JP2005246201A - 塗布液供給装置および塗布液供給方法 - Google Patents

塗布液供給装置および塗布液供給方法 Download PDF

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Abstract

【課題】 シリンダ内面の状態に拘らず塗布液の吐出量の制御精度を高めるとともに、シール部材の寿命を長くし、しかもシリンダの内部を洗浄するための所要時間を短縮する。
【解決手段】 シリンジポンプ3は、下部が開放されたシリンダ31と、シリンダ31に対して押し込み方向、引き出し方向に動作可能なピストン32と、シリンダ31の開口縁に一体的に設けられたマニホールド33とを有し、このマニホールド33は、シリンダ31の内径とほぼ同じ貫通孔を有しているとともに、内面の所定位置にOリングなどのシール部材34を有し、マニホールド33の内面とピストン32との間に形成される環状の空間に対して、ほぼシリンダの法線方向から塗布液を導入できるように、塗布液導入部35を有している。
【選択図】 図1

Description

本発明は、塗布液供給装置および塗布液供給方法に関する。
従来から、塗布液供給装置として特許文献1に記載されたものが提案されている。
特許文献1に記載された塗布液供給装置は、塗布液タンクから塗布液流路を通して塗布液をシリンジポンプに供給し、必要量の塗布液をシリンジポンプから塗布液流路を通して塗工機に供給するものである。
そして、シリンジポンプとして、シリンダ内を往復動可能なピストンを設け、シリンダのヘッド部に弁板を回転可能に設けて塗布液の吸入、吐出を制御する構成のものが採用されている。
特開2002−200452号公報
特許文献1に記載されたシリンジポンプにおいては、シリンダとピストンとの間のシールをどのようにするかを明確には記載していないが、ピストンの長さが全ストロークと比較して著しく短いので、例えば図6に示すように、ピストン102の外周にOリングなどのシール部材103を装着し、シリンダ101に圧入することにより、シリンダ101とピストン102との間のシールを達成していると考えられる。
したがって、シリンダ101の内面の平坦度が悪い場合には、ピストン102のスムーズな移動が阻害され、供給すべき塗布液の量の精度が低下してしまう。特に、シリンジポンプにおいては、内部に気泡が侵入すると、気泡が圧縮性であることに起因して定量精度が低下するので、シリンダ101として内部視認性に優れたガラス製のものを採用することが一般化している。そして、ガラス製のシリンダ101は内面にかなりの凹凸が存在しているので、シール部材103とシリンダ101内面との間の摩擦がかなり大きく変動し、ピストン102を移動させるのに必要な力がかなり大きく変動し、シール部材103とシリンダ101とがスリップし、ひいては塗布液の吐出量が変動する。
ガラス製のシリンダ101の内面が凹凸しているため、シール部材103で凹凸を吸収させるように、シール部材103をシリンダ101に強く押し当てている。これにより、シール部材103の磨耗が激しく、シール部材103の寿命が短くなってしまう。
さらに、シリンダ101の個体差のため、シール部材103を受けるためのピストン102の溝をそれに合わせて別々の形状にしなければならない。
ガラスをホーニング加工し、その後、酸化セリウムなどの研磨剤で磨くことによって平坦度が高い透明なガラスを得ることができるが、この場合には、シリンダを製造するために多大な費用がかかるという新たな不都合を生じるので、実際には、このような方法は採用されていない。
特許文献1に記載されたシリンジポンプを、複数種類の塗布液の供給に使用する場合には、シリンダの内部を洗浄し、その後に新たな塗布液を供給する必要がある。この場合において、特許文献1に記載されたシリンジポンプは、液体の吸入、吐出をシリンダのヘッド部を通して行うようにしているので、シリンダ内に流入する液体はシリンダ内で殆ど流動せず、殆どが吸入口、吐出口の近傍のみで流動する。
したがって、シリンダ内で液体の滞留量が多くなり、シリンダの内部を完全に洗浄して新たな塗布液の供給を開始するまでの所要時間が長くなってしまう。
本発明は上記の問題点に鑑みてなされたものであり、シリンダ内面の状態に拘らず塗布液の吐出量の制御精度を高めることができるとともに、シール部材の寿命を長くすることができ、しかもシリンダの内部を洗浄するための所要時間を短縮することができるシリンジポンプを採用する塗布液供給装置および塗布液供給方法を提供することを目的としている。
請求項1の塗布液供給装置は、塗布液を収容する塗布液タンクと、塗布液を塗布対象物に塗布する塗布機構と、塗布液タンクから塗布液流路を通して塗布液が供給され、必要量の塗布液を塗布液流路を通して塗布機構に供給するシリンジポンプとを含むものであって、
前記シリンジポンプとして、シリンダの開口部側にシール部材を設けてピストンの外周面と接触させることにより、ピストンを、塗布液のシール状態を確保しつつ往復動可能としたものを採用したものである。
請求項2の塗布液供給装置は、前記シリンジポンプとして、塗布液をシリンダ内にシリンダの法線に角度を持って開口させた塗布液導入部を含むものである。
請求項3の塗布液供給方法は、塗布液タンクから塗布液流路を通して塗布液をシリンジポンプに供給し、必要量の塗布液をシリンジポンプから塗布液流路を通して塗布機構に供給する塗布液供給方法であって、
シリンジポンプに塗布液を吸入し、吐出するに当たって、シリンダの開口部側にシール部材を設けてピストンの外周面と接触させることにより、ピストンを、塗布液のシール状態を確保しつつ往復動させる方法である。
請求項4の塗布液供給方法は、シリンジポンプに塗布液を吸入するに当たって、塗布液をシリンダ内にシリンダの法線に角度を持って開口させた開口部から導入する方法である。
請求項5の塗布液供給方法は、シリンジポンプに塗布液を吸入し、吐出するに当たって、ピストンをシリンダ内に押し込んだ状態を待機位置とし、ピストンを抜き取り方向に移動させて必要量の塗布液を吸入し、その後、ピストンを押し込んで塗布液を塗布機構に供給する方法である。
請求項1の発明であれば、内部視認性に影響を与えないピストンにシール部材を押圧するのであるから、ピストンの表面平坦性を簡単に高めて塗布液の供給量の制御精度を高めることができるとともに、シール部材の磨耗を少なくして寿命を長くすることができる。
請求項2の発明であれば、シリンダの内部を洗浄する必要がある場合に、シリンダ内に旋回流を発生し洗浄時間を短縮することができる。
請求項3の発明であれば、内部視認性に影響を与えないピストンにシール部材を押圧するのであるから、ピストンの表面平坦性を簡単に高めて塗布液の供給量の制御精度を高めることができるとともに、シール部材の磨耗を少なくして寿命を長くすることができる。
請求項4の発明であれば、シリンダの内部を洗浄する必要がある場合、シリンダ内に旋回流を発生し洗浄時間を短縮することができる。
請求項5の発明であれば、ピストンとシール部材との間の潤滑を確保し続けることができ、シール部材の寿命をさらに長くすることができる。
以下、添付図面を参照して、本発明の塗布液供給装置および塗布液供給方法の実施の態様を詳細に説明する。
図1は本発明の塗布液供給装置の一実施形態を示す概略図である。
この塗布液供給装置は、塗布液タンク1と、塗布機構部2と、シリンジポンプ3と、塗布液タンク1とシリンジポンプ3とを連通する第1塗布液流路4と、第1塗布液流路4に介在された第1弁5と、シリンジポンプ3と塗布機構部2とを連通する第2塗布液流路6と、第2塗布液流路6に介在された第2弁7とを有している。
なお、塗布液としては、ガラス基板上に塗布されるPDP用ガラスペーストが例示できるが、これに限定されるものではなく、従来公知の種々の塗布液を採用することができる。
前記シリンジポンプ3は、下部が開放されたシリンダ31と、シリンダ31に対して押し込み方向、引き出し方向に動作可能なピストン32と、シリンダ31の開口縁に一体的に設けられたマニホールド33とを有している。このマニホールド33は、図2にも示すように、シリンダ31の内径とほぼ同じ貫通孔を有しているとともに、内面の所定位置にOリングなどのシール部材34を有している。そして、マニホールド33の内面とピストン32との間に形成される環状の空間に対して、ほぼ接線方向から塗布液を導入できるように、塗布液導入部35を有している。
また、前記第2塗布液流路6は、シリンダ31の上部(シリンダヘッド部)を通してシリンダ31の内部と連通されている。
前記シリンダ31は、どのような材質のものであってもよいが、内部視認性を考慮すれば、ガラス製であることが好ましい。
前記ピストン32は内部視認性に全く影響を及ぼさないので、鏡面加工が容易な金属製(例えば、ステンレススチール、鉄、クロムメッキなど)であり、しかも鏡面加工など表面平坦化処理が施されたものであればよい。
前記マニホールド33は、製造の便宜上、シリンダ31と異なる材質からなるものであることが好ましいが、シリンダ31と同じ材質からなるものであってもよい。
上記の構成の塗布液供給装置の作用は次のとおりである。
図3に示すように、シリンジポンプ3は、ピストン32をシリンダ31に押し込んだ状態で待機している。なお、ピストン32はシリンダ31の最も内奥部まで押し込まれていることが好ましい。また、第1弁5と第2弁7とは共に閉じられており、シリンダ31とピストン32との間の空間には気泡が存在せず、塗布液のみが存在する状態とされている。
次いで、図4に示すように、第1弁5を開き、塗布液の必要量に応じた距離だけピストン32を抜き取り方向に移動させることにより、シリンダ31の内部に必要量の塗布液を収容することができる。この場合において、シリンダ31に流入する塗布液は、螺旋矢印で示すように旋回流を形成し螺旋状の流れとなる。
また、ピストン32の抜き取り方向への移動にしたがって、少量の塗布液が外部に引き出された部分に残留し、図3に示す待機状態から直ちにピストン32のスムーズな動作を可能にすることができる。
その後、図5に示すように、第1弁5を閉じるとともに、第2弁7を開き、しかもピストン32を押し込み方向に移動させ、シリンダ31内の塗布液を第2塗布液流路6を通して塗布機構部2に供給することができる。したがって、シリンダ31内の塗布液は、ピストン32の押し込み方向への移動距離に応じた量だけ塗布機構部2に供給される。この場合には、図4に示す動作で、ピストン32の引き出し部分に塗布液の薄層が既に形成されているので、押し込み方向へのピストン32の移動時にもシール部材34との間の十分な潤滑を達成できる。
以上の説明から分かるように、塗布液はマニホールド33からシリンダヘッド部に向かって旋回流を形成して螺旋状に流れるのであるから、シリンダ31内部における塗布液の滞留を殆ど皆無にすることができる。
また、供給すべき塗布液を切り換える場合には、洗浄液を用いてシリンダ31の内部を洗浄する。この動作を行うに当たっては、図3に示すようにピストン32が待機状態に位置する場合に、第1弁5、および第2弁7を開き、しかも塗布液タンク1に代えて洗浄液タンク(図示せず)を採用することが好ましい。
この場合には、洗浄液がマニホールド33からシリンダヘッド部に向かって旋回流を形成して螺旋状に流れるのであるから、シリンダ31内部における洗浄液の滞留を殆ど皆無にすることができ、しかもシリンダ31内の有効体積を小さくすることができるので、洗浄所要時間を大幅に短縮することができる。
図1に示す構成のシリンジポンプを動作させて時間当たりの塗布液の吐出むらを測定したところ、±0.1%/secであった。
比較例として、図6に示す構成のシリンジポンプを動作させて時間当たりの塗布液の吐出むらを測定したところ、±2%/secであった。
両測定結果を比較すると、図1に示す構成のシリンジポンプではピストンのより滑らかな動きを達成できたことが分かる。
図1に示す構成のシリンジポンプを反復動作させてシール部材の寿命を測定したところ、10,000回であった。
比較例として、図6に示す構成のシリンジポンプを反復動作させてシール部材の寿命を測定したところ、2,000回であった。
なお、寿命は、液漏れを目視し、液漏れが確認されるまでの反復回数とした。また、フッ素系ゴム製のシール部材を使用した。両測定結果を比較すると、図1に示す構成のシリンジポンプではシール部材とピストンとの間の摩擦が小さくなっていることが分かる。
図1に示す構成のシリンジポンプを待機状態にし、この状態において洗浄を行って所要時間を測定したところ、15分であった。
比較例として、図6に示す構成のシリンジポンプの洗浄を行って所要時間を測定したところ、60分であった。
なお、洗浄完了は、シリンジポンプ内部を目視することにより判定した。また、150cc用シリンジポンプを使用した。両測定結果を比較すると、図1に示す構成のシリンジポンプでは液体の滞留が殆どなく、スムーズな洗浄を達成できたことが分かった。
本発明の塗布液供給装置の一実施形態を示す概略図である。 図1に示されたシリンジポンプの概略横断面図である。 シリンジポンプの待機状態を示す概略縦断面図である。 シリンジポンプの液体吸入状態を示す概略縦断面図である。 シリンジポンプの液体吐出状態を示す概略縦断面図である。 従来の塗布液供給装置を示す概略図である。
符号の説明
1 塗布液タンク
2 塗布機構部
3 シリンジポンプ
4 第1塗布液流路
6 第2塗布液流路
31 シリンダ
32 ピストン
34 シール部材
35 塗布液導入部

Claims (5)

  1. 塗布液を収容する塗布液タンク(1)と、塗布液を塗布対象物に塗布する塗布機構(2)と、塗布液タンク(1)から塗布液流路(4)を通して塗布液が供給され、必要量の塗布液を塗布液流路(6)を通して塗布機構(2)に供給するシリンジポンプ(3)とを含む塗布液供給装置であって、
    前記シリンジポンプ(3)は、シリンダ(31)の開口部側にシール部材(34)を設けてピストン(32)の外周面と接触させることにより、ピストン(32)を、塗布液のシール状態を確保しつつ往復動可能としたものであることを特徴とする塗布液供給装置。
  2. 前記シリンジポンプ(3)は、塗布液をシリンダ(31)内にシリンダの法線に角度を持って開口させた塗布液導入部(35)を含む請求項1に記載の塗布液供給装置。
  3. 塗布液タンク(1)から塗布液流路(4)を通して塗布液をシリンジポンプ(3)に供給し、必要量の塗布液をシリンジポンプ(3)から塗布液流路(6)を通して塗布機構(2)に供給する塗布液供給方法であって、
    シリンジポンプ(3)に塗布液を吸入し、吐出するに当たって、シリンダ(31)の開口部側にシール部材(34)を設けてピストン(32)の外周面と接触させることにより、ピストン(32)を、塗布液のシール状態を確保しつつ往復動させることを特徴とする塗布液供給方法。
  4. シリンジポンプ(3)に塗布液を吸入するに当たって、塗布液をシリンダ(31)内にシリンダの法線に角度を持って開口させた開口部から導入する請求項3に記載の塗布液供給方法。
  5. シリンジポンプ(3)に塗布液を吸入し、吐出するに当たって、ピストン(32)をシリンダ(31)内に押し込んだ状態を待機位置とし、ピストン(32)を抜き取り方向に移動させて必要量の塗布液を吸入し、その後、ピストン(32)を押し込んで塗布液を塗布機構(2)に供給する請求項3または請求項4に記載の塗布液供給方法。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007287831A (ja) * 2006-04-14 2007-11-01 Dainippon Screen Mfg Co Ltd シリンジポンプおよび基板処理装置
US7591899B2 (en) 2005-03-31 2009-09-22 Toray Engineering Co., Ltd. Applicator device
KR100939878B1 (ko) * 2006-12-27 2010-01-29 쥬가이로 고교 가부시키가이샤 도포액 공급 장치

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59198220A (ja) * 1983-04-27 1984-11-10 Fuji Paudaru Kk 空気輸送装置における破損防止装置
JPH04231358A (ja) * 1990-07-20 1992-08-20 Herberts Gmbh 線材及び繊維様の材料上の被覆の製造方法及びそれに適した装置
JP2507388B2 (ja) * 1987-02-17 1996-06-12 株式会社東芝 シリンジポンプ装置
JP2000037654A (ja) * 1998-07-22 2000-02-08 Musashi Eng Co Ltd 液体吐出装置
JP2001121062A (ja) * 1999-10-29 2001-05-08 Dainippon Printing Co Ltd 塗工方法及び塗工装置
JP2002035669A (ja) * 2000-07-28 2002-02-05 Honda Motor Co Ltd シーラ塗布装置
JP2002200452A (ja) * 2000-12-28 2002-07-16 Chugai Ro Co Ltd 塗布液供給装置

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS59198220A (ja) * 1983-04-27 1984-11-10 Fuji Paudaru Kk 空気輸送装置における破損防止装置
JP2507388B2 (ja) * 1987-02-17 1996-06-12 株式会社東芝 シリンジポンプ装置
JPH04231358A (ja) * 1990-07-20 1992-08-20 Herberts Gmbh 線材及び繊維様の材料上の被覆の製造方法及びそれに適した装置
JP2000037654A (ja) * 1998-07-22 2000-02-08 Musashi Eng Co Ltd 液体吐出装置
JP2001121062A (ja) * 1999-10-29 2001-05-08 Dainippon Printing Co Ltd 塗工方法及び塗工装置
JP2002035669A (ja) * 2000-07-28 2002-02-05 Honda Motor Co Ltd シーラ塗布装置
JP2002200452A (ja) * 2000-12-28 2002-07-16 Chugai Ro Co Ltd 塗布液供給装置

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7591899B2 (en) 2005-03-31 2009-09-22 Toray Engineering Co., Ltd. Applicator device
JP2007287831A (ja) * 2006-04-14 2007-11-01 Dainippon Screen Mfg Co Ltd シリンジポンプおよび基板処理装置
KR100809219B1 (ko) 2006-04-14 2008-02-29 다이니폰 스크린 세이조우 가부시키가이샤 실린지 펌프, 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법
KR100939878B1 (ko) * 2006-12-27 2010-01-29 쥬가이로 고교 가부시키가이샤 도포액 공급 장치

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