JP2005246201A - 塗布液供給装置および塗布液供給方法 - Google Patents
塗布液供給装置および塗布液供給方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005246201A JP2005246201A JP2004058914A JP2004058914A JP2005246201A JP 2005246201 A JP2005246201 A JP 2005246201A JP 2004058914 A JP2004058914 A JP 2004058914A JP 2004058914 A JP2004058914 A JP 2004058914A JP 2005246201 A JP2005246201 A JP 2005246201A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- coating liquid
- cylinder
- coating
- syringe pump
- piston
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
Abstract
【解決手段】 シリンジポンプ3は、下部が開放されたシリンダ31と、シリンダ31に対して押し込み方向、引き出し方向に動作可能なピストン32と、シリンダ31の開口縁に一体的に設けられたマニホールド33とを有し、このマニホールド33は、シリンダ31の内径とほぼ同じ貫通孔を有しているとともに、内面の所定位置にOリングなどのシール部材34を有し、マニホールド33の内面とピストン32との間に形成される環状の空間に対して、ほぼシリンダの法線方向から塗布液を導入できるように、塗布液導入部35を有している。
【選択図】 図1
Description
特許文献1に記載された塗布液供給装置は、塗布液タンクから塗布液流路を通して塗布液をシリンジポンプに供給し、必要量の塗布液をシリンジポンプから塗布液流路を通して塗工機に供給するものである。
ガラスをホーニング加工し、その後、酸化セリウムなどの研磨剤で磨くことによって平坦度が高い透明なガラスを得ることができるが、この場合には、シリンダを製造するために多大な費用がかかるという新たな不都合を生じるので、実際には、このような方法は採用されていない。
本発明は上記の問題点に鑑みてなされたものであり、シリンダ内面の状態に拘らず塗布液の吐出量の制御精度を高めることができるとともに、シール部材の寿命を長くすることができ、しかもシリンダの内部を洗浄するための所要時間を短縮することができるシリンジポンプを採用する塗布液供給装置および塗布液供給方法を提供することを目的としている。
前記シリンジポンプとして、シリンダの開口部側にシール部材を設けてピストンの外周面と接触させることにより、ピストンを、塗布液のシール状態を確保しつつ往復動可能としたものを採用したものである。
シリンジポンプに塗布液を吸入し、吐出するに当たって、シリンダの開口部側にシール部材を設けてピストンの外周面と接触させることにより、ピストンを、塗布液のシール状態を確保しつつ往復動させる方法である。
この塗布液供給装置は、塗布液タンク1と、塗布機構部2と、シリンジポンプ3と、塗布液タンク1とシリンジポンプ3とを連通する第1塗布液流路4と、第1塗布液流路4に介在された第1弁5と、シリンジポンプ3と塗布機構部2とを連通する第2塗布液流路6と、第2塗布液流路6に介在された第2弁7とを有している。
前記シリンジポンプ3は、下部が開放されたシリンダ31と、シリンダ31に対して押し込み方向、引き出し方向に動作可能なピストン32と、シリンダ31の開口縁に一体的に設けられたマニホールド33とを有している。このマニホールド33は、図2にも示すように、シリンダ31の内径とほぼ同じ貫通孔を有しているとともに、内面の所定位置にOリングなどのシール部材34を有している。そして、マニホールド33の内面とピストン32との間に形成される環状の空間に対して、ほぼ接線方向から塗布液を導入できるように、塗布液導入部35を有している。
前記シリンダ31は、どのような材質のものであってもよいが、内部視認性を考慮すれば、ガラス製であることが好ましい。
上記の構成の塗布液供給装置の作用は次のとおりである。
比較例として、図6に示す構成のシリンジポンプを動作させて時間当たりの塗布液の吐出むらを測定したところ、±2%/secであった。
2 塗布機構部
3 シリンジポンプ
4 第1塗布液流路
6 第2塗布液流路
31 シリンダ
32 ピストン
34 シール部材
35 塗布液導入部
Claims (5)
- 塗布液を収容する塗布液タンク(1)と、塗布液を塗布対象物に塗布する塗布機構(2)と、塗布液タンク(1)から塗布液流路(4)を通して塗布液が供給され、必要量の塗布液を塗布液流路(6)を通して塗布機構(2)に供給するシリンジポンプ(3)とを含む塗布液供給装置であって、
前記シリンジポンプ(3)は、シリンダ(31)の開口部側にシール部材(34)を設けてピストン(32)の外周面と接触させることにより、ピストン(32)を、塗布液のシール状態を確保しつつ往復動可能としたものであることを特徴とする塗布液供給装置。 - 前記シリンジポンプ(3)は、塗布液をシリンダ(31)内にシリンダの法線に角度を持って開口させた塗布液導入部(35)を含む請求項1に記載の塗布液供給装置。
- 塗布液タンク(1)から塗布液流路(4)を通して塗布液をシリンジポンプ(3)に供給し、必要量の塗布液をシリンジポンプ(3)から塗布液流路(6)を通して塗布機構(2)に供給する塗布液供給方法であって、
シリンジポンプ(3)に塗布液を吸入し、吐出するに当たって、シリンダ(31)の開口部側にシール部材(34)を設けてピストン(32)の外周面と接触させることにより、ピストン(32)を、塗布液のシール状態を確保しつつ往復動させることを特徴とする塗布液供給方法。 - シリンジポンプ(3)に塗布液を吸入するに当たって、塗布液をシリンダ(31)内にシリンダの法線に角度を持って開口させた開口部から導入する請求項3に記載の塗布液供給方法。
- シリンジポンプ(3)に塗布液を吸入し、吐出するに当たって、ピストン(32)をシリンダ(31)内に押し込んだ状態を待機位置とし、ピストン(32)を抜き取り方向に移動させて必要量の塗布液を吸入し、その後、ピストン(32)を押し込んで塗布液を塗布機構(2)に供給する請求項3または請求項4に記載の塗布液供給方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004058914A JP4494829B2 (ja) | 2004-03-03 | 2004-03-03 | 塗布液供給装置および塗布液供給方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004058914A JP4494829B2 (ja) | 2004-03-03 | 2004-03-03 | 塗布液供給装置および塗布液供給方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005246201A true JP2005246201A (ja) | 2005-09-15 |
JP4494829B2 JP4494829B2 (ja) | 2010-06-30 |
Family
ID=35027201
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004058914A Expired - Fee Related JP4494829B2 (ja) | 2004-03-03 | 2004-03-03 | 塗布液供給装置および塗布液供給方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4494829B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2007287831A (ja) * | 2006-04-14 | 2007-11-01 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | シリンジポンプおよび基板処理装置 |
US7591899B2 (en) | 2005-03-31 | 2009-09-22 | Toray Engineering Co., Ltd. | Applicator device |
KR100939878B1 (ko) * | 2006-12-27 | 2010-01-29 | 쥬가이로 고교 가부시키가이샤 | 도포액 공급 장치 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59198220A (ja) * | 1983-04-27 | 1984-11-10 | Fuji Paudaru Kk | 空気輸送装置における破損防止装置 |
JPH04231358A (ja) * | 1990-07-20 | 1992-08-20 | Herberts Gmbh | 線材及び繊維様の材料上の被覆の製造方法及びそれに適した装置 |
JP2507388B2 (ja) * | 1987-02-17 | 1996-06-12 | 株式会社東芝 | シリンジポンプ装置 |
JP2000037654A (ja) * | 1998-07-22 | 2000-02-08 | Musashi Eng Co Ltd | 液体吐出装置 |
JP2001121062A (ja) * | 1999-10-29 | 2001-05-08 | Dainippon Printing Co Ltd | 塗工方法及び塗工装置 |
JP2002035669A (ja) * | 2000-07-28 | 2002-02-05 | Honda Motor Co Ltd | シーラ塗布装置 |
JP2002200452A (ja) * | 2000-12-28 | 2002-07-16 | Chugai Ro Co Ltd | 塗布液供給装置 |
-
2004
- 2004-03-03 JP JP2004058914A patent/JP4494829B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS59198220A (ja) * | 1983-04-27 | 1984-11-10 | Fuji Paudaru Kk | 空気輸送装置における破損防止装置 |
JP2507388B2 (ja) * | 1987-02-17 | 1996-06-12 | 株式会社東芝 | シリンジポンプ装置 |
JPH04231358A (ja) * | 1990-07-20 | 1992-08-20 | Herberts Gmbh | 線材及び繊維様の材料上の被覆の製造方法及びそれに適した装置 |
JP2000037654A (ja) * | 1998-07-22 | 2000-02-08 | Musashi Eng Co Ltd | 液体吐出装置 |
JP2001121062A (ja) * | 1999-10-29 | 2001-05-08 | Dainippon Printing Co Ltd | 塗工方法及び塗工装置 |
JP2002035669A (ja) * | 2000-07-28 | 2002-02-05 | Honda Motor Co Ltd | シーラ塗布装置 |
JP2002200452A (ja) * | 2000-12-28 | 2002-07-16 | Chugai Ro Co Ltd | 塗布液供給装置 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7591899B2 (en) | 2005-03-31 | 2009-09-22 | Toray Engineering Co., Ltd. | Applicator device |
JP2007287831A (ja) * | 2006-04-14 | 2007-11-01 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | シリンジポンプおよび基板処理装置 |
KR100809219B1 (ko) | 2006-04-14 | 2008-02-29 | 다이니폰 스크린 세이조우 가부시키가이샤 | 실린지 펌프, 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 |
KR100939878B1 (ko) * | 2006-12-27 | 2010-01-29 | 쥬가이로 고교 가부시키가이샤 | 도포액 공급 장치 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP4494829B2 (ja) | 2010-06-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR102389613B1 (ko) | 기판 세정 장치 | |
WO2006080021A3 (en) | Multistep reaction lateral flow capillary device | |
TW200706255A (en) | Applicator device | |
JP2011052267A (ja) | シリンダバレルの表面処理装置 | |
EP1662140B1 (en) | Pump, liquid transporting apparatus provided with the same, and liquid moving apparatus | |
JP4494829B2 (ja) | 塗布液供給装置および塗布液供給方法 | |
JP2008255805A (ja) | 送液ポンプ及びその送液ポンプを用いた液体クロマトグラフ | |
KR102173305B1 (ko) | 시편의 표면처리장치 및 표면처리방법 | |
JP2008151132A (ja) | 燃料ポンプ | |
JP2652204B2 (ja) | ピストンシリンダ及び洗浄方法 | |
KR101270994B1 (ko) | 기판 코터 장치의 약액 공급용 펌프 | |
JP2017154818A (ja) | 目詰まり防止スプレー容器 | |
TWI660792B (zh) | 用於防止分配器中的液體凝聚的方法以及設備 | |
KR101270992B1 (ko) | 기판 코터 장치의 약액 공급용 펌프 | |
CN108180136A (zh) | 一种液相色谱仪的输液泵以及减少密封面磨损的方法 | |
KR200460399Y1 (ko) | 시린지 펌프 | |
US20060254625A1 (en) | Sprayer and cleaning apparatus using the same | |
JP2010107389A (ja) | オートサンプラ | |
JP2005163701A (ja) | 吐出装置および基板処理装置 | |
CN106981442B (zh) | 药液排出装置 | |
JP4838113B2 (ja) | 塗布液供給装置 | |
JPH10122157A (ja) | 洗浄用プランジャポンプ | |
JPH0458074A (ja) | シリンジポンプおよびその運転方法 | |
JP2014224517A (ja) | シリンジポンプ | |
JPH09292381A (ja) | 送液ポンプ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20070207 |
|
RD02 | Notification of acceptance of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422 Effective date: 20090511 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20091030 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20091104 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20091225 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100126 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100311 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100406 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100408 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4494829 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130416 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130416 Year of fee payment: 3 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140416 Year of fee payment: 4 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |