JP2005238362A - 軟質材加工用切削工具 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 軸線O回りに回転される略円板状をなす基材10の表面11に、台座12を上方に突出させて形成するとともに、この台座12の上面13に、切刃稜線17をを有する切刃凸部15を上方に突出させて形成する。基材10の表面11に、切刃凸部15よりも外周側に位置するようにして、切刃凸部15の切刃稜線17の高さHに対して20〜90%の高さhを有するガイド凸部18を上方に突出させて形成する。
【選択図】 図1
Description
このようなパッドコンディショナーは、その基材の表面を、軸線回りに回転させられているパッドの表面に対して一定の荷重で押し当てることにより、この基材がパッドの回転運動にともなって回転運動を行い、パッドの表面に圧入されている凸部によってパッドの表面を切削して加工・調整していくものである。
したがって、加工・調整後のパッドの表面は、切削工具の不安定動作に起因する凹凸や局所的な加工痕がなく、均一に平坦化された形状となり、ウエハ研磨における研磨均一性を向上させ、スクラッチの発生を抑えることができる。
このような構成とすると、被削材としてのパッドの表面に対して、切刃凸部が接地して圧入したときに、台座の上面における切刃凸部が形成された部分以外の領域が、切刃凸部の圧入によって生じた凹部状の変形領域の周囲を押さえつけて拘束することになるので、切刃凸部の切刃稜線をパッド表面に対して効率的に作用させることができる。
なお、少なくとも切刃凸部の切刃稜線部分だけではなく、ガイド凸部のパッド表面への接地部分(ガイド凸部の上面)も耐摩耗性材料で構成するようにすれば、このガイド凸部の接地部分にも耐摩耗性が与えられるので、切削工具の回転動作を安定させる効果を長期間に亘って良好に得ることができる。
このとき、気相合成ダイヤモンドのコーティング層の層厚は、0.5〜50μmの範囲に設定されていることが好ましく、この層厚が0.5μmより小さくなると、切刃稜線(及びガイド凸部の接地部分)に与えられる耐摩耗性が十分ではなく、寿命が低下してしまうおそれがあり、一方、コーティング層の層厚が50μmより大きくなると、コーティング層と下地との熱膨張係数差によりクラックが生じやすくなって脆くなるおそれがある。
さらに、このとき、気相合成ダイヤモンドのコーティング層は、切刃凸部の切刃稜線部分(及びガイド凸部の接地部分)だけに形成されているのでもよいが、切刃凸部やガイド凸部を含むように基材の表面の全面に亘って形成されていることが好ましく、このような構成とした場合には、たとえ溶出による汚染のおそれがある材料から基材を構成したとしても、この基材の表面の全面がコーティングされていることによって、溶出による汚染を防止することができ、しかも、切刃凸部やガイド凸部の強度をより向上させることが可能となる。
このとき、上記のセラミックスは、切刃凸部の切刃稜線部分(及びガイド凸部の接地部分)だけを構成しているのでもよいが、切刃凸部やガイド凸部を含むように基材における少なくとも表面の全面を構成していることが好ましく、このような場合には、基材の溶出による汚染を防止することができ、しかも、切刃凸部やガイド凸部の強度をより向上させることが可能となる。
図1は本実施形態による軟質材加工用工具の平面図、図2は図1におけるA−A線断面図である。
これら複数の台座12は、それぞれ同一形状の略正四角柱状を呈しており、略正四角形面状をなす上面13の全面が、基材10の表面11と略平行な平坦面とされるとともに、基材10の表面11からの高さH1が例えば0.25mmに設定されている。
なお、これら複数の切刃凸部15も、台座12と同様にそれぞれ同一形状の略正四角柱状を呈しているため、略正四角形面状をなす台座12の上面13は、実際には、その周縁領域のみから構成された略正四角リング面状をなしている。
また、切刃凸部15の略正四角形面状をなす上面16の全面が、基材10の表面11と略平行な平坦面とされるとともに、基材10の表面11からの高さHが例えば0.30mmに設定されており(台座12の上面13からの高さH2が例えば0.05mmに設定されており)、切刃凸部15における上面16(平坦面)と周面(側面)とが交差してできる略正四角形状の交差稜線が、この切刃凸部15の有する切刃稜線17となっている。
これら複数のガイド凸部18は、それぞれ同一形状の略四角柱状を呈しており、基材10の平面視において、幅方向を基材10の径方向に一致させるとともに、長さ方向を基材10の径方向に対して略直交する方向に一致させている。
つまり、ガイド凸部18の上面19(平坦面)の高さhは、切刃凸部15の切刃稜線19の高さH(基材10の表面11からの高さH)に対して20〜90%の範囲となるように設定されているのであり、本実施形態では、ガイド凸部18の上面19の高さhが例えば0.27mm(=切刃凸部15の切刃稜線19の高さHに対して90%)に設定されている。
これにより、切刃凸部15における少なくとも切刃稜線17部分が、ビッカース硬さ13GPa以上の硬さを有する耐摩耗性材料で構成されることとなる。
(1)
4a族、5a族、6a族のうちのいずれかの金属もしくはシリコンの炭化物、窒化物もしくは炭窒化物、
4a族、5a族、6a族のうちのいずれかの金属とシリコンとの炭化物、窒化物もしくは炭窒化物、
シリコン、
のうちのいずれか1種、または、これらの複合体。
(2)
4a族、5a族、6a族のうちのいずれかの金属もしくはシリコンの炭化物、窒化物もしくは炭窒化物のうちの少なくとも1種と、
鉄、ニッケルもしくはコバルトのうちの少なくとも1種との複合体よりなる超硬合金。
(3)
シリコンもしくはアルミニウムの窒化物もしくは酸化物のうちのいずれか1種、
または、これらの複合体。
そして、組み付けられた状態の軟質材加工用工具は、その基材10の表面11を、軸線回りに回転させられている多孔性の樹脂・ゴム・(独立気泡を有する)ポリウレタンラバーなどからなるパッドの表面に対して一定の荷重で押し当てることにより、基材10がパッドの回転運動にともなって軸線O回りの回転運動(回転方向T)を行い、パッド表面に接地して圧入している複数の切刃凸部15に形成された切刃稜線17で、被削材としてのパッド表面を切削する(実際には、切刃稜線17をコーティングしている気相合成ダイヤモンド20が、パッド表面を切削することになる)とともに、切刃稜線17にて生成される切屑が、切刃凸部15同士の間に位置する隙間や台座12同士の間に位置する隙間などを介して排出されていく。
そのため、ガイド凸部18の上面19がパッド表面に接地した状態を維持したまま、基材10は軸線O回りの回転運動を行うので、本実施形態による軟質材加工用切削工具の回転動作の安定を図ることができる。
したがって、本実施形態による軟質材加工用切削工具によって加工・調整された後のパッドの表面は、切削工具の不安定動作に起因した凹凸や局所的な加工痕がなく、均一に平坦化された形状となり、ウエハ研磨における研磨均一性を向上させて、スクラッチの発生を抑えることができる。
逆に、ガイド凸部18の高さhが、切刃凸部15の切刃稜線17の高さHに対して90%より大きくなると、切刃凸部15をパッド表面に十分に圧入させることができなくなって、切刃稜線17に対する適度な荷重集中が損なわれてしまうので、切刃稜線17によるパッド切削能力の低下を生じさせる。
なお、本実施形態による軟質材加工用切削工具の動作安定性を重視した場合、ガイド凸部18の高さhは、切刃凸部15の切刃稜線17の高さHに対して70〜90%の範囲に設定しておくことがより好ましい。
そのため、パッドの表面に対して切刃凸部15が接地して圧入したときには、この切刃凸部15の圧入によってパッド表面に生じた凹部状の変形領域の周囲すべてを、台座12の上面13における周縁領域によって押さえつけて拘束することができるので、切刃凸部15の切刃稜線17をパッド表面に対して効率的に作用させることが可能となっている。
これにより、長期間に亘って、切れ味を劣化させることなく安定したパッドの調整作用を維持していくこと、及び、切削工具の回転動作を安定させる効果を良好に得ることが可能となり、かつ、切刃凸部15及びガイド凸部18の強度をより向上させることができる。
ここで、この層厚tが、0.5μmより小さくなると、切刃稜線17及びガイド凸部18の接地部分に与えられる耐摩耗性が十分ではなくなり、一方、層厚tが、50μmより大きくなると、コーティング層と下地との熱膨張係数差によりクラックが生じやすくなって脆くなるおそれがある。
なお、この層厚tは、5〜30μmの範囲に設定することが好ましい。
しかしながら、本実施形態による軟質材加工用工具では、その基材10の表面11の全面に亘って、気相合成ダイヤモンド20のコーティング層が形成されていることから、たとえ、(2)のような、溶出による汚染のおそれがある材料を用いて基材10を構成したとしても、そのような汚染の心配が生じることがない。
このような場合であっても、上述の実施形態と同様の効果を得ることができる。ここで、基材10を構成する材料であるセラミックスに関しては、台座12及び切刃凸部15やガイド凸部18の形成しやすさ、実用に耐えるための機械的特性、寿命(耐摩耗性)や化学的安定性等の観点から、例えば、SiC、SiNやアルミナなどが挙げられる。
さらに、本実施形態では、ガイド凸部18の上面19の全面が平坦面とされているが、これに限定されることはなく、ガイド凸部18の上面19には平坦面が存在してさえいればよい。加えて、ガイド凸部18の上面19に存在する平坦面が、基材10の表面11と略平行ではなく、基材10の表面11に対して多少の傾斜を有するようなものであってもよい。
したがって、その形状は本実施形態で説明したような正四角柱状に限定されることはなく、例えば台座12及び切刃凸部15に対して多角柱状あるいは円柱状の形状を適用した場合であっても、ガイド凸部18により同様の効果を得ることができる。
〈試験1〉
試験工具として、基材10の表面11に切刃凸部15(1段突起)だけが形成され、表面11の全面が気相合成ダイヤモンド20でコーティングされた軟質材加工用切削工具(従来例)と、基材10の表面11に切刃凸部15(1段突起)とガイド凸部18とが形成され、表面11の全面が気相合成ダイヤモンド20でコーティングされた軟質材加工用切削工具(比較例、実施例)とを用意した。
従来例、比較例及び実施例に共通して、略円板状をなす基材10の直径を4インチとし、一辺0.15mm・高さ0.3mmの略正四角柱状をなす切刃凸部15を放射状に120個配置した。ガイド凸部18は、比較例では幅1mm・長さ5mm・高さ0.04mmとし、実施例では幅1mm・長さ5mm・高さ0.225mmとして30個配置した。
比較例及び実施例において、ガイド凸部18の高さh、及び、ガイド凸部18の高さhと切刃凸部15の高さHとの比h/Hは以下の表1に示すようになる。
この条件で、従来例、比較例及び実施例について、パッド除去レート、ウエハ研磨レート及び研磨均一性を比較した。その結果を表2〜4に示すが、とくに表4に示されるように、本発明の一例である実施例はウエハ研磨における研磨均一性を向上させることができているのが分かる。
試験工具として、基材10の表面11に切刃凸部15及び台座12(2段突起)だけが形成され、表面11の全面が気相合成ダイヤモンド20でコーティングされた軟質材加工用切削工具(従来例)と、基材10の表面11に切刃凸部15及び台座12(2段突起)とガイド凸部18とが形成され、表面11の全面が気相合成ダイヤモンド20でコーティングされた軟質材加工用切削工具(比較例、実施例1〜2)とを用意した。
従来例、比較例及び実施例1〜2に共通して、略円板状をなす基材10の直径を4インチとし、一辺0.8mm・高さ0.25mmの略正四角柱状をなす台座12と一辺0.15mm・高さ0.05mmの略正四角柱状をなす切刃凸部15とからなる2段突起を放射状に120個配置した。ガイド凸部18は、比較例では幅1mm・長さ5mm・高さ0.03mmとし、実施例1では幅1mm・長さ5mm・高さ0.15mmとし、実施例2では幅1mm・長さ5mm・高さ0.25mmとして30個配置した。
比較例及び実施例1〜2において、ガイド凸部18の高さh、及び、ガイド凸部18の高さhと切刃凸部15の高さHとの比h/Hは以下の表5に示すようになる。
この条件で、従来例、比較例及び実施例1〜2について、パッド除去レート、ウエハ研磨レート及び研磨均一性を比較した。その結果を表6〜8に示すが、とくに表8に示されるように、本発明の一例である実施例1〜2はウエハ研磨における研磨均一性を向上させることができているのが分かる。
試験工具として、SiC、SiN及びAl2O3のうちのいずれかから構成された基材10の表面11に切刃凸部15及び台座12(2段突起)だけが形成された軟質材加工用切削工具(従来例1〜3)と、SiC、SiN及びAl2O3のうちのいずれかから構成された基材10の表面11に切刃凸部15及び台座12(2段突起)とガイド凸部18とが形成された軟質材加工用切削工具(比較例1〜3、実施例1〜3)とを用意した。
従来例1〜3、比較例1〜3及び実施例1〜3に共通して、略円板状をなす基材10の直径を4インチとし、一辺0.8mm・高さ0.25mmの略正四角柱状をなす台座12と一辺0.15mm・高さ0.05mmの略正四角柱状をなす切刃凸部15とからなる2段突起を放射状に120個配置した。ガイド凸部18は、比較例1〜3では幅1mm・長さ5mm・高さ0.03mmとし、実施例1〜3では幅1mm・長さ5mm・高さ0.255mmとして30個配置した。
比較例1〜3及び実施例1〜3において、ガイド凸部18の高さh、及び、ガイド凸部18の高さhと切刃凸部15の高さHとの比h/Hは以下の表9に示すようになる。
この条件で、従来例1〜3、比較例1〜3及び実施例1〜3について、パッド除去レート、ウエハ研磨レート及び研磨均一性を比較した。その結果を表10〜12に示すが、とくに表12に示されるように、本発明の一例である実施例1〜3はウエハ研磨における研磨均一性を向上させることができているのが分かる。
11 基材の表面
12 台座
13 台座の上面(平坦面)
14 台座の上面と周面との交差稜線
15 切刃凸部
16 切刃凸部の上面(平坦面)
17 切刃稜線
18 ガイド凸部
19 ガイド凸部の上面(平坦面)
20 気相合成ダイヤモンド
t 気相合成ダイヤモンドの層厚
T 基材の回転方向
O 基材の軸線
Claims (7)
- 軸線回りに回転される略円板状をなす基材の表面に、
切刃稜線を有する切刃凸部が上方に突出して形成され、かつ、この切刃凸部よりも外周側に位置するようにして、前記切刃凸部の切刃稜線の高さに対して20〜90%の高さを有するガイド凸部が上方に突出して形成されていることを特徴とする軟質材加工用切削工具。 - 請求項1に記載の軟質材加工用切削工具において、
前記基材の表面に、
台座が上方に突出して形成されているとともにこの台座の上面に前記切刃凸部が上方に突出して形成されていることを特徴とする軟質材加工用切削工具。 - 請求項1または請求項2に記載の軟質材加工用切削工具において、
少なくとも前記切刃凸部の切刃稜線部分が、耐摩耗性材料で構成されていることを特徴とする軟質材加工用切削工具。 - 請求項3に記載の軟質材加工用切削工具において、
少なくとも前記切刃凸部の切刃稜線部分が、気相合成ダイヤモンドでコーティングされていることを特徴とする軟質材加工用切削工具。 - 請求項4に記載の軟質材加工用切削工具において、
前記基材の表面の全面が、前記気相合成ダイヤモンドでコーティングされていることを特徴とする軟質材加工用切削工具。 - 請求項3に記載の軟質材加工用切削工具において、
少なくとも前記切刃凸部の切刃稜線部分が、セラミックスで構成されていることを特徴とする軟質材加工用切削工具。 - 請求項6に記載の軟質材加工用切削切削工具において、
前記基材の少なくとも表面の全面が、前記セラミックスで構成されていることを特徴とする軟質材加工用切削工具。
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