JP2005251654A - 異方導電性シート及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】製造工程を改善して作られた異方導電性シート及びその製造方法を提供する。
【解決手段】母体となる流動性を有する非導電性のエラストマに当該母体成分より比重の大きい導電性粒子が高密度に含有される導電性部位１ａが偏在され、当該導電性粒子が偏在されて実質的に非導電性部位１ｂが形成されて導電性部位１ａと非導電性部位１ｂを一体に硬化させて異方導電性ピース１が成型される。導電性部位１ａと非導電性部位１ｂを交互にして異方導電性ピース１を積層して第１の積層体１０が得られ、第１の積層体１０が所定の厚さで切断されてゼブラ状シート１１が得られ、ゼブラ状シート１１とエラストマシート１２とを交互に積層した第２の積層体２０が所定の厚さで切断されて導電性部位１ａがマトリックス状に配置される異方導電性シート２を得る。
【選択図】 図２

Description

本発明は、プリント基板等の回路基板と各種の回路部品との間に介在する異方導電性シート及びその製造方法に関する。

最近の電子機器も小型化・薄型化に伴い、微細な回路同士の接続、微細部分と微細な回路の接続等の必要性が増大してきている。その接続方法として、はんだ接合技術や、異方性の導電接着剤が使用されている。又、異方導電性エラストマシートを電子部品と回路基板との間に介在させ、導通させる方法も行われている。

異方導電性エラストマシートは、ある方向にのみ導電性があるエラストマシートのことをいう。一般に、厚み方向にのみ導電性を示すもの、又は厚み方向に加圧されたときに厚み方向にのみ導電性を示すものなどがある。

異方導電性エラストマシートは、はんだ付けあるいは機械的嵌合などの手段を用いずにコンパクトな電気的接続を達成することが可能であり、機械的な衝撃やひずみを吸収してソフトな接続が可能であることなどの特徴を有するため、例えば、液晶ディスプレイ、携帯電話、電子計算機、電子式デジタル時計、電子カメラ、コンピューターなどの分野において広く用いられている。

又、回路装置、例えばプリント回路基板とリードレスチップキャリア、液晶パネルなどとの相互間の電気的な接続を達成するためのコネクタとしても広く用いられている。

又、プリント回路基板や半導体集積回路などの回路装置の電気的検査においては、検査対象である回路装置の少なくとも一面に形成された被検査電極と、検査用回路基板の表面に形成された検査用電極との電気的な接続を達成するために、回路装置の被検査電極領域と検査用回路基板の検査用電極領域との間に異方導電性エラストマシートを介在させることが行われている。

従来、このような異方導電性エラストマシート（以下、異方導電性シートと略称する）としては、並置された金属細線を絶縁体で一体化することにより作成された異方導電ブロックを金属細線に直角の方向に薄く切断することにより得られることが知られている（例えば、特許文献１参照）。

又、導電部材として導電性不織布と導電性ゴムとからなるものを使用しており、低抵抗、低圧縮の異方導電性コネクタを得るために、導電性不織布と導電性ゴム状体で形成した導電体層と絶縁性ゴム状体とからなるゼブラ状シートと絶縁性ゴム状体を交互に、ゼブラ状シートの導電体層の配列方向を揃えて積層したブロック体を薄く切断してなる異方導電性コネクタ（実質的には異方導電性シート）が発明されている（例えば、特許文献２参照）。
特開２０００−３４００３７号公報 特開平６−４５０２５号公報

しかし、特許文献１に開示された異方性導電性シートは、金属細線を用いているために、金属細線間の距離を小さくすることが困難で、近年の高集積された回路基板や電子部品が要求するファインピッチの異方性の導電性を確保することが難しい。又、金属細線は使用による圧縮力等で座屈しやすく、使用を繰り返すと抜けやすくなり、コネクタとしての異方性導電性シートの機能が十分に担保されないことがある。

又、特許文献２に開示された異方導電性シートは、導電性不織布と導電性ゴム状体で形成された導電体層となる導電性シートを得る工程と、前記工程で得た導電性シートと絶縁性ゴム状体とを多数積層してゼブラ状ブロックを得る工程と、前記工程で得たゼブラ状ブロックを積層方向にスライスしてゼブラ状シートを得る工程を含んでいる。

更に、特許文献２に開示された異方導電性シートは、前記工程で得たゼブラ状シートに絶縁性ゴム状体とを多数積層してマトリックス状ブロックを得る工程と、前記工程で得たマトリックス状ブロックをその積層方向と直角の方向に薄くスライスする工程とを含んでいる。

前述のように数工程を経て得られる異方導電性シートの製造工程を少しでも省略できれば、すなわち、生産性を向上させることにより異方導電性シートの製造コストを引き下げることが可能になる。

本発明は、上述した課題を解決すべく、平面状に広がっている厚さ方向に導電性を有する異方導電性シート及びその製造方法であって、製造工程を改善して作られた異方導電性シート及びその製造方法を提供することを目的とする。

発明者は、前記目的を満たすため、母体となる流動性を有する非導電性のエラストマに当該母体成分より比重の大きい導電性粒子が高密度に含有される導電性部位を偏在させることにより、以下のような新たな異方導電性シート及びその製造方法を発明した。

（１） 平面状に広がっている厚さ方向に導電性を有する異方導電性シートであって、所定の厚みを有する当該厚さ方向に導電性を有する複数の異方導電性ピースから構成され、前記複数の異方導電性ピース間は化学的に結合されており、前記複数の異方導電性ピースは、当該異方導電性ピースの母体を形成する非導電性エラストマに混入している導電性粒子によって前記厚さ方向に導電性を有し得る導電性部位と、前記非導電性エラストマにより前記厚さ方向及び平面方向に非導電性を有する非導電性部位とを含み、前記導電性部位と前記非導電性部位とが実質的に連続的に接合しており、前記複数の異方導電性ピースに含まれる前記導電性粒子は、その成形時に流動性を有する非導電性の母体成分より比重が大きいことを特徴とする異方導電性シート。

（２） 平面状に広がっている厚さ方向に導電性を有する異方導電性シートであって、母体となる流動性を有する非導電性のエラストマに当該母体成分より比重の大きい導電性粒子が高密度に含有される導電性部位が偏在されており、前記母体となる流動性を有する非導電性のエラストマに前記導電性粒子が偏在されて実質的に連続的に非導電性部位が接合されて当該導電性部位と当該非導電性部位を一体に硬化させて異方導電性ピースが成型され、前記導電性部位と前記非導電性部位が交互になるように前記異方導電性ピースを複数積み重ねられて接合された第１の積層体が得られ、当該第１の積層体が所定の厚さで切断されて前記導電性部位がゼブラ状に配置されていることを特徴とする異方導電性シート。

（３） 平面状に広がっている厚さ方向に導電性を有する異方導電性シートであって、母体となる流動性を有する非導電性のエラストマに当該母体成分より比重の大きい導電性粒子が高密度に含有される導電性部位が偏在されており、前記母体となる流動性を有する非導電性のエラストマに前記導電性粒子が偏在されて実質的に連続的に非導電性部位が接合されて当該導電性部位と当該非導電性部位を一体に硬化させて異方導電性ピースが成型され、前記導電性部位と前記非導電性部位が交互になるように前記異方導電性ピースを複数積み重ねられて接合された第１の積層体が得られ、当該第１の積層体が所定の厚さで切断されてゼブラ状シートが得られ、当該ゼブラ状シートと非導電性のエラストマシートとを交互に積み重ねて結合された第２の積層体が所定の厚さで切断されて前記導電性部位がマトリックス状に配置されていることを特徴とする異方導電性シート。

（４） 前記導電性部位付き非導電性シートは、母体となる流動性を有する非導電性のエラストマに当該母体成分より比重の大きい導電性粒子が沈降して当該導電性粒子が高密度に含有される導電性部位が偏在されていることを特徴とする（１）から（３）のいずかに記載の異方導電性シート。

（５） 前記導電性部位付き非導電性シートは、母体となる流動性を有する非導電性のエラストマに当該母体成分より比重の大きい導電性粒子が遠心力により当該導電性粒子が高密度に含有される導電性部位が偏在されていることを特徴とする（１）から（３）のいずかに記載の異方導電性シート。

（６） 平面状に広がっている厚さ方向に導電性を有する異方導電性シートを製造する方法であって、母体となる流動性を有する非導電性のエラストマに当該母体成分より比重の大きい導電性粒子が高密度に含有される導電性部位が偏在される第１の工程と、前記母体となる流動性を有する非導電性のエラストマに前記導電性粒子が偏在されて実質的に連続的に非導電性部位が接合されて当該導電性部位と当該非導電性部位を一体に硬化させて異方導電性ピースを成型する第２の工程と、前記導電性部位と前記非導電性部位が交互になるように前記異方導電性ピースを複数積み重ねて第１の積層体を得る第３の工程と、前記第３の工程で得られた第１の積層体を所定の厚さで切断してゼブラ状シートを得る第４の工程と、を含むことを特徴とする異方導電性シートを製造する方法。

（７） 平面状に広がっている厚さ方向に導電性を有する異方導電性シートを製造する方法であって、前記第４の工程で得られたゼブラ状シートと非導電性のエラストマシートを交互に積み重ねて第２の積層体を得る第５の工程と、前記第５の工程で得られた第２の積層体を所定の厚さで切断する第６の工程と、を更に含むことを特徴とする（６）記載の異方導電性シートを製造する方法。

（１）記載の発明によれば、「平面状に広がっている厚さ方向に導電性を有する異方導電性シートであって、所定の厚みを有する当該厚さ方向に導電性を有する複数の異方導電性ピースから構成され、前記複数の異方導電性ピース間は化学的に結合されており、前記複数の異方導電性ピースは、当該異方導電性ピースの母体を形成する非導電性エラストマに混入している導電性粒子によって前記厚さ方向に導電性を有し得る導電性部位と、前記非導電性エラストマにより前記厚さ方向及び平面方向に非導電性を有する非導電性部位とを含み、前記導電性部位と前記非導電性部位とが実質的に連続的に接合しており、前記複数の異方導電性ピースに含まれる前記導電性粒子は、その成形時に流動性を有する非導電性の母体成分より比重が大きい」ことを特徴としてよい。

本発明の異方導電性シートは、平面状に広がっており、平面状に広がる方向に非導電性であり、前記平面状に広がる方向と概直角な複数の方向、すなわち、厚さ方向に導電性を有してよい。

導電性を有するとは、実質的に電気を流すことができることを意味してよく、又、電気抵抗が十分小さいことを意味してよい。又、導電性を有する場合は、通常接続される端子間の抵抗が１００Ω以下（より好ましくは１０Ω以下、更に好ましくは１Ω以下）であることが好ましい。非導電性とは、実質的に電気を流さないことを意味してよく、又、電気抵抗が十分大きいことを意味してよい。

本発明では、非導電性のシートが、非導電性のエラストマからなっており、前記非導電性のエラストマは、導電性のないエラストマのことを意味してよく、又、電気抵抗が十分大きいエラストマのことを意味してよい。

非導電エラストマの例として、より具体的には、天然ゴム、ポリイソプレンゴム、ブタジエン−スチレン、ブタジエン−アクリロニトル、ブタジエン−イソブチレン等のブタジエン共重合体や共役ジエン系ゴムおよびこれらの水素添加物、スチレン−ブタジエン−ジエンブロック共重合体ゴム、スチレン−イソプレンブロック共重合体などのブロック共重合体ゴムおよびこれらの水素添加物、クロロプレン重合体、塩化ビニル−酢酸ビニル共重合体、ウレタンゴム、ポリエステル系ゴム、エピクロルヒドリンゴム、エチレン−プロピレン共重合体ゴム、エチレン−プロピレン−ジエン共重合体ゴム、軟質液状エポキシゴム、シリコーンゴム、又はフッ素ゴムなどが使用される。これらの中でも、耐熱性、耐寒性、耐薬品性、耐候性、電気絶縁性、および安全性に優れるシリコーンゴムが好適に用いられる。このような非導電性エラストマは、通常は体積抵抗が高い（例えば、１００Ｖで、１ＭΩ・ｃｍ以上）ため、非導電性である。

異方導電性ピースは、その成形時に流動性を有する母体となる非導電性のエラストマに導電性粒子が混合され、この混合体に重力（沈降）又は遠心力を作用させて当該エラストマと導電性粒子の比重差により、この混合体に導電性粒子を偏在させた後に硬化させ異方導電性ピースを得るものである。

導電性粒子が導電性部位に偏在することにより当該非導電性のエラストマが実質的に非導電性部位となっている導電性部位付き非導電体は積層方向に切断（スライス）され、異方導電性ピース（導電性部位付き非導電性シート部材）を得ることができる。

このような異方導電性ピースは、導電性部位及び非導電導電性部位が厚さ方向において密度が均一であり、異方導電性シートに好適である。そして、前記導電性部位を並列配置すれば、いわゆるゼブラシート（異方導電性ゼブラシート）を得ることができる。一方、前記導電性部位を縦横に配置すれば、いわゆるマトリックスシート（異方導電性マトリックスシート）を得ることができる。

（２）記載の発明によれば、「平面状に広がっている厚さ方向に導電性を有する異方導電性シートであって、母体となる流動性を有する非導電性のエラストマに当該母体成分より比重の大きい導電性粒子が高密度に含有される導電性部位が偏在されており、前記母体となる流動性を有する非導電性のエラストマに前記導電性粒子が偏在されて実質的に連続的に非導電性部位が接合されて当該導電性部位と当該非導電性部位を一体に硬化させて異方導電性ピースが成型され、前記導電性部位と前記非導電性部位が交互になるように前記異方導電性ピースを複数積み重ねられて接合された第１の積層体が得られ、当該第１の積層体が所定の厚さで切断されて前記導電性部位がゼブラ状に配置されている」ことを特徴としてよい。

（３）記載の発明によれば、「平面状に広がっている厚さ方向に導電性を有する異方導電性シートであって、母体となる流動性を有する非導電性のエラストマに当該母体成分より比重の大きい導電性粒子が高密度に含有される導電性部位が偏在されており、前記母体となる流動性を有する非導電性のエラストマに前記導電性粒子が偏在されて実質的に連続的に非導電性部位が接合されて当該導電性部位と当該非導電性部位を一体に硬化させて異方導電性ピースが成型され、前記導電性部位と前記非導電性部位が交互になるように前記異方導電性ピースを複数積み重ねられて接合された第１の積層体が得られ、当該第１の積層体が所定の厚さで切断されてゼブラ状シートが得られ、当該ゼブラ状シートと非導電性のエラストマシートとを交互に積み重ねて結合された第２の積層体が所定の厚さで切断されて前記導電性部位がマトリックス状に配置されている」ことを特徴としてよい。

又、本発明は、「前記導電性部位付き非導電性シートは、母体となる流動性を有する非導電性のエラストマに当該母体成分より比重の大きい導電性粒子が沈降して当該導電性粒子が高密度に含有される導電性部位が偏在されている」ことを特徴としてよい。

本発明において、母体となる流動性を有する非導電性の母体成分の比重と異なる導電性粒子は、非導電性の母体成分の比重より大きい沈降性粒子を用いてよい。本発明では、前記沈降性粒子（導電性粒子）に流動性を有する非導電性のエラストマを混合して、この非導電性のエラストマを反応硬化させる。

非導電性のエラストマが硬化する前に、前記沈降性粒子（導電性粒子）を沈降させて、すなわち、前記沈降性粒子（導電性粒子）を偏在させて、沈降性粒子（導電性粒子）が高密度に含有される導電性部位を形成させる。

流動性を有する非導電性のエラストマの硬化時間又は沈降性粒子径（導電性粒子径）を適宜調整して、沈降性粒子（導電性粒子）の密度を最下層で最も高く、最下層から上層になるにしたがって、沈降性粒子（導電性粒子）の密度を低くするようにして導電性部位を形成してもよい。

非導電性のエラストマに沈降性粒子（導電性粒子）を沈降させて、非導電性のエラストマが実質的に非導電性部位となるに当たり、導電性部位と非導電性部位との境界をより明確にするためには、又は、導電性部位をより速く形成するためには、流動性を有する非導電性のエラストマと沈降性粒子（導電性粒子）の混合体に積極的に振動を与えて、沈降性粒子（導電性粒子）の沈降速度を速めるようにしてもよい。

又、本発明は、「前記導電性部位付き非導電性シートは、流動性を有する非導電性のエラストマに当該非導電性のエラストマより比重の大きい導電性粒子が遠心力により偏在して当該導電性粒子が高密度に含有される導電性部位を形成している」ことを特徴としてよい。

導電性部位と非導電性部位との境界をより明確にするためには、又は、導電性部位をより速く形成するためには、流動性を有する非導電性のエラストマと、当該非導電性のエラストマより比重の大きい導電性粒子の混合体に遠心力を作用させて、当該導電性粒子が高密度に含有される導電性部位を形成してもよい。

硬化前の流動性を有する非導電性のエラストマと、当該非導電性の母体成分より比重の大きい導電性粒子の混合体に遠心力を作用させて異方導電性ピースを得るに当たり、前記混合体をシート状に形成し、当該シート状混合体を回転成型機内に内包し、当該回転成型機を回転させながらシート状混合体を硬化反応させればよい。そして、硬化後のシート状部材を所定長さに切断することにより、異方導電性ピースを得ることができる。

導電性粒子の沈降又は遠心力によって得られる異方導電性ピースは、次の工程において、導電性部位と非導電性部位が積層される方向にスライスされ、導電性部位と非導電性部位とのそれぞれの厚さが、最終製品の異方導電性シートにおいて表裏面に貫通する矩形の面積を有する導電領域又は非導電領域の一方の幅となる。又は、導電領域間の一方のピッチを決定する。

したがって、最終製品の異方導電性シートにおいて、導電領域又は非導電領域が求め得る一方の幅となるように、又は、導電領域間の一方のピッチが求め得るピッチとなるように導電性部位と非導電性部位とのそれぞれの厚さを予め設定しておく必要がある。

この発明において、流動性を有する非導電性のエラストマに比重差を利用して導電性粒子を偏在させて導電性部位を得ている。一方、非導電性部位は導電性粒子が偏在することによって得られる分離層である。このようにして得られる導電性部位付き非導電性シートを導電性粒子の沈降方向又は遠心分離方向に切断して、異方導電性シートの表裏面に貫通するようにその切断面を表出させている。

このような異方導電性シートにあっては、異方導電性シートの平面と平行する方向において、導電性部位と前記分離層となる非導電性部位との境界は必ずしも明確とは限らない。つまり、導電性部位と前記分離層となる非導電性部位は、異方導電性シートの平面と平行する方向において導電性粒子の密度差で区分されるので、導電性部位と非導電性部位との境界では電気抵抗値の差が急峻ではあっても、導電性シートと非導電性シートを非導電物質で接合した場合のように、この境界において導電部材と非導電部材が物性的に断絶して電気抵抗値の差が歴然としているわけではない。

しかしながら、本発明による異方導電性シートの厚さ方向においては、この導電性部位は導電性粒子の密度が均一であることは明確である。そして、非導電性のエラストマに、例えば、銀粒子などの低抵抗値を示す導電性粒子を高密度に含有させることによって、体積抵抗率が１０^−５Ω・Ｃｍ程度の導電性を示す、例えば、厚さが１ｍｍ以上の厚ものの異方導電性シートが可能になることが期待できる。

流動性を有する非導電性のエラストマの例としては、加硫前の配合ゴム、加温された熱可塑性エラストマなどがあげられ、このような流動性を有する非導電性のエラストマに導電性粒子が混合され、更に前述したように、これら導電性粒子が偏在されて導電性部位を形成した後に、加硫により又は常温に戻して硬化させ、弾力性を有する異方導電性ピースを得ることができる。

流動性を有する非導電性のエラストマに混合される導電性粒子としては、金、銀、銅、ニッケル、タングステン、白金、パラジウム、その他の純金属、ＳＵＳ、りん青銅、ベリリウム銅等の金属粒子が使用されてよく、電気抵抗値が低い特性が求められるということであれば、金粒子又は銀粒子を使用することが好ましい。これら導電性粒子の粒径及び混合比率は流動性を有する非導電性のエラストマの粘度や求められる電気抵抗値によって適宜選択されてよい。又、金、銀以外の導電性金属粒子に金又は銀が被覆された導電性粒子を使用してもよい。

このようにして得られた異方導電性ピースが成型され、前記導電性部位と前記非導電性部位が交互になるように前記異方導電性ピースを複数積み重ねられて化学的に結合されてよく、このためにこれらシート部材間にカップリング剤を施し、シート部材間が化学的に結合されるようにしてもよい。このようなカップリング剤は、これらの部材を結合させる結合剤で、通常の市販の接着剤を含んでよい。具体的には、シラン系、アルミニウム系、チタネート系のカップリング剤であってよく、シランカップリング剤が良好に用いられる。

本発明に係る異方導電シートを製造する方法にあっては、「平面状に広がっている厚さ方向に導電性を有する異方導電性シートを製造する方法であって、母体となる流動性を有する非導電性のエラストマに当該母体成分より比重の大きい導電性粒子が高密度に含有される導電性部位が偏在される第１の工程と、前記母体となる流動性を有する非導電性のエラストマに前記導電性粒子が偏在されて実質的に連続的に非導電性部位が接合されて当該導電性部位と当該非導電性部位を一体に硬化させて異方導電性ピースを成型する第２の工程と、前記導電性部位と前記非導電性部位が交互になるように前記異方導電性ピースを複数積み重ねて第１の積層体を得る第３の工程と、前記第３の工程で得られた第１の積層体を所定の厚さで切断してゼブラ状シートを得る第４の工程と、を含む」ことを特徴としてよい。

導電性部位と非導電性部位が交互になるように積み重ねるとは、複数の異方導電性ピースを任意の順で互い違いに積み重ねることを意味してよい。そして、導電性部位が非導電性部位で挟まれるように、終端部の導電性部位に非導電性を有するエラストマシートを積層してもよい。

又、複数の異方導電性ピースを積み重ねる第３の工程において、異方導電性ピース間にカップリング剤を施し、このシート部材間が化学的に結合されるようにしてもよい。このような積み重ねて作られた第１の積層体は、シート部材間の結合性を増すため、シート部材自体のキュアをより進めるために、又は、その他の目的で加熱等をしてもよい。

第４の工程において、第３の工程で得られた第１の積層体は、導電性部位と非導電性部位が積層する方向に切断（スライス）され、導電性部位と非導電性部位が交互に並列配置されるいわゆるゼブラシート（異方導電性ゼブラシート）を得ることができる。

更に、本発明に係る異方導電シートを製造する方法にあっては、「平面状に広がっている厚さ方向に導電性を有する異方導電性シートを製造する方法であって、前記第４の工程で得られたゼブラ状シートと非導電性のエラストマシートを交互に積み重ねて第２の積層体を得る第５の工程と、前記第５の工程で得られた第２の積層体を所定の厚さで切断する第６の工程と、を更に含む」ことを特徴としてよい。

又、前記第４の工程で得られたゼブラ状シートと非導電性のエラストマシートを交互に積み重ねるとは、前記ゼブラ状シートと前記非導電性のエラストマシートを任意の順で互い違いに積み重ねることを意味してよいが、異なる厚さの非導電性のエラストマシートをゼブラ状シート間に挟み込むことを妨げない。更に、第２の積層体における一方の側面に補助となる非導電性のエラストマシートを結合することを妨げない。

又、ゼブラ状シートと非導電性のエラストマシートを積み重ねる第５の工程において、前述と同様にシート間にカップリング剤を施し、シート間が化学的に結合されるようにしてもよい。このような積み重ねで作られた第２の積層体は、シート間の結合性を増すため、シート部材自体のキュアをより進めるために、又は、その他の目的で加熱等をしてもよい。

第６の工程において、第５の工程で得られた第２の積層体は、導電性部位と非導電性部位が積層する方向に切断（スライス）され、導電性部位が非導電性を有するエラストマシートに導電性部位が縦横に配置される、いわゆるマトリックスシート（異方導電性マトリックスシート）を得ることができる。

前記第１の積層体及び前記第２の積層体については、超鋼カッター、セラミックカッター、等の刃による切断や、ファインカッターのような砥石を使った切断、ソーのようなのこぎりによる切断や、その他の切削機器や切断器具（レーザー切断機のような非接触型の切断装置を含んでもよい）による切断をすることができる。

又、切断の過程において、過熱を防止するために、きれいな切断面を出すために、又は、その他の目的のために切削油等の切削フルーイドを用いてもよく、乾式で切断してもよい。又、切断の対象物（例えばワーク）を単独で又は切削機器・器具と共に回転等して動かして切断してもよいが、切断のための種々の条件は、前記第１の積層体又は前記第２の積層体に合わせて適宜選択されるのはいうまでもない。

所定の厚さで切断するとは、予め決めておいた厚さを持つシート部材が得られるように切断することを意味してよく、所定の厚さは、均一でなければならないわけではなく、シート部材の場所により厚みが変化してもよい。

本発明の異方導電性シートは、母体となる流動性を有する非導電性のエラストマ当該母体成分より比重の大きい導電性粒子が偏在される導電性部位と、当該非導電性のエラストマに前記導電性粒子が偏在されて実質的に連続的に形成される非導電性部位とを一体に硬化させる異方導電性ピースを備えている。

このような異方導電性ピースは、導電性部位及び非導電性部位が厚さ方向において密度が均一であり、異方導電性シートに好適であり、導電性部位を並列配置すれば、いわゆる異方導電性ゼブラシートを得ることができる。一方、導電性部位を縦横に配置すれば、いわゆる異方導電性マトリックスシートを得ることができる。したがって、従来のように、導電性シートを得る工程と、非導電性シートを得る工程と、これら導電性シートと非導電性シートを積層する工程とを、一つの工程に簡易化できて生産性の高い異方導電性シート及びその製造方法を提供できる。

以下、図面を参照して本発明を実施するための最良の形態を説明する。

図１は、本発明における第１の実施形態である異方導電性シートを示す斜視外観図である。図１の実施形態において、異方導電性シート１１は、平面状に広がって矩形形状をなし、厚さ方向に導電性を有している。

図１の第１の実施形態において、矩形のシート部材１ｃは、導電性部位１ａと非導電性部位１ｂが一体で形成されており、異方導電性ピースとなっている。導電性部位１ａは、母体となる流動性を有する非導電性のエラストマに当該非導電性の母体成分より比重の大きい導電性粒子が偏在されて当該導電性粒子が高密度に含有されている。非導電性部位１ｂは、当該非導電性のエラストマに前記導電性粒子が偏在されて実質的に非導電性部位が形成されている。なお、導電性粒子が偏在されているとは、異方導電性シート１１の平面方向（平面と概平行する方向）に偏在されることを意味している。

図１の実施形態において、シート部材１ｃは、導電性部位１ａと非導電性部位１ｂが交互になるように一列に配置されている。複数のシート部材１ｃ間はカップリング剤が施され相互に結合されている。そして、後述する本実施例の異方導電性シートの製造方法において、導電性部位１ａと非導電性部位１ｂが交互になるように異方導電性ピースが複数積み重ねられて結合された第１の積層体が得られ、当該第１の積層体が所定の厚さで切断されて、いわゆる異方導電性ゼブラシートが得られるものである。

図１の実施形態において、導電性部位１ａが非導電性部位１ｂで挟まれるように、終端部の導電性部位１ａに短冊状の非導電性のエラストマシート２４が配置され、シート部材１ｃとエラストマシート２４とはカップリング剤により化学的に結合されている。

本発明による第１の実施例のエラストマシート２４は、非導電性のエラストマとして、三菱樹脂株式会社製のシリコーンゴムや信越ポリマー株式会社製のシリコーンゴム等を用いており、カップリング剤は、信越ポリマー株式会社製のシランカップリング剤を用いている。

図１において、異方導電性シート１１は導電性部位１ａがゼブラ状に配置されている。そして、導電性部位１ａは異方導電性シート１１の表裏面間を貫通する貫通領域となっている。シート部材１ｃは、流動性を有する非導電性の母体に導電性粒子を混入し、比重差を利用して導電性粒子を偏在させて導電性部位１ａを得ている。一方、非導電性部位１ｂは導電性粒子が偏在することによって得られる分離層である。このようにして得られる異方導電性ピースを導電性粒子の沈降方向又は遠心分離方向に切断して、異方導電性シート１１の表裏面に貫通するように、導電性部位１ａ及び非導電性部位１ｂの切断面を表出させている。

図１において、ゼブラシートとなる異方導電性シート１１はその厚さ方向においては、導電性部位１ａは導電性粒子の密度が均一である。そして、例えば、銀粒子などの低抵抗値を示す導電性粒子を、非導電性のエラストマに高密度に含有させることによって、極めて低い体積抵抗率の導電性を有する例えば、厚さが１ｍｍ以上の厚ものの異方導電性シート（異方導電性ゼブラシート）が可能になることが期待できる。

図１において、複数のシート部材１ｃと短冊状のエラストマシート２４は、これら短冊状の部材の厚みが、本実施例においては略同じ「ｔ」である。したがって、異方導電性シート１１の厚さは「ｔ」である。

前述のように隣り合う両短冊状部材は、互いにカップリング剤により結合されており、導電性部位１ａと非導電性部位１ｂが交互になるように一列に配置されている複数のシート部材１ｃもカップリング剤で結合されており、図１に示すような１枚のゼブラシートを構成する。ここで、結合させているカップリング剤は、非導電性であり、シートの面方向の非導電性は担保されている。

シート部材１ｃは一方の幅（縦幅）がＷ１であり、シート部材１ｃを構成する導電性部位１ａと非導電性部位１ｂは一方の幅（縦幅）がそれぞれＷａとＷｂに配分されている。これら複数のシート部材１ｃにおけるＷ１、Ｗａ、Ｗｂの幅は、本実施例では全て同一であるが、他の実施例において全て異なっていてもよい。そして、後述する本実施例の異方導電性シートの製造方法において、これらＷ１、Ｗａ、Ｗｂの幅は容易に調整できる。

又、本発明による第１の実施例では、短冊状のエラストマシート２４における一方の幅（縦幅）は、シート部材１ｃにおける非導電性部位１ｂの一方の幅（縦幅）Ｗｂと同一とし、エラストマシート２４の他方の幅（横幅）はシート部材１ｃの他方の幅（横幅）と同一とした。

このように構成することにより、図１の実施例に示された異方導電性シート１１は両翼が非導電性エラストマで囲まれたものとなっている。そして、図１の実施例に示された異方導電性シート１１は、導電性部位１ａがＸＹ座標上にＰＹの等間隔で配置された、いわゆるゼブラシートとなっている。

図２は、本発明における第２の実施形態である異方導電性シートを示す斜視外観図である。図２の実施形態において、異方導電性シート２は、平面状に広がって矩形形状をなし、厚さ方向に導電性を有している。

図２の第２の実施形態において、矩形のシート部材１ｄは、導電性部位１ａと非導電性部位１ｂが一体で形成されており、異方導電性ピースとなっている。導電性部位１ａは、母体となる流動性を有する非導電性のエラストマに当該非導電性の母体成分より比重の大きい導電性粒子が偏在されて当該導電性粒子が高密度に含有されている。非導電性部位１ｂは、当該非導電性のエラストマに前記導電性粒子が偏在されて実質的に非導電性部位が形成されている。なお、導電性粒子が偏在されているとは、異方導電性シート２の平面方向（平面と概平行する方向）に偏在されることを意味している。

図２の実施形態において、シート部材１ｄは、導電性部位１ａと非導電性部位１ｂが交互になるように一列に配置されている。複数のシート部材１ｄ間はカップリング剤が施され相互に結合されて短冊状のゼブラ状シート２１を構成している。

そして、後述する本実施例の異方導電性シートの製造方法において、このゼブラ状シート２１は、導電性部位１ａと非導電性部位１ｂが交互になるように異方導電性ピースとなるシート部材１ｄを複数積み重ねられて結合され、第１の積層体が得られる。当該第１の積層体が所定の厚さで切断されてゼブラ状シートが得られ、当該ゼブラ状シートと非導電性のエラストマシートとを交互に積み重ねて結合され、第２の積層体が所定の厚さで切断されて、いわゆる異方導電性マトリックスシートが得られるものである。

図２の実施形態において、ゼブラ状シート２１間には短冊状の非導電性のエラストマシート２２が配置され、ゼブラ状シート２１とエラストマシート２２とはカップリング剤により結合されている。又、図２に示されるように、両端のゼブラ状シート２１には短冊状の非導電性のエラストマシート２２が配置されており、更に、縁端の導電性部位１ａを塞ぐように、補助部材となる非導電性のエラストマシート２３が配置されており、これらエラストマシート２２及び２３もカップリング剤により結合されている。

本発明による第２の実施例の異方導電性シートでは、非導電性のエラストマとしては、三菱樹脂株式会社製のシリコーンゴムや信越ポリマー株式会社製のシリコーンゴム等を用いており、カップリング剤は、信越ポリマー株式会社製のシランカップリング剤を用いている。

図２において、異方導電性シート２は導電性部位１ａがマトリックス状に配置されている。そして、導電性部位１ａは異方導電性シート２の表裏面間を貫通する貫通領域となっている。シート部材１ｄは、流動性を有する非導電性の母体に導電性粒子を混入し、比重差を利用して導電性粒子を偏在させて導電性部位１ａを得ている。一方、非導電性部位１ｂは導電性粒子が偏在することによって得られる分離層である。このようにして得られる異方導電性ピースを導電性粒子の沈降方向又は遠心分離方向に切断して、異方導電性シート２の表裏面に貫通するように、導電性部位１ａ及び非導電性部位１ｂの切断面を表出させている。

図２において、異方導電性シート２はその厚さ方向においては、導電性部位１ａは導電性粒子の密度が均一である。そして、例えば、銀粒子などの低抵抗値を示す導電性粒子を、非導電性のエラストマに高密度に含有させることによって、極めて低い体積抵抗率の導電性を有する例えば、厚さが１ｍｍ以上の厚ものの異方導電性シート（異方導電性マトリックスシート）が可能になることが期待できる。

図２において、短冊状のゼブラ状シート２１と、短冊状のエラストマシート２２と、短冊状のエラストマシート２３は、これら短冊状の部材の厚みが、本実施例においては略同じ「ｔ」である。したがって、異方導電性シート２の厚さは「ｔ」である。

前述のように隣り合う両短冊状部材は、互いにカップリング剤により結合されており、導電性部位１ａと非導電性部位１ｂが交互になるように一列に配置されている複数のシート部材１ｄもカップリング剤で結合されており、図２に示すような１枚のマトリックスシートを構成する。ここで、結合させているカップリング剤は、非導電性であり、シートの面方向の非導電性は担保されている。

シート部材１ｄは一方の幅（縦幅）がＷ１であり、他方の幅（横幅）がＤ１である。そして、シート部材１ｄを構成する導電性部位１ａと非導電性部位１ｂは一方の幅（縦幅）がそれぞれＷａとＷｂに配分されている。これら複数のシート部材１ｄにおけるＷ１、Ｄ１、Ｗａ、Ｗｂの幅は、本実施例では全て同一であるが、他の実施例において全て異なっていてもよい。そして、後述する本実施例の異方導電性シートの製造方法において、これらＷ１、Ｄ１、Ｗａ、Ｗｂの幅は容易に調整できる。

又、本実施例では、エラストマシート２２の一方の幅（縦幅）は、ゼブラ状シート２１の一方の幅（縦幅）と同一とし、エラストマシート２２の他方の幅（横幅）は、全て同一とした。更に、エラストマシート２３の一方の幅（縦幅）は非導電性部位１ｂの一方の幅（縦幅）Ｗｂと同じとし、エラストマシート２３の他方の幅（横幅）は異方導電性シート２の他方の幅（横幅）と同一とした。

このように構成することにより、図２の実施例に示された異方導電性シート２は側周囲が非導電性エラストマで囲まれたものとなっている。そして、図２の実施例に示された異方導電性シート２は、導電性部位１ａがＸＹ座標上にＰＸとＰＹの等間隔で配置された、いわゆるマトリックスシートとなっている。

次に、前述の実施例の異方導電性シートを製造する方法を説明する。最初に、第１の工程と第２の工程を経て得られる異方導電性ピースを図３の斜視図により説明する。

図３の実施形態において、薄直方体状の凹部を有する金型１ｋが用意されている。液状シリコーンゴムに導電性粒子（例えば、銀粒子）と硬化剤を混合した混合体を、この金型１ｋに流し込む。前記混合体は、母体となる液状シリコーンゴムの比重より大きい比重を有する導電性粒子が混合されることが重要である。又、前記混合体には、必要に応じて、増強剤や増粘剤を添加してもよい。

金型１ｋに流し込まれた前記混合体は、一定時間を経て母体となる液状シリコーンゴムより比重の大きい導電性粒子が沈降し、前記混合体の下層に導電性粒子が高密度に含有される導電性部位１ａが形成される。そして、導電性粒子が沈降して前記混合体の下層に導電性部位１ａが偏在されることにより、前記混合体の上層は導電性粒子を実質的に含有しない非導電性部位１ｂが形成されることなる。

前記混合体が硬化する前に、導電性粒子が高密度に含有される導電性部位１ａが形成されることが好ましく、前記混合体の硬化時間や導電性粒子の沈降時間を予め実験などで求めておくとよい。

前記混合体に導電性粒子を沈降させて、導電性粒子が高密度に含有される導電性部位１ａを形成させる第１の工程において、導電性部位１ａと非導電性部位１ｂとの境界をより明確にするためには、又は、導電性部位１ａをより速く形成するためには、前記混合体が流入された金型１ｋに積極的に振動を与えて、導電性粒子の沈降速度を速めるようにしてもよい。

又、前記第１の工程において、導電性部位１ａと非導電性部位１ｂとの境界をより明確にするためには、又は、導電性部位１ａをより速く形成するためには、流動性を有する非導電性のエラストマと、当該非導電性のエラストマより比重の大きい導電性粒子の前記混合体に遠心力を作用させて、当該導電性粒子が高密度に含有される導電性部位１ａを形成してもよい。

このようにして得られる導電性部位１ａはその堆積深さが、図１に示された導電性部位１ａの一方の幅（縦幅）Ｗａに相当すると考えてよく、図３に示された工程で得られる非導電性部位１ｂの層厚が、図１に示された非導電性部位１ｂの一方の幅（縦幅）Ｗｂに相当すると考えてよい。

前述の液状シリコーンゴムは、室温硬化型シリコーンゴムを使用してもよく、熱硬化型シリコーンゴムを使用してもよい。室温硬化型シリコーンゴムは熱硬化型シリコーンゴムに比べて硬化時間が長いが、導電性粒子の沈降速度との関係からいずれかが適宜選択される。熱硬化型シリコーンゴムを使用する場合は、金型１ｋと共に前記混合体を加熱する。

なお、液状シリコーンゴムに代えて、加硫前の配合ゴムに導電性粒子を混合し、導電性粒子が沈降した後に当該配合ゴムを加硫して硬化させてもよい。

このように導電性部位１ａと非導電性部位１ｂを一体に硬化させて異方導電性ピース１を成型する第２の工程の後に、異方導電性ピース１は金型１ｋから取り出され、次の工程に移る。なお、金型１ｋから取り出された異方導電性ピース１は表裏面が研磨された後に、次の工程に移ってもよい。

図４は、第２の工程で得られた異方導電性ピース１が複数枚積み重ねられる第３の工程と、この積層体が所定の厚さで切断される第４の工程を示す斜視図である。

図４の第１の実施形態において、導電性部位１ａと非導電性部位１ｂが交互になるように、異方導電性ピース１が複数枚積み重ねられる。更に、非導電性のエラストマシート１４が予め用意されており、このエラストマシート１４に終端部の導電性部位１ａが当接するように異方導電性ピース１が積み重ねられる。

複数の異方導電性ピース１間及び、異方導電性ピース１とエラストマシート１４間には、カップリング剤が施されており、複数の異方導電性ピース１とエラストマシート１４が結合されて第１の積層体１０が得られる。

次の第４の工程において、第３の工程で得られた第１の積層体１０は、所定の厚さｔとなるように複数の異方導電性ピース１が積層するＡ−Ａ方向に沿って切断される。第１の積層体１０が第４の工程において切断されることにより、厚さｔを有する導電性部位１ａと非導電性部位１ｂが組となるシート部材１ｃがゼブラ状に配置され、図１に示される異方導電性シート１１が得られる。

図５は、第２の工程で得られた異方導電性ピース１が複数枚積み重ねられる第３の工程と、この積層体が所定の厚さで切断される第４の工程を示す斜視図である。

図５の第２の実施形態において、導電性部位１ａと非導電性部位１ｂが交互になるように、異方導電性ピース１が複数枚積み重ねられる。異方導電性ピース１には、カップリング剤が施されており、複数の異方導電性ピース１が結合されて第１の積層体１０ａが得られる。

次の第４の工程において、第３の工程で得られた第１の積層体１０ａは、所定の厚さｔとなるように複数の異方導電性ピース１が積層するＡ−Ａ方向に沿って切断される。第１の積層体１０ａが第４の工程において切断されることにより、厚さｔを有する導電性部位１ａと非導電性部位１ｂが組となるシート部材１ｃが複数積層されるゼブラ状シート１１ａが得られる。このようにして得られるゼブラ状シート１１ａはその厚さｔが、図２に示されたゼブラ状シート２１の他方の幅（横幅）Ｄ１に相当すると考えてよい。

図６は、第４の工程で得られたゼブラ状シート１１ａと、予め用意された非導電性のエラストマシート１２とを交互に積み重ねる第５の工程を示す斜視図である。図６の第２の実施形態において、積み上げ途中の第２の積層体２０（後述の図７参照）には、更に、ゼブラ状シート１１ａが積み上げられ、その上に非導電性のエラストマシート１２が積み上げられている。

これらのゼブラ状シート１１ａとエラストマシート１２との間には、カップリング剤が施されており、複数のゼブラ状シート１１ａと複数のエラストマシート１２が結合される。図６の実施形態においては、非導電性のエラストマシート１３が更に用意されており、ゼブラ状シート１１ａとエラストマシート１２とが交互に積み上げられた第２の積層体２０（後述の図７参照）の側面にこのエラストマシート１３がカップリング剤で結合される。

このように、ゼブラ状シート１１ａとエラストマシート１２とが交互に積み上げられた厚みが、図２における異方導電性シート２の他方の幅（横幅）に相当すると考えてよく、エラストマシート１３を含む厚みが、図２における異方導電性シート２の一方の幅（縦幅）に相当すると考えてよい。

図７は、第５の工程で得られた第２の積層体２０が所定の厚さで切断される第６の工程を示す斜視図である。図７の実施形態において、第５の工程で得られた第２の積層体２０は、所定の厚さｔとなるように複数のゼブラ状シート１１ａとエラストマシート１２が積層するＡ−Ａ方向に沿って切断される。第２の積層体２０が第６の工程において切断されることにより、厚さｔを有する導電性部位１ａと非導電性部位１ｂが一体で形成される矩形のシート部材１ｄが複数積層される異方導電性シート２が得られる。又、図７に示された異方導電性シート２は、非導電性シートに導電性部位１ａが縦横に配置されたいわゆるマトリックスシートである。

図７に示された第６の工程において、前述したように導電性部位１ａは厚さ方向に導電性粒子の密度が均一である。そして、硬化前の流動性を有する非導電性のエラストマに、例えば、銀粒子などの低抵抗値を示す導電性粒子を高密度に含有させることによって、体積抵抗率が１０^−５Ω・Ｃｍ程度の導電性を示す、例えば、厚さが１ｍｍ以上の厚ものの異方導電性シート（異方導電性マトリックスシート）が可能になることが期待できる。

図８は、本発明による実施例の異方導電性シートを製造する方法で得られた異方導電性シート２の斜視図である。図８に示された異方導電性シート２は、図２に示された異方導電性シート２と構成と構造を同じとするが、図８に示された異方導電性シート２は導電性部位１ａが正方形であり、導電性部位１ａの横ピッチＰＹと縦ピッチＰＸを同じとしているのに対し、図２に示された異方導電性シート２は導電性部位１ａが縦長の長方形であり、導電性部位１ａの横ピッチＰＹと縦ピッチＰＸを異なるものとしている。

図１に示された異方導電性シート１１及び図２に示された縦長の導電性部位１ａをもつ異方導電性シート２は、例えば、エッジコネクタやライン状に配列されるリードを有するＩＣを接続するコネクタとしての適用が考えられる。

一方、図８に示された横ピッチＰＹと縦ピッチＰＸを同じに配列された導電性部位１ａをもつ異方導電性シート２は、例えば、マトリックス状に配置されたランドを有するプリント基板やＢＧＡ（Ｂａｌｌ Ｇｒｉｄ Ａｒｒａｙ）型パッケージＩＣの端子接続用コネクタとしての適用が考えられる。

本発明における第１の実施形態である異方導電性シートを示す斜視外観図である。 本発明における第２の実施形態である異方導電性シートを示す斜視外観図である。 本発明の実施例の異方導電性シートを製造する方法に関し、第１の工程と第２の工程を経て得られる異方導電性ピースの斜視図である。 本発明における第１の実施例の異方導電性シートを製造する方法に関し、第２の工程で得られた異方導電性ピースが複数枚積み重ねられる第３の工程と、この積層体が所定の厚さで切断される第４の工程を示す斜視図である。 本発明における第２の実施例の異方導電性シートを製造する方法に関し、第２の工程で得られた異方導電性ピースが複数枚積み重ねられる第３の工程と、この積層体が所定の厚さで切断される第４の工程を示す斜視図である。 本発明における第２の実施例の異方導電性シートを製造する方法に関し、第４の工程で得られたゼブラ状シートと、予め用意された非導電性のエラストマシートとを交互に積み重ねる第５の工程を示す斜視図である。 本発明における第２の実施例の異方導電性シートを製造する方法に関し、第５の工程で得られた第２の積層体が所定の厚さで切断される第６の工程を示す斜視図である。 本発明による第２の実施例の異方導電性シートを製造する方法で得られた異方導電性シート２の斜視図である。

符号の説明

１ 異方導電性ピース
１ａ 導電性部位
１ｂ 非導電性部位
１ｃ・１ｄ シート部材（異方導電性ピース）
１ｋ 金型
２ 異方導電性シート（異方導電性ゼブラシート）
１０・１０ａ 第１の積層体
１１ 異方導電性シート（異方導電性マトリックスシート）
１１ａ ゼブラ状シート
１２・１３ エラストマシート（非導電性のエラストマシート）
２０ 第２の積層体
２１ ゼブラ状シート
２２・２３・２４ エラストマシート（非導電性のエラストマシート）

Claims (7)

1. 平面状に広がっている厚さ方向に導電性を有する異方導電性シートであって、
   所定の厚みを有する当該厚さ方向に導電性を有する複数の異方導電性ピースから構成され、前記複数の異方導電性ピース間は化学的に結合されており、
   前記複数の異方導電性ピースは、当該異方導電性ピースの母体を形成する非導電性エラストマに混入している導電性粒子によって前記厚さ方向に導電性を有し得る導電性部位と、前記非導電性エラストマにより前記厚さ方向及び平面方向に非導電性を有する非導電性部位とを含み、
   前記導電性部位と前記非導電性部位とが実質的に連続的に接合しており、
   前記複数の異方導電性ピースに含まれる前記導電性粒子は、その成形時に流動性を有する非導電性の母体成分より比重が大きいことを特徴とする異方導電性シート。
2. 平面状に広がっている厚さ方向に導電性を有する異方導電性シートであって、
   母体となる流動性を有する非導電性のエラストマに当該母体成分より比重の大きい導電性粒子が高密度に含有される導電性部位が偏在されており、
   前記母体となる流動性を有する非導電性のエラストマに前記導電性粒子が偏在されて実質的に連続的に非導電性部位が接合されて当該導電性部位と当該非導電性部位を一体に硬化させて異方導電性ピースが成型され、
   前記導電性部位と前記非導電性部位が交互になるように前記異方導電性ピースを複数積み重ねられて接合された第１の積層体が得られ、
   当該第１の積層体が所定の厚さで切断されて前記導電性部位がゼブラ状に配置されていることを特徴とする異方導電性シート。
3. 平面状に広がっている厚さ方向に導電性を有する異方導電性シートであって、
   母体となる流動性を有する非導電性のエラストマに当該母体成分より比重の大きい導電性粒子が高密度に含有される導電性部位が偏在されており、
   前記母体となる流動性を有する非導電性のエラストマに前記導電性粒子が偏在されて実質的に連続的に非導電性部位が接合されて当該導電性部位と当該非導電性部位を一体に硬化させて異方導電性ピースが成型され、
   前記導電性部位と前記非導電性部位が交互になるように前記異方導電性ピースを複数積み重ねられて接合された第１の積層体が得られ、
   当該第１の積層体が所定の厚さで切断されてゼブラ状シートが得られ、
   当該ゼブラ状シートと非導電性のエラストマシートとを交互に積み重ねて接合された第２の積層体が所定の厚さで切断されて前記導電性部位がマトリックス状に配置されていることを特徴とする異方導電性シート。
4. 前記異方導電性ピースは、母体となる流動性を有する非導電性のエラストマに当該母体成分より比重の大きい導電性粒子が沈降して当該導電性粒子が高密度に含有される導電性部位が偏在されていることを特徴とする請求項１から３のいずかに記載の異方導電性シート。
5. 前記異方導電性ピースは、母体となる流動性を有する非導電性のエラストマに当該母体成分より比重の大きい導電性粒子が遠心力により当該導電性粒子が高密度に含有される導電性部位が偏在されていることを特徴とする請求項１から３のいずかに記載の異方導電性シート。
6. 平面状に広がっている厚さ方向に導電性を有する異方導電性シートを製造する方法であって、
   母体となる流動性を有する非導電性のエラストマに当該母体成分より比重の大きい導電性粒子が高密度に含有される導電性部位が偏在される第１の工程と、
   前記母体となる流動性を有する非導電性のエラストマに前記導電性粒子が偏在されて実質的に連続的に非導電性部位が接合されて当該導電性部位と当該非導電性部位を一体に硬化させて異方導電性ピースを成型する第２の工程と、
   前記導電性部位と前記非導電性部位が交互になるように前記異方導電性ピースを複数積み重ねて第１の積層体を得る第３の工程と、
   前記第３の工程で得られた第１の積層体を所定の厚さで切断してゼブラ状シートを得る第４の工程と、を含むことを特徴とする異方導電性シートを製造する方法。
7. 平面状に広がっている厚さ方向に導電性を有する異方導電性シートを製造する方法であって、
   前記第４の工程で得られたゼブラ状シートと非導電性のエラストマシートを交互に積み重ねて第２の積層体を得る第５の工程と、
   前記第５の工程で得られた第２の積層体を所定の厚さで切断する第６の工程と、を更に含むことを特徴とする請求項６記載の異方導電性シートを製造する方法。

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