JP2005249120A - リニアアクチュエータ - Google Patents

Abstract

【課題】 装置の大型化、複雑化を抑制し、製造プロセスの大幅な増加、製造コストの増加を抑制して、ストロークに基づく危険回転数の速度制限を回避し、ねじ軸の回転速度の限界を大幅に高め、送り性能を向上させることができるリニアアクチュエータを提供する。
【解決手段】 断面略Ｕ字形のアウタレール７と、両側面にガイド部、中央にボールねじ部を一体構造にしたねじ軸９の軸方向に往復運動自在のインナブロック８と、アウタレール７の両端に回転可能に支持したねじ軸９とを設け、さらにねじ軸９の軸方向に沿ったインナブロック８の両側に、連結部材１０１により連結した一対の支持部材１００を設ける。
【選択図】 図１

Description

この発明は、リニアアクチュエータに関し、特に、ねじ軸を高速回転させることにより、インナブロックを移動させるガイドアクチュエータに適用して好適なものである。

工作機械においては、工具や工作物などを移動させる送り機構として精密ボールねじ機構が採用されており、高精密化、高速化が進んでいる。そして、工作機械の生産性向上には、送り機構の性能が大きく関っている。

一般に精密ボールねじ機構では、送り速度を上げるには、ねじのリードを大きくするか、あるいは回転速度を大きくすることの２者択一の方法がある。精密な位置制御のためにサーボモータの内蔵エンコーダの機械分解能に０．０１μｍ／パルスが必要な工作機械において、最大ねじリードが１０ｍｍ以下に制限されるため、実際上有効な唯一の手段は、ねじの高速回転化である。

しかし、実際問題として、バイトの送り速度の高速化には、精密ボールねじ機構が内在的にもっている種々の制約を受け、一定の限界がある。その制約のなかでもとりわけ重要なのがボールねじの危険速度である。ボールねじは、高速回転すると遠心力によって撓みが生じ、いわゆる縄跳び現象が生じるため、許容範囲を越える危険速度では正常な動作を確保することができない。理論的には、ボールねじの危険速度からの許容回転速度は、次の式で表わされる。

Ｎmax＝λ²×（ｄ₁／Ｌ²）×１０⁷（min^-1）・・・（１）
（Ｎmax：危険速度からみたボールねじの最大許容回転数（危険回転数））
λ：支点支持係数
ｄ₁：ボールねじの谷径（ｍｍ）
Ｌ：支点間距離（ｍｍ）
（１）式から、ボールねじの許容回転数Ｎmaxを上げるには、ボールねじ径を増加させ
る方法か、支点間距離を短くする方法の少なくとも一方の方法を採用するのが望ましいことがわかる。この点、支点間距離を短くする方法は、危険回転数に２次関数的に作用するため理論上極めて有効な方法である。

しかしながら、この支点間距離は、機械の最大移動量によって決定されるものである。そのため、長ストロークの移動を目的とする送り機構の場合では、長い支点間距離を設定する必要があり、これによって、長ストロークの移動量を実現する必要があった。すなわち、送り速度の向上と、支点間距離の短縮とは、トレードオフの関係にあった。

そこで、上述の問題を解決することを目的として、特許文献１に記載された技術が提案されている。この特許文献１には、駆動モータと、この駆動モータに連結される第１の送りボールねじと、第１送りボールねじを滑動しながら支持する複数の支持点を有する移動サポート体と、支持点の間に配置され第１送りボールねじに螺合する第１の送りナットと、移動サポート体上を移動可能に配置され第１送りナットが取り付けられる移動体と、第１送りボールねじと同一のリードを有し、かつ平行に配置される第２の送りボールねじと、移動サポート体に固定され、第２の送りボールねじに螺合する第２の送りナットと、移動サポート体の支持点の間を第１送りナットが移動サポート体の移動と同期して相対移動するように第１送りボールネジの回転を第２送りボールねじに伝動する伝動手段とを備えるリニアアクチュエータが記載されている。
特開２００１−３３６５９６号公報

しかしながら、上述した引用文献１に記載されたリニアアクチュエータに関しては、次のような問題があった。すなわち、引用文献１に記載されたリニアアクチュエータにおいては、駆動モータに連結される第１の送りボールねじおよび、この第１送りボールねじと同一のリードを有し、かつ平行に配置される第２の送りボールねじという、２本のボールねじを必須の構成要件としている。

そのため、引用文献１に記載されているリニアアクチュエータにおいては、ねじ機構が非常に複雑になってしまい、これに伴って、装置構成が大型化してしまう。このように、装置構成が大型化してしまうと、リニアアクチュエータの製造コストの増加や、重量化を招いてしまう。

そのため、長ストロークの移動を行う送り機構において、長い移動を高速で行うために、この長ストロークに基づく危険回転数の速度制限を超えた速度で回転させて送り速度を高めることができるとともに、装置の大型化を抑制して、製造コストの増加やリニアアクチュエータの製造プロセスの大幅な増加を抑制する技術の開発が望まれていた。

したがって、この発明の目的は、装置の大型化、複雑化を抑制して、製造コストの増加やリニアアクチュエータの製造プロセスの大幅な増加を抑制しつつ、長ストロークの移動を実現するために、ねじ軸の支点間距離を長くする場合であっても、このストロークに基づく危険回転数の速度制限を回避して、ねじ軸の回転速度を大幅に高めることができ、送り性能をより一層向上させることができるリニアアクチュエータを提供することにある。

上記目的を達成するために、この発明は、
軌道部材と、
軌道部材に沿って移動自在に構成された移動部材と、
両端が支持されたねじ軸とを有し、
移動部材の可動側に対して進行方向に沿って往復動自在に構成されているとともに、ねじ軸に対して移動自在に貫通してねじ軸を支持する支持部材が設けられ、
支持部材が、移動部材の移動方向に沿って前後両側に連結手段により連結されて一対で設けられている
ことを特徴とするリニアアクチュエータである。

この発明において、典型的には、一対の支持部材におけるねじ軸に沿った支持部材間の間隔がねじ軸の支点間距離の２分の１である。

このように構成することにより、少なくとも移動部材がリニアアクチュエータの一端部（ストロークの一端）にある場合に、支持部材をねじ軸の支持点のほぼ真ん中に位置させることができるようになるため、移動部材を他端に移動させる場合において、ねじ軸を高速回転させることが可能となる。

この発明において、典型的には、支持部材が、軌道部材から反力が作用されるように、軌道部材に支持されて設けられている。

このように構成することにより、ねじ軸を支持部材により支持する際に、軌道部材に対しても堅固に支持することができるようになるので、ねじ軸を高速回転させた場合におい
ても、ねじ軸が撓むように歪む、いわゆる縄跳び現象を抑制することが可能となる。

この発明において、典型的には、軌道部材が互いに対向する内壁面を有する断面略Ｕ字形であるとともに、移動部材および支持部材が、内壁面間に挟まれて設けられ、内壁面に転動体転走部が形成されているとともに、移動部材および支持部材に、転動体転走部に対応する負荷転動体転走部が設けられ、移動部材および支持部材に、転動体転走部と負荷転動体転走部との間を転動する転動体を循環可能な、転動体戻し通路および方向転換路とが設けられ、転動体戻し通路が負荷転動体転走部から所定間隔を隔てて平行に構成されているとともに、方向転換路が負荷転動体転走部と転動体戻し通路との間を接続するように構成されている。さらに、好適には、ねじ軸が、移動部材および支持部材の貫通孔を貫通して設けられ、ねじ軸の外周面に、螺旋状のねじ軸用転動体転走部が設けられ、移動部材の貫通孔にねじ軸用転動体転走部に対応するねじ軸用負荷転動体転走部が設けられ、移動部材に、ねじ軸用転動体転走部とねじ軸用負荷転動体転走部との間を転がるねじ軸用転動体を循環させるためのねじ軸用転動体戻し通路が設けられている。

このように構成することにより、従来の軌道部材としてアウタレールを採用し、移動部材としてインナブロックを採用したリニアアクチュエータにおいて、移動部材と支持部材とを同様の構成とすることができるので、簡易に支持部材を設けることができるとともに、アウタレールにより規定されるリニアアクチュエータの大きさを変更することなく、支持部材を設けることが可能となる。したがって、リニアアクチュエータの大型化を効果的に回避しながらも、製造プロセスを大幅に変更することなく、危険回転数の上限を上げることが可能となる。

この発明の技術的思想は、必ずしも上述の組み合わせに限定されるものではなく、上述した複数の発明を、適宜、任意に組み合わせることにより実現される技術的思想をも包含するものである。

この発明によるリニアアクチュエータによれば、移動部材の移動方向に沿った前後に一対の支持部材が設けられていることにより、移動部材とリニアアクチュエータの一端側との間に、必ず支持部材が存在することになるため、装置の大型化や複雑化を回避することができ、製造コストの増加やリニアアクチュエータの製造プロセスの大幅な増加を抑制しつつ、送り機構における長ストロークの移動を実現するために、支点間距離をより長くする場合であっても、このストロークに基づく危険回転数の上限を上げて、ストロークに基づく速度制限を回避し、ねじの回転速度の限界を大幅に高めることができ、送り性能をより向上させることが可能となる。

以下、この発明の一実施形態によるリニアアクチュエータについて図面を参照しつつ説明する。図１に、この発明の一実施形態によるリニアアクチュエータの全体構造を示し、図２に、リニアアクチュエータの要部を示す。また、図３に、リニアアクチュエータの側面図および上面図を示し、図４にインナブロックの断面図を示す。

（リニアアクチュエータ）
図１に示すように、この一実施形態によるリニアアクチュエータは、断面略Ｕ字形の軌道部材としてのアウタレール７と、アウタレール７内に設けられ、両側面にガイド部、中央にボールねじ部を一体構造にして、往復運動自在に組まれた移動部材としてのインナブロック８と、アウタレール７の長手方向の両端に回転自在に支持されたねじ軸９とが備えられている。

（ガイド部）
まず、リニアアクチュエータのガイド部について説明する。

図２に示すように、アウタレール７には、互いに対向するように平行に延びる一対の内壁面７ａが設けられている。内壁面７ａには、凹溝１０が全長にわたって刻設されている。それぞれの凹溝１０の上下角部には、転動体転走部としての２条の転動体転走溝としてのボール転走溝１１が形成されている。すなわち、ボール転走溝１１は、アウタレール７の一対の内壁面７ａの上下に２条ずつ合計４条設けられる。このボール転走溝１１は、断面がボールの半径よりも若干大きい曲率を有する単一の円弧、いわゆるサーキュラーアーク溝からなる。

また、アウタレール７の内壁面７ａに挟まれたインナブロック８は、ブロック本体８ａと、ブロック本体８ａの進行方向の前後両端面に取付けられたエンドプレート８ｂとから構成されている。このインナブロック８は、アウタレール７に嵌入され、転動体としてのボール２８を介して内壁面７ａに挟み込まれるように支持されている。

また、図３Ａおよび図３Ｂに示すように、アウタレール７の長手方向の両端には、ねじ軸９を回転自在に支持するハウジング１３，１４が設けられる。ハウジング１３，１４とアウタレール７とはボルトなどの結合手段によって結合される。

また、図４に示すように、ブロック本体８ａの両側面には、アウタレール７のボール転走溝１１に対向する上下２条の負荷転動体転走溝としての負荷ボール転走溝１９が形成されている。すなわち、負荷ボール転走溝１９は、ブロック本体８ａの両側面の上下に２条ずつ合計４条設けられる。この負荷ボール転走溝１９も、断面がボールの半径よりも若干大きい曲率を有する単一の円弧、いわゆるサーキュラーアーク溝からなる。アウタレール７のボール転走溝１１とインナブロック８の負荷ボール転走溝１９との間に、ボールを循環させるボール循環路（転動体循環路）の一部となる負荷ボール転走路が形成されている。

また、ブロック本体８ａの左右には、上下２条の負荷ボール転走溝１９から所定間隔を隔てて平行に延びる２条の貫通孔２１が形成されている。

インナブロック８には、負荷ボール転走路とボール戻し通路とを接続して、ボールを循環させるＵ字パイプ状の方向転換路が設けられる。これら負荷ボール転走路、方向転換路、およびボール戻し通路によってサーキット状のボール循環路が構成される。このボール循環路はインナブロック８の左右に２条ずつ合計４条形成されている。

また、方向転換路の外周側は、方向転換路外周側構成部材としてのエンドプレート８ｂにより形成され、方向転換路の内周側は、ブロック本体８ａに設けられた樹脂成形体により形成されている。また、それぞれのボール循環路には、複数のボール２８が配列収容される。

（支持部材）
次に、インナブロック８の軸方向に沿った前後に設けられる支持部材について説明する。

すなわち、図１および図３に示すように、アウタレール７内には、両側面にガイド部が設けられた支持部材１００が、インナブロック８の軸方向に沿った前後側に一対で配置されている。この支持部材１００は、インナブロック８がねじ軸９の方向に狭小化された構成を有するとともに、ねじ軸９の回転による影響を受けないようにするために、ねじ軸９
に螺合されないように構成されている。そのため、支持部材１００は、アウタレール７に堅固に支持されつつ、ねじ軸９に沿って往復動自在に構成されている。この一対の支持部材１００は、２本の連結部材１０１により相互に連結されているとともに、アウタレール７の内壁面７ａから反力が作用されるようにして、アウタレール７により支持されている。また、支持部材１００には、インナブロック８と同様の、ねじ軸９が貫通する貫通孔が設けられているが、インナブロック８と異なり、ねじ軸９のねじ軸用ボール転走溝９ａによる干渉を受けないために、ボール３３などは設けられていない。

また、図５に示すように、支持部材１００に設けられた貫通孔は、この支持部材の本体に対して組み付けられた円筒状の樹脂成形体１０５の内部空間として形成されている。ねじ軸９は、この樹脂成形体１０５の内周面になめらかに摺接している。

この樹脂成形体１０５としては、その材質が所要の機械的強度を有するものであれば良く、通常の合成樹脂を採用可能であり、好適には、引張り強さが３０〜５０ｋｇ／ｃｍ³
、伸び率が３００〜５００％、反発弾性が３０〜６０％程度の物性を有する、例えば連続気泡の発砲ポリウレタンに、潤滑剤を３０〜５０重量％ほど吸収保持させたものが用いられる。また、発泡ポリウレタン以外にも、焼結樹脂などの連続発泡気泡体や、羊毛フェルトなどの繊維交絡体を所定の形状に形成した後に、この繊維交絡体に潤滑剤を吸収保持させたものでもよい。さらに、樹脂成形体１０５を合成樹脂で形成する場合には、合成樹脂素材にあらかじめ潤滑剤を混合保持させてから所定の形状に成形したものや、モノマーを重合して合成樹脂を製造する段階でモノマー中に潤滑剤を混合して得られた潤滑剤含有の合成樹脂を所定の形状に成形したものを用いることも可能である。

また、支持部材１００は、上述した点以外は、インナブロック８と同様に構成されている。なお、支持部材１００をインナブロック８と同じ大きさにすることも可能であるが、支持部材１００が、ねじ軸９の高回転域における縄跳び現象を抑制するために設けられており、移動部材として用いないことを考慮すると、インナブロック８に比して小さくするのが望ましい。

２本の連結部材１０１により連結された１対の支持部材１００の間隔（２つの支持部材１００の中心間距離）は、ねじ軸９を両端において支持するそれぞれのハウジング１３，１４の支点の間隔Ｌ（支点間距離Ｌ）の半分、すなわち、Ｌ／２程度であることが望ましい。なお、一対の支持部材１００の中心間距離の大きさとしては、必ずしもこの間隔に限定されるものではない。

この連結部材１０１は、インナブロック８の上面における、ねじ軸９の軸方向に対して両側２箇所に形成された凹角部１０２に接触しないように設けられている。そのため、支持部材１００の移動に際し、ねじ軸９が電動モータにより回転されて、インナブロック８がアウタレール７に沿って所定方向に直線運動を行うと、まず、インナブロック８が支持部材１００のインナブロック８側に接触する。そして、このインナブロック８の移動により支持部材１００が押されて、一方の支持部材１００がインナブロック８とほぼ一体的になって、インナブロック８の移動方向に移動する。

（ねじ部）
次に、リニアアクチュエータのねじ部について説明する。

図１に示すように、インナブロック８の中央部には、ねじ軸９が貫通している。また、図２に示すように、ねじ軸９の外周面には、螺旋状のねじ軸用転動体転走部としてのねじ軸用ボール転走溝９ａが形成されている。このねじ軸用ボール転走溝９ａの断面形状は、ねじ軸用のボール３３の半径よりも若干曲率半径の大きい２つの円弧からなるゴシックア
ーチに形成されている。

一方、ブロック本体８ａの貫通孔にもねじ軸用ボール転走溝９ａに対応するねじ軸用負荷転動体転走部としてのねじ軸用負荷ボール転走溝１５ａが形成されている。このねじ軸用負荷ボール転走溝１５ａの断面形状においても、ボール３３の半径よりも若干大きい曲率半径の２つの円弧からなるゴシックアーチに形成されている。ねじ軸９のねじ軸用ボール転走溝９ａとブロック本体８ａのねじ軸用負荷ボール転走溝１５ａとの間でボール循環路の負荷転走路が構成される。

ねじ軸９のねじ軸用ボール転走溝９ａとボール３３とは２点で接触し、ブロック本体８ａのねじ軸用負荷ボール転走溝１５ａとボール３３とも２点で接触する。与圧を与える方式としては、ねじ軸９とブロック本体８ａとの間の隙間よりも若干径の大きいオーバーサイズのボールが充填される、いわゆるオーバーサイズ方式が採用される。

インナブロック８には、ねじ軸用ボール転走溝９ａとねじ軸用負荷ボール転走溝１５ａとの間を転がるボールを循環させるためのリターンパイプ３４が設けられる。このリターンパイプ３４によって、負荷転走路の一端と他端とを連通するねじ軸用ボール戻し通路（ねじ軸用転動体戻し通路）が形成されている。

リターンパイプ３４は、円形断面をなし、両端部が本体部分に対して約９０°折り曲げられ、略門型形状に形成されている。両脚部は平行ではなく、それぞれの指向方向はリード角に応じて捻れている。リターンパイプ３４の両端部には、負荷転走路を転がるボールを掬い上げるための切り口が形成されている。リターンパイプ３４の両側部は負荷転走路内に数ピッチの間隔を空けて、嵌入される。また、このリターンパイプ３４はインナブロック８の下面、すなわちアウタレール７の上面に対向する側に設けられ、パイプ押えによってインナブロック８に固定されている。このリターンパイプ３４をインナブロック８の下面側に設けることにより、インナブロック８の上面側を自由に用いることができ、テーブルなどの組み付けを容易にすることができる。

また、ねじ軸９を回転させると、負荷転走路内において、荷重を受けながら周方向に転動するボール３３が、リターンパイプ３４の両端部の先端により掬い上げられる。掬い上げられたボール３３は、リターンパイプ３４内を通過し、数ピッチ間隔を隔てた両端部の先端から、再び負荷転走路に戻される。ねじ軸９の回転方向を反転すると、ボール３３はこの逆の経路を辿って循環される。

以上のようにして、ねじ軸９が構成され、このねじ軸９が電動モータにより回転されることにより、移動部材としてのインナブロック８が移動されるリニアアクチュエータが構成されている。

以上説明したように、この一実施形態によるリニアアクチュエータによれば、ガイド部とボールねじ部とが一体構造にされているので、最小のスペースで、高剛性、高精度のアクチュエータ機能を有するとともに、インナブロック８のねじ軸９の軸方向に沿った前後にねじ軸９を支持するとともにアウタレール７に支持されている一対の支持部材１００が設けられているので、ねじ軸９に貫通されたインナブロック８と、ねじ軸９の一端側との間に、必ず支持部材１００が存在することになるため、危険回転数の算出に寄与する支点間距離を小さくすることができ、ねじ軸９のたわみを防止して、いわゆる縄跳び現象を抑制することができる。

したがって、危険回転数の制限を回避することができるので、インナブロック８の移動速度の上限を大幅に向上させることが物理的に可能となる。さらに、支持部材１００が、
インナブロック８の設けられたアウタレール７内に収められていることにより、インナブロック８の通過領域に支持部材１００を収めることができるので、従来のリニアアクチュエータに比して、大型化させることなく、許容回転数（危険回転数）の上限を大幅に増加させることができる。

以上、この発明の一実施形態について具体的に説明したが、この発明は、上述の実施形態に限定されるものではなく、この発明の技術的思想に基づく各種の変形が可能である。

例えば、上述の一実施形態においては、軌道部材としてアウタレール７を用い、移動部材としてインナブロック８を用いた構成を採用しているが、図６に示すように、軌道部材としてレール７´を用い、移動部材としてレール７´に跨架する形のブロック８´を用いて、このブロック８´を移動させるための駆動モータ（図示せず）により両端が支持されたねじ軸９´を、レール７´およびブロック８´の外側に設ける構成を採用することも可能である。

すなわち、図６に示すリニアアクチュエータは、ねじ軸９´が貫通されたナット４１を有するとともに、このナット４１とブロック８´とが、例えば連結棒４２により連結されている。そして、上述の一実施形態における支持部材１００と同様の一対の支持部材１００´が、このナット４１の軸方向に沿った前後に設けられて、連結部材１０１´により互いに連結されて構成されている。この発明は、リニアアクチュエータを図６に示すように構成した場合においても適用することが可能であり、この発明の一実施形態による作用効果と同様の作用効果を奏することができる。

また、上述の一実施形態においては、支持部材１００として、ねじ軸９の軸方向に沿った前後の幅が狭小化されていること以外は、インナブロック８と同様の構成を採用して、転動体としてのボール２８を用いて移動するように構成しているが、必ずしもこの構成に限定されるものではなく、アウタレール７の内壁面７ａに設けられた凹溝１０などの凹部などに摺動自在に嵌合させて、この内壁面７ａの凹部から反力が作用されてアウタレール７に支持されつつねじ軸９を支持するように構成し、この支持部材が移動する場合には、内壁面に摺動されながら移動する構成を採用することも可能である。

この発明の一実施形態によるリニアアクチュエータを示す一部断面斜視図である。 この発明の一実施形態によるリニアアクチュエータを示す一部断面斜視図である。 この発明の一実施形態によるリニアアクチュエータを示す上面図および側面図である。 この発明の一実施形態によるインナブロックおよびアウタレールを示す断面図である。 この発明の一実施形態による支持部材とアウタレールとを示す断面図である。 この発明の一実施形態によるリニアアクチュエータの他の例を示す斜視図である。

符号の説明

７ アウタレール
７ａ 内壁面
７´ レール
８ インナブロック
８ａ ブロック本体
８ｂ エンドプレート
８´ ブロック
９ ねじ軸
９ａ ねじ軸用ボール転走溝
１０ 凹溝
１１ ボール転走溝
１３，１４ ハウジング
１５ａ ねじ軸用負荷ボール転走溝
１９ 負荷ボール転走溝
２１ 貫通孔
２８，３３ ボール
３４ リターンパイプ
４１ ナット
４２ 連結棒
１００ 支持部材
１０１ 連結部材
１０２ 凹角部
１０５ 樹脂成形体

Claims (5)

1. 軌道部材と、
   上記軌道部材に沿って移動自在に構成された移動部材と、
   両端が支持されたねじ軸とを有し、
   上記移動部材の可動側に対して進行方向に沿って往復動自在に構成されているとともに、上記ねじ軸に対して移動自在に貫通して上記ねじ軸を支持する支持部材が設けられ、
   上記支持部材が、上記移動部材の移動方向に沿って前後両側に連結手段により連結された一対で設けられている
   ことを特徴とするリニアアクチュエータ。
2. 上記一対の支持部材におけるねじ軸に沿った上記支持部材間の間隔が上記ねじ軸の支点間距離の２分の１である
   ことを特徴とする請求項１記載のリニアアクチュエータ。
3. 上記支持部材が、上記軌道部材から反力が作用されるように、上記軌道部材に支持されて設けられている
   ことを特徴とする請求項１または２記載のリニアアクチュエータ。
4. 上記軌道部材が互いに対向する内壁面を有する断面略Ｕ字形であるとともに、上記移動部材および上記支持部材が、上記内壁面間に挟まれて設けられ、
   上記内壁面に転動体転走部が形成されているとともに、上記移動部材および上記支持部材に、上記転動体転走部に対応する負荷転動体転走部が設けられ、
   上記移動部材および上記支持部材に、上記転動体転走部と上記負荷転動体転走部との間を転動する転動体を循環可能な、転動体戻し通路および方向転換路とが設けられ、
   上記転動体戻し通路が上記負荷転動体転走部から所定間隔を隔てて平行に構成されているとともに、上記方向転換路が上記負荷転動体転走部と上記転動体戻し通路との間を接続するように構成されている
   ことを特徴とする請求項１乃至３の何れか１項記載のリニアアクチュエータ。
5. 上記ねじ軸が、上記移動部材および上記支持部材の貫通孔を貫通して設けられ、
   上記ねじ軸の外周面に、螺旋状のねじ軸用転動体転走部が設けられ、
   上記移動部材の貫通孔に上記ねじ軸用転動体転走部に対応するねじ軸用負荷転動体転走部が設けられ、
   上記移動部材に、上記ねじ軸用転動体転走部と上記ねじ軸用負荷転動体転走部との間を転がるねじ軸用転動体を循環させるためのねじ軸用転動体戻し通路が設けられている
   ことを特徴とする請求項４記載のリニアアクチュエータ。

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