JP2005247593A - Iii族窒化物の結晶成長方法およびiii族窒化物結晶および半導体デバイス - Google Patents
Iii族窒化物の結晶成長方法およびiii族窒化物結晶および半導体デバイス Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】 フラックスと少なくともIII族金属を含む物質とが混合融液103を形成し、該混合融液103と少なくとも窒素を含む物質とから、III族金属と窒素とから構成されるIII族窒化物を結晶成長させるフラックス法によるIII族窒化物の結晶成長方法において、基板110上に、フラックス法によりLiを添加してIII族窒化物結晶を成長させる。
【選択図】 図1
Description
本発明の第1の形態は、フラックスと少なくともIII族金属を含む物質とが混合融液を形成し、該混合融液と少なくとも窒素を含む物質とから、III族金属と窒素とから構成されるIII族窒化物を結晶成長させるフラックス法によるIII族窒化物の結晶成長方法(以下、フラックス法と呼ぶ)において、基板上に、フラックス法によりLiを添加してIII族窒化物結晶を成長させることを特徴としている。
また、本発明の第2の形態は、第1の形態のIII族窒化物の結晶成長方法において、前記基板としては、少なくともIII族窒化物薄膜が表面に堆積されたものが用いられることを特徴としている。
本発明の第4の形態は、第1乃至第3のいずれかの形態のIII族窒化物の結晶成長方法により成長させたIII族窒化物結晶上に、更にIII族窒化物結晶を再度成長することを特徴としている。
本発明の第5の形態は、第1乃至第4のいずれかの形態のIII族窒化物の結晶成長方法により作製されたIII族窒化物結晶である。
本発明の第6の形態は、第5の形態のIII族窒化物結晶を用いて作製されたIII族窒化物半導体デバイスである。
102 混合融液保持容器
103 混合融液
104 ガス供給管
105 圧力調整弁
106 加熱装置
107 窒素ガス容器
109 蓋
110 基板
111 圧力センサー
112 熱電対
113 第二の反応容器
200 サファイヤ基板
201 GaN薄膜
202 GaN結晶
Claims (6)
- フラックスと少なくともIII族金属を含む物質とが混合融液を形成し、該混合融液と少なくとも窒素を含む物質とから、III族金属と窒素とから構成されるIII族窒化物を結晶成長させるフラックス法によるIII族窒化物の結晶成長方法(以下、フラックス法と呼ぶ)において、基板上に、フラックス法によりLiを添加してIII族窒化物結晶を成長させることを特徴とするIII族窒化物の結晶成長方法。
- 請求項1記載のIII族窒化物の結晶成長方法において、前記基板としては、少なくともIII族窒化物薄膜が表面に堆積されたものが用いられることを特徴とするIII族窒化物の結晶成長方法。
- フラックスと少なくともIII族金属を含む物質とが混合融液を形成し、該混合融液と少なくとも窒素を含む物質とから、III族金属と窒素とから構成されるIII族窒化物を結晶成長させるフラックス法によるIII族窒化物の結晶成長方法において、III族窒化物薄膜が表面に堆積された基板上に、フラックス法によりLiを添加してIII族窒化物結晶を成長させることを特徴とするIII族窒化物の結晶成長方法。
- 請求項1乃至請求項3のいずれか一項に記載のIII族窒化物の結晶成長方法により成長させたIII族窒化物結晶上に、更にIII族窒化物結晶を再度成長することを特徴とするIII族窒化物の結晶成長方法。
- 請求項1乃至請求項4のいずれか一項に記載のIII族窒化物の結晶成長方法により作製されたIII族窒化物結晶。
- 請求項5記載のIII族窒化物結晶を用いて作製されたIII族窒化物半導体デバイス。
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JP2007126315A (ja) * | 2005-11-02 | 2007-05-24 | Toyoda Gosei Co Ltd | 半導体結晶の製造方法 |
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2004
- 2004-03-01 JP JP2004055930A patent/JP2005247593A/ja active Pending
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