JP2005243641A - 電子放出素子とその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明の電子放出素子は,凹部を備える基板2と,凹部を満たして位置する電子放出部12と,電子放出部12と電気的に連結されるように基板に提供されるカソード電極6と,絶縁層を隔ててカソード電極6上部に形成されるゲート電極10とを含む。
【選択図】 図1
Description
続いて,図3Cに示したように,金属膜24をストライプ形状にパターニングしてカソード電極6を形成する。そして,SiO2をカソード電極6上の第1基板2全体に蒸着して,1〜3μm程度の厚さで絶縁層8を形成した後,絶縁層8に開口部8aを形成して凹部14を露出させる。
4 第2基板
6,6´ カソード電極
8 絶縁層
8a,10a,24a,26a 開口部
10 ゲート電極
12 電子放出部
14 凹部
16 蛍光層
18 黒色層
20 アノード電極
22 スペーサ
24 金属膜
26 抵抗層
Claims (15)
- 凹部を備える基板と;
前記凹部を満たして位置する電子放出部と;
前記電子放出部と電気的に連結されるように前記基板に提供されるカソード電極と;
絶縁層を隔てて前記カソード電極上部に形成されるゲート電極と;
を含むことを特徴とする,電子放出素子。 - 前記カソード電極が,クロム(Cr),アルミニウム(Al),及びモリブデン(Mo)からなる群より選択されたいずれか一つの金属からなることを特徴とする,請求項1に記載の電子放出素子。
- 前記カソード電極が,前記凹部上部で凹部に対応する開口部を形成することを特徴とする,請求項2に記載の電子放出素子。
- 前記電子放出部の上部表面と前記カソード電極表面の高さの差が1μm以下であることを特徴とする,請求項3に記載の電子放出素子。
- 前記カソード電極が透明導電膜からなることを特徴とする,請求項1〜4のいずれかに記載の電子放出素子。
- 前記カソード電極は前記基板の上部表面及び前記凹部の内壁面に提供されることを特徴とする,請求項5に記載の電子放出素子。
- 前記凹部内側を除いた前記カソード電極の上部表面に位置する抵抗層をさらに含むことを特徴とする,請求項6に記載の電子放出素子。
- 前記凹部内側を除いた前記カソード電極の上部表面に位置する不透明金属層をさらに含むことを特徴とする,請求項6に記載の電子放出素子。
- 前記凹部が2〜3μmの深さを有することを特徴とする,請求項1〜8のいずれかに記載の電子放出素子。
- 前記電子放出部が,カーボンナノチューブ,黒鉛,黒鉛ナノファイバー,ダイアモンド,ダイアモンド状カーボン,C60,及びシリコンナノワイヤーからなる群より選択された少なくとも一つの物質を含むことを特徴とする,請求項1に記載の電子放出素子。
- 基板上に開口部を有するカソード電極を形成する段階と;
前記基板より前記開口部によって露出された部位をエッチングして凹部を形成する段階と;
前記カソード電極上に,前記凹部に対応する各自の開口部を有する絶縁層及びゲート電極を形成する段階と;
前記凹部と前記カソード電極の開口部に電子放出物質を満たして電子放出部を形成する段階と;
を含むことを特徴とする,電子放出素子の製造方法。 - 前記電子放出部を形成する段階が,
電子放出物質と感光性物質が含まれたペースト状混合物をコーティングする段階と;
後面露光を利用して,前記凹部と前記カソード電極の開口部に満たされた混合物を硬化する段階と;
硬化されていない混合物を除去する段階と;
を含むことを特徴とする,請求項11に記載の電子放出素子の製造方法。 - 前記凹部は,フッ酸が含まれているエッチング液を使用してディーピング工程で形成することを特徴とする,請求項11または12のいずれかに記載の電子放出素子の製造方法。
- 基板を部分エッチングして凹部を形成する段階と;
前記凹部の内壁面を含んだ前記基板の表面に透明電極物質をコーティングしてカソード電極を形成する段階と;
前記カソード電極上に,前記凹部に対応する各自の開口部を有する絶縁層及びゲート電極を形成する段階と;
前記凹部の内壁面のカソード電極上に電子放出物質を満たして電子放出部を形成する段階と;
を含むことを特徴とする,電子放出素子の製造方法。 - 前記カソード電極形成後,前記凹部に対応する部位を除いた前記カソード電極の上部表面に,抵抗層と不透明電極層のうちのいずれか一つを形成する段階をさらに含むことを特徴とする,請求項14に記載の電子放出素子の製造方法。
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2009164129A (ja) * | 2008-01-09 | 2009-07-23 | Samsung Sdi Co Ltd | 発光装置及び発光装置を光源として使用する表示装置 |
JP2011510431A (ja) * | 2007-07-26 | 2011-03-31 | シーイービーティー・カンパニー・リミティッド | ナノ構造チップを備えた電子放出源及びこれを用いた電子カラム |
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101009983B1 (ko) * | 2004-02-25 | 2011-01-21 | 삼성에스디아이 주식회사 | 전자 방출 표시 소자 |
KR20060080728A (ko) * | 2005-01-06 | 2006-07-11 | 삼성에스디아이 주식회사 | 탄소나노튜브 합성을 위한 촉매층의 패터닝 방법 및 이를이용한 전계방출소자의 제조방법 |
KR20070070649A (ko) * | 2005-12-29 | 2007-07-04 | 삼성에스디아이 주식회사 | 전자 방출 소자, 이를 구비한 백라이트 유닛, 이를 구비한평판 디스플레이 장치 및 전자 방출 소자의 구동 방법 |
KR20070120318A (ko) * | 2006-06-19 | 2007-12-24 | 삼성에스디아이 주식회사 | 전자 방출 디바이스와 이의 제조 방법 및 이를 이용한 전자방출 표시장치 |
KR100846708B1 (ko) * | 2006-10-16 | 2008-07-16 | 삼성에스디아이 주식회사 | 발광 장치 및 표시 장치 |
KR20080044702A (ko) * | 2006-11-17 | 2008-05-21 | 삼성에스디아이 주식회사 | 전자 방출 디바이스, 그 제조 방법 및 그를 이용한 전자방출 디스플레이 |
KR100863959B1 (ko) * | 2007-05-18 | 2008-10-16 | 삼성에스디아이 주식회사 | 발광 장치 및 이를 구비한 표시 장치 |
KR100926218B1 (ko) * | 2008-01-31 | 2009-11-09 | 경희대학교 산학협력단 | 전자방출 특성이 향상된 필드 에미터의 제조방법 |
CN101339955B (zh) * | 2008-06-16 | 2010-09-22 | 启东市捷捷微电子有限公司 | 门极灵敏触发单向可控硅芯片及其生产方法 |
KR20100084074A (ko) * | 2009-01-15 | 2010-07-23 | 삼성에스디아이 주식회사 | 발광 장치 및 이를 구비한 표시 장치 |
CN101587895B (zh) * | 2009-04-29 | 2011-02-16 | 启东市捷捷微电子有限公司 | 门极灵敏触发单向晶闸管芯片及其制造方法 |
KR20120139383A (ko) * | 2011-06-17 | 2012-12-27 | 삼성전자주식회사 | 전계방출패널 및 그를 구비한 액정 디스플레이와 전계방출 디스플레이 |
KR102180748B1 (ko) | 2019-08-21 | 2020-11-19 | 연세대학교 산학협력단 | 멀티코어 케이블 결함 분류 시스템 및 방법 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09509005A (ja) * | 1994-02-14 | 1997-09-09 | イー・アイ・デユポン・ドウ・ヌムール・アンド・カンパニー | ダイヤモンド繊維電界エミッター |
JPH1031954A (ja) * | 1996-07-12 | 1998-02-03 | Futaba Corp | 電界放出素子およびその製造方法 |
JPH10125215A (ja) * | 1996-10-18 | 1998-05-15 | Nec Corp | 電界放射薄膜冷陰極及びこれを用いた表示装置 |
JP2000123711A (ja) * | 1998-10-12 | 2000-04-28 | Toshiba Corp | 電界放出型冷陰極及びその製造方法 |
JP2003234062A (ja) * | 2002-01-22 | 2003-08-22 | Samsung Sdi Co Ltd | 三極構造を有する炭素ナノチューブを備えた電界放出素子及びその製造方法 |
JP2003331713A (ja) * | 2002-04-22 | 2003-11-21 | Samsung Sdi Co Ltd | 電子放出源組成物,電子放出源組成物を利用して製造された電界放出表示装置,および電界放出表示素子 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3234740B2 (ja) | 1994-06-09 | 2001-12-04 | キヤノン株式会社 | 画像表示装置 |
JP2809129B2 (ja) * | 1995-04-20 | 1998-10-08 | 日本電気株式会社 | 電界放射冷陰極とこれを用いた表示装置 |
AU2313700A (en) | 1999-03-04 | 2000-09-21 | Electrovac, Fabrikation, elektrotechnischer Spezialartikel Gesellschaft m.b.H. | Cathode structure for a field emission display |
KR100812873B1 (ko) * | 2000-07-19 | 2008-03-11 | 마츠시타 덴끼 산교 가부시키가이샤 | 전자방출소자, 그 제조방법 및 그것을 이용한 화상표시장치 |
DE60221951T2 (de) * | 2001-11-23 | 2008-05-15 | Samsung SDI Co., Ltd., Suwon | Zusammensetzung für Paste mit Kohlenstoffnanoröhren, diese Zusammensetzung verwendende Elektronen-emittierende Vorrichtung und deren Herstellungsverfahren |
CN100345239C (zh) * | 2003-03-26 | 2007-10-24 | 清华大学 | 碳纳米管场发射显示装置的制备方法 |
KR101009983B1 (ko) * | 2004-02-25 | 2011-01-21 | 삼성에스디아이 주식회사 | 전자 방출 표시 소자 |
KR20050111705A (ko) * | 2004-05-22 | 2005-11-28 | 삼성에스디아이 주식회사 | 전계방출소자와, 이를 적용한 전계방출 표시소자 |
-
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09509005A (ja) * | 1994-02-14 | 1997-09-09 | イー・アイ・デユポン・ドウ・ヌムール・アンド・カンパニー | ダイヤモンド繊維電界エミッター |
JPH1031954A (ja) * | 1996-07-12 | 1998-02-03 | Futaba Corp | 電界放出素子およびその製造方法 |
JPH10125215A (ja) * | 1996-10-18 | 1998-05-15 | Nec Corp | 電界放射薄膜冷陰極及びこれを用いた表示装置 |
JP2000123711A (ja) * | 1998-10-12 | 2000-04-28 | Toshiba Corp | 電界放出型冷陰極及びその製造方法 |
JP2003234062A (ja) * | 2002-01-22 | 2003-08-22 | Samsung Sdi Co Ltd | 三極構造を有する炭素ナノチューブを備えた電界放出素子及びその製造方法 |
JP2003331713A (ja) * | 2002-04-22 | 2003-11-21 | Samsung Sdi Co Ltd | 電子放出源組成物,電子放出源組成物を利用して製造された電界放出表示装置,および電界放出表示素子 |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2011510431A (ja) * | 2007-07-26 | 2011-03-31 | シーイービーティー・カンパニー・リミティッド | ナノ構造チップを備えた電子放出源及びこれを用いた電子カラム |
KR101542631B1 (ko) * | 2007-07-26 | 2015-08-07 | 전자빔기술센터 주식회사 | 나노-구조 팁을 구비한 전자 방출원 및 이를 이용한 전자 칼럼 |
JP2009164129A (ja) * | 2008-01-09 | 2009-07-23 | Samsung Sdi Co Ltd | 発光装置及び発光装置を光源として使用する表示装置 |
US8164246B2 (en) | 2008-01-09 | 2012-04-24 | Samsung Sdi Co., Ltd. | Light emission device and display device using the same as light source |
Also Published As
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