JP2005244232A - リソグラフィ装置用の搬送システム及びデバイス製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】特に、リソグラフィ装置とトラックの間で基板を搬送するように構成された搬送システムが開示され、このトラックは1つ又は複数の処理デバイスを備える。また、搬送システムは、トラック内の処理デバイスの間で基板を搬送することもできる。1つの実施例では、搬送システムが備える搬送装置通路に沿って、1つ又は複数のトラック及びリソグラフィ装置が間隔をあけて配置されている。基板は、基板を保持するように構成された搬送デバイスによって、搬送装置通路に沿って搬送することができる。
【選択図】図3
Description
放射ビームを供給するように構成された照明装置、
パターン形成デバイスを保持するように構成された支持構造であって、そのパターン形成デバイスがビームの断面にパターンを与えるように構成されている支持構造、
基板を保持するように構成された基板テーブル、及び
パターン形成されたビームを基板の目標部分に投影するように構成された投影システム、を備えるリソグラフィ装置と、
1つ又は複数の処理デバイスを備えるトラックと、
トラックとリソグラフィ装置の間で細長い搬送装置通路に沿って、基板を搬送するように構成された搬送システムとを備えるリソセルが提供される。
放射ビームを供給するように構成された照明装置、
パターン形成デバイスを保持するように構成された支持構造であって、そのパターン形成デバイスがビームの断面にパターンを与えるように構成されている支持構造、
基板を保持するように構成された基板テーブル、及び
パターン形成されたビームを基板の目標部分に投影するように構成された投影システムを、備えるリソグラフィ装置と、
1つ又は複数の処理デバイスを備えるトラックと、
トラックとリソグラフィ装置の間で基板を搬送するように構成された、トラック及びリソグラフィ装置の外の搬送システムとを備えるリソセルであって、搬送システムが、第1の端部で軸のまわりを回転可能でありかつ反対の端部に基板を保持するように構成されたロボット・アームを備えるリソセルが、提供される。
・トラックで放射敏感材料を基板に付けるステップと、
・トラックからリソグラフィ装置に、その間で搬送装置を使用して、基板を搬送するステップと、
・パターン形成された放射ビームを基板の目標部分に投影するステップとを備える。
放射の投影ビームPB(例えば、UV放射)を供給するための照明システム(照明装置)ILと、
パターン形成デバイス(例えば、マスク)MAを支持するための、要素PLに対してパターン形成デバイスを正確に位置決めするために第1の位置決めデバイスPMに接続された第1の支持構造(例えば、マスク・テーブル)MTと、
基板(例えば、レジスト被覆ウェーハ)Wを保持するための、要素PLに対して基板を正確に位置決めするために第2の位置決めデバイスPWに接続された基板テーブル(例えば、ウェーハ・テーブル)WTと、
パターン形成デバイスMAによって投影ビームPBに与えられたパターンの像を基板Wの目標部分C(例えば、1つ又は複数のダイを含む)に形成するための投影システム(例えば、屈折投影レンズ)PLとを備える。
Ex、IL 放射システム
IL 照明システム(照明装置)
PL 投影システム
MA パターン形成デバイス(マスク)
MT 第1の支持構造(マスク・テーブル)
C 目標部分(1つ又は複数のダイ)
PB 投影ビーム
W 基板(レジスト被覆ウェーハ)
WT 基板テーブル(ウェーハ・テーブル)
10 リソグラフィ装置
20 トラック
30、32、34 搬送装置(搬送装置通路)
36 搬送デバイス
40 基板
60 自動材料取扱システム(AMHS)
50 ロボット
52 ロボット・アーム
Claims (23)
- 放射ビームを供給するように構成された照明装置、
パターン形成デバイスを保持するように構成された支持構造であって、前記パターン形成デバイスが前記ビームの断面にパターンを与えるように構成されている支持構造、
基板を保持するように構成された基板テーブル、及び
前記パターン形成されたビームを前記基板の目標部分に投影するように構成された投影システム、を備えるリソグラフィ装置と、
1つ又は複数の処理デバイスを備えるトラックと、
前記トラックと前記リソグラフィ装置の間の細長い搬送装置通路に沿って、前記基板を搬送するように構成された搬送システムとを備えるリソセル。 - 前記搬送システムが、それ自体のミニ環境を備える、請求項1に記載のリソセル。
- 前記トラック及び前記リソグラフィ装置が、並列に配置され、そして前記搬送システムが、前記トラックと前記リソグラフィ装置の間に直線搬送装置通路を備える、請求項1に記載のリソセル。
- 前記搬送システムが、前記トラックから前記リソグラフィ装置に前記基板を搬送するように構成された搬送装置通路と、前記リソグラフィ装置から前記トラックに前記基板を搬送するように構成された搬送装置通路との少なくとも2つの搬送装置通路を備える、請求項1に記載のリソセル。
- 前記搬送システムが、前記基板を前記搬送装置通路に沿って搬送するように構成された少なくとも1つの搬送ロボットを備える、請求項1に記載のリソセル。
- 前記搬送システムが、複数のリソグラフィ装置の役に立つ、請求項1に記載のリソセル。
- 前記搬送システムが、複数のトラックを備える、請求項1に記載のリソセル。
- 前記搬送システムが、延長された基板組立ラインを形成する基板処理装置及び基板計測装置のうちの少なくとも1つの役に立つ、請求項1に記載のリソセル。
- 前記搬送システムが、所望の形に形成可能である、請求項1に記載のリソセル。
- 前記搬送システムが、前記トラックの異なる処理デバイスの間で基板を搬送するために構成された1つ又は複数の搬送装置通路を備える、請求項1に記載のリソセル。
- 前記搬送システムが、電気モータ及び空気モータのうちの1つで作動される直線案内の上にシャトルの形のコンベヤを備える、請求項1に記載のリソセル。
- 前記直線案内が、ローラ・ベアリング案内及び気体ベアリング案内のうちの1つである、請求項1に記載のリソセル。
- 前記搬送システムが、その上に搬送される前記基板を支えるように構成されたピン及びワイヤ・ループのうちの少なくとも1つを有するコンベヤ・ベルトを備える、請求項1に記載のリソセル。
- 前記搬送システムからある距離離れた通行を可能にするように構成された、前記搬送システムとは別に設けられた通路を備える、請求項1に記載のリソセル。
- 放射ビームを供給するように構成された照明装置、
パターン形成デバイスを保持するように構成された支持構造であって、前記パターン形成デバイスが前記ビームの断面にパターンを与えるように構成されている支持構造、
基板を保持するように構成された基板テーブル、及び
前記パターン形成されたビームを前記基板の目標部分に投影するように構成された投影システム、を備えるリソグラフィ装置と、
1つ又は複数の処理デバイスを備えるトラックと、
前記トラックと前記リソグラフィ装置の間で前記基板を搬送するように構成された、前記トラック及びリソグラフィ装置の外の搬送システムとを備えるリソセルであって、前記搬送システムが、第1の端部で軸のまわりを回転可能でありかつ反対の端部に基板を保持するように構成されたロボット・アームを備えるリソセル。 - 前記搬送システムが、それ自体のミニ環境を備える、請求項15に記載のリソセル。
- 前記搬送システムが、複数のリソグラフィ装置の役に立つ、請求項15に記載のリソセル。
- 前記搬送システムが、複数のトラックを備える、請求項15に記載のリソセル。
- 少なくとも2つのリソグラフィ装置及び少なくとも2つのトラックが、前記ロボット・アームのまわりに配置されている、請求項15に記載のリソセル。
- 前記搬送システムが、延長された基板組立ラインを形成する基板処理装置及び基板計測装置のうちの少なくとも1つの役に立つ、請求項15に記載のリソセル。
- リソグラフィ装置及びトラックを備えるリソセルを使用するデバイス製造方法であって、
前記トラックで放射敏感材料を基板に付けるステップと、
前記トラックから前記リソグラフィ装置に、その間で搬送装置を使用して、前記基板を搬送するステップと、
パターン形成された放射ビームを前記基板の目標部分に投影するステップとを備える方法。 - 前記搬送装置が、前記トラックと前記リソグラフィ装置の間で細長い搬送装置通路に沿って前記基板を搬送するように構成されている、請求項21に記載のデバイス製造方法。
- 前記トラック及びリソグラフィ装置の外の前記搬送装置が、第1の端部で軸のまわりを回転可能でありかつ反対の端部に基板を保持するように構成されたロボット・アームによって、前記トラックと前記リソグラフィ装置の間で前記基板を搬送するように構成されている、請求項21に記載のデバイス製造方法。
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