JP2005244013A - 光学系及びそれを用いた露光装置、デバイスの製造方法、複数の露光装置の製造方法 - Google Patents
光学系及びそれを用いた露光装置、デバイスの製造方法、複数の露光装置の製造方法 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】 第1光学素子と第2光学素子とを含む光学系であって、前記第1光学素子の線膨張係数がゼロになる温度を第1ゼロ交差温度、前記第2光学素子の線膨張係数がゼロになる温度を第2ゼロ交差温度とするとき、前記第1ゼロ交差温度と前記第2ゼロ交差温度とが互いに異なる温度であり、前記第1ゼロ交差温度と前記第2ゼロ交差温度との差が3度以内であることを特徴としている。
【選択図】 図2
Description
CTE(T)=A(T−Tz)(ppb/K):T・・・温度(℃)
ここで、CTE(T)は線膨張係数CTE(温度Tの関数)を、AはCTE(T)の温度Tに関する傾きを、Tzはミラーを構成する材料の線膨張係数が0になる温度を表している。この数式からも明らかなように、上記のような材料を、線膨張係数がゼロとなるような温度Tzの近傍の温度に制御して用いれば、温度変化に伴うミラーの表面形状の変化を小さくすることが可能となり、その結果そのミラーを含む光学系の光学特性を温度変化に拠らず安定化させることができる。
例えば、Tz=23.0℃で
傾きAが−1.25[ppb/K/K]の材料の場合には、
CTE=−1.25×(T−23.0)[ppb/K]で近似される。その場合には、ミラー温度を23.0℃の近傍に制御することにより、温度変化(熱)による変形を小さくすることができる。
510 照明装置
512 EUV光源
514 照明光学系
520 マスク
530 投影光学系
M1 第1ミラー
M2 第2ミラー
M3 第3ミラー
M4 第4ミラー
Tz 線膨張係数がゼロになる温度
Tc ミラーの制御目標温度
CT E線膨張係数
Claims (21)
- 第1光学素子と第2光学素子とを含む光学系であって、
前記第1光学素子の線膨張係数がゼロになる温度を第1ゼロ交差温度、前記第2光学素子の線膨張係数がゼロになる温度を第2ゼロ交差温度とするとき、前記第1ゼロ交差温度と前記第2ゼロ交差温度とが互いに異なる温度であり、前記第1ゼロ交差温度と前記第2ゼロ交差温度との差が3度以内であることを特徴とする光学系。 - 前記第1ゼロ交差温度と前記第2ゼロ交差温度との差が2度以内であることを特徴とする請求項1記載の光学系。
- 前記第1ゼロ交差温度と前記第2ゼロ交差温度との差が1度以内であることを特徴とする請求項1又は2記載の光学系。
- 前記第1光学素子を第1温度に制御する第1制御手段と、前記第2光学素子を第2温度に制御する第2制御手段とを有しており、前記第1温度と前記第2温度とが互いに異なっており、前記第1温度と前記第2温度との差が3度以内であることを特徴とする光学系。
- 前記第1温度と前記第2温度との差が2度以内であることを特徴とする請求項4記載の光学系。
- 前記第1温度と前記第2温度との差が1度以内であることを特徴とする請求項4又は5記載の光学系。
- 複数の光学素子からなる光学系であって、
前記複数の光学素子の線膨張係数がゼロになる温度のうち最も高い温度を最高ゼロ交差温度、前記複数の光学素子の線膨張係数がゼロになる温度のうち最も低い温度を最低ゼロ交差温度とするとき、前記最高ゼロ交差温度と前記最低ゼロ交差温度とが互いに異なる温度であり、前記最高ゼロ交差温度と前記最低ゼロ交差温度との差が3度以内であることを特徴とする光学系。 - 前記最高ゼロ交差温度と前記最低ゼロ交差温度との差が2度以内であることを特徴とする請求項7記載の光学系。
- 前記最高ゼロ交差温度と前記最低ゼロ交差温度との差が1度以内であることを特徴とする請求項7又は8記載の光学系。
- 前記最低ゼロ交差温度の材料からなる第1光学素子を第1温度に制御する第1制御手段と、前記最低ゼロ交差温度の材料からなる第2光学素子を第2温度に制御する第2制御手段とを有しており、前記第1温度と前記第2温度とが互いに異なっており、前記第1温度と前記第2温度との差が3度以内であることを特徴とする光学系。
- 前記第1温度と前記第2温度との差が2度以内であることを特徴とする請求項10記載の光学系。
- 前記第1温度と前記第2温度との差が1度以内であることを特徴とする請求項10又は11記載の光学系。
- 前記前記複数の光学素子すべてを所定温度にするように温度制御することを特徴とする請求項7乃至12いずれかに記載の光学系。
- 前記所定温度は、前記最高ゼロ交差温度と前記最低ゼロ交差温度との間の温度であることを特徴とする請求項13記載の光学系。
- 請求項1乃至14いずれかに記載の光学系を用いて、光源からの光を用いて被露光体を露光することを特徴とする露光装置。
- 原版からの光を被露光体に導く、請求項1乃至14いずれかに記載の光学系と、前記複数の光学素子を真空雰囲気内に収納する真空チャンバとを備えることを特徴とする露光装置。
- 線膨張係数がゼロとなる温度が存在する材料を用いた複数の反射鏡を含み、前記線膨張係数がゼロとなる温度近傍に前記複数の反射鏡の温度を制御して使用する露光装置において、前記各々の反射鏡の制御目標温度は1台の装置の中ではほぼ一定値とし、複数台の装置の間では異なることを特徴とする露光装置。
- 請求項15乃至17いずれかに記載の露光装置を用いて前記被露光体を露光するステップと、露光された前記被露光体を現像するステップとを有することを特徴とするデバイスの製造方法。
- 複数の露光装置の製造方法であって、
互いに異なる複数のゼロ交差温度において線膨張係数がゼロになる複数の光学素子材料を、前記線膨張係数の温度によって複数のグループに分類する工程、
前記複数のグループのうち第1のグループに属する光学素子材料を用いて、第1の露光装置の光学素子を製造する工程を備えることを特徴とする複数の露光装置の製造方法。 - 前記製造方法が、前記複数のグループのうち、前記第1のグループとは異なる第2のグループに属する光学素子材料を用いて、第2の露光装置の光学素子を製造する工程を備えることを特徴とする請求項19記載の複数の露光装置の製造方法。
- 前記第1のグループに属する光学素子材料のゼロ交差温度の平均値と前記第2のグループに属する光学素子材料のゼロ交差温度の平均値とが互いに異なることを特徴とする請求項20記載の複数の露光装置の製造方法。
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