JP2005236245A - 半導体装置およびその製造方法、半導体チップおよびその製造方法、並びに電子機器 - Google Patents
半導体装置およびその製造方法、半導体チップおよびその製造方法、並びに電子機器 Download PDFInfo
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Abstract
【課題】 半導体の実装において、半導体チップと外部基板、あるいは半導体チップ同士の接続を良好にできる半導体装置を提供する。
【解決手段】 半導体チップ40に第一端子12aを形成するとともに、その先端に小さな形状の第二端子12bを形成して、第二端子12bと外部端子とを接触するように配置し、両者を導電材料(半田)5を介して電気的に接続する。
【選択図】 図15
【解決手段】 半導体チップ40に第一端子12aを形成するとともに、その先端に小さな形状の第二端子12bを形成して、第二端子12bと外部端子とを接触するように配置し、両者を導電材料(半田)5を介して電気的に接続する。
【選択図】 図15
Description
本発明は、半導体装置およびその製造方法、半導体チップおよびその製造方法、並びに電子機器に関する。
近年、携帯性を有する電子機器の普及により、機器のさらなる小型化・薄型化・軽量化が要求されている。これらの機器の内部に使用される半導体装置をはじめとする電子部品についても同様の要求がなされ、電子部品の小型化・高密度実装化への取り組みがなされている。例えば半導体装置においては、半導体チップと同等な実装面積となるパッケージを実現するCSP(Chip Scale Package)や、半導体チップを積層して高密度実装を実現する三次元実装技術(例えば、特許文献1参照)が案出されている。
また一方で、半導体チップにおいては、回路の高集積化に伴い電極パッド間のピッチの微細化が進んでいる。このように、半導体装置としての小型化を進めるにあたって、微細となった端子間の接続を確実にできる高密度実装技術が不可欠となっている。
特開2002−50738号公報
また一方で、半導体チップにおいては、回路の高集積化に伴い電極パッド間のピッチの微細化が進んでいる。このように、半導体装置としての小型化を進めるにあたって、微細となった端子間の接続を確実にできる高密度実装技術が不可欠となっている。
以上のように、半導体チップの高集積化に伴って電極パッド間のピッチが狭くなり、半導体チップと外部基板あるいは半導体チップ同士との接続が難しくなってきている。さらに、このような半導体チップ同士を順次積層する場合にも同様に、半導体チップと外部基板あるいは半導体チップ同士の接続が困難なことが理解される。
通常に行われる半導体装置の導電材料(半田や導電ペーストなど)による、半導体チップと外部基板、あるいは半導体チップ同士の電気的接続においては、隣接する端子間への導電材料のはみ出しや、そのはみ出しによるによる端子間ショ−ト、また、導電材料の供給過不足から生じる接合強度の低下という問題を抱えている。このことは、半導体装置としての信頼性を低下させる要因にもつながる大きな問題である。さらに、その半導体チップの実装工程においては、上記のような問題を低減するために、加工条件管理が厳しくなるという課題があった。
通常に行われる半導体装置の導電材料(半田や導電ペーストなど)による、半導体チップと外部基板、あるいは半導体チップ同士の電気的接続においては、隣接する端子間への導電材料のはみ出しや、そのはみ出しによるによる端子間ショ−ト、また、導電材料の供給過不足から生じる接合強度の低下という問題を抱えている。このことは、半導体装置としての信頼性を低下させる要因にもつながる大きな問題である。さらに、その半導体チップの実装工程においては、上記のような問題を低減するために、加工条件管理が厳しくなるという課題があった。
本発明は、上記従来技術の問題点に鑑み成されたものであって、半導体チップと外部基板あるいは半導体チップ同士との電気的接続を良好にでき、しかも信頼性を確保できる半導体装置およびその製造方法、半導体チップおよびその製造方法、並びに電子機器を提供することを目的としている。
本発明は、上記目的を達成するために本発明の半導体装置は、半導体チップ本体と端子とが備えられた半導体チップを少なくとも一つ有し、前記半導体チップが他の半導体チップもしくは基板と接続された半導体装置であって、半導体チップには、半導体チップ本体と、複数の第一端子と、前記第一端子の先端に設けられ前記第一端子の断面積より小さい断面積をもつ第二端子と、を備えてなり、前記第一端子および前記第二端子が、他の半導体チップに設けられた端子あるいは基板に設けられた端子に導電材料を介して電気的に接続されていることを特徴としている。
この半導体装置によれば、半導体チップの第一端子先端に前記第一端子の断面積より小さい断面積をもつ第二端子を形成したことにより、半導体チップを実装する際、第一端子と他の半導体チップあるいは基板の端子(外部端子)間のギャップ量を保持できることになる。つまり、第二端子は第一端子よりも小さい断面積をもっているので、半導体チップを搭載した状態では、当該半導体チップの第一端子と他の半導体チップあるいは基板の端子との間で、第二端子の周囲に空間(スペース)ができる。この空間が導電材料(半田や導電ペーストなど)を収容、保持する保持部となる。
なお、第二端子の長さは半導体チップ内で均一にした場合、実装時には、第二端子と外部端子を接触させるだけで複数の第一端子と外部端子間で均一なギャップ量が設定できる。
なお、上記半導体チップの第一端子の断面積というのは、第二端子を直接形成している部分の断面積のことである。
なお、第二端子の長さは半導体チップ内で均一にした場合、実装時には、第二端子と外部端子を接触させるだけで複数の第一端子と外部端子間で均一なギャップ量が設定できる。
なお、上記半導体チップの第一端子の断面積というのは、第二端子を直接形成している部分の断面積のことである。
このように、半導体チップの実装の際、導電材料の供給が過剰であっても保持部で吸収されるため、端子からのはみ出しや、そのはみ出しによる端子間のショートを防止できる。このため、導電材料をこの端子間に充分供給でき、従来における導電材料の供給不足が原因での不具合は解消できる。さらに、特に半田による半導体の接合においては、良好なフィレットを形成することができる。特に、本発明は電極パッド間のピッチが微細化された半導体チップの実装には有効であり、接合強度および信頼性の面からも効果が大きい。
以上のことから、端子間の接合強度が確保でき、信頼性についても良好な半導体装置を提供することができる。また、導電材料の供給に対して余裕ができるため加工条件を厳しく管理しなくても実装が可能となる。
以上のことから、端子間の接合強度が確保でき、信頼性についても良好な半導体装置を提供することができる。また、導電材料の供給に対して余裕ができるため加工条件を厳しく管理しなくても実装が可能となる。
また、前記半導体装置においては、前記第一端子は半導体チップの表面から裏面へ貫通する貫通電極とし、前記第一端子の少なくとも片側先端に前記第二端子を形成してもよい。
このようにすれば、半導体チップの能動面を基板に対して上側・下側のどちら側でも実装が可能となり、設計上の自由度が増す。また、半導体チップを積層してなる三次元実装の形態をとる半導体装置においても実施が可能となる。
このようにすれば、半導体チップの能動面を基板に対して上側・下側のどちら側でも実装が可能となり、設計上の自由度が増す。また、半導体チップを積層してなる三次元実装の形態をとる半導体装置においても実施が可能となる。
また、前記半導体装置においては、前記第二端子は他の前記半導体チップに設けられた前記端子あるいは前記基板に設けられた前記端子の断面積よりも小さくすることが望ましい。
このようにすれば、半導体チップの第一端子先端部に設けられた第二端子の断面積より他の前記半導体チップに設けられた前記端子あるいは前記基板に設けられた前記端子の断面積を小さくすることにより、上記他の半導体チップに設けられた端子あるいは基板に設けられた端子の実装面に空間(スペース)ができる。この空間が導電材料(半田や導電ペーストなど)を収容、保持する保持部となる。
このようにすれば、半導体チップの第一端子先端部に設けられた第二端子の断面積より他の前記半導体チップに設けられた前記端子あるいは前記基板に設けられた前記端子の断面積を小さくすることにより、上記他の半導体チップに設けられた端子あるいは基板に設けられた端子の実装面に空間(スペース)ができる。この空間が導電材料(半田や導電ペーストなど)を収容、保持する保持部となる。
このように、半導体チップの実装の際、導電材料の供給が過剰であっても保持部で吸収されるため、端子からのはみ出しや、そのはみ出しによる端子間のショートを防止できる。このため、導電材料をこの端子間に充分供給でき、従来における導電材料の供給不足が原因での不具合は解消できる。さらに、特に半田による半導体の接合においては、良好なフィレットを形成することができる。特に、本発明は電極パッド間のピッチが微細化された半導体チップの実装には有効であり、せん断強度および接続信頼性の面からも効果が大きい。
以上のことから、端子間の接合強度が確保でき、信頼性についても良好な半導体装置を提供することができる。また、導電材料の供給に対して余裕ができるため加工条件を厳しく管理しなくても実装が可能となる。
以上のことから、端子間の接合強度が確保でき、信頼性についても良好な半導体装置を提供することができる。また、導電材料の供給に対して余裕ができるため加工条件を厳しく管理しなくても実装が可能となる。
また、前記半導体装置においては、基板上に複数の半導体チップを積層することができる。
このようにすれば、半導体チップの三次元実装においても、端子間の接合強度が良好でさらに、信頼性の優れた半導体装置を提供できる。
このようにすれば、半導体チップの三次元実装においても、端子間の接合強度が良好でさらに、信頼性の優れた半導体装置を提供できる。
また、前記半導体装置において、導電材料は半田であることを特徴とする。
このようにすれば、端子間の接合では良好なフィレットを形成することができ、接合強度が強く、信頼性が高い半導体装置を提供できる。なお、ここで言う半田は鉛フリーの半田を含むものである。
このようにすれば、端子間の接合では良好なフィレットを形成することができ、接合強度が強く、信頼性が高い半導体装置を提供できる。なお、ここで言う半田は鉛フリーの半田を含むものである。
また、半導体装置の製造方法としては、半導体チップ本体に第一端子を複数形成するとともに、前記第一端子の先端に前記第一端子の断面積より小さい断面積をもつ第二端子を形成することにより半導体チップを作製し、前記第一端子および前記第二端子と、他の半導体チップに設けられた端子あるいは基板に設けられた端子とを導電材料を介して電気的に接続することを特徴とする。
このようにすれば、半導体チップの実装時には、半導体チップの第二端子と外部端子を接触させるだけで、複数の第一端子と外部端子間で均一なギャップ量が設定でき、半導体チップ実装時における導電材料(半田や導電ペーストなど)の保持部を形成できる。
このように、半導体チップの実装の際、端子からの導電材料のはみ出しや、そのはみ出しによる端子間のショートを防止できる。さらに、特に半田による半導体の接合においては、良好なフィレットを形成することができる。特に、本発明は電極パッド間のピッチが微細化された半導体チップの実装には有効であり、接合強度および信頼性の確保ができる。
以上のことから、この半導体の製造方法によれば、端子間の接合強度が確保でき、信頼性についても良好な半導体装置を提供することができる。また、導電材料の供給に対して余裕ができるため加工条件を厳しく管理しなくても実装が可能となる。
このように、半導体チップの実装の際、端子からの導電材料のはみ出しや、そのはみ出しによる端子間のショートを防止できる。さらに、特に半田による半導体の接合においては、良好なフィレットを形成することができる。特に、本発明は電極パッド間のピッチが微細化された半導体チップの実装には有効であり、接合強度および信頼性の確保ができる。
以上のことから、この半導体の製造方法によれば、端子間の接合強度が確保でき、信頼性についても良好な半導体装置を提供することができる。また、導電材料の供給に対して余裕ができるため加工条件を厳しく管理しなくても実装が可能となる。
また、半導体チップとしては、半導体チップ本体と、前記半導体チップに形成された複数の第一端子と、前記第一端子の先端に設けられ前記第一端子の断面積より小さい断面積をもつ第二端子と、を有してなることを特徴とする。
このようにすれば、半導体チップを実装する際、半導体チップの第二端子と外部端子を接触させるだけで、複数の第一端子と外部端子間で均一なギャップ量が設定できる。
つまり、第二端子は第一端子よりも小さい断面積をもっているので、半導体チップを搭載した状態では、当該半導体チップの第一端子と他の半導体チップあるいは基板の端子との間で、第二端子の周囲に空間(スペース)ができる。この空間が導電材料(半田や導電ペーストなど)を収容、保持される保持部となる。
このように、半導体チップの実装の際、導電材料の供給が過剰であっても保持部で吸収されるため、端子からのはみ出しや、そのはみ出しによる端子間のショートを防止できる。このため、導電材料をこの端子間に充分供給でき、従来における導電材料の供給不足が原因での不具合は解消できる。さらに、特に半田による半導体の接合においては、良好なフィレットを形成することができる。特に、本発明は電極パッド間のピッチが微細化された半導体チップの実装には有効であり、接合強度および信頼性の面からも効果が大きい。
以上のことから、この半導体チップによれば、端子間の接合強度が確保でき、信頼性についても良好な半導体装置を提供することができる。また、導電材料の供給に対して余裕ができるため加工条件を厳しく管理しなくても実装が可能となる。
このようにすれば、半導体チップを実装する際、半導体チップの第二端子と外部端子を接触させるだけで、複数の第一端子と外部端子間で均一なギャップ量が設定できる。
つまり、第二端子は第一端子よりも小さい断面積をもっているので、半導体チップを搭載した状態では、当該半導体チップの第一端子と他の半導体チップあるいは基板の端子との間で、第二端子の周囲に空間(スペース)ができる。この空間が導電材料(半田や導電ペーストなど)を収容、保持される保持部となる。
このように、半導体チップの実装の際、導電材料の供給が過剰であっても保持部で吸収されるため、端子からのはみ出しや、そのはみ出しによる端子間のショートを防止できる。このため、導電材料をこの端子間に充分供給でき、従来における導電材料の供給不足が原因での不具合は解消できる。さらに、特に半田による半導体の接合においては、良好なフィレットを形成することができる。特に、本発明は電極パッド間のピッチが微細化された半導体チップの実装には有効であり、接合強度および信頼性の面からも効果が大きい。
以上のことから、この半導体チップによれば、端子間の接合強度が確保でき、信頼性についても良好な半導体装置を提供することができる。また、導電材料の供給に対して余裕ができるため加工条件を厳しく管理しなくても実装が可能となる。
また、前記半導体チップとしては、前記第一端子は半導体チップの表面から裏面へ貫通する貫通電極であり、前記第一端子の少なくとも片側先端に前記第二端子が形成されたことを特徴とする。
このようにすれば、半導体チップの能動面を基板に対して上側・下側のどちら側でも実装が可能となり、設計上の自由度が増す。また、半導体チップを積層してなる三次元実装の形態をとる半導体装置においても実装が可能となる半導体チップを提供できる。
このようにすれば、半導体チップの能動面を基板に対して上側・下側のどちら側でも実装が可能となり、設計上の自由度が増す。また、半導体チップを積層してなる三次元実装の形態をとる半導体装置においても実装が可能となる半導体チップを提供できる。
また、前記半導体チップとしては、前記第二端子には半田めっきが施されていることを特徴とする。
このようにすれば、半田めっきにより半導体チップの第二端子への半田供給量が調整でき、最適な半田量で半導体チップの実装が可能となる。
このようにすれば、半田めっきにより半導体チップの第二端子への半田供給量が調整でき、最適な半田量で半導体チップの実装が可能となる。
また、半導体チップの製造方法としては、半導体チップ本体に第一端子を複数形成するとともに、前記第一端子の先端に前記第一端子の断面積より小さい断面積をもつ第二端子を形成することを特徴とする。
このように、半導体チップの実装の際、端子からの導電材料のはみ出しや、そのはみ出しによる端子間のショートを防止できる。さらに、特に半田による半導体の接合においては、良好なフィレットを形成することができ、接合強度および信頼性の確保ができる。
以上のことから、この半導体の製造方法によれば、端子間の接合強度が確保でき、信頼性についても良好な半導体装置を提供することができる。また、導電材料の供給に対して余裕ができるため加工条件を厳しく管理しなくても実装が可能となる。
このように、半導体チップの実装の際、端子からの導電材料のはみ出しや、そのはみ出しによる端子間のショートを防止できる。さらに、特に半田による半導体の接合においては、良好なフィレットを形成することができ、接合強度および信頼性の確保ができる。
以上のことから、この半導体の製造方法によれば、端子間の接合強度が確保でき、信頼性についても良好な半導体装置を提供することができる。また、導電材料の供給に対して余裕ができるため加工条件を厳しく管理しなくても実装が可能となる。
また、本発明の電子機器は、前記半導体装置を備えたことを特徴とする。
この電子機器によれば、小型化が図られたものになり、配線接続の信頼性も高い電子機器を提供できる。
この電子機器によれば、小型化が図られたものになり、配線接続の信頼性も高い電子機器を提供できる。
以下、図面を参照しながら本発明の実施形態について説明をする。なお、以下の全ての図において、各層や各部材を図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各層や各部材の縮尺は実際のものと異なるように表している。
(第一の実施形態)
図1は、本発明における第一の実施形態である半導体装置を示す概略断面図である。基板1には半導体チップ10が実装されている。半導体チップ10は半導体チップ本体11と複数形成された端子12からなり、端子12は半導体チップ10を貫通するように形成されている。また、端子12は、第一端子12aと前記第一端子の先端に設けられた第二端子12bから構成されている。端子12の第二端子12bは、半導体チップ10の能動面18側に突出するように形成されている。そして、図示していないが、端子12は半導体チップ10の他の辺にも形成されている。また、端子12は導電材料(例えば銅)で形成されている。なお、第二端子12bの長さは半導体チップ内で均一に作られている。
半導体チップ10は能動面18側を下にして、半導体チップ10の第二端子12bと基板1に形成された端子2を接触させるように実装されている。基板1の端子2と半導体チップ10の第一端子12aの間にはギャップが形成され、この端子間に半田5が供給されている。このギャップには半田5が保持され、第一端子12aおよび第二端子12bが半田5を介して、基板1の端子2と電気的に接続される。また、半田5は表面が凹面となるフィレットを形成している。
図1は、本発明における第一の実施形態である半導体装置を示す概略断面図である。基板1には半導体チップ10が実装されている。半導体チップ10は半導体チップ本体11と複数形成された端子12からなり、端子12は半導体チップ10を貫通するように形成されている。また、端子12は、第一端子12aと前記第一端子の先端に設けられた第二端子12bから構成されている。端子12の第二端子12bは、半導体チップ10の能動面18側に突出するように形成されている。そして、図示していないが、端子12は半導体チップ10の他の辺にも形成されている。また、端子12は導電材料(例えば銅)で形成されている。なお、第二端子12bの長さは半導体チップ内で均一に作られている。
半導体チップ10は能動面18側を下にして、半導体チップ10の第二端子12bと基板1に形成された端子2を接触させるように実装されている。基板1の端子2と半導体チップ10の第一端子12aの間にはギャップが形成され、この端子間に半田5が供給されている。このギャップには半田5が保持され、第一端子12aおよび第二端子12bが半田5を介して、基板1の端子2と電気的に接続される。また、半田5は表面が凹面となるフィレットを形成している。
次に、半導体チップ10の端子12について詳しく説明する。図2は、本来ならこの端子の部分は半導体チップ内に形成しているため取り出すことはできないが、この端子12を説明するために、便宜上、端子12のみを取り出して図示をしている。
端子12は第一端子12aと第二端子12bから構成され、両者は一体に形成されている。さらに、第一端子12aはポスト部13、プラグ部15からなり、それぞれ円柱体を同軸状に積み重ねて形成されている。第二端子12bも同様に円柱体形状をなし、第一端子12aのポスト部13に同軸状に積み重ねたように形成されている。
端子12は第一端子12aと第二端子12bから構成され、両者は一体に形成されている。さらに、第一端子12aはポスト部13、プラグ部15からなり、それぞれ円柱体を同軸状に積み重ねて形成されている。第二端子12bも同様に円柱体形状をなし、第一端子12aのポスト部13に同軸状に積み重ねたように形成されている。
ポスト部13は、半導体チップの実装の際、半田などの導電材料を保持接続する部分である。さらに、プラグ部15は、半導体チップを貫通するために円柱体の軸方向に延伸されている。
そして、第二端子12bのA−A断線に沿う断面の断面積は、第一端子12aにおけるポスト部13のD−D断線に沿う断面の断面積よりも小さく設定されている。
また、第一端子12aにおけるポスト部13のD−D断線に沿う断面の断面積は、プラグ部15のB−B断線に沿う断面の断面積よりも大きく設定されている。
そして、第二端子12bのA−A断線に沿う断面の断面積は、第一端子12aにおけるポスト部13のD−D断線に沿う断面の断面積よりも小さく設定されている。
また、第一端子12aにおけるポスト部13のD−D断線に沿う断面の断面積は、プラグ部15のB−B断線に沿う断面の断面積よりも大きく設定されている。
図3は、上述した図2と同様に便宜上、基板1に形成された端子2と、半導体チップ10に形成された端子12とを取り出して図示をしている。
図3に示す端子12の構成は、上記図2において説明した端子12の構成と同様であるため説明は省略する。基板1には、基板1上に実装される半導体チップ10の端子12の位置に対応して、端子2が形成されている。そして、この基板1に形成された各端子2上に半導体チップ10に形成される端子12が実装され、電気的に接続されている。ここで、第二端子12bのA−A断線に沿う断面の断面積は、基板1上に形成される端子2の断面積のE−E断線に沿う断面の断面積よりも小さく設定されている。
図3に示す端子12の構成は、上記図2において説明した端子12の構成と同様であるため説明は省略する。基板1には、基板1上に実装される半導体チップ10の端子12の位置に対応して、端子2が形成されている。そして、この基板1に形成された各端子2上に半導体チップ10に形成される端子12が実装され、電気的に接続されている。ここで、第二端子12bのA−A断線に沿う断面の断面積は、基板1上に形成される端子2の断面積のE−E断線に沿う断面の断面積よりも小さく設定されている。
なお、本実施形態では端子の形状として、円柱体の形状を同軸状に積み重ねて形成したが、直方体を積み重ねた形状であってもよい。また、円柱体と直方体を組み合わせた形状であってもよい。その他の形状についても適宜変更することは可能である。
さらに、導電材料として、本実施形態では半田を用いたが、樹脂系導電ペーストや錫・銀、錫・金であってもよい。なお、本実施形態でいう半田は、鉛フリー半田も含むものである。
また、本実施形態では半導体チップ10の端子12は、半導体チップ10を貫通した端子としたが、貫通していない端子をもった半導体チップであってもよい。
さらに、導電材料として、本実施形態では半田を用いたが、樹脂系導電ペーストや錫・銀、錫・金であってもよい。なお、本実施形態でいう半田は、鉛フリー半田も含むものである。
また、本実施形態では半導体チップ10の端子12は、半導体チップ10を貫通した端子としたが、貫通していない端子をもった半導体チップであってもよい。
以上のように、半導体チップ10の第一端子12a先端に第一端子12aのポスト部13の断面積より小さい断面積をもつ第二端子12bを形成したことにより、半導体チップを実装する際、第一端子12aと基板1の端子2間のギャップ量を保持できることになる。なお、このギャップ量は第二端子の高さで調整ができる。さらに、半導体チップ実装時における導電材料(半田や導電ペーストなど)の保持部が端子間に形成できる。また、半導体チップ10の第一端子12a先端に設けられた第二端子12bの断面積より他の半導体チップ10に設けられた端子2あるいは基板1に設けられた端子2の断面積を大きくすることにより、上記他の半導体チップ10に設けられた端子2あるいは基板1に設けられた端子2の実装面に空間(スペース)ができる。すなわち、導電材料(半田や導電ペーストなど)を収容、保持する保持部を形成できる。
このような構成により、半導体チップの実装の際、導電材料の供給が過剰であっても保持部で吸収されるため、端子から導電材料のはみ出しや、そのはみ出しによる端子間のショートを防止できる。さらに、導電材料をこの端子間に充分供給でき、従来における導電材料の供給不足が原因である接合不具合は解消できる。そして、特に半田による半導体の接合においては、表面が凹面となる良好なフィレットを形成することができ、接合強度および信頼性の向上を図ることができる。
このような構成により、半導体チップの実装の際、導電材料の供給が過剰であっても保持部で吸収されるため、端子から導電材料のはみ出しや、そのはみ出しによる端子間のショートを防止できる。さらに、導電材料をこの端子間に充分供給でき、従来における導電材料の供給不足が原因である接合不具合は解消できる。そして、特に半田による半導体の接合においては、表面が凹面となる良好なフィレットを形成することができ、接合強度および信頼性の向上を図ることができる。
次に半導体装置の製造方法について図1および図2を用い説明する。
図1において、半導体チップ10は半導体チップ本体11と端子12から構成されている。この端子12は第一端子12aと第二端子12bからなり導電材料(たとえば銅)で一体に形成されており、半導体チップ本体11に形成されている電極パッド(図示せず)に接続されている。なお、端子12の第二端子12bは、半導体チップ10の能動面18側に突出するように形成されている。
また、図2に示すように、第二端子12bのA−A断線に沿う断面の断面積は、第一端子12aにおけるポスト部13のD−D断線に沿う断面の断面積よりも小さく設定されている。なお、図示はしていないが、第二端子12bには半田めっきが施されている。
図1において、半導体チップ10は半導体チップ本体11と端子12から構成されている。この端子12は第一端子12aと第二端子12bからなり導電材料(たとえば銅)で一体に形成されており、半導体チップ本体11に形成されている電極パッド(図示せず)に接続されている。なお、端子12の第二端子12bは、半導体チップ10の能動面18側に突出するように形成されている。
また、図2に示すように、第二端子12bのA−A断線に沿う断面の断面積は、第一端子12aにおけるポスト部13のD−D断線に沿う断面の断面積よりも小さく設定されている。なお、図示はしていないが、第二端子12bには半田めっきが施されている。
以上のような半導体チップ10を用いて基板1に実装がなされる。半導体チップ10の能動面18側を下にして、半導体チップ10の第二端子12bを基板1に形成された端子2に接触させる。その後、加熱をして半田が溶融することにより基板1の端子2と半導体チップ10の端子12との接合がなされる。
なお、この接合の方式としては加熱加圧方式やリフロー方式、加圧機能付リフロー方式で実施ができる。
また、本実施形態では導電材料として半田を使用したが、樹脂系の導電ペーストを使用することも可能である。
なお、この接合の方式としては加熱加圧方式やリフロー方式、加圧機能付リフロー方式で実施ができる。
また、本実施形態では導電材料として半田を使用したが、樹脂系の導電ペーストを使用することも可能である。
次に本実施形態の半導体チップについて説明をする。
図4は半導体チップの要部を示す図である。半導体チップ20はシリコンからなる半導体チップ本体11と導電材料からなる端子12から構成されている。端子12には第一端子12aと、その先端に設けられた第二端子12bからなり、第一端子12aは半導体チップ20の能動面18側(表面)から裏面19へ貫通して形成されている。
図4は半導体チップの要部を示す図である。半導体チップ20はシリコンからなる半導体チップ本体11と導電材料からなる端子12から構成されている。端子12には第一端子12aと、その先端に設けられた第二端子12bからなり、第一端子12aは半導体チップ20の能動面18側(表面)から裏面19へ貫通して形成されている。
半導体チップ20はその能動面18側に集積回路を形成してあり、この能動面18側の表面に絶縁膜62および層間絶縁膜64が設けられている。
この層間絶縁膜64の表面の所定箇所には電極パッド66が形成されている。電極パッド66は半導体チップ20の周辺部に複数配列され、この電極パッド66を覆うようにしてパッシベーション膜68が形成されている。そして、電極パッド66の配列位置にはそれぞれ端子12が設けられている。
端子12は符号Pで示す部分において、下地膜74を介して電極パッド66と電気的に接続されている。また、第一端子12aと第二端子12bの表面には、半田めっきにより形成された半田層90が設けられている。なお、この半田層90は少なくとも第二端子12bの表面にあればよい。
この層間絶縁膜64の表面の所定箇所には電極パッド66が形成されている。電極パッド66は半導体チップ20の周辺部に複数配列され、この電極パッド66を覆うようにしてパッシベーション膜68が形成されている。そして、電極パッド66の配列位置にはそれぞれ端子12が設けられている。
端子12は符号Pで示す部分において、下地膜74を介して電極パッド66と電気的に接続されている。また、第一端子12aと第二端子12bの表面には、半田めっきにより形成された半田層90が設けられている。なお、この半田層90は少なくとも第二端子12bの表面にあればよい。
図2は端子12の部分を取り出して示した図示したものであり、端子12は第一端子12aと第二端子12bから構成され、両者は一体に形成されている。さらに、第一端子12aはポスト部13、プラグ部15からなり、それぞれ円柱体を同軸状に積み重ねて形成されている。第二端子12bも同様に円柱体形状をなし、第一端子12aのポスト部13に同軸状に積み重ねたように形成されている。
そして、第二端子12bのA−A断線に沿う断面の断面積は、第一端子12aにおけるポスト部13のD−D断線に沿う断面の断面積よりも小さく設定されている。また、第一端子12aにおけるポスト部13のD−D断線に沿う断面の断面積は、プラグ部15のB−B断線に沿う断面の断面積よりも大きく設定されている。
そして、第二端子12bのA−A断線に沿う断面の断面積は、第一端子12aにおけるポスト部13のD−D断線に沿う断面の断面積よりも小さく設定されている。また、第一端子12aにおけるポスト部13のD−D断線に沿う断面の断面積は、プラグ部15のB−B断線に沿う断面の断面積よりも大きく設定されている。
以上のように、半導体チップの第一端子12a先端に第二端子12bを形成したことにより、半導体チップを実装する際、接合をする端子間に導電材料(半田や導電ペーストなど)の保持部が形成できる。
このことから、導電材料の供給が過剰であっても保持部で吸収されるため、端子からのはみ出しや、そのはみ出しによる端子間のショートを防止できる。さらに、特に半田による半導体の接合においては、表面が凹面となる良好なフィレットを形成することができ、接合強度および信頼性の向上が図られる。
このことから、導電材料の供給が過剰であっても保持部で吸収されるため、端子からのはみ出しや、そのはみ出しによる端子間のショートを防止できる。さらに、特に半田による半導体の接合においては、表面が凹面となる良好なフィレットを形成することができ、接合強度および信頼性の向上が図られる。
次に半導体チップの製造方法について説明する。
図5(a)に示すように、半導体チップ本体11の表面に絶縁膜62および層間絶縁膜64を形成する。次に、層間絶縁膜64の表面に電極パッド66を形成する。
次に電極パッド66の表面にパッシベーション膜68を全面に形成する。その上からレジストパターンをマスクとして、パッシベーション膜68をエッチングして開口部H1を形成する。
図5(a)に示すように、半導体チップ本体11の表面に絶縁膜62および層間絶縁膜64を形成する。次に、層間絶縁膜64の表面に電極パッド66を形成する。
次に電極パッド66の表面にパッシベーション膜68を全面に形成する。その上からレジストパターンをマスクとして、パッシベーション膜68をエッチングして開口部H1を形成する。
次に、図5(b)に示すように電極パッド66に対して、レジストパターンをマスクとしてエッチングし、開口部H2を形成する。
そして、図5(c)に示すように、半導体チップ本体11の全面に絶縁膜70を形成する。その後、絶縁膜70に開口部H3の形状をパターニングし、ドライエッチングにより半導体チップ本体11に開口部H3を設ける。
そして、図5(c)に示すように、半導体チップ本体11の全面に絶縁膜70を形成する。その後、絶縁膜70に開口部H3の形状をパターニングし、ドライエッチングにより半導体チップ本体11に開口部H3を設ける。
次に、図6(a)に示すように、開口部H3の内面および絶縁膜70の表面に第一の絶縁膜72を形成する。その後、第一の絶縁膜72および絶縁膜70に異方性エッチングを施し、電極パッド66の一部を露出させる。
そして、図6(b)に示すように、露出させた電極パッド66の表面および第一の絶縁膜77の表面に下地膜74を形成する。
そして、図6(b)に示すように、露出させた電極パッド66の表面および第一の絶縁膜77の表面に下地膜74を形成する。
次に、図7(a)に示すように、第一端子12aを形成する。具体的には、レジスト82を半導体チップ本体11に全面塗布して所定の形状にパターニングを行い、その後、電気化学プレーティング法などのめっき処理法により開口部H3に銅などの導電材料を埋め込む。
次に、図7(b)に示すように、第一端子12aの先端に第二端子12bを形成する。
具体的には、レジスト84を半導体チップ本体11に全面塗布して所定の形状にパターニングを行い、その後、電気化学プレーティング法などのめっき処理法により、銅などの導電材料を埋め込む。
次に、図7(b)に示すように、第一端子12aの先端に第二端子12bを形成する。
具体的には、レジスト84を半導体チップ本体11に全面塗布して所定の形状にパターニングを行い、その後、電気化学プレーティング法などのめっき処理法により、銅などの導電材料を埋め込む。
そして、レジスト84を剥離後、半田めっきがなされ、レジスト82を剥離して、図8に示すように第一端子12aおよび第二端子12bの表面に半田層90が形成された端子12が形成される。
なお、本発明の半導体チップにおいては、図9(a)に示すように、半田層90を第一端子12aおよび第二端子12bの表面に設け、レジスト82を剥離せずに残した状態としてもよい。
また、図9(b)に示すように、本発明の半導体チップは、第二端子12bの先端表面に半田層90を形成し、レジスト82を剥離せずに残した半導体チップ10としてもよい。
さらに、図9(c)に示すように、本発明の半導体チップは、レジスト82を剥離し、第二端子12bの先端表面に半田層90を形成した半導体チップ10であってもよい。
また、図9(b)に示すように、本発明の半導体チップは、第二端子12bの先端表面に半田層90を形成し、レジスト82を剥離せずに残した半導体チップ10としてもよい。
さらに、図9(c)に示すように、本発明の半導体チップは、レジスト82を剥離し、第二端子12bの先端表面に半田層90を形成した半導体チップ10であってもよい。
次に、図10に示すように、半導体チップ本体11を上下反転させ、その状態で下側となる能動面18側に補強部材50を接着剤52にて貼り付ける。この補強部材50を貼り付ける目的は、ハンドリングや半導体チップ本体の裏面19を加工する際における、半導体チップ本体11へのクラックを防止するためである。
そして、図11に示すように、半導体チップ本体11の裏面19を全面エッチングして第一の絶縁膜72に覆われた状態の第一端子12aを突出させる。
次に、図12に示すように半導体チップ本体11の裏面19全面に第二の絶縁膜76を形成する。なお、この第二の絶縁膜76は形成しなくでも実施可能である。
そして、図13(a)に示すように、第一端子12aの端面を覆う第二の絶縁膜76、第一の絶縁膜72、下地膜74を選択的に除去する。
最後に、図13(b)に示すように、第一端子12aの側面を覆う下地膜74、第一の絶縁膜72、第二の絶縁膜76をエッチングで除去する。その後、補強部材50を半導体チップ本体11から取り外し、図4に示した半導体チップが完成する。
次に、図12に示すように半導体チップ本体11の裏面19全面に第二の絶縁膜76を形成する。なお、この第二の絶縁膜76は形成しなくでも実施可能である。
そして、図13(a)に示すように、第一端子12aの端面を覆う第二の絶縁膜76、第一の絶縁膜72、下地膜74を選択的に除去する。
最後に、図13(b)に示すように、第一端子12aの側面を覆う下地膜74、第一の絶縁膜72、第二の絶縁膜76をエッチングで除去する。その後、補強部材50を半導体チップ本体11から取り外し、図4に示した半導体チップが完成する。
なお、本実施形態では、半導体チップ本体11の能動面18側に第二端子12bを設けたが、図14(a)に示すように、半導体チップ本体11の裏面19側に第二端子12bを形成して実施することもできる。また、図14(b)に示すように、半導体チップ本体11の能動面18側および裏面19側の両方に第二端子を設けて実施することもできる。
(第二の実施形態)
次に、本発明の第二の実施形態について説明をする。なお、第一の実施形態と同じ機能を有するものについては同じ符号を付けて説明をする。
次に、本発明の第二の実施形態について説明をする。なお、第一の実施形態と同じ機能を有するものについては同じ符号を付けて説明をする。
図15は、本発明における第二の実施形態である半導体装置を示す概略断面図である。
基板1には半導体チップ40が実装され、その上には半導体チップ30、20、10が積層されて実装されている。
半導体チップ40は半導体本体11と複数形成された端子12からなり、また端子12は第一端子12aと前記第一端子の片側先端に設けられた第二端子12bから構成されている。第一端子12aは半導体チップ40の能動面18側(表面)から反対の裏面へ貫通する端子であり、第二端子12bは第一端子12aの先端に設けられるとともに、半導体チップ40の能動面18側に突出するように形成されている。
基板1には半導体チップ40が実装され、その上には半導体チップ30、20、10が積層されて実装されている。
半導体チップ40は半導体本体11と複数形成された端子12からなり、また端子12は第一端子12aと前記第一端子の片側先端に設けられた第二端子12bから構成されている。第一端子12aは半導体チップ40の能動面18側(表面)から反対の裏面へ貫通する端子であり、第二端子12bは第一端子12aの先端に設けられるとともに、半導体チップ40の能動面18側に突出するように形成されている。
端子12は、図示はしていないが、半導体チップの他の辺にも形成されている。また、端子12は導電材料(たとえば銅)で形成されている。なお、第二端子12bの長さは半導体チップ40内で均一に作られている。
半導体チップ40は能動面18側を下にして、半導体チップ40の第二端子12bと基板1に形成された端子2を接触させるように実装されている。基板1の端子2と半導体チップ40の第一端子12aの間にはギャップが形成され、この端子間に半田5が供給されている。このギャップには半田5が保持され、第一端子12aおよび第二端子12bが半田5を介して、基板1の端子2と電気的に接続される。また、半田5は表面が凹面となるフィレットを形成している。
半導体チップ40は能動面18側を下にして、半導体チップ40の第二端子12bと基板1に形成された端子2を接触させるように実装されている。基板1の端子2と半導体チップ40の第一端子12aの間にはギャップが形成され、この端子間に半田5が供給されている。このギャップには半田5が保持され、第一端子12aおよび第二端子12bが半田5を介して、基板1の端子2と電気的に接続される。また、半田5は表面が凹面となるフィレットを形成している。
半導体チップ30、20、10は半導体チップ40と同様の構成をしているため、同符号を付し説明を省略する。
半導体チップ10は積層する半導体チップの最上層に位置するため、端子12は能動面18の反対側には貫通している必要はなく、バンプなどを形成し半導体チップ10を貫通しない端子をもつ半導体チップであってもよい。
これらの半導体チップは、下側に配置される半導体チップの第一端子12aと積層する半導体チップの第二端子12bとが接触し、そこに半田が供給されて電気的な接続がなされている。ここでも、端子間にはギャップが形成され、このギャップに半田5が保持される。例えば半導体チップ40の上に半導体チップ30を実装する場合に、半導体チップ40の裏面から突出した第一端子12a先端と半導体チップ30の第二端子12bが接触することにより、両第一端子間にギャップが形成される。このギャップには半田5が保持され、端子間の接続がなされる。また、半田5は表面が凹面となるフィレットを形成している。
半導体チップ10は積層する半導体チップの最上層に位置するため、端子12は能動面18の反対側には貫通している必要はなく、バンプなどを形成し半導体チップ10を貫通しない端子をもつ半導体チップであってもよい。
これらの半導体チップは、下側に配置される半導体チップの第一端子12aと積層する半導体チップの第二端子12bとが接触し、そこに半田が供給されて電気的な接続がなされている。ここでも、端子間にはギャップが形成され、このギャップに半田5が保持される。例えば半導体チップ40の上に半導体チップ30を実装する場合に、半導体チップ40の裏面から突出した第一端子12a先端と半導体チップ30の第二端子12bが接触することにより、両第一端子間にギャップが形成される。このギャップには半田5が保持され、端子間の接続がなされる。また、半田5は表面が凹面となるフィレットを形成している。
次に、半導体チップ10、20,30,40の端子12について詳しく説明をする。図2は、本来ならこの端子の部分は半導体チップ内に形成しているため取り出すことはできないが、この端子12を説明をするために、便宜上、端子12のみを取り出して図示をしている。
端子12は第一端子12aと第二端子12bから構成され、両者は一体に形成されている。さらに、第一端子12aはポスト部13、プラグ部15からなり、それぞれ円柱体を同軸状に積み重ねて形成されている。第二端子12bも同様に円柱体形状をなし、第一端子12aのポスト部13に同軸状に積み重ねたように形成されている。
端子12は第一端子12aと第二端子12bから構成され、両者は一体に形成されている。さらに、第一端子12aはポスト部13、プラグ部15からなり、それぞれ円柱体を同軸状に積み重ねて形成されている。第二端子12bも同様に円柱体形状をなし、第一端子12aのポスト部13に同軸状に積み重ねたように形成されている。
ポスト部13は、半導体チップの実装の際、半田などの導電材料を保持接続する部分である。さらに、プラグ部15は、半導体チップ内に埋め込まれ、端子12を半導体チップに保持する役目をするとともに、半導体チップの裏面から突出して端子となる部分でもある。
そして、第二端子12bのA−A断線に沿う断面の断面積は、第一端子12aにおけるポスト部13のD−D断線に沿う断面の断面積よりも小さく設定されている。
また、第一端子12aにおけるポスト部13のD−D断線に沿う断面の断面積は、プラグ部15のB−B断線に沿う断面の断面積よりも大きく設定されている。
そして、第二端子12bのA−A断線に沿う断面の断面積は、第一端子12aにおけるポスト部13のD−D断線に沿う断面の断面積よりも小さく設定されている。
また、第一端子12aにおけるポスト部13のD−D断線に沿う断面の断面積は、プラグ部15のB−B断線に沿う断面の断面積よりも大きく設定されている。
なお、本実施形態では端子の形状として、円柱体を同軸状に積み重ねて形成したが、直方体を積み重ねた形状であってもよい。また、円柱体と直方体を組み合わせた形状であってもよい。その他の形状についても適宜変更することは可能である。
さらに、導電材料として、本実施形態では半田を用いたが、樹脂系導電ペーストや錫・銀、錫・金であってもよい。なお、本実施形態で言う半田は、鉛フリー半田も含むものである。
さらに、導電材料として、本実施形態では半田を用いたが、樹脂系導電ペーストや錫・銀、錫・金であってもよい。なお、本実施形態で言う半田は、鉛フリー半田も含むものである。
以上のように、半導体チップ10、20、30、40の第一端子12a先端に第一端子12aのポスト部13の断面積より小さい断面積をもつ第二端子12bを形成したことにより、半導体チップと基板1を実装する際、第一端子12aと基板1の端子2間のギャップ量を保持できることになる。あるいは、半導体チップと半導体チップを実装する際、半導体チップの裏面に突出した端子と、積層をする第一端子12aとの間のギャップ量を保持できることになる。このことから、半導体の実装の際、端子間に導電材料(半田や導電ペーストなど)の保持部が形成できる。
このような構成により、半導体チップの実装の際、導電材料の供給が過剰であっても端子間の保持部で吸収されるため、端子から導電材料のはみ出しや、そのはみ出しによる端子間のショートを防止できる。さらに、導電材料をこの端子間に充分供給でき、従来における導電材料の供給不足が原因での不具合は解消できる。そして、特に半田による半導体の接合においては、表面が凹面となる良好なフィレットを形成することができ、接合強度および信頼性の向上を図ることができる。
このような構成により、半導体チップの実装の際、導電材料の供給が過剰であっても端子間の保持部で吸収されるため、端子から導電材料のはみ出しや、そのはみ出しによる端子間のショートを防止できる。さらに、導電材料をこの端子間に充分供給でき、従来における導電材料の供給不足が原因での不具合は解消できる。そして、特に半田による半導体の接合においては、表面が凹面となる良好なフィレットを形成することができ、接合強度および信頼性の向上を図ることができる。
次に半導体装置の製造方法について説明をする。
図15において、半導体チップ10、20,30,40は半導体チップ本体11と端子12から構成されている。この端子12は第一端子12aと第二端子12bからなり導電材料(たとえば銅)で一体に形成されており、半導体チップ本体11に形成されている電極パッド(図示せず)に接続されている。なお、端子12は半導体チップの能動面18側からその反対の面に貫通するように形成されている。
また、図2に示すように、第二端子12bのA−A断線に沿う断面の断面積は、第一端子12aにおけるポスト部13のD−D断線に沿う断面の断面積よりも小さく設定されている。なお、図示はしていないが、第二端子12bには半田めっきが施されている。また、第二端子12bのA−A断線に沿う断面の断面積は、基板1上に形成される端子2の断面積のE−E断線に沿う断面の断面積よりも小さく設定されている。さらに、第二端子12bのA−A断線に沿う断面の断面積は、第一端子12aのB−B断線に沿う断面の断面積よりも小さく設定されている。
図15において、半導体チップ10、20,30,40は半導体チップ本体11と端子12から構成されている。この端子12は第一端子12aと第二端子12bからなり導電材料(たとえば銅)で一体に形成されており、半導体チップ本体11に形成されている電極パッド(図示せず)に接続されている。なお、端子12は半導体チップの能動面18側からその反対の面に貫通するように形成されている。
また、図2に示すように、第二端子12bのA−A断線に沿う断面の断面積は、第一端子12aにおけるポスト部13のD−D断線に沿う断面の断面積よりも小さく設定されている。なお、図示はしていないが、第二端子12bには半田めっきが施されている。また、第二端子12bのA−A断線に沿う断面の断面積は、基板1上に形成される端子2の断面積のE−E断線に沿う断面の断面積よりも小さく設定されている。さらに、第二端子12bのA−A断線に沿う断面の断面積は、第一端子12aのB−B断線に沿う断面の断面積よりも小さく設定されている。
以上のような半導体チップ40を用いて基板1に実装がなされる。半導体チップ40の能動面18側を下にして、半導体チップ20の第二端子12bを基板1に形成された端子2に接触させる。同様に、半導体チップ30、20、10を順次積層していき、その後、加熱をして半田が溶融することにより基板1の端子2と半導体チップ20の端子12との接合および積層した半導体チップ30,20,10の端子間の接合がなされる。
なお、この接合の方式としては加熱加圧方式やリフロー方式、加圧機能付リフロー方式で実施ができる。また、本実施形態では、半導体チップを積層後、それらを一括して加熱を行い接合をしたが、一段ずつ加熱ををして実装を行ってもよい。
さらに、本実施例では導電材料として半田を使用したが、樹脂系の導電ペーストを使用することも可能である。
また、本実施形態では半導体チップを4層に積層した形態について説明したが、この積層は何層であってもよい。
なお、この接合の方式としては加熱加圧方式やリフロー方式、加圧機能付リフロー方式で実施ができる。また、本実施形態では、半導体チップを積層後、それらを一括して加熱を行い接合をしたが、一段ずつ加熱ををして実装を行ってもよい。
さらに、本実施例では導電材料として半田を使用したが、樹脂系の導電ペーストを使用することも可能である。
また、本実施形態では半導体チップを4層に積層した形態について説明したが、この積層は何層であってもよい。
図16は本発明の一実施形態としての携帯電話を示す斜視図である。電子機器としての携帯電話100は前記半導体装置をその函体内に内臓し、電子機器の小型化・薄型化を図り、信頼性の高い電子機器を製造可能にしている。
なお、電子機器としては前記携帯電話に限られることはなく、様々な電子機器に適用することができる。例えば、ノート型コンピュータ、マルチメディア対応のパーソナルコンピュータおよびエンジニアリング・ワークステーション(EWS)、ページャ、ワードプロセッサ、液晶プロジェクタ、テレビ、ビューファインダ型又はモニタ直視型のビデオテープレコーダ、電子手帳、電子卓上計算機、カーナビゲーション装置、POS端末、タッチパネルを備えた装置等の電子機器に適用することができる。
なお、電子機器としては前記携帯電話に限られることはなく、様々な電子機器に適用することができる。例えば、ノート型コンピュータ、マルチメディア対応のパーソナルコンピュータおよびエンジニアリング・ワークステーション(EWS)、ページャ、ワードプロセッサ、液晶プロジェクタ、テレビ、ビューファインダ型又はモニタ直視型のビデオテープレコーダ、電子手帳、電子卓上計算機、カーナビゲーション装置、POS端末、タッチパネルを備えた装置等の電子機器に適用することができる。
なお、本発明の技術範囲は前記の実施形態に限定されるものではなく、本発明の趣旨を逸脱しない範囲において種々の変更を加えることが可能である。実施形態であげた具体的な材料や層構成などは一例にすぎず、適宜変更が可能である。
1…基板、 2…端子、 5…半田、 10,20,30,40…半導体チップ、 11…半導体チップ本体、 12…端子、 12a…第一端子、 12b…第二端子、 13…ポスト部、 15…プラグ部、 18…能動面、 19…裏面、 66…電極パッド、 90…半田層、 100…携帯電話
Claims (11)
- 半導体チップ本体と端子とが備えられた半導体チップを少なくとも一つ有し、前記半導体チップが他の半導体チップもしくは基板と接続された半導体装置であって、
半導体チップには、半導体チップ本体と、複数の第一端子と、前記第一端子の先端に設けられ前記第一端子の断面積より小さい断面積をもつ第二端子と、が備えられ、前記第一端子および前記第二端子が、他の半導体チップに設けられた端子あるいは基板に設けられた端子に導電材料を介して電気的に接続されていることを特徴とする半導体装置。 - 請求項1記載の半導体装置において、前記第一端子は半導体チップの表面から裏面へ貫通する貫通電極であり、前記第一端子の少なくとも片側先端に前記第二端子が形成されたことを特徴とする半導体装置。
- 請求項1記載の半導体装置において、前記第二端子は他の前記半導体チップに設けられた前記端子あるいは前記基板に設けられた前記端子の断面積よりも小さいことを特徴とする半導体装置。
- 請求項1記載の半導体装置において、基板上に複数の半導体チップが積層されたことを特徴とする半導体装置。
- 請求項1記載の半導体装置において、前記導電材料は半田であることを特徴とする半導体装置。
- 半導体チップ本体に第一端子を複数形成するとともに、前記第一端子の先端に前記第一端子の断面積より小さい断面積をもつ第二端子を形成することにより半導体チップを作製し、
前記第一端子および前記第二端子と、他の半導体チップに設けられた端子あるいは基板に設けられた端子とを導電材料を介して電気的に接続することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 半導体チップ本体と、前記半導体チップに形成された複数の第一端子と、前記第一端子の先端に設けられ前記第一端子の断面積より小さい断面積をもつ第二端子と、を有してなることを特徴とする半導体チップ。
- 請求項7記載の半導体チップにおいて、前記第一端子は半導体チップの表面から裏面へ貫通する貫通電極であり、前記第一端子の少なくとも片側先端に前記第二端子が形成されたことを特徴とする半導体チップ。
- 請求項7記載の半導体チップにおいて、前記第二端子には半田めっきが施されていることを特徴とする半導体チップ。
- 半導体チップ本体に第一端子を複数形成するとともに、前記第一端子の先端に前記第一端子の断面積より小さい断面積をもつ第二端子を形成することを特徴とする半導体チップの製造方法。
- 請求項1ないし5のいずれか一項に記載の半導体装置を備えたことを特徴とする電子機器。
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2009233939A (ja) * | 2008-03-26 | 2009-10-15 | Canon Inc | インクジェット記録ヘッド及びその製造方法、電子デバイス及びその製造方法 |
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KR20200101831A (ko) | 2017-12-27 | 2020-08-28 | 후루카와 덴키 고교 가부시키가이샤 | 방사선 경화형 다이싱용 점착 테이프 |
-
2004
- 2004-06-02 JP JP2004164324A patent/JP2005236245A/ja not_active Withdrawn
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