JP2005251835A - パターン形成方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】半導体基板に単層EBレジストにより微細なレジスト開口パターンを形成し、全面に第1の金属薄膜を形成し、更に第2のレジストを塗布し、T型ゲートの傘の部分の開口パターンを形成。第1の金属薄膜をめっき電極とし、傘部の開口部に第2の金属膜のめっきを行い、レジスト除去、傘部の第2の金属をマスクに下層の第1の金属薄膜を除去、第1のレジストを除去する事によりT型ゲートを形成する。
【選択図】図1
Description
本発明の第1の実施の形態について図1を用いて説明する。
次に本発明の第2の実施の形態について図2(a)〜(h)を用いて説明する。図2(a)〜(h)の順に工程を行う。
次に、本発明の第3の実施の形態について図3(a)〜(h)を用いて説明する。図3(a)〜(h)の順に工程を行う。
ダストの発生がなく、歩留まりが向上する。
次に、本発明の第4の実施の形態について図4を用いて説明する。図4(a)〜(h)の順に工程を行う。
2、12、22、32 第1のレジスト
3、13、23、33 第1のゲート金属薄膜
4、14、24、34 第2のレジスト
5、15、25、35 第2のゲート金属薄膜
Claims (10)
- 半導体基板上に第1のレジスト膜を塗布する工程と、前記第1のレジスト膜に第1の開口パターンを形成する工程と、第1の金属膜を前記第1の開口パターンを含む前記第1のレジスト膜上に堆積する工程と、前記第1の金属膜上に第2のレジスト膜を塗布する工程と、前記第1の開口パターンを領域内に含みかつ前記第1の開口パターンより幅の広い第2の開口パターンを前記第2のレジスト膜に形成する工程と、前記第1の金属膜を一方の電極とし、第1の開口パターンに選択的に第2の金属膜をメッキにより形成する工程と、前記第1のレジスト膜および前記第2のレジスト膜を除去する工程とを有することを特徴とするパターン形成方法。
- 半導体基板上に第1のレジスト膜を塗布する工程と、露光により第1の開口パターンを形成する工程と、第1の金属膜を前記第1のレジスト膜の全面に設ける工程と、前記第1の金属膜上に第2のレジスト膜を塗布した後、前記第1の開口パターンを領域内に含む、第1の開口パターンより幅の広い島状のレジストパターンを形成する工程と、該島状の孤立レジストパターンをマスクに前記第1の金属膜をエッチングし、前記第1のレジスト膜を除去する工程とを有することを特徴とするパターン形成方法。
- 前記第1の開口パターンまたは第2の開口パターンを、レジストパターンのみで形成することを特徴とする請求項1記載のパターン形成方法。
- 前記第1のレジスト膜が電子線に感度を有する電子線レジストからなる請求項1記載のパターン形成方法。
- 前記第1のレジスト膜が電子線に感度を有する電子線レジスト、第2のレジストが紫外線に感度を有するレジストからなることを特徴とする請求項1記載のパターン形成方法。
- 前記第1のレジスト膜がPMGIからなることを特徴とする請求項1記載のパターン形成方法。
- 前記第1の金属膜上に第2のレジスト膜を塗布する工程において、前記第1の金属膜上に第2の金属膜を形成してから第2のレジスト膜を塗布することを特徴とする請求項2記載のパターン形成方法。
- 半導体基板上に第1のレジスト膜を塗布する工程と、前記第1のレジスト膜に第1の開口パターンを形成する工程と、第1の金属膜を前記第1の開口パターンを含む前記第1のレジスト膜上に積層する工程と、前記第1の金属膜上に第2のレジスト膜を少なくとも第1の金属膜及び前記半導体基板の側面を被覆するように塗布する工程と、前記第1の開口パターンを領域内に含みかつ前記第1の開口パターンより幅の広い第2の開口パターンを前記第2のレジスト膜に形成する工程と、前記第1の金属膜を一方の電極とし、第1の開口パターンに選択的に第2の金属膜を形成する工程と、前記第1のレジスト膜および前記第2のレジスト膜を除去する工程とを有することを特徴とするパターン形成方法。
- 前記第1のレジスト膜を除去した後に、前記選択的に形成された前記第2の金属膜をマスクとして前記第1の金属膜をエッチングすることを特徴とする請求項8記載のパターン形成方法。
- 前記第1の開口パターンの、半導体基板の主面に垂直な面で切った断面形状が表面近傍で広くなった順テーパ形状であることを特徴とする請求項1、2または8記載のパターン形成方法。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP (1) | JP2005251835A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10529574B2 (en) | 2017-09-21 | 2020-01-07 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Process of forming electron device having gate electrode |
CN112713185A (zh) * | 2020-12-21 | 2021-04-27 | 西安电子科技大学 | 具有支撑结构的t型栅及其制备方法和半导体功率器件 |
US11171005B2 (en) | 2017-06-07 | 2021-11-09 | Mitsubishi Electric Corporation | Semiconductor device manufacturing method |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06302617A (ja) * | 1993-04-12 | 1994-10-28 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置及びその製造方法 |
JPH0745634A (ja) * | 1993-07-26 | 1995-02-14 | Toshiba Corp | 半導体装置の電極構造及びその製造方法 |
JPH10261659A (ja) * | 1997-03-18 | 1998-09-29 | Oki Electric Ind Co Ltd | 半導体装置の製造方法 |
-
2004
- 2004-03-02 JP JP2004057218A patent/JP2005251835A/ja active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH06302617A (ja) * | 1993-04-12 | 1994-10-28 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置及びその製造方法 |
JPH0745634A (ja) * | 1993-07-26 | 1995-02-14 | Toshiba Corp | 半導体装置の電極構造及びその製造方法 |
JPH10261659A (ja) * | 1997-03-18 | 1998-09-29 | Oki Electric Ind Co Ltd | 半導体装置の製造方法 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US11171005B2 (en) | 2017-06-07 | 2021-11-09 | Mitsubishi Electric Corporation | Semiconductor device manufacturing method |
US10529574B2 (en) | 2017-09-21 | 2020-01-07 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | Process of forming electron device having gate electrode |
CN112713185A (zh) * | 2020-12-21 | 2021-04-27 | 西安电子科技大学 | 具有支撑结构的t型栅及其制备方法和半导体功率器件 |
CN112713185B (zh) * | 2020-12-21 | 2022-07-22 | 西安电子科技大学 | 具有支撑结构的t型栅及其制备方法和半导体功率器件 |
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