JP2005221379A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】 ひずみ波形を生成するのに高機能で高額な半導体試験装置を用いずに済み、かつ、回路等に特別な工夫が施された冶具を必要としない半導体装置を提供する。
【解決手段】 半導体装置30Aの波形ひずみ発生回路31Aは、レシーバ32の前段に配置されている。そのため、レシーバ32は、ひずみ波形信号Sdstを直接受けることができ、実際のシステムに近い環境でレシーバ32の入力感度を確認することが可能となる。また、半導体装置30Aには波形ひずみ発生回路31Aが内蔵されているため、半導体試験装置10X,10Yとして、波形ひずみ発生機能のない安価な半導体試験装置を用いることができる。さらに、波形ひずみ発生回路31Aに含まれるキャパシタの容量を固定とし、インダクタのインダクタンスを可変に制御することによって、半導体装置30A全体の面積を小さくすることが可能となる。
【選択図】 図1
【解決手段】 半導体装置30Aの波形ひずみ発生回路31Aは、レシーバ32の前段に配置されている。そのため、レシーバ32は、ひずみ波形信号Sdstを直接受けることができ、実際のシステムに近い環境でレシーバ32の入力感度を確認することが可能となる。また、半導体装置30Aには波形ひずみ発生回路31Aが内蔵されているため、半導体試験装置10X,10Yとして、波形ひずみ発生機能のない安価な半導体試験装置を用いることができる。さらに、波形ひずみ発生回路31Aに含まれるキャパシタの容量を固定とし、インダクタのインダクタンスを可変に制御することによって、半導体装置30A全体の面積を小さくすることが可能となる。
【選択図】 図1
Description
この発明は、半導体装置に関し、より特定的には、伝送波形の試験が行なわれる半導体装置に関する。
半導体装置の伝送波形の試験において、実際のシステムでの波形品質を再現することがある。しかしながら、半導体装置の試験環境と実際のシステム環境とでは、波形伝送上、インピーダンスマッチングおよびトレース長などの違いに起因した波形品質の差が存在する。現状では、試験時に冶具(テストボード)上の回路等を工夫して実際のシステム環境を再現している。しかし、これだと高価な冶具を必要とする上、デバッグにも多大な時間がかかる。
従来の回路シミュレータは、通信回線で生じ得る波形ひずみを発生するための立上がり遅れ時間および立下り遅れ時間を可変設定するパラメータ設定手段と、当該パラメータ発生手段で設定された立上がり遅れ時間および立下り遅れ時間に応じて、外部から入力された信号のデューティ比を変えて出力する回線部とを備える。これにより、プログラマブルに設定された波形ひずみを持つ信号が回線部から出力され、種々の波形ひずみに対する通信テストをすることができる。また、立上がり遅れおよび立下り遅れを短時間のうちに変えていくことにより、ジッタ(波形のゆらぎ)を生じさせることもできる(たとえば、特許文献1参照)。
従来の周波数特性測定装置は、スイッチング回路と負荷容量とを一つの構成要素とし、容量値の異なる複数の当該構成素子を半導体集積回路の出力端子から周波数特性比較回路までの配線に分布的に構成されるインピーダンス整合回路と、当該インピーダンス整合回路を周波数特性測定装置により制御するインピーダンス整合制御回路とを備える。これにより、インピーダンスの補正を考えることなく、周波数特性を測定することができる。また、インピーダンス整合回路内の各々のスイッチング回路と各負荷容量との間に抵抗素子を接続しても同様の効果が得られる(たとえば、特許文献2参照)。
従来の半導体集積回路装置の試験装置は、高速入出力装置を備えた半導体集積回路装置の外部出力端子と外部入力端子とを伝送線路で接続するループバック・パスを設けたロード・ボード上に半導体集積回路装置を搭載し、半導体集積回路装置の内部に設けたテスト手段とループバック・パスを利用して高速入出力装置の動作を半導体集積回路装置の内部において試験することを特徴とする。これにより、半導体集積回路装置内部で閉じたセルフ・テストを行なうことができ、テストのための路線長を短くすることができる(たとえば、特許文献3参照)。
特開平1−309446号公報
特開平4−294287号公報
特開2003−167034号公報
従来の半導体装置は、ひずみ波形を生成するのに高機能で高額な半導体試験装置を用いなければならず、量産時の試験において半導体製造にかかるコストを増大させる。また、低機能の安価な半導体試験装置を用いて冶具上に波形ひずみ発生回路を作りこむ場合も、シミュレーション環境整備や冶具価格が高価になり、仕様検討から評価環境の確認までの開発期間が長くなるなどの問題点があった。
また、従来の回路シミュレータは、デバイスの耐性をシミュレーションするものであって、プロセス要因などのバラツキが入った既製デバイスに対して可変のひずみを加えることができないという問題点があった。
また、従来の周波数特性測定装置は、デバイスに入力される波形の品質をより良くするするためのものであって、デバイスに入力される波形の品質を意図的に劣化させてデバイスの耐性を確認する仕様となっておらず、インダクタンスの制御もできないという問題点があった。
また、従来の半導体集積回路装置の試験装置は、デバイス外部のループバックを用いて半導体集積回路装置の試験を行なっているが、半導体集積回路装置の試験方法は当該試験方法だけには限られない。
それゆえに、この発明の目的は、ひずみ波形を生成するのに高機能で高額な半導体試験装置を用いずに済み、かつ、回路等に特別な工夫が施された冶具を必要としない半導体装置を提供することである。
この発明は、半導体試験装置によって伝送波形の試験が行なわれる半導体装置であって、半導体試験装置から出力される波形信号を受けて、ひずみ波形信号を発生する波形ひずみ発生回路と、波形信号を波形ひずみ発生回路にスイッチングするスイッチ回路とを備える。
この発明によれば、ひずみ波形を生成するのに高機能で高額な半導体試験装置を用いずに済み、かつ、回路等に特別な工夫が施された冶具を必要としない。
以下、この発明の実施の形態について図面を参照して詳しく説明する。なお、図中同一または相当部分には同一符号を付してその説明は繰り返さない。
[実施の形態1]
図1は、この発明の実施の形態1による半導体装置30Aの概略的な構成を示した概略構成図である。
図1は、この発明の実施の形態1による半導体装置30Aの概略的な構成を示した概略構成図である。
図1を参照して、実施の形態1の半導体装置30Aは、一方からテストボード(冶具)20を介して半導体試験装置10Xに接続され、他方から半導体試験装置10Yに接続される。半導体装置30Aは、波形ひずみ発生回路31Aと、スイッチ回路SW1,SW2と、ひずみ波形確認用端子TR0と、レシーバ32と、シリアル/パラレル変換回路(S/P変換回路とも称する)33と、内部ロジック回路34と、パラレル/シリアル変換回路(P/S変換回路とも称する)35と、ドライバ36とを備える。
半導体試験装置10Xは、テストボード20を介して、半導体装置30Aに波形信号Spreを出力する。図1に示すように、波形信号Spreは、半導体試験装置10Xの精度に依存したジッタや振幅揺れを含む。波形ひずみ発生回路31Aは、スイッチ回路SW1を介して波形信号Spreを受け、スイッチ回路SW2を介してひずみ波形信号Sdstを出力する。波形ひずみ発生回路31Aの具体的な回路構成の一例については、後に図面を参照して説明する。
図1に示すように、ひずみ波形信号Sdstは、実システムに近いジッタや振幅揺れとなっている。ひずみ波形信号Sdstの波形は、ひずみ波形確認用端子TR0から観測することができる。ひずみ波形信号Sdstは、波形ひずみ発生回路31Aからスイッチ回路SW2を介してレシーバ32に出力される。なお、スイッチ回路SW1のオンオフは、スイッチ回路SW2のオンオフと連動している。
このように、実施の形態1の半導体装置30Aでは、波形ひずみ発生回路31Aがレシーバ32の前段に配置されている。そのため、レシーバ32は、ひずみ波形信号Sdstを直接受けることができ、実際のシステムに近い環境でレシーバ32の入力感度を確認することが可能となる。また、実施の形態1の半導体装置30Aでは、上述のように、波形ひずみ発生回路31Aが内蔵されている。そのため、半導体試験装置10X,10Yとして、波形ひずみ発生機能のない安価な半導体試験装置を用いることができる。
レシーバ32は、スイッチ回路SW1,SW2がともにオンのときには、ひずみ波形信号Sdstを受け、スイッチ回路SW1,SW2がともにオフのときには、波形信号Spreを受ける。シリアル/パラレル変換回路33は、レシーバ32から出力される信号をシリアル信号からパラレル信号に変換する。内部ロジック回路34は、シリアル/パラレル変換回路33から出力されるパラレル信号を受けて、半導体試験装置10Yと信号をやり取りする。
半導体試験装置10Yは、内部ロジック回路34との信号のやり取りによって、半導体装置30Aの不良動作を試験する。半導体装置30Aは、製造揺れや能力によっては試験中に動作不良となるため、不良装置の選別が可能となる。
パラレル/シリアル変換回路35は、内部ロジック回路34から出力される信号をパラレル信号からシリアル信号に変換する。ドライバ36は、パラレル/シリアル変換回路35から出力されるシリアル信号を受けて、テストボード20を介して、半導体試験装置10Xに信号を出力する。次に、波形ひずみ発生回路31Aの具体的な回路構成の一例について説明する。
図2は、波形ひずみ発生回路31Aの具体的な回路構成の一例である波形ひずみ発生回路31を示した回路図である。
図2に示した波形ひずみ発生回路31は、従来のように冶具上に作製されたトレース長制御回路とジッタフィルタとの組み合わせ回路とは異なり、抵抗、インダクタおよびキャパシタにより構成されたRLC回路である。図2を参照して、波形ひずみ発生回路31Aは、抵抗R1,R2と、インダクタL1〜L6と、キャパシタC1〜C7と、スイッチ回路SW11〜SW18とを含む。
抵抗R1,R2は、スイッチ回路SW11とスイッチ回路SW12(ノードN2)との間に並列接続される。キャパシタC1は、ノードN1とノードN2との間に接続される。キャパシタC2は、ノードN1とノードN3との間に接続される。キャパシタC3は、ノードN1とノードN4との間に接続される。キャパシタC4は、ノードN1とノードN5との間に接続される。
インダクタL1,L2は、スイッチ回路SW13(ノードN2)とスイッチ回路SW14(ノードN3)との間に並列接続される。キャパシタC5は、ノードN2とノードN3との間に接続される。インダクタL3,L4は、スイッチ回路SW15(ノードN3)とスイッチ回路SW16(ノードN4)との間に並列接続される。キャパシタC6は、ノードN3とノードN4との間に接続される。インダクタL5,L6は、スイッチ回路SW17(ノードN4)とスイッチ回路SW18(ノードN5)との間に並列接続される。キャパシタC7は、ノードN4とノードN5との間に接続される。
図2に示すように、波形ひずみ発生回路31は、回路シミュレーションにより算出された抵抗値を有する抵抗R1,R2を、スイッチ回路SW11,SW12で切り換えることができる。これにより、入力される波形信号Spreの振幅波形を制御することができる。なお、図2に示した抵抗R1,R2の配置は一例であって、抵抗の個数および接続は図2の態様には限定されない。
さらに、図2に示すように、波形ひずみ発生回路31は、回路シミュレーションにより算出されたインダクタンスを有するインダクタL1〜L6を、スイッチ回路SW13〜SW18で切り換えることができる。これにより、入力される波形信号Spreの時間波形を制御することができる。なお、図2に示したインダクタL1〜L6の配置は一例であって、インダクタの個数および接続は図2の態様には限定されない。同様に、図2に示したキャパシタC1〜C7の配置は一例であって、キャパシタの個数および接続は図2の態様には限定されない。
上記のように、図2に示した波形ひずみ発生回路31では、キャパシタC1〜C7を固定とし、インダクタL1〜L6をスイッチ回路SW13〜SW18で切り換えて可変に制御できるようにしている。キャパシタの容量を可変から固定にすることによる面積削減の効果は、インダクタのインダクタンスを可変から固定にすることによる面積削減の効果よりも大きい。
したがって、波形信号Spreの時間波形を制御するのに必要なLC成分のうち、キャパシタC1〜C7の容量を固定とし、インダクタL1〜L6のインダクタンスを可変に制御することによって、キャパシタの容量をスイッチ回路等で可変に制御しインダクタのインダクタンスを固定とする場合に比べて、波形ひずみ発生回路31の占有面積を小さくすることができる。その結果、半導体装置30A全体の占有面積も小さくすることが可能となる。
以上のように、実施の形態1によれば、半導体装置30Aにおいて波形ひずみ発生回路31Aをレシーバ32の前段に配置することにより、実際のシステムに近い環境でレシーバ32の入力感度を確認することが可能となる。また、半導体装置30Aに波形ひずみ発生回路31Aが内蔵されているため、半導体試験装置10X,10Yとして波形ひずみ発生機能のない安価な半導体試験装置を用いることができる。さらに、波形ひずみ発生回路31AのキャパシタC1〜C7の容量を固定とし、インダクタL1〜L6のインダクタンスを可変に制御することによって、半導体装置30A全体の占有面積を小さくすることが可能となる。
[実施の形態2]
図3は、この発明の実施の形態2による半導体装置30Bの概略的な構成を示した概略構成図である。
図3は、この発明の実施の形態2による半導体装置30Bの概略的な構成を示した概略構成図である。
図3を参照して、実施の形態2の半導体装置30Bは、一方からテストボード(冶具)20を介して半導体試験装置10Xに接続され、他方から半導体試験装置10Zに接続される。半導体装置30Bは、波形ひずみ発生回路31Bと、スイッチ回路SW1,SW2と、レシーバ32と、シリアル/パラレル変換回路(S/P変換回路とも称する)33と、内部ロジック回路34と、パラレル/シリアル変換回路(P/S変換回路とも称する)35と、ドライバ36と、パッドPD1,PD2とを備える。
半導体試験装置10Zは、半導体装置30Bに波形信号Spreを出力する。図3に示すように、波形信号Spreは、半導体試験装置10Xの精度に依存したジッタや振幅揺れを含む。内部ロジック回路34は、波形信号Spreを受けて、パラレル/シリアル変換回路35にパラレル信号を出力する。パラレル/シリアル変換回路35は、当該パラレル信号をシリアル信号に変換する。
ドライバ36は、パラレル/シリアル変換回路35から出力されるシリアル信号を受けて、スイッチ回路SW1を介して、パッドPD2に波形信号Spreを出力する。パッドPD2における波形信号Spreは、テストボード20を介して、半導体試験装置10Xに出力される。
波形ひずみ発生回路31Bは、スイッチ回路SW1を介して波形信号Spreを受け、スイッチ回路SW2を介してひずみ波形信号Sdstを出力する。ここで、スイッチ回路SW1は、ドライバ36とパッドPD2との間に配置される。また、スイッチ回路SW2は、レシーバ32とパッドPD1との間に配置される。波形ひずみ発生回路31Bの具体的な回路構成の一例は、実施の形態1の図2において説明した波形ひずみ発生回路31である。
図3に示すように、ひずみ波形信号Sdstは、実システムに近いジッタや振幅揺れとなっている。ひずみ波形信号Sdstは、波形ひずみ発生回路31Bからスイッチ回路SW2を介してレシーバ32に出力される。なお、スイッチ回路SW1のオンオフは、スイッチ回路SW2のオンオフと連動している。
実施の形態2の半導体装置1Bでは、波形ひずみ発生回路31Bがドライバ36の出力とレシーバ32の入力との間をバイパスするように接続されている。そのため、実施の形態2の半導体装置30Bは、半導体試験装置10Zによる折り返し(ループバック)試験が可能である。半導体装置30Bの折り返し(ループバック)試験を行なうことによって、半導体装置30Bとテストボード20との間のインターフェイス(たとえばソケット)等の外的要因によるノイズを無くすことができる。その結果、半導体装置30Bのより正確な試験が可能となる。
このように、実施の形態2の半導体装置30Bでは、波形ひずみ発生回路31Bが内蔵されているのに加えて、半導体装置30Bの折り返し(ループバック)試験を可能としている。これにより、実施の形態1に比べてさらにノイズ要因が減らすことができ、より実際のシステムに近い環境でレシーバ32の入力感度を確認することが可能となる。したがって、実施の形態2の半導体装置30Bでは、半導体試験装置10X,10Zとして、より安価で低速、低機能な半導体試験装置を用いることができる。
さらに、実施の形態2の半導体装置30Bでは、ひずみ波形信号Sdstの波形を、パッドPD1を介してテストボード20上から容易に観測することができる。そのため、半導体装置30Bの評価時間を短縮することができる。
レシーバ32は、スイッチ回路SW1,SW2がともにオンのときには、ひずみ波形信号Sdstを受け、スイッチ回路SW1,SW2がともにオフのときには、半導体試験装置10Xからテストボード20を介してパッドPD1に出力される信号を受ける。シリアル/パラレル変換回路33は、レシーバ32から出力される信号をシリアル信号からパラレル信号に変換する。内部ロジック回路34は、シリアル/パラレル変換回路33から出力されるパラレル信号を受けて、半導体試験装置10Zに信号を出力する。
半導体試験装置10Zは、内部ロジック回路34との信号のやり取りによって、半導体装置30Bの不良動作を試験する。半導体装置30Bは、製造揺れや能力によっては試験中に動作不良となるため、不良装置の選別が可能となる。
以上のように、実施の形態2によれば、波形ひずみ発生回路31Bが内蔵されているのに加えて、半導体装置30Bの折り返し(ループバック)試験を可能とすることにより、実施の形態1に比べて、より実際のシステムに近い環境でレシーバ32の入力感度を確認することができる。その結果、半導体試験装置10X,10Zとして、より安価で低速、低機能な半導体試験装置を用いることが可能となる。さらに、ひずみ波形信号Sdstの波形がパッドPD1を介してテストボード20上から容易に観測できるため、半導体装置30Bの評価時間が短縮される。
[実施の形態3]
図4は、この発明の実施の形態3による半導体装置30Cの概略的な構成を示した概略構成図である。
図4は、この発明の実施の形態3による半導体装置30Cの概略的な構成を示した概略構成図である。
図4を参照して、実施の形態3の半導体装置30Cは、一方からテストボード(冶具)20を介して半導体試験装置10Xに接続され、他方から半導体試験装置10Zに接続される。半導体装置30Cは、波形ひずみ発生回路31Cと、スイッチ回路SW1,SW2と、レシーバ32と、シリアル/パラレル変換回路(S/P変換回路とも称する)33と、内部ロジック回路34と、パラレル/シリアル変換回路(P/S変換回路とも称する)35と、ドライバ36と、パッドPD1,PD2とを備える。
半導体試験装置10Zは、半導体装置30Cに波形信号Spreを出力する。図4に示すように、波形信号Spreは、半導体試験装置10Xの精度に依存したジッタや振幅揺れを含む。内部ロジック回路34は、波形信号Spreを受けて、パラレル/シリアル変換回路35にパラレル信号を出力する。パラレル/シリアル変換回路35は、当該パラレル信号をシリアル信号に変換する。
ドライバ36は、パラレル/シリアル変換回路35から出力されるシリアル信号を受けて、パッドPD2に波形信号Spreを出力する。パッドPD2における波形信号Spreは、スイッチ回路SW1およびテストボード20を介して、半導体試験装置10Xに出力される。
波形ひずみ発生回路31Cは、スイッチ回路SW1を介して波形信号Spreを受け、スイッチ回路SW2を介してひずみ波形信号Sdstを出力する。ここで、スイッチ回路SW1は、パッドPD2とテストボード20との間に配置される。また、スイッチ回路SW2は、パッドPD1とテストボード20との間に配置される。波形ひずみ発生回路31Cの具体的な回路構成の一例は、実施の形態1の図2において説明した波形ひずみ発生回路31である。
図4に示すように、ひずみ波形信号Sdstは、実システムに近いジッタや振幅揺れとなっている。ひずみ波形信号Sdstは、波形ひずみ発生回路31Cからスイッチ回路SW2およびパッドPD1を介してレシーバ32に出力される。なお、スイッチ回路SW1のオンオフは、スイッチ回路SW2のオンオフと連動している。
実施の形態3の半導体装置1Cでは、波形ひずみ発生回路31CがパッドPD2を介したドライバ36の出力とパッドPD1を介したレシーバ32の入力との間をバイパスするように接続されている。そのため、実施の形態3の半導体装置30Cは、半導体試験装置10Zによる折り返し(ループバック)試験が可能である。半導体装置30Cの折り返し(ループバック)試験を行なうことによって、半導体装置30Cとテストボード20との間のインターフェイス(たとえばソケット)等の外的要因によるノイズを無くすことができる。
さらに、実施の形態3の半導体装置30Cでは、半導体試験装置10Zによる折り返し(ループバック)試験のループが半導体装置10CのパッドPD1,PD2を含めたものとなっている。そのため、実施の形態2と比べて、レシーバ32およびドライバ34の配線容量等の影響を含めた、より実際のシステムに近い環境でレシーバ32の入力感度を確認することができる。その結果、半導体装置30Cのより正確な試験が可能となる。
レシーバ32は、スイッチ回路SW1,SW2がともにオンのときには、ひずみ波形信号Sdstを受け、スイッチ回路SW1,SW2がともにオフのときには、半導体試験装置10Xからテストボード20を介してパッドPD1に出力される信号を受ける。シリアル/パラレル変換回路33は、レシーバ32から出力される信号をシリアル信号からパラレル信号に変換する。内部ロジック回路34は、シリアル/パラレル変換回路33から出力されるパラレル信号を受けて、半導体試験装置10Zに信号を出力する。
半導体試験装置10Zは、内部ロジック回路34との信号のやり取りによって、半導体装置30Cの不良動作を試験する。半導体装置30Cは、製造揺れや能力によっては試験中に動作不良となるため、不良装置の選別が可能となる。
以上のように、実施の形態3によれば、波形ひずみ発生回路31Cが内蔵されているのに加えて、半導体装置30CのパッドPD1,PD2をループに加えた折り返し(ループバック)試験を可能とすることにより、実施の形態2と比べて、半導体装置30Cのより正確な試験が可能となる。
[実施の形態4]
図5は、この発明の実施の形態4による半導体装置30Dの概略的な構成を示した概略構成図である。
図5は、この発明の実施の形態4による半導体装置30Dの概略的な構成を示した概略構成図である。
図5を参照して、実施の形態4の半導体装置30Dは、一方からテストボード(冶具)20を介して半導体試験装置10Xに接続され、他方から半導体試験装置10Zに接続される。半導体装置30Dは、波形ひずみ発生回路31Dと、スイッチ回路SW1,SW2と、ひずみ波形確認用端子TR1,TR2と、レシーバ32と、シリアル/パラレル変換回路(S/P変換回路とも称する)33と、内部ロジック回路34と、パラレル/シリアル変換回路(P/S変換回路とも称する)35と、ドライバ36とを備える。
半導体試験装置10Xは、テストボード20を介して、半導体装置30Dに波形信号Spreを出力する。図5に示すように、波形信号Spreは、半導体試験装置10Xの精度に依存したジッタや振幅揺れを含む。波形信号Spreの波形は、波形確認用端子TR1から観測することができる。
レシーバ32は、波形信号Spreを受けて、スイッチ回路SW1を介して、シリアル/パラレル変換回路33に信号を出力する。波形ひずみ発生回路31Dは、スイッチ回路SW1を介して波形信号Spreを受け、スイッチ回路SW2を介してひずみ波形信号Sdstを出力する。波形ひずみ発生回路31Dの具体的な回路構成の一例は、実施の形態1の図2において説明した波形ひずみ発生回路31である。
図5に示すように、ひずみ波形信号Sdstは、実システムに近いジッタや振幅揺れとなっている。ひずみ波形信号Sdstの波形は、ひずみ波形確認用端子TR2から観測することができる。ひずみ波形信号Sdstは、波形ひずみ発生回路31Dからスイッチ回路SW2を介してドライバ36に出力される。なお、スイッチ回路SW1のオンオフは、スイッチ回路SW2のオンオフと連動している。
このように、実施の形態4の半導体装置30Dでは、波形ひずみ発生回路31Dがドライバ36の前段に配置されている。そのため、ドライバ36は、ひずみ波形信号Sdstを直接受けることができ、実際のシステムに近い環境でドライバ36の入力感度を確認することが可能となる。また、実施の形態4の半導体装置30Dでは、上述のように、波形ひずみ発生回路31Dが内蔵されている。そのため、半導体試験装置10X,10Yとして、波形ひずみ発生機能のない安価な半導体試験装置を用いることができる。
また、実施の形態4の半導体装置1Dでは、波形ひずみ発生回路31Dがレシーバ32の出力とドライバ36の入力との間をバイパスするように接続されている。そのため、実施の形態4の半導体装置30Dは、半導体試験装置10Xによる折り返し(ループバック)試験が可能である。半導体装置30Dの折り返し(ループバック)試験を行なうことによって、内部ロジック回路34等による影響を遮断することができる。その結果、半導体装置30Dのより正確な試験が可能となる。
シリアル/パラレル変換回路33は、レシーバ32から出力される信号をシリアル信号からパラレル信号に変換する。内部ロジック回路34は、シリアル/パラレル変換回路33から出力されるパラレル信号を受けて、半導体試験装置10Zと信号をやり取りするとともに、パラレル/シリアル変換回路35にパラレル信号を出力する。
パラレル/シリアル変換回路35は、内部ロジック回路34から出力される当該パラレル信号をシリアル信号に変換する。ドライバ36は、スイッチ回路SW1,SW2がともにオンのときには、ひずみ波形信号Sdstを受け、スイッチ回路SW1,SW2がともにオフのときには、パラレル/シリアル変換回路35から出力される信号を受ける。ドライバ36は、スイッチ回路SW2を介して出力されるひずみ波形信号Sdst、またはパラレル/シリアル変換回路35から出力される信号を受けて、テストボード20を介して、半導体試験装置10Xに信号を出力する。
半導体試験装置10Xは、ドライバ36から出力される信号が所望の信号かどうかによって、半導体装置30Dの不良動作を試験する。半導体装置30Dは、製造揺れや能力によっては試験中に動作不良となるため、不良装置の選別が可能となる。
以上のように、実施の形態4によれば、半導体装置30Dにおいて波形ひずみ発生回路31Dをドライバ36の前段に配置することにより、実際のシステムに近い環境でドライバ36の入力感度を確認することが可能となる。また、波形ひずみ発生回路31Dが内蔵されているのに加えて、半導体装置30Dの折り返し(ループバック)試験を可能とすることにより、半導体装置30Dの正確な試験が可能となる。
今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
10X,10Y,10Z 半導体試験装置、20 テストボード、30A,30B,30C,30D 半導体装置、31A,31B,31C,31D,31 波形ひずみ発生回路、SW1,SW2,SW11〜SW18 スイッチ回路、R1,R2 抵抗、L1〜L6 インダクタ、C1〜C7 キャパシタ、TR0,TR2 ひずみ波形確認用端子、TR1 波形確認用端子、32 レシーバ、33 シリアル/パラレル変換回路、34 内部ロジック回路、35 パラレル/シリアル変換回路、36 ドライバ、PD1,PD2 パッド。
Claims (6)
- 半導体試験装置によって伝送波形の試験が行なわれる半導体装置であって、
前記半導体試験装置から出力される波形信号を受けて、ひずみ波形信号を発生する波形ひずみ発生回路と、
前記波形信号を前記波形ひずみ発生回路にスイッチングするスイッチ回路とを備える、半導体装置。 - 前記ひずみ波形信号を受けるレシーバ回路をさらに備え、
前記波形ひずみ発生回路は、前記レシーバ回路の前段に配置される、請求項1に記載の半導体装置。 - 前記波形ひずみ発生回路の前段に配置されるドライバ回路と、
前記ひずみ波形信号を受けるレシーバ回路とをさらに備え、
前記波形ひずみ発生回路、前記ドライバ回路、および前記レシーバ回路は、前記半導体試験装置による伝送波形の折り返し試験におけるループを構成する、請求項1に記載の半導体装置。 - 前記波形ひずみ発生回路の前段に配置されるドライバ回路と、
前記ひずみ波形信号を受けるレシーバ回路と、
前記レシーバ回路の入力部に配置された第1のパッドと、
前記ドライバ回路の出力部に配置された第2のパッドとをさらに備え、
前記波形ひずみ発生回路、前記ドライバ回路、および前記レシーバ回路は、前記第1および第2のパッドを含めて、前記半導体試験装置による伝送波形の折り返し試験におけるループを構成する、請求項1に記載の半導体装置。 - 前記波形ひずみ発生回路の前段に配置されるレシーバ回路と、
前記ひずみ波形信号を受けるドライバ回路とをさらに備え、
前記波形ひずみ発生回路は、前記ドライバ回路の前段に配置され、
前記波形ひずみ発生回路、前記ドライバ回路、および前記レシーバ回路は、前記半導体試験装置による伝送波形の折り返し試験におけるループを構成する、請求項1に記載の半導体装置。 - 前記波形ひずみ発生回路は、
抵抗値の切り替えによって前記波形信号の振幅波形を制御する抵抗素子と、
インダクタンスの切り替えによって前記波形信号の時間波形を制御するインダクタ素子と、
前記波形信号の時間波形を制御するキャパシタ素子とを含む、請求項1〜5のいずれかに記載の半導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004029629A JP2005221379A (ja) | 2004-02-05 | 2004-02-05 | 半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
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JP2004029629A JP2005221379A (ja) | 2004-02-05 | 2004-02-05 | 半導体装置 |
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JP2005221379A true JP2005221379A (ja) | 2005-08-18 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008109634A (ja) * | 2006-09-29 | 2008-05-08 | Fujitsu Ltd | 送受信装置および送受信装置の試験方法 |
-
2004
- 2004-02-05 JP JP2004029629A patent/JP2005221379A/ja not_active Withdrawn
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