路26の基準オフセット端子72(図3参照)に接続されている。
また、バッファアンプ96のグランド信号線98はコンデンサ99と負荷94の基準側と共通に配線され、前述したように前記ドライバGNDとは独立したかたちのシグナルGNDとして接地される。
コンデンサ99は、補正手段50の出力インピーダンスを低下させて、グランドレベルが変動した時に、配線の寄生容量による容量結合で補正手段50の出力が変動し、駆動回路26毎の補正電圧が変動することを抑制する役目を有している。
以下に本実施の形態の作用を説明する。
(画像形成プロセス)
まず、感光体ドラム24は所定の回転速度で回転駆動される。
そして、感光体ドラム24の表面は、帯電部の所定の帯電レベルの現像バイアス電圧を印加することによって、所定レベルに一様に帯電される。なお、現像バイアスは、直流電圧のみならず、交流成分を直流成分に重畳するように構成されている。
次に、一様な表面電位とされた各感光体ドラム24の表面に、走査光学系ユニット12の面発光レーザー14(発光素子14A)によって光ビームが照射され、画像データに応じた静電潜像が形成される。
すなわち、発光素子14Aから照射された光ビームは、ポリゴンミラー18によって偏向され、この走査光をfθレンズ20等を介して感光体ドラム24で主走査される。感光体ドラム24の光ビームによる露光部位の表面電位は所定レベルにまで除電される。
そして、各感光体ドラム24の表面に形成された静電潜像は対応する現像部によって現像され、各感光体ドラム24上の静電潜像は、トナー像として可視化される。
次に、各感光体ドラム24上に形成された各色のトナー像は、転写部によって記録媒体に転写される。なお、記録媒体は加熱定着されることでトナーが定着し、画像形成プロセスが終了する。
(APC制御)
ここで、上記画像形成における主走査のインタバル(画像書込前)には、発光素子14Aの光量が目標光量になるように発光素子14Aの制御電圧を設定するAPC制御が実行される。このAPC制御は、複数の発光素子14Aに対して順次、すなわち時系列で実行される。
1つの発光素子14AのAPC制御が終了すると、次々と時系列で選択され、全ての発光素子14AのAPC制御が終了した時点で画像形成処理が開始される。
ここで、発光素子14Aで発光する光ビームの光量の立ち上がり、立ち下がり時の駆動波形にはなまりが発生するので原理的にCin特性が理想曲線とならなず補正が必要となる場合がある。。(図7参照)。
そこで図5のタイミングチャートの説明で述べたようにAPC制御終了後の画像形成制御期間は常時、スイッチ92(図4参照)をオンして補正制御信号に基づいて設定される補正電流源90の電流値を、基準電流源88の電流値に重畳し、負荷94に重畳された電流を流す。
この結果、負荷94の両端電圧は補正が加味された電圧となり、この電圧がバッファアンプ96を介して駆動回路26の基準オフセット端子72へと送出される。
駆動回路26では、この補正電圧によって制御電圧のベースがAPC制御を行ったときの電圧を基準にして変更され、結果として電圧源の出力電圧が補正される。発光素子14Aを発光させる時には、立ち上がり時の電圧駆動時にスイッチ80をオンにして補正電圧を印加して、その後は電流源側スイッチ108のみオンにして安定な電流駆動を行う(図3、図5タイミングチャートより)。
上記補正を実行することで、図7に示される如く、補正無しのCin特性に対して、電圧源の駆動電圧V1の補正がなされると、補正有りのCin特性は、理想曲線にほぼ一致することがわかる。これにより、発光素子14Aを駆動する際に、安定してCin特性の補正を行うことができる。
すなわち、本実施の形態では、ICパッケージ52によって構成した光ビーム光量制御装置において、各駆動回路26の電圧源76(図3参照)の基準オフセット端子72は、ドライバGNDとは切り離された状態で共通に補正手段50の出力端と接続されている。
このため、補正手段50によって生成された共通の補正信号(補正電圧)は、それぞれの駆動回路26の電圧源76の基準オフセットを共通に設定することになるため、安定した補正が可能となる。
また、本実施の形態では、補正手段50のシグナルGNDを、ICパッケージ52内のグランド(ドライバGND)とは、電気的に独立しておりドライバGNDの変動に左右されない構成となっている。このため、補正手段50で生成される補正電圧は、ばらつきが生じにくい。
さらに、本実施の形態では、ICパッケージ52内のグランドとは電気的に独立させるのみならず、ICパッケージ52の外部まで延出し、発光素子14Aの共通のLD−GNDと低インピーダンスで接続した。
すなわち、補正手段50のシグナルGNDを、発光素子14AのLD−GNDと共通とすることで、補正手段と光源のグランドレベルがそれぞれ別々に変動して、正味の補正電圧が変動するのを最低限に抑制でき、、さらに精度の高い補正電圧を生成することができる。
以上説明したように本実施の形態では、複数のレーザーを駆動するため複数の駆動回路26の電圧源76の電圧を補正制御電圧で補正する場合に、従来、この電圧源76の電圧のベースをドライバGND基準としていたが、電圧の基準ベースをドライバGNDから切り離し、独立した基準オフセット端子72を設け、この基準オフセット端子72を複数の駆動回路間で共通に接続して、このオフセット端子72へ補正電圧を供給するようにした。これにより、ドライバGNDの変動による補正電圧の変動やレーザー間での補正電圧のばらつきがなく、電圧源76で生成される電圧のベースの増減がなされるため、安定した補正制御が可能となる。
また、補正手段50のシグナルGNDをICパッケージ52内のドライバGND等のグランドとは電気的に切り離し、かつICパッケージ52の外まで延出して、発光素子14AのLD−GNDと低インピーダンスで接続したため、補正電圧の設定時に発光素子14AのLD−GNDとシグナルGNDほぼ同一に設定でき、さらに精度を向上することができる。
本実施の形態に係る画像形成装置の概略構成図である。 本実施の形態に係るICパッケージ化された光ビーム発光制御装置の概略構成図である。 入出力端子の配線状態を示す駆動回路の構成図である。 補正回路の構成図である。 図3及び図4におけるスイッチングタイミングチャートである。 従来例に係る光ビーム発光制御装置の構成図である。 発光素子の発光制御のデューティー−積分光量特性図である。 時間−発光量特性図である。 電圧源−光量特性図である。
符号の説明
10 画像形成装置
12 走査光学系ユニット
14 面発光レーザー
14A 発光素子
18 ポリゴンミラー
24 感光体ドラム
26 駆動回路(駆動手段)
50 補正手段
52 ICパッケージ
54 LD−OUT端子
56 LDグランド信号線
58 GND端子
60 ドライバグランド信号線
62 光検出器
64 出力信号線
66 I/V
68 差動増幅器
70 制御電圧端子
72 基準オフセット端子
74 補正グランド信号線
76 電圧源
78 基準電流源
84 サンプルホールドコンデンサ(保持手段)
86 基準信号線
88 基準電流源
90 補正電流源

Claims (3)

  1. 画像データに基づいて光源から発光する複数の光ビームを走査し、像担持体上に静電潜像を形成した後に現像し、記録媒体上に画像を転写することで画像を形成する画像形成装置に用いられ、前記光源から発光する複数の光ビームの発光を制御する光ビーム発光制御装置であって、
    前記各光ビームの発光量を制御する制御信号をそれぞれ個々に保持する複数の保持手段と、
    前記それぞれの保持手段に保持された制御信号に基づいて、前記光源から光ビームを発光するように電圧駆動時の電圧を設定する電圧源、電流駆動時の電流を設定する電流源をそれぞれ備えた複数の駆動手段と、
    前記電圧駆動時に前記電圧源から出力する点灯時の立ち上がり電圧を補正するための補正電圧を出力端から出力する補正手段とを有し、
    前記駆動手段のそれぞれの電圧源で発生する電圧のベースとなる基準信号線を共通化し、この共通とされた基準信号線を前記補正手段の出力端に接続することで、前記補正電圧により前記電圧源で発生する電圧のベースのオフセット量を設定することを特徴とする光ビーム発光制御装置。
  2. 前記複数の保持手段、複数の駆動手段、並びに補正手段が単一のICパッケージ化されて構成されており、前記補正手段のグランドを前記ICパッケージ内のグランドとは、電気的に独立させることを特徴とする請求項1記載の光ビーム光量制御装置。
  3. 前記補正手段のグランドが、前記光源のグランドと低インピーダンスで接続されていることを特徴とする請求項2記載の光ビーム光量制御装置。
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