JP2005238011A - 洗浄ブラシの着脱用治具及び着脱方法 - Google Patents

Abstract

【課題】この発明は洗浄ブラシの取り外しや取り付けを容易に行なうことができるようにするための着脱用治具を提供することにある。
【解決手段】両端部に設けられた支軸部１７によって洗浄装置に支持される洗浄ブラシ８，９を、この洗浄装置に対して着脱するための治具であって、洗浄ブラシの両端部の支軸部に係合する係合部２９が一端面に開放して形成された一対の治具本体２０と、治具本体に形成された取り付け孔２７に着脱可能に挿入保持されて係合部の開放端を閉塞し係合部が支軸部の径方向に外れないよう治具本体を保持する抜け止め部材３１と、一対の治具本体に両端部が連結されこれら治具本体の係合部が支軸部の軸方向に抜出するのを阻止する把持部材２１とを具備し、把持部材を把持して洗浄ブラシを洗浄装置に対して着脱する。
【選択図】 図３

Description

この発明は基板を洗浄する洗浄ブラシをたとえば洗浄装置に対して着脱するための着脱用治具及び着脱方法に関する。

たとえば、液晶表示装置や半導体装置の製造工程においては、基板としての液晶表示装置用のガラス基板や半導体ウエハを高い清浄度で洗浄することが要求される工程がある。

このような基板を洗浄する方式としては、複数枚の基板を同時に洗浄液に浸漬して洗浄するデイップ方式や基板を搬送しながら一枚づつ洗浄する枚葉方式があり、最近では高い清浄度が得られるとともに、コスト的に有利な枚葉方式が採用されている。

枚葉方式の１つとして洗浄ブラシを用いたブラシ式の洗浄装置が知られている。この洗浄装置は装置本体を有し、この装置本体内には基板を所定方向に搬送する搬送機構が設けられている。さらに、装置本体内には搬送機構によって搬送される基板の上面と下面とに接触しながら回転駆動される、上部洗浄ブラシと下部洗浄ブラシとが対向し、かつ基板の搬送方向と交差する方向に沿って配置されている。

上記各洗浄ブラシは両端部に上記装置本体に支持される支軸部が形成されたブラシ軸を有し、このブラシ軸の外周面には多数のブラシ毛が軸方向全長にわたって設けられている。したがって、基板の板面に洗浄液を供給しながら各洗浄ブラシを回転駆動し、一対の洗浄ブラシ間に基板を送り込めば、この基板の上下面に付着した微粒子などの汚れを洗浄除去することができる。

このようなブラシ洗浄装置においては、使用に伴い一対の洗浄ブラシのブラシ毛が損耗するため、定期的に上記洗浄ブラシを交換したり、点検するということが行なわれている。各洗浄ブラシの交換や点検に際しては、上記装置本体に取り付けられた支軸部の取り付け状態を解除してから取り外すということが行なわれている。

ところで、最近では液晶表示装置用のガラス基板が大型化する傾向にある。そのため、大きな基板を洗浄するための洗浄ブラシは長尺化している。長尺な洗浄ブラシを装置本体から取り外すには、二人の作業者が洗浄ブラシの両端部の支軸部を持って作業するようにしている。また、洗浄ブラシを装置本体に取り付ける場合にも、取り外し時と同様、二人の作業者が両端の支軸部を持って作業を行なうようにしている。

仮に、洗浄ブラシの着脱作業を作業者が一人で行なう場合、洗浄ブラシが長尺であると、一方の手で一方の支軸部を持ち、他方の手でブラシ毛の部分を持つことになってしまう。そのため、とくに新規の洗浄ブラシを装置本体に取り付ける場合には、ブラシ毛に手が触れることで、ブラシ毛が汚れたり、折れ曲がったりする虞がある。しかも、長尺な洗浄ブラシは重量も大きくなるから持ち難く、さらに一方の手で一方の支軸部を持ち、他方の手でブラシ部分を持つ持ち方では不安定であるため、作業者に掛かる負担が大きくなるということもある。

この発明は、洗浄ブラシの着脱作業を作業者が一人で容易に、しかもブラシ毛の部分を持つことなく行なえるようにした洗浄ブラシの着脱用治具及び着脱方法を提供することにある。

この発明は、両端部に設けられた支軸部によって洗浄装置に支持される洗浄ブラシを、この洗浄装置に対して着脱するための治具であって、
上記洗浄ブラシの両端部の支軸部に係合する係合部が一端面に開放して形成された一対の治具本体と、
上記治具本体に形成された取り付け孔に着脱可能に挿入保持されて上記係合部の開放端を閉塞し上記係合部が上記支軸部の径方向に外れないよう上記治具本体を保持する抜け止め部材と、
一対の治具本体に両端部が連結されこれら治具本体の係合部が上記支軸部の軸方向に抜出するのを阻止する把持部材とを具備し、
上記把持部材を把持して上記洗浄ブラシを上記洗浄装置に対して着脱することを特徴とする洗浄ブラシの着脱用治具にある。

上記治具本体は、一枚の板材を長さの異なる一対の側辺を有するほぼコ字状に折り曲げて形成されているとともに、一対の側辺の下端部はそれぞれ内方に向かってほぼＬ字状に折り曲げて上下方向に離間対向する折り曲げ辺に形成されていて、長さの長い一方の側辺の下部には上記係合部が形成され、一対の折り曲げ辺には対向する位置に上記取り付け孔がそれぞれ形成されていることが好ましい。

この発明は、両端部に設けられた支軸部によって洗浄装置に支持される洗浄ブラシを、この洗浄装置に対して着脱する着脱方法であって、
上記一対の支軸部に治具本体を着脱可能に取り付ける工程と、
一対の治具本体を把持部材によって連結する工程と、
上記把持部材を把持して上記洗浄ブラシを上記洗浄装置に対して着脱する工程と
を具備したことを特徴とする洗浄ブラシの着脱方法にある。

この発明によれば、洗浄ブラシの両端部の支軸部に設けられた一対の治具本体を把持部材で連結するようにしたため、作業者はこの把持部材を持って洗浄ブラシの着脱作業を一人で行なうことが可能となる。

以下、この発明の一実施の形態を図面を参照して説明する。
図１は液晶表示装置に用いられる基板の洗浄装置を示し、この洗浄装置は装置本体１を有する。この装置本体１はチャンバ２と、このチャンバ２の幅方向両側外方に設けられた左右一対の支柱部３を備えている。各支柱部３はそれぞれベース４上に立設されている。なお、図１には示されていないが、上記一対の支柱部３はチャンバ２の幅方向と交差する前後方向に沿って所定間隔で設けられている。

各支柱部３には上下方向に所定間隔で離間してそれぞれ一対の取り付け部４が設けられている。一対の支柱部３に設けられた各一対の取り付け部４は同じ高さに設定されている。各取り付け部４はチャンバ２の両側壁に形成された開口部５からチャンバ２内に突出している。一方の支柱部３に設けられた一対の取り付け部４は駆動モータ６によって回転駆動されるようになっており、他方の支柱部３の一対の取り付け部４はこの支柱部３に回転可能に設けられている。対向する高さの左右一対の取り付け部３にはそれぞれ上部洗浄ブラシ８と下部洗浄ブラシ９とが着脱可能に取り付けられている。

すなわち、上記取り付け部３は図２に示すように先端部が半円柱状の載置部１１に形成されている。この載置部１１には半円柱状の凹部１２が形成されている。上記載置部１１には半円筒状の止め具１３がねじ１４によって着脱可能に取り付けられるようになっている。

図２乃至図４に示すように、上記各洗浄ブラシ８，９はブラシ軸１６を有する。このブラシ軸１６の両端部は、ブラシ軸１６に比べて小径の支軸部１７に形成されている。上記ブラシ軸１６の外周面には多数のブラシ毛１８が軸方向ほぼ全長にわたって設けられている。そして、図２に示すように各洗浄ブラシ８，９は、その両端部の支軸部１７を取り付け部３の凹部１２に係合載置し、止め具１３によって取り付け部３に固定される。したがって、上記駆動モータ６が作動すれば、上下一対の洗浄ブラシ８，９は回転駆動されるようになっている。なお、上下の洗浄ブラシ８，９は通常、逆方向に回転駆動される。

上下一対の洗浄ブラシ８，９はそれらのブラシ毛１８が接触する間隔で取り付けられている。それによって、上下一対の洗浄ブラシ８，９間に図示しない基板を送り込み、その基板の板面に洗浄液を供給すれば、基板の上下面をブラシ洗浄することができる。

上記上下の洗浄ブラシ８，９を装置本体１から取り外したり、取り付ける場合にはこの発明の着脱用治具が用いられる。この着脱用治具は図３と図４に示すように一対の治具本体２０と、これら治具本体２０を連結するとともに作業者が把持するための把持部材２１を有する。

上記治具本体２０は図５に示す一枚の板材２２を折り曲げて形成される。すなわち、板材２２は一対の第１の折り曲げ線２３に沿ってコ字状に折り曲げられる。それによって、長さの異なる第１の側辺２４と、この第1の側辺よりも短い第２の側辺２５とが形成される。各側辺２４，２５の下端部は第２の折り曲げ線２６によって側辺２４，２５の内方にかつＬ字状に折り曲げることでそれぞれ折り曲げ辺２４ａ，２５ｂが形成される。各折り曲げ辺２４ａ，２５ａには上下方向に対応位置する取り付け孔２７が形成されている。

第１、第２の側辺２４の上部にはそれぞれ挿通孔２８が対応する位置に形成されているとともに、第１の側辺２４の下部には一端がこの第１の側辺２４の端面に開放した係合部２９が形成されている。

なお、左右一対の治具本体２０は対称な形状になっている。すなわち、左右の治具本体２０は側辺２４，２５を折り曲げるとき、板材２２の板面に対して逆方向に折り曲げることで、左右対称な形状に形成される。

一対の治具本体２０は上記洗浄ブラシ８，９の両端部に設けられた支軸部１７に取り付けられる。すなわち、図６に示すように、一対の治具本体２０は第１の側辺２４に形成された係合部２９を上記支軸部１７に係合させる。このとき、第１の側辺２４を洗浄ブラシ８，８の軸方向外方に向ける。係合部２９の末端に支軸部１７の径方向一端を当てれば、支軸部１７の径方向他端は一対の折り曲げ辺２４ａ，２５ａに形成された取り付け孔２７よりも内方に側辺２４，２５の幅方向位置する。また、そのとき、第２の側辺２５は第１の側辺２４よりも短いから、ブラシ毛１８に当たることなく、係合部２９を支軸部１７に係合させることができる。

つぎに、一対の取り付け孔２７に抜け止め部材３１を挿入する。この抜け止め部材３１は線材の端部をＬ字状に折曲して形成されている。それによって、上記係合部２９の開放端が上記抜け止め部材３１によって閉塞されるから、一対の治具本体２０は上記支軸部１７に対して径方向に外れないようになる。

なお、抜け止め部材３１は、図３に示すように下端部に止め輪３２が着脱可能に装着される。それによって、抜け止め部材３１は、下端部が第１の側辺２４の取り付け孔２７に所定寸法入り込んだ状態で下降不能に保持されるから、図６に示すようにＬ字状に折曲された上部が折り曲げ辺２５ａから浮いた状態にあり、この抜け止め部材３１の取り外しを容易に行なうことができる。

一対の治具本体２０を抜け止め部材３１によって支軸部１７に保持したならば、これらの治具本体２０を上記把持部材２１によって連結する。この把持部材２１は、図３と図４に示すように上記洗浄ブラシ８，９とほぼ同じ長さの軸状をなしていて、その両端部には周方向沿う環状溝２１ａ（図３に示す）が形成されている。

上記把持部材２１は両端部が一対の治具本体２０の挿通孔２８に挿入される。そして、各治具本体２０の第１の側辺２４から突出した端部の環状溝２１ａに、外形寸法が上記挿通孔２８よりも大径に形成された、たとえばゴム製などの止め輪３３を装着する。それによって、把持部材２１は一対の治具本体２０に対して軸方向にスライド不能に取り付けられる。つまり、洗浄ブラシ８，９の支軸部１７に取り付けられた各治具本体２０は、この支軸部１７の軸方向に沿って抜出することがないよう保持される。

したがって、装置本体１に設けられた上下一対の洗浄ブラシ８，９のうち、まず、上部洗浄ブラシ８の一対の支軸部１７を取り付け部３に取り付け固定した止め具１３を取り外したならば、各支軸部１７にそれぞれ治具本体２０を抜け止め部材３１によって保持する。つぎに、一対の治具本体２０を把持部材２１によって連結する。

そして、作業者は把持部材２１の長手方向中央部分を両手若しくは片手で把持し、この把持部材２１とともに上部洗浄ブラシ８を持ち上げれば、この上部洗浄ブラシ８を装置本体１の一対の取り付け部３から取り外して所定の位置に運ぶことができる。同様に、下部洗浄ブラシ９も装置本体１から取り外すことができる。

各洗浄ブラシ８，９を装置本体１から取り外して点検した後に組み込んだり、新たな洗浄ブラシを装置本体１に組み込む場合にも、その洗浄ブラシの一対の支軸部１７に治具本体２０を取り付け、これら治具本体２０を把持部材２１によって連結することで、一人の作業者が洗浄ブラシを装置本体１に容易に組み込むことができる。

このように、この発明の着脱用治具を用いれば、作業者は把持部材２１を持つことで、洗浄ブラシ８，９を持ち運ぶことができるため、ブラシ毛１８に手を触れて汚す虞がないばかりか、洗浄ブラシ８，９の長手方向中央部分に対応する把持部材２１の中央部分を持つことで、バランスよく洗浄ブラシ８，９を持ち運ぶことができるから、洗浄ブラシ８，９が比較的重くても、一人の作業者によって交換や点検などの作業を容易に行なうことができる。

この発明の一実施の形態の洗浄装置の概略的構成を示す縦断面図。 洗浄ブラシの支軸部の取り付け構造を示す斜視図。 着脱用治具と洗浄ブラシとを示す斜視図。 着脱用治具と洗浄ブラシとを示す正面図。 治具本体を形成する板材の展開図。 洗浄ブラシの支軸部に取り付けられた治具本体の斜視図。

符号の説明

８…上部洗浄ブラシ、９…下部洗浄ブラシ、１７…支軸部、１８…ブラシ毛、２０…治具本体、２１…把持部材、２７…取り付け孔、２８…挿通孔、２９…係合部、３１…抜け止め部材。

Claims (3)

1. 両端部に設けられた支軸部によって洗浄装置に支持される洗浄ブラシを、この洗浄装置に対して着脱するための治具であって、
   上記洗浄ブラシの両端部の支軸部に係合する係合部が一端面に開放して形成された一対の治具本体と、
   上記治具本体に形成された取り付け孔に着脱可能に挿入保持されて上記係合部の開放端を閉塞し上記係合部が上記支軸部の径方向に外れないよう上記治具本体を保持する抜け止め部材と、
   一対の治具本体に両端部が連結されこれら治具本体の係合部が上記支軸部の軸方向に抜出するのを阻止する把持部材とを具備し、
   上記把持部材を把持して上記洗浄ブラシを上記洗浄装置に対して着脱することを特徴とする洗浄ブラシの着脱用治具。
2. 上記治具本体は、一枚の板材を長さの異なる一対の側辺を有するほぼコ字状に折り曲げて形成されているとともに、一対の側辺の下端部はそれぞれ内方に向かってほぼＬ字状に折り曲げて上下方向に離間対向する折り曲げ辺に形成されていて、長さの長い一方の側辺の下部には上記係合部が形成され、一対の折り曲げ辺には対向する位置に上記取り付け孔がそれぞれ形成されていることを特徴とする請求項１記載の洗浄ブラシの着脱用治具。
3. 両端部に設けられた支軸部によって洗浄装置に支持される洗浄ブラシを、この洗浄装置に対して着脱する着脱方法であって、
   上記一対の支軸部に治具本体を着脱可能に取り付ける工程と、
   一対の治具本体を把持部材によって連結する工程と、
   上記把持部材を把持して上記洗浄ブラシを上記洗浄装置に対して着脱する工程と
   を具備したことを特徴とする洗浄ブラシの着脱方法。

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