JP2005228732A - 故障検出装置 - Google Patents

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Abstract

【課題】 SSR装置のオープン/ショート故障を検出することができない。
【解決手段】 ヒータ1及び電源部1A間に配置され、温調制御信号に応じて電源部からヒータに供給する電力量を調整するSSR装置3と、ヒータの温度を監視し、この監視結果に基づいて、ヒータの温度を目標温度に設定すべく、温調制御信号を出力する温度調整装置6とを有する温調システムに接続し、SSR装置の故障を検出する故障検出装置4であって、温調制御信号がオン状態であるか否かを判定する温調制御信号判定部33と、SSR装置及びヒータ間のヒータ電流がオン状態であるか否かを判定するヒータ電流判定部34と、温調制御信号判定部の判定結果及びヒータ電流判定部の判定結果に基づき、SSR装置の故障を判定するSSR故障判定部35とを有している。
【選択図】 図3

Description

本発明は、例えば工業炉ヒータ、半導体洗浄装置、プラスチック成形機等に使用される制御対象のヒータと、前記ヒータに電力を供給する電源部と、これらヒータ及び電源部間に配置され、温調制御信号に応じて前記電源部から前記ヒータに供給する電力量を調整するソリッドステートリレー装置(以下、単にSSR装置と称する)と、前記ヒータの温度を監視し、この監視結果に基づいて、前記ヒータの温度を目標温度に設定すべく、前記温調制御信号を出力する温度調整装置とを有する温調システムに接続し、前記SSR装置又は前記ヒータの故障を検出する故障検出装置に関する。
従来、例えばプラスチック成形機においては、射出シリンダに配置された制御対象のヒータと、前記ヒータに電力を供給する電源部と、これらヒータ及び電源部間に配置され、温調制御信号に応じて前記電源部から前記ヒータに供給する電力量を調整するソリッドステートリレー装置(以下、単にSSR装置と称する)と、前記ヒータの温度を監視し、この監視結果に基づいて、前記ヒータの温度を目標温度に設定すべく、前記温調制御信号を出力する温度調整装置とを有する温調システムが知られている。
このような温調システムによれば、ヒータの断線等の故障を迅速に検出すべく、次に説明する故障検出装置が知られている。
この故障検出装置は、ヒータの温度が目標温度に到達するまでの正常時の温調制御信号の制御量を予め記憶しておき、温度調整装置にてヒータの温度が目標温度に到達するまでの温調制御信号の制御量を計測し、この計測した制御量と記憶中の正常時の制御量とを比較し、この比較結果が所定閾値を超えて計測中の制御量が大きくなると、ヒータを断線と判断するものである(例えば特許文献1参照)。
この特許文献1の故障検出装置によれば、ヒータ電流を計測するヒータ電流計測器を用いなくても、SSR装置へ温調制御信号の制御量を監視するだけで、ヒータの断線を検出することができる。
また、他の故障検出装置としては、ヒータ電流を検出する変流器と、この変流器のヒータ電流に応じた直流電圧を出力する直流電圧出力回路と、この直流電圧をデジタル変換して所定周期でサンプリングして取り込まれる複数回の入力信号の移動平均値を算出する手段と、この算出した移動平均値に基づきヒータ電流の基準値を決定し、このヒータ電流の基準値と今回の電流値とを比較し、今回の電流値が基準値よりも小さい場合にヒータ断線と判断するヒータ断線判定手段とを備えたものが知られている(例えば特許文献2参照)。
特許文献2の故障検出装置によれば、所定周期でサンプリングして取り込まれる複数回の入力信号の移動平均値を算出し、この算出した移動平均値に基づきヒータ電流の基準値を決定し、このヒータ電流の基準値と今回の電流値とを比較し、今回の電流値が基準値よりも小さい場合にヒータ断線と判断するようにしたので、ヒータの経年変化等で特性が変動したとしても基準値を再設定することで、ヒータの断線を確実に検出することができる。
特開2002−343537号公報([0079]及び図14参照) 実公平7−41117号公報([実用新案登録請求の範囲]及び図2参照)
しかしながら、上記特許文献1の故障検出装置によれば、温度調整装置にてヒータの温度が目標温度に到達するまでの温調制御信号の制御量を計測し、この計測した制御量と記憶中の正常時の制御量とを比較し、この比較結果が所定閾値を超えて計測中の制御量が大きくなると、ヒータを断線と判断するようにしたが、温調システム内のSSR装置の故障、例えばオープン故障やショート故障を判断することはできない。
また、特許文献2の故障検出装置によれば、所定周期でサンプリングして取り込まれる複数回の入力信号の移動平均値を算出し、この算出した移動平均値に基づきヒータ電流の基準値を決定し、このヒータ電流の基準値と今回の電流値とを比較し、今回の電流値が基準値よりも小さい場合にヒータ断線と判断して、ヒータの経年変化等で特性が変動したとしても基準値を再設定することで、ヒータの断線を確実に検出できるようにしたが、ヒータ断線前のヒータ断線寿命までは認識することができない。
本発明は上記点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、SSR装置の故障を検出することができる故障検出装置を提供することにある。
また、本発明の目的とするところは、ヒータ断線前のヒータ断線寿命、すなわちレアショートを認識することができる故障検出装置を提供することにある。
上記目的を達成するために本発明の故障検出装置は、制御対象のヒータと、前記ヒータに電力を供給する電源部と、これらヒータ及び電源部間に配置され、温調制御信号に応じて前記電源部から前記ヒータに供給する電力量を調整するSSR装置と、前記ヒータの温度を監視し、この監視結果に基づいて、前記ヒータの温度を目標温度に設定すべく、前記温調制御信号を出力する温度調整装置とを有する温調システムに接続し、前記SSR装置の故障を検出する故障検出装置であって、前記SSR装置及び前記ヒータ間のヒータ電流を検出するヒータ電流検出手段と、前記温調制御信号が第1所定レベル以上の制御量であるか否かを判定する第1判定手段と、前記ヒータ電流検出手段にて検出したヒータ電流が第2所定レベル以上であるか否かを判定する第2判定手段と、前記第1判定手段の判定結果及び第2判定手段の判定結果に基づき、前記SSR装置の故障を判定する故障判定手段とを有するようにした。
本発明の故障検出装置は、前記故障判定手段が、前記第1判定手段にて前記温調制御信号が第1所定レベル以上の制御量であると判定され、かつ前記第2判定手段にて前記ヒータ電流が第2所定レベル以上でないと判定されると、前記SSR装置のSSRオープン故障と判定するようにした。
本発明の故障検出装置は、前記故障判定手段が、前記第1判定手段にて前記温調制御信号が第1所定レベル以上の制御量でないと判定され、かつ前記第2判定手段にて前記ヒータ電流が第2所定レベル以上であると判定されると、前記SSR装置のSSRショート故障と判定するようにした。
本発明の故障検出装置は、前記故障判定手段の判定結果を報知出力する報知手段を有するようにした。
本発明の故障検出装置は、前記ヒータ電流検出手段が、前記SSR装置及び前記ヒータ間のヒータ電流値を所定周期内で所定個数分のA/Dサンプリング値を取得するA/Dサンプリング値取得手段と、前記A/Dサンプリング値取得手段にて取得した所定個数分のA/Dサンプリング値に基づき基本値を算出する基本値算出手段と、この基本値算出手段にて算出した所定周期分の基本値を二乗平均値化することで算出した電流値を、前記第2判定手段で判定するヒータ電流値として換算するヒータ電流値換算手段とを有するようにした。
本発明の故障検出装置は、前記ヒータ電流検出手段が、前記SSR装置及び前記ヒータ間のヒータ電流値を全波整流して所定周期内で所定個数分のA/Dサンプリング値を取得するA/Dサンプリング取得手段と、この所定個数分のA/Dサンプリング値を積算し、この積算したA/Dサンプリング値を二乗平均値化することで算出した電流値を、前記第2判定手段で判定するヒータ電流値として換算するヒータ電流値換算手段とを有するようにした。
本発明の故障検出装置は、上位機器及び他の故障検出装置と無線接続する無線通信手段を有し、この無線通信手段を通じて、前記故障判定手段の判定結果を、前記上位機器又は前記他の故障検出装置との間で送受信するようにした。
また、上記目的を達成するために本発明の故障検出装置は、制御対象のヒータと、前記ヒータに電力を供給する電源部と、これらヒータ及び電源部間に配置され、温調制御信号に応じて前記電源部から前記ヒータに供給する電力量を調整するSSR装置と、前記ヒータの温度を監視し、この監視結果に基づいて、前記ヒータの温度を目標温度に設定すべく、前記温調制御信号を出力する温度調整装置とを有する温調システムに接続し、前記ヒータの故障を検出する故障検出装置であって、前記SSR装置及び前記ヒータ間のヒータ電流を検出するヒータ電流検出手段と、前記ヒータの断線直前の過電流値をレアショート閾値として予め記憶するレアショート閾値記憶手段と、前記ヒータ電流検出手段にて前記ヒータ電流を検出すると、このヒータ電流が前記レアショート閾値記憶手段に記憶中のレアショート閾値を超えたか否かを判定するレアショート閾値判定手段と、前記レアショート閾値判定手段にて前記ヒータ電流が前記レアショート閾値を超えたと判定されると、前記ヒータのレアショートと判断するレアショート判定手段とを有するようにした。
本発明の故障検出装置は、前記温調制御信号が第1所定レベル以上の制御量であるか否かを判定する第1判定手段を有し、前記レアショート判定手段は、前記第1判定手段にて前記温調制御信号が第1所定レベル以上の制御量であると判定され、かつ前記レアショート閾値判定手段にて前記ヒータ電流が前記レアショート閾値を超えたと判定されると、前記ヒータのレアショートと判断する判断動作を実行すると共に、前記レアショート閾値判定手段にて前記ヒータ電流が前記レアショート閾値を超えたと判定され、かつ、前記第1判定手段にて前記温調制御信号が第1所定レベル以上の制御量でないと判定されると、前記ヒータのレアショートと判断する判断動作を禁止するようにした。
本発明の故障検出装置は、前記レアショート閾値記憶手段に記憶中の前記レアショート閾値を、前記温調制御信号の設定電流値に基づき調整し、この調整したレアショート閾値を前記レアショート閾値記憶手段に記憶更新するレアショート閾値調整手段を有するようにした。
本発明の故障検出装置は、前記レアショート判定手段にて前記ヒータのレアショートと判断すると、この判断結果を報知出力する報知手段を有するようにした。
本発明の故障検出装置は、前記ヒータ電流検出手段が、前記SSR装置及び前記ヒータ間のヒータ電流値を所定周期内で所定個数分のA/Dサンプリング値を取得するA/Dサンプリング値取得手段と、前記A/Dサンプリング値取得手段にて取得した所定個数分のA/Dサンプリング値に基づき基本値を算出する基本値算出手段と、この基本値算出手段にて算出した所定周期分の基本値を二乗平均値化することで算出した電流値を、前記レアショート閾値判定手段で判定する前記ヒータ電流値として換算するヒータ電流値換算手段とを有するようにした。
本発明の故障検出装置は、前記ヒータ電流検出手段が、前記SSR装置及び前記ヒータ間のヒータ電流値を全波整流して所定周期内で所定個数分のA/Dサンプリング値を取得するA/Dサンプリング取得手段と、この所定個数分のA/Dサンプリング値を積算し、この積算したA/Dサンプリング値を二乗平均値化することで算出した電流値を、前記レアショート閾値判定手段で判定する前記ヒータ電流値として換算するヒータ電流値換算手段とを有するようにした。
本発明の故障検出装置は、上位機器及び他の故障検出装置と無線接続する無線通信手段を有し、この無線通信手段を通じて、前記レアショート判定手段の判断結果を、前記上位機器又は前記他の故障検出装置との間で送受信するようにした。
上記のように構成された本発明の故障検出装置によれば、前記温調制御信号が第1所定レベル以上の制御量であるか否かを判定する第1判定手段と、前記ヒータ電流が第2所定レベル以上であるか否かを判定する第2判定手段とを有し、前記第1判定手段の判定結果及び前記第2判定手段の判定結果に基づいて、前記SSR装置の故障を判定するようにしたので、SSR装置の故障、例えばオープン故障やショート故障を判定することができる。
本発明の故障検出装置によれば、前記第1判定手段にて前記温調制御信号が第1所定レベル以上の制御量であると判定され、かつ前記第2判定手段にて前記ヒータ電流が第2所定レベル以上でないと判定されると、前記SSR装置のSSRオープン故障と判定するようにしたので、SSR装置のオープン故障を判別することができる。
本発明の故障検出装置によれば、前記第1判定手段にて前記温調制御信号が第1所定レベル以上の制御量でないと判定され、かつ前記第2判定手段にて前記ヒータ電流が第2所定レベル以上であると判定されると、前記SSR装置のSSRショート故障と判定するようにしたので、SSR装置のショート故障を判別することができる。
本発明の故障検出装置によれば、故障判定手段の判定結果を報知手段にて報知出力、例えば表示出力又はスピーカ出力するようにしたので、故障検出装置のユーザは、故障判定手段の判定結果を認識することができる。
本発明の故障検出装置によれば、ヒータ電流検出手段が、前記SSR装置及び前記ヒータ間のヒータ電流値を所定周期内で所定個数分のA/Dサンプリング値を取得し、これら取得した所定個数分のA/Dサンプリング値に基づき基本値を算出し、この算出した所定周期分の基本値を二乗平均値化することで算出した電流値を、前記第2判定手段で判定するヒータ電流値として換算するようにしたので、アナログ的ではなく、デジタル的にヒータ電流値を取得することで、ノイズの影響を受けることなく、ヒータ電流値の電流変化への反応速度を確保することができ、その結果、SSR装置の故障判定精度を上げることができる。
本発明の故障検出装置によれば、前記ヒータ電流検出手段が、前記SSR装置及び前記ヒータ間のヒータ電流値を全波整流して所定周期内で所定個数分のA/Dサンプリング値を取得し、この所定個数分のA/Dサンプリング値を積算し、この積算したA/Dサンプリング値を二乗平均値化することで算出した電流値を、前記第2判定手段で判定するヒータ電流値として換算するようにしたので、アナログ的ではなく、デジタル的にヒータ電流値を取得することで、ノイズの影響を受けることなく、ヒータ電流値の電流変化への反応速度を確保することができ、その結果、SSR装置の故障判定精度を上げることができる。
本発明の故障検出装置によれば、上位機器及び他の故障検出装置と無線接続、例えば赤外線で無線接続する無線通信手段を有し、この無線通信手段を通じて、前記故障判定手段の判定結果を、前記上位機器又は前記他の故障検出装置との間で送受信するようにしたので、上位機器又は他の故障検出装置側では、省配線を図りながら、故障検出装置の判定結果、すなわちSSR装置の故障を認識することができる。その結果、システム全体でSSR装置の故障を認識することができる。
また、上記のように構成された本発明の故障検出装置によれば、前記ヒータの断線寿命が近づくとヒータ内部の絶縁性を下がり、寿命直前にヒータに流れる電流が高くなることに着目し、前記ヒータの断線直前の過電流値をレアショート閾値として予め記憶するレアショート閾値記憶手段を有し、前記ヒータ電流を検出すると、このヒータ電流が記憶中のレアショートを超えたか否かを判定し、前記ヒータ電流が前記レアショート閾値を超えたと判定されると、前記ヒータのレアショートと判断するようにしたので、ヒータ断線前のレアショートを認識することができ、その結果、ヒータ断線時の故障原因の把握が容易になることで保守性を確保することができる。また、ヒータ断線前の前兆、すなわちレアショートを把握することでヒータ断線前にヒータの交換が可能となるため、その予防保全性を確保することができる。
本発明の故障検出装置によれば、前記温調制御信号が第1所定レベル以上の制御量であるか否かを判定する第1判定手段を有し、前記温調制御信号が第1所定レベル以上の制御量であると判定され、かつ前記ヒータ電流が前記レアショート閾値を超えたと判定されると、前記ヒータのレアショートと判断すると共に、前記ヒータ電流が前記レアショート閾値を超えたと判定されたとしても、前記温調制御信号が第1所定レベル以上の制御量でないと判定されると、前記ヒータのレアショートと判断する判断動作を禁止するようにしたので、温調制御信号が第1所定レベル以上の制御量でない状態でのヒータ断線前のレアショート誤検出を確実に防止することができる。
本発明の故障検出装置によれば、前記レアショート閾値記憶手段に記憶中の前記レアショート閾値を、前記温調制御信号の設定電流値に基づき調整し、この調整したレアショート閾値を前記レアショート閾値記憶手段に記憶更新するようにしたので、前記温調制御信号の設定電流値に変更があったとしても、この設定電流値に対応したレアショート閾値を自動的に対応更新することができる。
本発明の故障検出装置によれば、前記ヒータのレアショートと判断すると、この判断結果を報知出力、例えば表示出力又はスピーカ出力する報知手段を有するようにしたので、故障検出装置のユーザは、ヒータ断線直前のレアショートを認識することができる。
本発明の故障検出装置によれば、前記ヒータ電流検出手段が、前記SSR装置及び前記ヒータ間のヒータ電流値を所定周期内で所定個数分のA/Dサンプリング値を取得し、これら取得した所定個数分のA/Dサンプリング値に基づき基本値を算出し、この算出した所定周期分の基本値を二乗平均値化することで算出した電流値を、前記レアショート閾値判定手段で判定する前記ヒータ電流値として換算するようにしたので、アナログ的ではなく、デジタル的にヒータ電流値を取得することで、ノイズの影響を受けることなく、ヒータ電流値の電流変化への反応速度を確保することができ、その結果、ヒータ断線直前のレアショートの判定精度を上げることができる。
本発明の故障検出装置によれば、前記ヒータ電流検出手段が、前記SSR装置及び前記ヒータ間のヒータ電流値を全波整流して所定周期内で所定個数分のA/Dサンプリング値を取得し、この所定個数分のA/Dサンプリング値を積算し、この積算したA/Dサンプリング値を二乗平均値化することで算出した電流値を、前記レアショート閾値判定手段で判定する前記ヒータ電流値として換算するようにしたので、アナログ的ではなく、デジタル的にヒータ電流値を取得することで、ノイズの影響を受けることなく、ヒータ電流値の電流変化への反応速度を確保することができ、その結果、ヒータ断線直前のレアショートの判定精度を上げることができる。
本発明の故障検出装置によれば、上位機器及び他の故障検出装置と無線接続、例えば赤外線で無線接続する無線通信手段を有し、この無線通信手段を通じて、前記レアショート判定手段の判断結果を、前記上位機器又は前記他の故障検出装置との間で送受信するようにしたので、上位機器又は他の故障検出装置側では、省配線を図りながら、故障検出装置の判断結果、すなわちヒータ断線前のレアショートを認識することができる。その結果、システム全体のヒータに関わる保守性及び予防保全性を確保することができる。
以下、図面に基づいて本発明の故障検出装置に関わる実施の形態を示す温調システムについて説明する。
(実施の形態1)
図1は第1の実施の形態を示す温調システム内部の概略構成を示すブロック図である。
図1に示す温調システム10は、例えば射出成形機内のシリンダに配置された制御対象のヒータ1と、ヒータ1に電力を供給する三相交流電源部(以下、単に電源部と称する)1Aと、これらヒータ1及び電源部1A間に配置され、温調制御信号に応じて電源部1Aからヒータ1に供給する電力量を調整するSSR装置3と、図示せぬ温度センサでヒータ1の温度を監視し、この監視結果に基づいて、ヒータ1の温度を目標温度に設定すべく、温調制御信号を出力する温度調整装置6と、SSR装置3及びヒータ1間のヒータ電流を検出するヒータ電流検出器5(5A,5B)と、温度調整装置6及びSSR装置3間の温調制御信号のオン・オフ状態及びヒータ電流検出器5にて検出したヒータ電流のオン・オフ状態に基づき、SSR装置3の故障を判定する故障検出装置4とを有している。
図2は第1の実施の形態に関わる故障検出装置4内部の概略構成を示すブロック図である。
図2に示す故障検出装置4は、SSR装置3及び温度調整装置6間を伝送する温調制御信号を監視する温調制御信号監視回路Aと、ヒータ電流検出器5からのヒータ電流を検出するヒータ電流検出回路Bと、故障検出装置4への電力を供給する電源回路Cと、同故障検出装置4自体をオン・オフするスイッチ入力回路17と、様々な情報を記憶するメモリ回路12と、様々な情報を報知出力する報知制御回路Dと、この故障検出装置4全体を制御するCPU11と、上位パソコン(以下、単に上位PC)100との通信インタフェースを司る通信インタフェースEと、リセットや電源断を検出するリセット・電源断検出回路18とを有している。
温調制御信号監視回路Aは、温調制御信号のオン・オフ状態を判別するために必要な、SSR装置3及び温度調整装置6間の電圧値を監視し、この電圧値をフォトカプラ14経由でCPU11に通知するものである。尚、温調制御信号監視回路A及びCPU11間は絶縁され、フォトカプラ14による赤外線で通信接続されているものとする。また、電圧値は0v及び5vの2種類である。
ヒータ電流検出回路Bは、ヒータ電流検出器5にて検出したヒータ電流をデジタル変換してCPU11に通知するものであって、ヒータ電流検出器5内の検出部(CT1)5Aにて検出したヒータ電流をデジタル変換するA/D変換回路16Aと、このA/D変換回路16Aの前段に配置し、このA/D変換回路16Aを保護すべく、ヒータ電流の過入力を防止する過入力保護回路15Aと、ヒータ電流検出器5内の検出部(CT2)5Bにて検出したヒータ電流をデジタル変換するA/D変換回路16Bと、このA/D変換回路16Bを保護する過入力保護回路15Bとを有している。
電源回路Cは、故障検出装置4本体に電力を供給するための回路であって、商用電源から過入力保護回路24を経て得た電源電圧を全波整流する全波整流回路26と、この全波整流した電源電圧を一次コイル側に供給してスイッチングすることで、二次コイル側に電源電圧を発生するスイッチング電源回路27と、この二次側コイルに発生した電源電圧を各回路に応じた電源電圧に変換する定電圧回路28A,28B、28Cと、商用電源からの電源電圧のレベルを監視する電圧レベル検出回路25とを有している。
報知制御回路Dは、後述するCPU11からの故障報知信号に応じてLED23を駆動制御する表示LEDドライブ回路22と、故障報知信号に応じて警報出力するフォトカプラ20及び出力リレー21を駆動制御するドライブ回路19とを有している。
通信インタフェースEは、上位PC100及びCPU11間の通信インタフェースを司る部位であって、フォトカプラ30Aを駆動制御するドライバ30と、ドライバ30を保護する過入力保護回路29とを有し、フォトカプラ30Aを通じて上位PC100及びCPU11間の通信動作を実行するものである。
図3は第1の実施の形態に関わる故障検出装置4内のCPU11内部の概略構成を示すブロック図である。
CPU11は、温調制御信号監視回路Aを通じてSSR装置3及び温度調整装置6間の温調制御信号の電圧値を検出する温調制御信号検出部31と、ヒータ電流検出回路Bを通じてヒータ電流値を計測するヒータ電流計測部32と、温調制御信号検出部31にて検出した電圧値に基づき温調制御信号のオン状態又はオフ状態を判定する温調制御信号判定部33と、ヒータ電流計測部32にて計測したヒータ電流値に基づき、ヒータ電流がオン状態又はオフ状態を判定するヒータ電流判定部34と、温調制御信号判定部33の判定結果及びヒータ電流判定部34の判定結果に基づきSSR装置3の故障内容を判定するSSR故障判定部35と、このSSR故障判定部35の判定結果に基づき故障報知信号を出力する出力処理部36とを有している。
温調制御信号判定部33は、温調制御信号の制御量、例えば電圧値が100m秒間継続して5vであると判定されると、同温調制御信号がオン状態であると判断すると共に、電圧値が100m秒間継続して5vでないと判定されると、同温調制御信号がオフ状態であると判断するものである。
ヒータ電流判定部34は、ヒータ電流の計測最小電流値の45%以上であると判定されると、ヒータ電流がオン状態であると判断すると共に、ヒータ電流の計測最小電流値の45%以上でないと判定されると、ヒータ電流がオフ状態であると判断するものである。
SSR故障判定部35は、温調制御信号判定部33にて温調制御信号がオン状態であると判定され、かつヒータ電流判定部34にてヒータ電流がオン状態であると判定されると、SSR装置3が正常であると判断するものである。
SSR故障判定部35は、温調制御信号判定部33にて温調制御信号がオン状態であると判定され、かつヒータ電流判定部34にてヒータ電流がオフ状態であると判定されると、SSR装置3がオープン故障であると判断するものである。
また、SSR故障判定部35は、温調制御信号判定部33にて温調制御信号がオフ状態であると判定され、かつヒータ電流判定部34にてヒータ電流がオン状態であると判定されると、SSR装置3がショート故障であると判断するものである。
出力処理部36は、SSR故障判定部35にてSSR装置3のオープン故障と判定されると、このオープン故障に対応した故障報知信号をドライブ回路19に出力すると共に、SSR故障判定部35にてSSR装置3のショート故障と判定されると、このショート故障に対応した故障報知信号をドライブ回路19に出力するものである。
尚、請求項に記載の電源部は電源部1A、ヒータ電流検出手段はヒータ電流検出回路B及びヒータ電流計測部32、第1判定手段は温調制御信号判定部33、第2判定手段はヒータ電流判定部34、故障判定手段はSSR故障判定部35、第1所定レベル以上の制御量は5v以上の電圧値、第2所定レベルは計測最小電流値の45%、報知手段は出力処理部36及び報知制御回路Dに相当するものである。
次に第1の実施の形態を示す温調システム10内の故障検出装置4の動作について説明する。
故障検出装置4内の温調制御信号監視回路Aは、SSR装置3及び温度調整装置6間を伝送する温調制御信号の電圧値を監視し、この電圧値をフォトカプラ14経由でCPU11に通知する。
CPU11内の温調制御信号検出部31は、フォトカプラ14経由で温調制御信号の電圧値を検出すると、この電圧値を温調制御信号判定部33に伝送する。
温調制御信号判定部33は、温調制御信号の電圧値が100m秒間継続して5v以上であるか否かを判定し、同電圧値が100m秒間継続して5v以上であると判定されると、この温調制御信号がオン状態であると判断し、この判断結果をSSR故障判定部35に伝送する。また、温調制御信号の電圧値が100m秒間継続して5v以上でないと判定されると、この温調制御信号がオフ状態であると判断し、この判断結果をSSR故障判定部35に伝送する。
また、故障検出装置4内のヒータ電流検出回路Bは、ヒータ電流検出器5にて検出したヒータ電流をデジタル変換し、このデジタル変換したヒータ電流をCPU11に伝送する。
CPU11のヒータ電流計測部32は、ヒータ電流検出回路Bからのヒータ電流に基づきヒータ電流値を計測し、このヒータ電流値をヒータ電流判定部34に伝送する。
ヒータ電流判定部34は、ヒータ電流値が計測最小電流値の45%以上であるか否かを判定し、同ヒータ電流値が計測最小電流値の45%以上であると判定されると、同ヒータ電流がオン状態であると判断し、この判断結果をSSR故障判定部35に伝送する。また、ヒータ電流値が計測最小電流値の45%以上でないと判定されると、同ヒータ電流がオフ状態であると判断し、この判断結果をSSR故障判定部35に伝送する。
SSR故障判定部35は、温調制御信号判定部33にて温調制御信号がオン状態であると判定され、かつヒータ電流判定部34にてヒータ電流がオフ状態であると判定されると、SSR装置3がオープン故障であると判断し、この判断結果を出力処理部36に通知する。
出力処理部36は、SSR装置3のオープン故障に対応した故障報知信号をドライブ回路19及び表示LEDドライブ回路22に通知する。ドライブ回路19は、同故障報知信号を検出すると、SSR装置3のオープン故障を警報出力すべく、フォトカプラ20や出力リレー21を駆動制御することになる。また、表示LEDドライブ回路22は、同故障報知信号を検出すると、SSR装置3のオープン故障を報知すべくLED23を駆動制御することになる。
また、SSR故障判定部35は、温調制御信号判定部33にて温調制御信号がオフ状態であると判定され、かつヒータ電流判定部34にてヒータ電流がオン状態であると判定されると、SSR装置3がショート故障であると判断し、この判断結果を出力処理部36に通知する。
出力処理部36は、SSR装置3のショート故障に対応した故障報知信号をドライブ回路19及び表示LEDドライブ回路22に通知する。ドライブ回路19は、同故障報知信号を検出すると、SSR装置3のショート故障を警報出力すべく、フォトカプラ20や出力リレー21を駆動制御することになる。また、表示LEDドライブ回路22は、同故障報知信号を検出すると、SSR装置3のショート故障を報知すべくLED23を駆動制御することになる。
また、出力処理部36では、SSR装置3のオープン故障やショート故障の判断結果を検出すると、通信インタフェースEを通じて上位PC100に同判断結果を通知することになる。
第1の実施の形態によれば、温調制御信号のオン状態又はオフ状態を判定する温調制御信号判定部33と、ヒータ電流のオン状態又はオフ状態を判定するヒータ電流判定部34とを有し、温調制御信号判定部33にて温調制御信号がオン状態であると判定され、かつヒータ電流判定部34にてヒータ電流がオフ状態であると判定されると、SSR装置3のオープン故障と判断するようにしたので、SSR装置3のオープン故障を認識することができる。
第1の実施の形態によれば、温調制御信号判定部33にて温調制御信号がオフ状態であると判定され、かつヒータ電流判定部34にてヒータ電流がオン状態であると判定されると、SSR装置3のショート故障と判断するようにしたので、SSR装置のショート故障を認識することができる。
また、第1の実施の形態によれば、SSR装置3の故障判断結果に応じた故障報知信号をドライブ回路19に出力し、このドライブ回路19でフォトカプラ20や出力リレー21を駆動制御することで同故障判断結果を報知出力するようにしたので、故障検出装置4のユーザは、SSR装置3の故障内容を認識することができる。
尚、上記第1の実施の形態においては、温調制御信号監視回路Aにて温調制御信号の電圧値(制御量)を監視し、温調制御信号判定部33にて同電圧値が100m秒間継続して5v以上であると判定されると、温調制御信号がオン状態であると判断し、同電圧値が100m秒間継続して5v以上でないと判定されると、温調制御信号がオフ状態であると判断するようにしたが、例えば温調制御信号を4mA〜20mAの範囲でリニアに変化する電流値に設定し、この温調制御信号の電流値を制御量として監視し、温調制御信号判定部33にて同電流値が4mA以上であると判定されると、温調制御信号がオン状態であると判断し、同電流値が4mA以上でないと判定されると、温調制御信号がオフ状態であると判断するようにしても同様の効果が得られることは言うまでもない。
また、同様に温調制御信号の電流値を制御量として監視し、温調制御信号判定部33にて同電流値が計測最小電流値の45%以上であるか否かを判定し、同電流値が計測最小電流値の45%以上であると判定されると、温調制御信号がオン状態であると判断し、同電流値が計測最小電流値の45%以上でないと判定されると、温調制御信号がオフ状態であると判断するようにしても同様の効果が得られる。
また、上記第1の実施の形態においては、ヒータ電流計測部32ではヒータ電流検出回路Bからのヒータ電流値を計測するようにしたが、このヒータ電流計測部32を図4又は図5示すソフトウェアで構成するようにしても良い。
図4はヒータ電流計測部32内部の概略構成を示すブロック図である。
図4に示すヒータ電流計測部32は、ヒータ電流検出回路Bからのヒータ電流を1周期360°として15°毎にA/Dサンプリング値を取得し、1周期24個分のA/Dサンプリング値をRAM領域41に保持するA/Dサンプリング値取得部42と、A/Dサンプリング値取得部42にて取得したRAM領域41に保持中の24個分のA/Dサンプリング値に基づき基本値を算出する基本値算出部43と、この基本値算出部43にて算出した1周期分の基本値を二乗平均値化することで算出した電流値を、ヒータ電流判定部34で判定するヒータ電流値として換算するヒータ電流値換算部44とを有している。
基本値算出部43は、RAM領域41に保持中の24個分のA/Dサンプリング値を下記演算式に当てはめることで基本値を算出するものである。
ym=(xm−(xm−12)+(xm−4)−(xm−16))/2√3
xmはサンプリング点mの時のA/Dサンプリング値
ymはサンプリング点mの時の基本値
(xm−12)はxmより12番前のサンプリング点の時のA/Dサンプリング値
(xm−4)はxmより4番前のサンプリング点の時のA/Dサンプリング値
(xm−16)はxmより16番前のサンプリング点の時のA/Dサンプリング値
ヒータ電流値換算部44は、基本値算出部43にて算出した24個分(1周期分)の基本値を二乗平均化することで電流値を算出し、この電流値をヒータ電流値に換算するものである。
尚、請求項記載のA/Dサンプリング値取得手段はA/Dサンプリング値取得部42、基本値算出手段は基本値算出部43、ヒータ電流値換算手段はヒータ電流値換算部44に相当するものである。
図4に示すソフトウェア構成のヒータ電流計測部32によれば、ヒータ電流検出回路Bからのヒータ電流を1周期360°として15°毎にA/Dサンプリング値を取得し、1周期24個分のA/Dサンプリング値をRAM領域41に保持し、このRAM領域41に保持した24個分のA/Dサンプリング値に基づき基本値を算出し、この算出した1周期分の基本値を二乗平均値化することで算出した電流値を、ヒータ電流判定部34で判定するヒータ電流値として換算するようにしたので、アナログ的ではなく、デジタル的にヒータ電流値を取得することで、ノイズの影響を受けることなく、ヒータ電流値の電流変化に対応することができる反応速度を確保することができ、その結果、SSR装置3の故障判定精度の向上を図ることができる。
図5はヒータ電流計測部32内部の概略構成を示すブロック図である。
図5に示すヒータ電流計測部32は、ヒータ電流検出回路Bからのヒータ電流を1周期360°として3°毎にA/Dサンプリング値を取得し、1周期120個分のA/Dサンプリング値をRAM領域51に保持するA/Dサンプリング値取得部52と、RAM領域51に保持中の120個分のA/Dサンプリング値を積算し、この積算したA/Dサンプリング値を二乗平均値化することで算出した電流値を、ヒータ電流判定部34で判定するヒータ電流値として換算するヒータ電流値換算部53とを有している。尚、請求項記載のA/Dサンプリング値取得手段はA/Dサンプリング値取得部52、ヒータ電流値換算手段はヒータ電流値換算部53に相当するものである。
図5に示すソフトウェア構成のヒータ電流計測部32によれば、ヒータ電流検出回路Bからのヒータ電流を1周期360°として3°毎にA/Dサンプリング値を取得し、1周期120個分のA/Dサンプリング値をRAM領域51に保持し、このRAM領域51に保持中の120個分のA/Dサンプリング値を積算し、この積算したA/Dサンプリング値を二乗平均値化することで算出した電流値を、ヒータ電流判定部34で判定するヒータ電流値として換算するようにしたので、アナログ的ではなく、デジタル的にヒータ電流値を取得することで、ノイズの影響を受けることなく、ヒータ電流値の電流変化に対応することができる反応速度を確保することができ、その結果、SSR装置3の故障判定精度の向上を図ることができる。
また、上記第1の実施の形態においては、SSR装置3の故障を検出する故障検出装置4について説明したが、ヒータ断線前のヒータ断線寿命を事前に検出することができる機能、すなわちヒータレアショート機能も考えられる。
そこで、このようなヒータレアショート機能を備えた故障検出装置4につき、第2の実施の形態として説明する。
(実施の形態2)
図6は第2の実施の形態に関わる故障検出装置4内のCPU11内部の概略構成を示すブロック図である。尚、第1の実施の形態に関わる故障検出装置4と同一の構成については、同一符号を付すことで、その重複する構成及び動作の説明については省略する。
図6に示す故障検出装置4内のCPU11は、温調制御信号監視回路Aを通じてSSR装置3及び温度調整装置6間の温調制御信号の電流値を制御量として監視し、この電流値を検出する温調制御信号検出部31と、ヒータ電流検出回路Bを通じてヒータ電流値を計測するヒータ電流計測部32と、温調制御信号検出部31にて検出した電流値に基づき温調制御信号のオン状態又はオフ状態を判定する温調制御信号判定部33と、ヒータ1の断線直前の過電流値をレアショート閾値として予め記憶するレアショート閾値記憶部61と、このレアショート閾値記憶部61に記憶中のレアショート閾値を温調制御信号の設定電流値に基づき調整し、この調整したレアショート閾値記憶部61に記憶更新する閾値調整部62と、ヒータ電流計測部32にて計測したヒータ電流値がレアショート閾値記憶部61に記憶中のレアショート閾値を超えたか否かを判定し、ヒータ電流値がレアショート閾値を超えたと判定されると、ヒータ1のレアショートと判断するヒータレアショート判定部63と、このヒータレアショート判定部63の判断結果に基づき故障報知信号を出力する出力処理部36とを有している。
温調制御信号検出部31は、例えば温調制御信号を4mA〜20mAの範囲でリニアに変化する電流値に設定し、この温調制御信号の電流値を制御量として監視するものである。
温調制御信号判定部33は、温調制御信号検出部31にて検出した温調制御信号の電流値が4mA以上であると判定されると、温調制御信号がオン状態であると判断し、同電流値が4mA以上でないと判定されると、温調制御信号がオフ状態であると判断するものである。
レアショート閾値記憶部61に記憶中のレアショート閾値は、一般的にヒータ1の断線寿命が近くなると、ヒータ1内部の絶縁性が下がることでヒータ1に流れる電流値が高くなる特性に着目し、この寿命断線直前の過電流値を設定するものである。尚、レアショート閾値記憶部61に記憶中のレアショート閾値は、図示せぬ操作部又は上位PC100から適宜設定変更可能である。
閾値調整部62は、温調制御信号の設定電流値である20mAに対する比率に基づき、レアショート閾値を調整し、この調整したレアショート閾値をレアショート閾値記憶部61に記憶更新するものである。尚、閾値調整部62は、現在の温調システム10の設定に対応した最適なレアショート閾値をレアショート閾値記憶部61に記憶更新するものである。
ヒータレアショート判定部63は、温調制御信号判定部33にて温調制御信号がオン状態であると判定され、かつヒータ電流値がレアショート閾値を超えたと判定されると、ヒータのレアショートと判断する判断動作を実行するものである。尚、ヒータレアショート判定部63は、ヒータ電流がレアショート閾値を超えたと判定されたとしても、温調制御信号判定部33にて温調制御信号がオフ状態であると判定されると、前記ヒータ1のレアショートと判断する判断動作を禁止するものである。
出力処理部36は、ヒータレアショート判定部63にてヒータ1のレアショートと判定されると、このヒータレアショートに対応した故障報知信号をドライブ回路19に出力するものである。
尚、請求項に記載のヒータ電流検出手段はヒータ電流計測部32、レアショート閾値記憶手段はレアショート閾値記憶部61、レアショート閾値判定手段及びレアショート判定手段はヒータレアショート判定部63、第1判定手段は温調制御信号判定部33、レアショート閾値調整手段は閾値調整部62、報知手段は出力処理部36及び報知制御回路Dに相当するものである。
次に第2の実施の形態を示す温調システム10内の故障検出装置4の動作につき、図2及び図6に基づき説明する。
故障検出装置4内の温調制御信号監視回路Aは、SSR装置3及び温度調整装置6間を伝送する温調制御信号の電流値を監視し、この電流値をフォトカプラ14経由でCPU11に通知する。
CPU11内の温調制御信号検出部31は、フォトカプラ14経由で温調制御信号の電流値を検出すると、この電流値を温調制御信号判定部33に伝送する。
温調制御信号判定部33は、温調制御信号の電流値が4mA以上であるか否かを判定し、同電流値が4mAであると判定されると、この温調制御信号がオン状態であると判断し、この判断結果をヒータレアショート判定部63に伝送する。また、温調制御信号判定部33は、温調制御信号の電流値が4mA以上でないと判定されると、この温調制御信号がオフ状態であると判断し、この判断結果をヒータレアショート判定部63に伝送する。
また、故障検出装置4内のヒータ電流検出回路Bは、ヒータ電流検出器5にて検出したヒータ電流をデジタル変換し、このデジタル変換したヒータ電流をCPU11に伝送する。
CPU11のヒータ電流計測部32は、ヒータ電流検出回路Bからのヒータ電流に基づきヒータ電流値を計測し、このヒータ電流値をヒータレアショート判定部63に伝送する。
ヒータレアショート判定部63は、温調制御信号判定部33にて温調制御信号がオン状態であるとの判定結果を検出すると、ヒータ電流計測部32にて計測したヒータ電流値がレアショート閾値記憶部61に記憶中のレアショート閾値以上であると判定されると、ヒータ1のレアショートであると判断し、この判断結果を出力処理部36に通知する。
出力処理部36は、ヒータ1のレアショートであるとの判断結果を検出すると、このヒータ1のレアショートに対応した故障報知信号をドライブ回路19及び表示LEDドライブ回路22に通知する。ドライブ回路19は、同故障報知信号を検出すると、このヒータレアショートを警報出力すべく、フォトカプラ20や出力リレー21を駆動制御することになる。また、表示LEDドライブ回路22は、同故障報知信号を検出すると、ヒータ1のレアショートを報知すべくLED23を駆動制御することになる。また、出力処理部36では、ヒータレアショートであるとの判断結果を検出すると、通信インタフェースEを通じて上位PC100に同判断結果を通知することになる。
また、ヒータレアショート判定部63は、温調制御信号判定部33にて温調制御信号がオフ状態であるとの判定結果を検出すると、ヒータ電流値とレアショート閾値との比較判定動作を禁止することになる。
第2の実施の形態によれば、ヒータ断線寿命が近づくとヒータ1内部の絶縁性を下がり、寿命直前にヒータ1に流れる電流が高くなることに着目し、ヒータ1の断線直前の過電流値をレアショート閾値として予め記憶するレアショート閾値記憶部61を有し、温調制御信号がオン状態であると判定されると、ヒータ電流が記憶中のレアショート閾値を超えたか否かを判定し、ヒータ電流がレアショート閾値を超えたと判定されると、ヒータのレアショートと判断するようにしたので、ヒータ断線前のヒータレアショートを認識することができ、その結果、ヒータ断線時の故障原因の把握が容易になることで保守性を確保することができる。また、ヒータ断線前の前兆、すなわちレアショートを把握することでヒータ断線前にヒータ1を交換することができるため、その予防保全性を確保することができる。
また、第2の実施の形態によれば、温調制御信号がオフ状態であると判定されると、ヒータ電流とレアショート閾値との比較判定動作を禁止するようにしたので、温調制御信号のオフ状態における比較判定動作によるヒータレアショートの誤判定を確実に防止することができる。
第2の実施の形態によれば、レアショート閾値記憶部61に記憶中のレアショート閾値を温調制御信号の設定電流値に基づき調整し、この調整したレアショート閾値をレアショート閾値記憶部61に記憶更新するようにしたので、現在の温調システム10の設定に対応した最適なレアショート閾値を設定することができる。
尚、上記第2の実施の形態においては、ヒータ電流計測部32ではヒータ電流検出回路Bからのヒータ電流値を計測するようにしたが、このヒータ電流計測部32を図4又は図5に示すソフトウェアで構成するようにしても良い。
また、上記第2の実施の形態においては、レアショート閾値を調整する閾値調整部62を設けるようにしたが、同閾値調整部62を設けなくても、レアショート閾値記憶部61に記憶中のレアショート閾値とヒータ電流に基づき、ヒータ1のレアショートを判定できることは言うまでもない。
また、上記第2の実施の形態においては、温調制御信号がオフ状態であると判定されると、ヒータ電流とレアショート閾値との比較判定動作を禁止するようにしたが、温調制御信号がオフ状態であっても、ヒータ電流値とレアショート閾値との比較判定動作を実行し、ヒータ電流値がレアショート閾値と判定されると、ヒータ1のレアショートと判断できることも可能であることは言うまでもない。
また、上記第1の実施の形態及び第2の実施の形態に関わる故障検出装置4においては、通信インタフェースEを使用して故障検出装置4によるSSR装置3の故障結果又はヒータ1のレアショートの判断結果を上位PC100に通知するようにしたが、図7に示すように、隣接する他の故障検出装置との赤外線通信を実行する赤外線通信インタフェースFを設け、この赤外線通信インタフェースFを使用して故障検出装置4相互間で同判断結果を通知できるシステム構成にしても良く。
この場合、例えば上位PC100からの要求コマンドを、各故障検出装置4を経由して各故障検出装置4に配信すると共に、同要求コマンドに応じて各故障検出装置4からの判断結果を上位PC100に通知するようにしたので、上位PC100側ではSSR装置3の故障結果やヒータ1のレアショート結果を一括管理することができる。
また、このような複数の故障検出装置4及び上位PC100間を通信接続する温調システムにおいては、故障検出装置4毎に識別番号を付与し、この識別番号を付与した要求コマンドを上位PC100から配信し、各故障検出装置4が要求コマンドを受信すると、同要求コマンドに付与された識別番号を抽出し、この抽出した識別番号が自分の識別番号であると判定されると、自己の故障検出装置4によるSSR装置3の故障やヒータレアショートの判断結果を上位PC100に通知するようにしても良く、上位PC100側では、システム内の全故障検出装置4の判断結果を一括管理できることは勿論のこと、所望の故障検出装置4の判断結果だけを個別に抽出することも可能となる。
また、上記実施の形態においては、ヒータ1が三相用ヒータを例に挙げて説明したが、図8に示すように単相用ヒータ1Bであっても、SSR装置3及び温度調整装置6間の温調制御信号のオン・オフ状態と、SSR装置3及び単相ヒータ1B間のヒータ電流のオン・オフ状態に基づきSSR装置3のオープン故障又はショート故障を判定すると共に、SSR装置3及び単相ヒータ1B間のヒータ電流及びレアショート閾値に基づきヒータレアショートを判定することも可能であることは言うまでもない。
本発明の故障検出装置は、SSR装置の故障(オープン/ショート)を検知し、ヒータ断線と区別した警報を出すことにより、故障検出装置が組込まれているシステムの故障原因を把握することが容易になるという効果を有し、工業炉ヒータ、半導体洗浄装置、プラスチック成形機等のヒータを使用する温調システムに有用である。
本発明の故障検出装置に関わる第1の実施の形態を示す温調システム全体の概略構成を示すブロック図である。 第1の実施の形態に関わる故障検出装置内部の概略構成を示すブロック図である。 第1の実施の形態に関わる故障検出装置内のCPU内部の概略構成を示すブロック図である。 第1の実施の形態に関わるCPU内のヒータ電流計測部内部の一例を示すブロック図である。 第1の実施の形態に関わるCPU内のヒータ電流計測部内部の一例を示すブロック図である。 第2の実施の形態に関わる故障検出装置内のCPU内部の概略構成を示すブロック図である。 他の実施の形態に関わる温調システムのシステム構成を端的に示す説明図である。 他の実施の形態に関わる温調システム全体の概略構成を示すブロック図である。
符号の説明
1 ヒータ
1A 電源部
2 温調システム
3 SSR装置
4 故障検出装置
32 ヒータ電流計測部(ヒータ電流検出手段)
33 温調制御信号判定部(第1判定手段)
34 ヒータ電流判定部(第2判定手段)
35 SSR故障判定部(故障判定手段)
36 出力処理部(報知手段)
42、52 A/Dサンプリング値取得部(A/Dサンプリング値取得手段)
43 基本値算出部(基本値算出手段)
44、53 ヒータ電流値換算部(ヒータ電流値換算手段)
61 レアショート閾値記憶部(レアショート閾値記憶手段)
62 閾値調整部(レアショート閾値調整手段)
63 ヒータレアショート判定部(レアショート閾値判定手段及びレアショート判定手段)
B ヒータ電流検出回路(ヒータ電流検出手段)
D 報知制御回路(報知手段)

Claims (14)

  1. 制御対象のヒータと、前記ヒータに電力を供給する電源部と、これらヒータ及び電源部間に配置され、温調制御信号に応じて前記電源部から前記ヒータに供給する電力量を調整するSSR装置と、前記ヒータの温度を監視し、この監視結果に基づいて、前記ヒータの温度を目標温度に設定すべく、前記温調制御信号を出力する温度調整装置とを有する温調システムに接続し、前記SSR装置の故障を検出する故障検出装置であって、
    前記SSR装置及び前記ヒータ間のヒータ電流を検出するヒータ電流検出手段と、
    前記温調制御信号が第1所定レベル以上の制御量であるか否かを判定する第1判定手段と、
    前記ヒータ電流検出手段にて検出したヒータ電流が第2所定レベル以上であるか否かを判定する第2判定手段と、
    前記第1判定手段の判定結果及び第2判定手段の判定結果に基づき、前記SSR装置の故障を判定する故障判定手段とを有することを特徴とする故障検出装置。
  2. 前記故障判定手段は、
    前記第1判定手段にて前記温調制御信号が第1所定レベル以上の制御量であると判定され、かつ前記第2判定手段にて前記ヒータ電流が第2所定レベル以上でないと判定されると、前記SSR装置のSSRオープン故障と判定することを特徴とする請求項1記載の故障検出装置。
  3. 前記故障判定手段は、
    前記第1判定手段にて前記温調制御信号が第1所定レベル以上の制御量でないと判定され、かつ前記第2判定手段にて前記ヒータ電流が第2所定レベル以上であると判定されると、前記SSR装置のSSRショート故障と判定することを特徴とする請求項1又は2記載の故障検出装置。
  4. 前記故障判定手段の判定結果を報知出力する報知手段を有することを特徴とする請求項1,2又は3記載の故障検出装置。
  5. 前記ヒータ電流検出手段は、
    前記SSR装置及び前記ヒータ間のヒータ電流値を所定周期内で所定個数分のA/Dサンプリング値を取得するA/Dサンプリング値取得手段と、
    前記A/Dサンプリング値取得手段にて取得した所定個数分のA/Dサンプリング値に基づき基本値を算出する基本値算出手段と、
    この基本値算出手段にて算出した所定周期分の基本値を二乗平均値化することで算出した電流値を、前記第2判定手段で判定するヒータ電流値として換算するヒータ電流値換算手段とを有することを特徴とする請求項1,2,3又は4記載の故障検出装置。
  6. 前記ヒータ電流検出手段は、
    前記SSR装置及び前記ヒータ間のヒータ電流値を全波整流して所定周期内で所定個数分のA/Dサンプリング値を取得するA/Dサンプリング取得手段と、
    この所定個数分のA/Dサンプリング値を積算し、この積算したA/Dサンプリング値を二乗平均値化することで算出した電流値を、前記第2判定手段で判定するヒータ電流値として換算するヒータ電流値換算手段とを有することを特徴とする請求項1,2,3又は4記載の故障検出装置。
  7. 上位機器及び他の故障検出装置と無線接続する無線通信手段を有し、この無線通信手段を通じて、前記故障判定手段の判定結果を、前記上位機器又は前記他の故障検出装置との間で送受信することを特徴とする請求項1,2,3,4,5又は6記載の故障検出装置。
  8. 制御対象のヒータと、前記ヒータに電力を供給する電源部と、これらヒータ及び電源部間に配置され、温調制御信号に応じて前記電源部から前記ヒータに供給する電力量を調整するSSR装置と、前記ヒータの温度を監視し、この監視結果に基づいて、前記ヒータの温度を目標温度に設定すべく、前記温調制御信号を出力する温度調整装置とを有する温調システムに接続し、前記ヒータの故障を検出する故障検出装置であって、
    前記SSR装置及び前記ヒータ間のヒータ電流を検出するヒータ電流検出手段と、
    前記ヒータの断線直前の過電流値をレアショート閾値として予め記憶するレアショート閾値記憶手段と、
    前記ヒータ電流検出手段にて前記ヒータ電流を検出すると、このヒータ電流が前記レアショート閾値記憶手段に記憶中のレアショート閾値を超えたか否かを判定するレアショート閾値判定手段と、
    前記レアショート閾値判定手段にて前記ヒータ電流が前記レアショート閾値を超えたと判定されると、前記ヒータのレアショートと判断するレアショート判定手段とを有することを特徴とする故障検出装置。
  9. 前記温調制御信号が第1所定レベル以上の制御量であるか否かを判定する第1判定手段を有し、
    前記レアショート判定手段は、
    前記第1判定手段にて前記温調制御信号が第1所定レベル以上の制御量であると判定され、かつ前記レアショート閾値判定手段にて前記ヒータ電流が前記レアショート閾値を超えたと判定されると、前記ヒータのレアショートと判断する判断動作を実行すると共に、
    前記レアショート閾値判定手段にて前記ヒータ電流が前記レアショート閾値を超えたと判定され、かつ、前記第1判定手段にて前記温調制御信号が第1所定レベル以上の制御量でないと判定されると、前記ヒータのレアショートと判断する判断動作を禁止することを特徴とする請求項8記載の故障検出装置。
  10. 前記レアショート閾値記憶手段に記憶中の前記レアショート閾値を、前記温調制御信号の設定電流値に基づき調整し、この調整したレアショート閾値を前記レアショート閾値記憶手段に記憶更新するレアショート閾値調整手段を有することを特徴とする請求項9記載の故障検出装置。
  11. 前記レアショート判定手段にて前記ヒータのレアショートと判断すると、この判断結果を報知出力する報知手段を有することを特徴とする請求項8,9又は10記載の故障検出装置。
  12. 前記ヒータ電流検出手段は、
    前記SSR装置及び前記ヒータ間のヒータ電流値を所定周期内で所定個数分のA/Dサンプリング値を取得するA/Dサンプリング値取得手段と、
    前記A/Dサンプリング値取得手段にて取得した所定個数分のA/Dサンプリング値に基づき基本値を算出する基本値算出手段と、
    この基本値算出手段にて算出した所定周期分の基本値を二乗平均値化することで算出した電流値を、前記レアショート閾値判定手段で判定する前記ヒータ電流値として換算するヒータ電流値換算手段とを有することを特徴とする請求項8,9,10又は11記載の故障検出装置。
  13. 前記ヒータ電流検出手段は、
    前記SSR装置及び前記ヒータ間のヒータ電流値を全波整流して所定周期内で所定個数分のA/Dサンプリング値を取得するA/Dサンプリング取得手段と、
    この所定個数分のA/Dサンプリング値を積算し、この積算したA/Dサンプリング値を二乗平均値化することで算出した電流値を、前記レアショート閾値判定手段で判定する前記ヒータ電流値として換算するヒータ電流値換算手段とを有することを特徴とする請求項8,9,10又は11記載の故障検出装置。
  14. 上位機器及び他の故障検出装置と無線接続する無線通信手段を有し、この無線通信手段を通じて、前記レアショート判定手段の判断結果を、前記上位機器又は前記他の故障検出装置との間で送受信することを特徴とする請求項8,9,10,11,12又は13記載の故障検出装置。
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