JP2005260296A - 弾性表面波素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 圧電性基板12上から、くし歯状電極部上にかけて形成される絶縁層21には、SiとOとを主体とし、一部の結合が水素原子、フッ素原子、あるいは水酸化基(OH)のいずれか1種以上により置換されてなる化学構造を有する絶縁材料を使用する。上記の化学構造を有する絶縁層21により、従来、絶縁層として二酸化ケイ素膜を用いたときに比べて、前記圧電性基板12の材質にかかわらず、前記絶縁層21を薄い膜厚の範囲内で、弾性表面波素子の周波数温度係数を0に効果的に近づけることが出来る。よって素子温度が変化したときの周波数変化を小さくできると共に、弾性表面波素子の基本的な特性も良好に維持することが出来る。
【選択図】図2
Description
前記圧電性基板上から前記くし歯状電極部上にかけて絶縁層が形成され、前記絶縁層はSiとOとを主体とし、一部の結合が水素原子、フッ素原子、あるいは水酸化基(OH)のいずれか1種以上により置換されてなる化学構造を有することを特徴とするものである。
本発明では、前記化学構造は以下の構造であることが好ましい。
符号11は弾性表面波素子を示しており、この弾性表面波素子は共振器としての機能を有している。
具体的には前記化学構造は、以下の構造式で示される。
比較例2は、絶縁層として以下の(化10)の化学構造を有するシロキサンを用いた。前記シロキサンから成る絶縁層をスピンオングラス(SOG)法により形成した。
なお実施例1,比較例1〜3ともに圧電性基板にはLiTaO3を用いた。
12 圧電基板
13、14 くし歯状電極部
15、16 接続電極部
17、18 電極部
19 反射器
20 絶縁性薄膜
21 絶縁層
21a 上面
Claims (7)
- 圧電性基板と、前記圧電性基板上に薄膜形成されたくし歯状電極部を有する弾性表面波素子において、
前記圧電性基板上から前記くし歯状電極部上にかけて絶縁層が形成され、前記絶縁層はSiとOとを主体とし、一部の結合が水素原子、フッ素原子、あるいは水酸化基(OH)のいずれか1種以上により置換されてなる化学構造を有することを特徴とする弾性表面波素子。 - 前記X,Y,Z,Wは全て水素原子である請求項2記載の弾性表面波素子。
- 前記絶縁層の規格化膜厚(H/λ;Hは、絶縁層の絶対膜厚、λは電極間ピッチ)は、0.07以上で0.18以下である請求項1ないし3のいずれかに記載の弾性表面波素子。
- 前記規格化膜厚は0.10以上で0.14以下である請求項4記載の弾性表面波素子。
- 前記絶縁層は、スピンオングラス法で形成されたものである請求項1ないし5のいずれかに記載の弾性表面波素子。
- 前記圧電性基板はLiTaO3である請求項1ないし6のいずれかに記載の弾性表面波素子。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004065009A JP2005260296A (ja) | 2004-03-09 | 2004-03-09 | 弾性表面波素子 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2004065009A JP2005260296A (ja) | 2004-03-09 | 2004-03-09 | 弾性表面波素子 |
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Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2005260296A (ja) |
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2004
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