JP2005253214A - 電磁アクチュエータ - Google Patents

Abstract

【課題】 高度な加工技術を用いることなく組立工程が簡易化されるとともに、応答性の良い電磁アクチュエータを提供する。
【解決手段】 コイル１４に電流を加えて、回動軸１２に発生していた磁束を打ち消す方向に、すなわち、回動軸１２の上側がＮ極になるように、コイル１４を励磁すると、連結ヨーク１１ｃにおいて、マグネット１３からの磁束と、コイル１４からの磁束とが合わさり飽和する。上コーナー部１１１ｄおよび下コーナー部１１２ｄからマグネット１３へと磁束が漏洩し、マグネット１３の磁極と反発して、回動ヨーク１１が反時計方向に回転する。コイル１４を無通電状態にすると、マグネット１３の磁束が回動ヨーク１１内に流れて吸引されることにより、回動ヨーク１１は、時計方向に回転して初期状態に復帰する。
【選択図】 図９

Description

本発明は、電磁アクチュエータに関する。

電磁アクチュエータは、コイルに通電することにより回動動作を行うものであり、様々な用途に用いられている。

このような電磁アクチュエータの一例として、カメラの絞り装置やシャッタ装置に用いられ、ロータが往復回動運動することにより、駆動対象物であるシャッタ羽根等を揺動運動させるものがある（例えば、特許文献１参照。）

特許文献１に開示されている電磁アクチュエータは、中空のコイルボビンと、コイルボビンに巻回されているコイルと、コイルボビンの端部付近に回動自在に配設されているロータとを有する。そして、ロータの永久磁石の２極の極位置がコイル側に偏るように着磁されている。
特許第２７１８４４３号明細書 （第１図）

しかしながら、上述した従来の電磁アクチュエータでは、ロータの２極の着磁角度が１２０度になるように着磁したり、ロータを回動させるためのロータ軸を真円のロータの中心に固着するには、高度な加工技術を必要とする場合があった。

また、比重の大きい材料を用いてロータを形成した場合には、応答性がやや遅れるような可能性があった。

本発明は、上記実状に鑑みてなされたもので、高度な加工技術を用いることなく組立工程が簡易化された電磁アクチュエータを提供することを目的とする。
また、本発明は、応答性の良い電磁アクチュエータを提供することを目的とする。

上記目的を達成するため、本発明の第１の観点に係る電磁アクチュエータは、
回動軸を中心に回動するとともに、前記回動軸の一端側に取り付けられ前記回動軸の延伸方向と垂直な方向に延びた第１のヨーク部材と、前記回動軸の他端側に取り付けられ前記回動軸の延伸方向と垂直な方向に延びた第２のヨーク部材と、前記第１のヨーク部材および前記第２のヨーク部材とを連結する第３のヨーク部材とから構成される回動ヨークと、
前記回動軸の延伸方向に中心軸線の方向が一致するように巻回されるとともに、前記回動軸が貫通して挿入されるコイルと、
前記回動ヨークが停止状態にある場合には、前記第１のヨーク部材と一端面が対向し、前記第２のヨーク部材と他端面が対向するように配設されたマグネットと
を備えることを特徴とする。

また、前記第３のヨーク部材を、前記第１のヨーク部材と連結し、前記回動軸と同心円周上に延びた第４のヨーク部材と、前記第２のヨーク部材と連結し、前記回動軸と同心円周上に延びた第５のヨーク部材と、前記第４のヨーク部材および前記第５のヨーク部材とを連結する第６のヨーク部材とから構成し、
前記マグネットを、前記回動ヨークが停止状態にある場合には、前記第１のヨーク部材と前記第４のヨーク部材との連結部分に一端面が対向し、前記第２のヨーク部材と前記第５のヨーク部材との連結部分に他端面が対向するように配設してもよい。

また、前記回動軸は磁性材料により形成されるようにしてもよい。

また、前記マグネットにより、前記コイルの無通電時において、前記第１のヨーク部材の前記マグネットと対向する面から、前記回転軸、および、前記第２のヨーク部材の前記マグネットと対向する面までを含んで構成される磁気回路と、前記第１のヨーク部材の前記マグネットと対向する面から、前記第３のヨーク部材、および、前記第２のヨーク部材の前記マグネットと対向する面までを含んで構成される磁気回路とが形成されることを特徴とする。

また、前記マグネットにより、前記コイルの無通電時において、前記第１のヨーク部材、前記回転軸、および、前記第２のヨーク部材により構成される磁気回路と、前記第４のヨーク部材、前記第５のヨーク部材、および、前記第６のヨーク部材により構成される磁気回路とが形成されることを特徴とする。

本発明によれば、組立工程が簡易化されるとともに、応答性が優れた電磁アクチュエータを提供することができる。

本発明の実施の形態に係る電磁アクチュエータについて、以下図面を参照して説明する。

（実施形態１）
本発明の実施形態１に係る電磁アクチュエータ１０は、図１〜図７に示すように、回動ヨーク１１と、回動軸１２と、マグネット１３と、コイル１４が巻回されたコイル枠１５と、Ｅリング１６とを備えている。この電磁アクチュエータ１０は、揺動モータであり、回動ヨーク１１が往復回動運動をすることにより、駆動対象であるカメラの絞りを開閉運動させるものである。

回動ヨーク１１は、回動軸１２を中心にして往復回動運動をするものである。回動ヨーク１１は、上側ヨーク１１ａと、下側ヨーク１１ｂと、上側ヨーク１１ａと下側ヨーク１１ｂとを連結する連結（継ぎ手）ヨーク１１ｃとから構成されている。なお、ここで上側とは、回動軸１２においてＥリング１６がはめられている側とし、その逆側を下側とする。回動ヨーク１１の上側ヨーク１１ａ、下側ヨーク１１ｂおよび連結ヨーク１１ｃは、薄板状の形状からなり、一体に形成されている。回動ヨーク１１は、例えば軟質磁性材料であるケイ素鋼、軟鉄、パーマロイ、ステンレス等により形成されている。

上側ヨーク１１ａおよび下側ヨーク１１ｂには、一端に回動軸１２が嵌合される回動軸用孔１１１ａ、１１１ｂがそれぞれ形成されている。上側ヨーク１１ａおよび下側ヨーク１１ｂの他端は連結ヨーク１１ｃと連結されている。上側ヨーク１１ａおよび下側ヨーク１１ｂは、回動軸１２の延伸方向と垂直な方向に延びるように形成され、それぞれが平行になるように位置している。

連結ヨーク１１ｃはコ字状（Ｃ字状）の形状を有し、回動軸１２の延伸方向と平行な方向に延びる連結部１１１ｃと、連結部１１１ｃの上端から回動軸１２と同心円周方向に延びる上連結部１１２ｃと、連結部１１１ｃの下端から回動軸１２と同心円周方向に延びる下連結部１１３ｃとから構成されている。

上連結部１１２ｃと上側ヨーク１１ａの他端とが連結され、この連結される部分である上コーナー部１１１ｄは、コイル１４の無通電時においては、コイル枠１５の後述するフランジ部１５ｂを介して、マグネット１３の上端面（Ｎ極側）と対向する位置にある。また、下連結部１１３ｃと下側ヨーク１１ｂの他端とが連結され、この連結される部分である下コーナー部１１２ｄは、コイル１４の無通電時においては、コイル枠１５の後述するフランジ部１５ｃを介して、マグネット１３の下端面（Ｓ極側）と対向する位置にある。

回動軸１２は、回動ヨーク１１を回動自在に支持するものである。回動軸１２は、磁性材料により形成され、例えば、軟質磁性材料であるケイ素鋼、軟鉄、パーマロイ、ステンレス等により形成されている。回動軸１２には、上側にＥリング１６を嵌める溝１２ａが形成され、下側に回動ヨーク１１の下側ヨーク１１ｂが載置されるフランジ部１２ｂが形成されている。

マグネット１３は、上側ヨーク１１ａ、下側ヨーク１１ｂ、連結ヨーク１１ｃおよび回動軸１２に磁気回路を構成するものである。マグネット１３は、永久磁石からなる棒磁石である。

コイル枠１５には、円筒状の本体１５ａの外周にコイル１４を構成する導電線が巻回されている。コイル枠１５は、非磁性材料により形成され、例えば、プラスチック材料である非硬化性エポキシ樹脂、非硬化性フェノール樹脂、ナイロン樹脂等により形成されている。本体１５ａの中央には、回動軸１２が挿入される回動軸用孔１５１ａが形成されている。円筒状の本体１５ａの上下端にはフランジ部１５ｂおよび１５ｃが形成されている。フランジ部１５ｂおよび１５ｃには、マグネット１３を挟持して固定するためのマグネット挟持部１５１ｂおよび１５１ｃがそれぞれ突設されている。また、コイル１４には、コイル枠１５を介して回動軸１２が貫通して挿入されている。コイル１４は、回動軸１２の延伸方向に中心軸線の方向が一致するように巻回されている。

Ｅリング１６は、回動軸１２が抜け落ちないように回動軸１２の上側の溝１２ａに嵌められるリング状の止め輪である。

次に、電磁アクチュエータ１０を組み立てる方法について説明する。コイル１４が巻回されたコイル枠１５のマグネット挟持部１５１ｂおよび１５１ｃにマグネット１３を固定する。

回動ヨーク１１およびコイル枠１５について、回動ヨーク１１の回動軸用孔１１１ａ、コイル枠１５の回動軸用孔１５１ａ、および、回動ヨーク１１の回動軸用孔１１１ｂの中心が重なり、かつ、回動ヨーク１１の上コーナー部１１１ｄとマグネット１３の上端面とが対向し、回動ヨーク１１の下コーナー部１１２ｄとマグネット１３の下端面とが対向する位置になるように、位置合わせをする。そして、回動ヨーク１１の回動軸用孔１１１ｂ、コイル枠１５の回動軸用孔１５１ａおよび回動ヨーク１１の回動軸用孔１１１ａに回動軸１２を順次挿入する。回動ヨーク１１の回動軸用孔１１１ａおよび１１１ｂに回動軸１２は嵌合される。最後に、Ｅリング１６を回動軸１２の溝１２ａに嵌めて、電磁アクチュエータ１０は完成する。

カメラの絞り装置に用いる電磁アクチュエータ１０を制御するための制御回路について図８を用いて説明する。制御部３０は、図８に示すように、ＣＰＵ（Central Processing Unit）３１とメモリ３２とモータドライバ３３とを備えている。ＣＰＵ３１は、電磁アクチュエータ１０全体の制御や演算処理を行うものである。メモリ３２には、電磁アクチュエータ１０を制御するためのプログラムや制御情報が格納されている。モータドライバ３３は、ＣＰＵ３１からの制御信号に応じて、コイル１４に通電し励磁するか、コイル１４への通電を切って無励磁にする。ＣＰＵ３１には、光量検出部４１およびシャッターボタン４２が接続されている。

シャッターボタン４２が押されると、ＣＰＵ３１は、光量検出部４１により検出された被写体の輝度情報を読み取り、電磁アクチュエータ１０の駆動（絞りによる露光量の制限）が必要か否かを判別する。ＣＰＵ３１は、判別結果に従って、絞り動作が必要な場合には、電磁アクチュエータ１０を駆動するためにコイル１４に通電するか、無通電とするかをモータドライバ３３に指示する。モータドライバ３３は、指示に従って、電磁アクチュエータ１０のコイル１４に通電したり、通電を切ったりする。

このように、電磁アクチュエータ１０のコイル１４に通電制御することによって、回動ヨーク１１は往復回動運動をする。次に、電磁アクチュエータ１０の回動ヨーク１１の回動動作について、図９を用いて説明する。

回動ヨーク１１が停止位置にある場合は、コイル１４が無通電状態であり、無励磁状態であり、この場合には、図９（ａ）に示すように、マグネット１３の磁界は、上側ヨーク１１ａ、回動軸１２および下側ヨーク１１ｂにより構成される磁気回路を形成するとともに、連結ヨーク１１ｃにより構成される磁気回路を形成し、２つの磁気回路を形成する。これにより、マグネット１３の上端面側であるＮ極と回動ヨーク１１の上コーナー部１１１ｄとの間、および、マグネット１３の下端面側であるＳ極と回動ヨーク１１の下コーナー部１１２ｄとの間に吸引力が生じ、回動ヨーク１１の安定した静止状態が保たれる。

図９（ａ）の状態において、コイル１４に電流を加えて、図９（ｂ）に示すように、回動軸１２に発生していた磁束を打ち消す方向に、すなわち、回動軸１２の上側がＮ極になるように、コイル１４を励磁すると、連結ヨーク１１ｃにおいて、マグネット１３からの磁束と、コイル１４からの磁束とが合わさり飽和する。このように連結ヨーク１１ｃにおいて磁束が飽和すると、上コーナー部１１１ｄおよび下コーナー部１１２ｄからマグネット１３へと磁束が漏洩し、マグネット１３の磁極と反発して、回動ヨーク１１が図９（ｃ）に示す位置まで反時計回り方向に回転する。

図９（ｃ）の状態において、コイル１４を無通電状態にして、図９（ｄ）に示すように、コイル１４を無励磁にすると、マグネット１３の磁束が回動ヨーク１１内に流れて吸引されることにより、回動ヨーク１１は、図９（ａ）に示す位置まで時計回り方向に回転して初期状態に復帰する。

本実施形態においては、電磁アクチュエータ１０は連結ヨーク１１ｃを備えるが、連結ヨーク１１ｃを備えない場合よりも、高出力が得られる。すなわち、連結ヨーク１１ｃを備えない場合には、マグネット１３の磁界により構成される磁気回路は、上側ヨーク１１ａ、回動軸１２および下側ヨーク１１ｂで構成される磁気回路１つのみであるが、本実施形態では、図９（ａ）に示すように、連結ヨーク１１ｃを備えることにより、連結ヨーク１１ｃでもさらに磁気回路が構成されることになる。このために連結ヨーク１１ｃを備えた電磁アクチュエータ１０では、連結ヨーク１１ｃを備えない場合に比べて、回動軸１２に発生する磁束が減少する。よって、連結ヨーク１１を備えた電磁アクチュエータ１０のほうが、回動軸１２に発生する磁束を打ち消す方向にコイル１４を励磁する場合には、打ち消すべき磁束量が少なくなる。その結果、コイル１４に加える電流量が連結ヨーク１１ｃを備えている電磁アクチュエータ１０と連結ヨーク１１ｃを備えていない電磁アクチュエータで同じ場合には、連結ヨーク１１ｃを備えた電磁アクチュエータ１０のほうが、上コーナー部１１１ｄおよび下コーナー部１１２ｄから漏洩する磁束量が多くなるので、高出力で回動ヨーク１１を回動させることが可能になる。

電磁アクチュエータ１０を用いたカメラの絞り装置について、図１０を参照して説明する。この電磁アクチュエータ１０は、回動軸１２の下端が絞り装置の筐体内に軸支されるとともに、固定されている。また、この電磁アクチュエータ１０の連結ヨーク１１ｃは、駆動ピン１７ａが形成された駆動レバー１７を備えている。

このカメラの絞り装置は、図８における制御部３０、光量検出部４１およびシャッターボタン４２を備えている。この絞り装置は、絞り羽根２０を回動させて、レンズ開口５０とレンズ開口５０よりも小径の絞り開口２１とを重ね合わせることにより、レンズ開口５０を絞り込んで、光量を制限するものである。

絞り羽根２０には、レンズ開口５０よりも径の小さい絞り開口２１と、嵌合孔２２とが形成されている。絞り羽根２０の嵌合孔２２には、電磁アクチュエータ１０の駆動ピン１７ａが嵌合されており、絞り羽根２０は駆動ピン１７ａに固定される。これにより回動ヨーク１１の駆動レバー１７の回動に伴って、絞り羽根２０も回動軸１２を中心として回動する。また、絞り羽根２０は、ストッパ２４により時計回りの方向の回動を制限される。

この絞り装置では、シャッターボタン４２が押されると、ＣＰＵ３１は、光量検出部４１により検出された被写体の輝度情報等を読み取って、電磁アクチュエータ１０の駆動（絞りによる露光量の制限）が必要か否かを判別する。この絞り羽根２０がレンズ開口５０と重なっておらずレンズ開口５０が全開となっている初期位置のときは、電磁アクチュエータ１０は図９（ａ）の状態となっている。ＣＰＵ３１は、判別結果に従って、絞りが必要だと判別すると、モータドライバ３３を介して、電磁アクチュエータ１０のコイル１４に電流を加えてコイル１４を励磁する。すると、図９（ａ）〜（ｃ）で説明したように回動ヨーク１１が反時計回り方向に回転する。これによって、駆動レバー１７が反時計回り方向に回転する。この駆動レバー１７の回転に伴って、絞り羽根２０が反時計回り方向に回転する。

絞り羽根２０が反時計回り方向に回転して、絞り開口２１とレンズ開口５０が重なり合う状態になり、開口が絞られた状態になる。

そして、最大開口に戻すときは、電磁アクチュエータ１０のコイル１４を無通電状態にする。すると、図９（ｄ）および（ａ）で説明したように回動ヨーク１１が時計回り方向に回転する。これによって、駆動レバー１７が時計回り方向に回転する。この駆動レバー１７の回転に伴って、絞り羽根２０が時計回り方向に回転する。絞り羽根２０が時計回り方向に回転して、ストッパ２４に当接する。

このように本実施形態の電磁アクチュエータでは、マグネット１３からの磁束とコイル１４で発生する磁界の変化により、薄板状の回動ヨーク１１単体が回動するようにしたので、回動体の自重が軽く、応答性がよい。

また、本実施形態の電磁アクチュエータ１０では、回動体が回動ヨーク１１であり、永久磁石からなるロータを用いていないので、例えば、ロータに着磁部を形成したり、ロータ軸をロータの中心に固着するような高度な加工技術は必要としないので、電磁アクチュエータ１０の組立工程が容易になり、合理化される。

（実施形態２）
本発明の実施形態２に係る電磁アクチュエータ６０の構成を図１１〜図１４に示す。この電磁アクチュエータ６０は、実施形態１の電磁アクチュエータ１０の回動ヨーク１１における連結ヨーク１１ｃが、連結部１１１ｃのみにより構成され、上連結部１１２ｃおよび下連結部１１３ｃが省略された構成となっており、また、回動ヨーク１１のストッパ１５２ｂ，１５３ｂが形成されている点で実施形態１と異なり、その他の構成は実施形態１と同様である。以下、実施形態１と異なる点についてのみ説明し、その他については同一の符号を付しその説明を省略する。

電磁アクチュエータ６０は、上側ヨーク１１ａと下側ヨーク１１ｂとを連結する連結ヨーク１１ｃが、回転軸１２の延伸方向と平行な方向に延びる連結部１１１ｃのみから構成されており、回動ヨーク１１全体でコ字状の形状をなしている。また、上側ヨーク１１ａの回動軸用孔１１１ａ側の端には突片部１１２ａが形成されている。

コイル枠１５の上側のフランジ部１５ｂには、第１のストッパ１５２ｂと第２のストッパ１５３ｂとが突設されている。第１のストッパ１５２ｂは、上側ヨーク１１ａの連結部１１１ｃとの連結部分付近と当接することにより、上側ヨーク１１ａの時計回り方向の回動を規制するものである。第２のストッパ１５３ｂは、上側ヨーク１１ａの突片部１１２ａと当接することにより、上側ヨーク１１ａの反時計回り方向の回動を規制するものである。

回動ヨーク１１が停止位置にある場合には、図１１に示すように、マグネット１３の磁界は、上側ヨーク１１ａのマグネット１３の上端面との対向面から、回動軸１２および下側ヨーク１１ｂのマグネット１３との対向面までによって構成される磁気回路を形成するとともに、上側ヨーク１１ａのマグネット１３の上端面との対向面から、連結ヨーク１１ｃ、下側ヨーク１１ｂのマグネット１３の下端面との対向面までによって構成される磁気回路を形成し、２つの磁気回路を形成する。

回動軸１２の上側がＮ極になるように、図１３に示すように、コイル１４を励磁すると、上側ヨーク１１ａのマグネット１３の上端面との対向面から、連結ヨーク１１ｃ、下側ヨーク１１ｂのマグネット１３の下端面との対向面までにおいて、マグネット１３からの磁束と、コイル１４からの磁束とが合わさって飽和する。このように磁束が飽和すると、上側ヨーク１１ａのマグネット１３の上端面との対向面、および、下側ヨーク１１ｂのマグネット１３の下端面との対向面からマグネット１３へと磁束が漏洩し（図中、矢印破線で表す。）、マグネット１３の磁極と反発して、回動ヨーク１１が反時計回り方向に回転する。

以上、各実施形態を挙げて本発明を説明したが、本発明は上記各実施形態に限定されるものではなく、種々変形が可能である。例えば、本実施形態では、回動ヨーク１１を初期状態に戻すのに、コイル１４を無通電状態にしたが、コイル１４に逆励磁をかけることで初期位置に戻すようにしてもよい。

また、本実施形態では、マグネット１３の上端側がＮ極、下端側がＳ極である例について説明したが、マグネット１３の上端側がＳ極、下端側がＮ極であってもよい。この場合には、回動軸１２の上側がＳ極になるようにコイル１４を励磁して、反時計回り方向に回動ヨーク１１を回転する。

さらに、本実施形態では、回転軸１２を磁性材料により形成する例について説明したが、回転軸１２は必ずしも磁性材料により形成する必要はない。回転軸１２が磁性材料により形成されなくても、上述した２つの磁気回路は形成される。

また、上記実施形態２では、第１，第２のストッパ１５２ｂ，１５３ｂをコイル枠１５の上側のフランジ部１５ｂに形成する例について説明したが、下側のフランジ部１５ｃに形成するようにしてもよい。また、実施形態１において、実施形態２のように第１，第２のストッパ１５２ｂ，１５３ｂを備えるようにしてもよい。

さらに、本実施形態では、電磁アクチュエータを絞り装置に用いる例について説明したが、これに限らず、例えば、シャッタ装置やレンズ駆動装置等に用いることも可能である。

本発明の実施形態１に係る電磁アクチュエータの斜視図である。 本発明の実施形態１に係る電磁アクチュエータの分解斜視図である。 図１に示した電磁アクチュエータを図１におけるＡ方向から見た場合の正面図である。 図１に示した電磁アクチュエータを図１におけるＢ方向から見た場合の正面図である。 本発明の実施形態１に係る電磁アクチュエータの平面図である。 本発明の実施形態１に係る電磁アクチュエータの図４のＤ−Ｄ’線での矢視断面図である。 本発明の実施形態１に係る電磁アクチュエータの図３のＣ−Ｃ’線での矢視断面図である。 本発明の実施形態１に係る電磁アクチュエータを制御するための制御回路のブロック図である。 本発明の実施形態１に係る電磁アクチュエータの回動原理を説明するための説明図である。 本発明の実施形態１に係る電磁アクチュエータを用いた絞り装置の平面図である。 本発明の実施形態２に係る電磁アクチュエータの斜視図である。 本発明の実施形態２に係る電磁アクチュエータの平面図である。 図１１に示した電磁アクチュエータの回動ヨークが開いた際の斜視図である。 図１３に示した電磁アクチュエータの平面図である。

符号の説明

１０ 電磁アクチュエータ
１１ 回動ヨーク
１１ａ 上側ヨーク
１１ｂ 下側ヨーク
１１ｃ 連結ヨーク
１１１ｃ 連結部
１１２ｃ 上連結部
１１３ｃ 下連結部
１１１ｄ 上コーナー部
１１２ｄ 下コーナー部
１２ 回動軸
１３ マグネット
１４ コイル

Claims (5)

1. 回動軸を中心に回動するとともに、前記回動軸の一端側に取り付けられ前記回動軸の延伸方向と垂直な方向に延びた第１のヨーク部材と、前記回動軸の他端側に取り付けられ前記回動軸の延伸方向と垂直な方向に延びた第２のヨーク部材と、前記第１のヨーク部材および前記第２のヨーク部材とを連結する第３のヨーク部材とから構成される回動ヨークと、
   前記回動軸の延伸方向に中心軸線の方向が一致するように巻回されるとともに、前記回動軸が貫通して挿入されるコイルと、
   前記回動ヨークが停止状態にある場合には、前記第１のヨーク部材と一端面が対向し、前記第２のヨーク部材と他端面が対向するように配設されたマグネットと
   を備えることを特徴とする電磁アクチュエータ。
2. 前記第３のヨーク部材は、前記第１のヨーク部材と連結し、前記回動軸と同心円周上に延びた第４のヨーク部材と、前記第２のヨーク部材と連結し、前記回動軸と同心円周上に延びた第５のヨーク部材と、前記第４のヨーク部材および前記第５のヨーク部材とを連結する第６のヨーク部材とから構成され、
   前記マグネットは、前記回動ヨークが停止状態にある場合には、前記第１のヨーク部材と前記第４のヨーク部材との連結部分に一端面が対向し、前記第２のヨーク部材と前記第５のヨーク部材との連結部分に他端面が対向するように配設された
   ことを特徴とする請求項１に記載の電磁アクチュエータ。
3. 前記回動軸は磁性材料により形成されたことを特徴とする請求項１または２に記載の電磁アクチュエータ。
4. 前記マグネットにより、前記コイルの無通電時において、前記第１のヨーク部材の前記マグネットと対向する面から、前記回転軸、および、前記第２のヨーク部材の前記マグネットと対向する面までを含んで構成される磁気回路と、前記第１のヨーク部材の前記マグネットと対向する面から、前記第３のヨーク部材、および、前記第２のヨーク部材の前記マグネットと対向する面までを含んで構成される磁気回路とが形成される
   ことを特徴とする請求項１または３に記載の電磁アクチュエータ。
5. 前記マグネットにより、前記コイルの無通電時において、前記第１のヨーク部材、前記回転軸、および、前記第２のヨーク部材により構成される磁気回路と、前記第４のヨーク部材、前記第６のヨーク部材、および、前記第５のヨーク部材により構成される磁気回路とが形成される
   ことを特徴とする請求項２または３に記載の電磁アクチュエータ。
   

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