JP2005216917A - 光源装置及びプロジェクタ - Google Patents
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Abstract
【課題】高輝度で、高い点光源性の光源装置及びこの光源装置を備えるプロジェクタを提供すること。
【解決手段】所定の波長領域の光であるG光を照明方向ILへ供給する第1の固体発光素子である第1LED101Aと、第1LED101Aに積層して設けられ、所定の波長領域の光であるG光を照明方向ILへ供給する第2の固体発光素子である第2LED101Bと、の少なくとも2つの固体発光素子を有し、第2LED101Bは、第1LED101Aからの所定の波長領域の光であるG光を照明方向ILへ透過する透明層である透明支持基板206を有している。これにより、高輝度で、高い点光源性の光源装置100を得ることができる。また、この光源装置100を備えるプロジェクタは、明るく高品質な投写像を得ることができる。
【選択図】 図2−1
【解決手段】所定の波長領域の光であるG光を照明方向ILへ供給する第1の固体発光素子である第1LED101Aと、第1LED101Aに積層して設けられ、所定の波長領域の光であるG光を照明方向ILへ供給する第2の固体発光素子である第2LED101Bと、の少なくとも2つの固体発光素子を有し、第2LED101Bは、第1LED101Aからの所定の波長領域の光であるG光を照明方向ILへ透過する透明層である透明支持基板206を有している。これにより、高輝度で、高い点光源性の光源装置100を得ることができる。また、この光源装置100を備えるプロジェクタは、明るく高品質な投写像を得ることができる。
【選択図】 図2−1
Description
本発明は、光源装置、特に固体発光素子を有する光源装置、及びこの光源装置を備えるプロジェクタに関するものである。
発光ダイオード(以下、「LED」という。)等の固体発光素子が光源装置の光源部として用いられている。そして、LED等の固体発光素子の発光効率は目覚しく向上している。
固体発光素子、例えばLEDをプロジェクタの光源装置として用いることができる。プロジェクタは、明るく高品質な投写像を得るために、高輝度で高い点光源性の光源装置を必要とする。LEDを用いる光源装置からの光量を増加させる構成として、複数のLEDをアレイ化して配置することが考えられる。これにより、LEDの数量に比例して光量を増加できる。ここで、プロジェクタにおいては、光源装置と空間光変調装置とを含めた光学系において、有効に扱える光束が存在する空間的な広がりを面積と立体角の積(エテンデュー、Geometrical Extent)として表すことができる。この面積と立体角の積は、光学系において保存される。
光源の空間的な広がりが大きくなると、空間光変調装置に入射する光束が存在する空間的な広がりが大きくなる。これに対して、空間光変調装置で取り込むことができる角度は限られているため、光源装置からの光束を有効に用いることが困難となる。複数のLEDをアレイ化して光量を増やす場合、光源装置の発光領域の面積(空間的な広がり)も大きくなる。従って、プロジェクタにおいて、単に複数のLEDをアレイ化して光量を増加させようとしても、エテンデューが保存されるため、光源装置からの全ての光束を有効に用いることが困難となってしまう。この結果、点光源性が低下し、また光量も増加させることができないので問題である。特に、いわゆるInGaN系LEDは、積層することで光量を増加させることが構造上極めて困難であり問題である。
本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、高輝度で、高い点光源性の光源装置及びこの光源装置を備えるプロジェクタを提供することを目的とする。
上述した課題を解決し、目的を達成するために、第1の本発明によれば、所定の波長領域の光を照明方向へ供給する第1の固体発光素子と、第1の固体発光素子に積層して設けられ、所定の波長領域の光を照明方向へ供給する第2の固体発光素子と、の少なくとも2つの固体発光素子を有し、第2の固体発光素子は、第1の固体発光素子からの所定の波長領域の光を照明方向へ透過する透明層を有することを特徴とする光源装置を提供できる。
本発明によれば、第1の固体発光素子は、照明方向へ所定の波長領域の光を供給する。また、第2の固体発光素子も、照明方向へ所定の波長領域の光を供給する。そして、第1の固体発光素子と第2の固体発光素子とは積層して設けられている。ここで、第2の固体発光素子は、第1の固体発光素子からの所定の波長領域の光を照明方向へ透過する透明層を有している。これにより、第1の固体発光素子から供給された光は、第2の固体発光素子の透明層を透過して、照明方向へ射出される。このため、第1の固体発光素子から供給された光は、第2の固体発光素子で遮光されることがない。この結果、第1の固体発光素子と第2の固体発光素子との少なくとも2つの固体発光素子からの光は、同一の照明方向へ重畳して進行する。従って、光源装置の発光領域の面積を増大させることなく高い点光源性を得ること、及び光量を増やし高輝度な光を得ることができる。
また、本発明の好ましい態様によれば、第1の固体発光素子は、所定の波長領域の光を反射する基板と、第1の電極を有し、基板上に形成された第1半導体層と、第2の電極を有する第2半導体層と、第1半導体層と第2半導体層との間に形成された活性層とを有し、基板は、活性層からの所定の波長領域の光を第2の固体発光素子側へ反射することが望ましい。第1の固体発光素子の活性層から供給される光は、第2の固体発光素子側の方向と基板側の方向との2つの方向へ供給される。2つの方向へ供給された光のうち、第2の固体発光素子側の方向へ進行する光は、上述したように第2の固体発光素子の透明層を透過して照明方向へ射出される。これに対して、基板側の方向へ進行する光は、基板で反射して、第1の固体発光素子と、透明層を介して第2の固体発光素子とを透過する。そして、第2の固体発光素子を透過した光は、照明方向へ射出される。この結果、有効に光を用いることができ、高輝度な光を得ることができる。
また、本発明の好ましい態様によれば、第1の固体発光素子は、所定の波長領域の光を反射するミラー部と、第1の電極を有し、ミラー部上に形成された第1半導体層と、第2の電極を有する第2半導体層と、第1半導体層と第2半導体層との間に形成された活性層と、活性層からの光を透過する透過層とを有し、ミラー部は、活性層から射出し透明層を透過する所定の波長領域の光を第2の固体発光素子側へ反射することが望ましい。第1の固体発光素子の活性層から供給される光は、第2の固体発光素子側の方向とミラー部側の方向との2つの方向へ供給される。2つの方向へ供給された光のうち、第2の固体発光素子側の方向へ進行する光は、上述したように第2の固体発光素子の透明層を透過して照明方向へ射出される。これに対して、ミラー部側の方向へ進行する光は、第1の固体発光素子の透明層を介してミラー部で反射する。ミラー部で反射した光は、再度第1の固体発光素子の透明層を透過し、さらに、第2の固体発光素子の透明層を透過する。そして、第2の固体発光素子を透過した光は、照明方向へ射出される。この結果、有効に光を用いることができ、高輝度な光を得ることができる。
また、本発明の好ましい態様によれば、第2の固体発光素子の照明方向側に設けられ、第2の固体発光素子からの所定の波長領域の光と、第1の固体発光素子から供給され第2の固体発光素子を透過する所定の波長領域の光とを、照明方向へ屈折させて射出するレンズをさらに有することが望ましい。一般的に、固体発光素子、例えばLEDの第1の半導体層、第2の半導体層、活性層は、それぞれ平板形状である。このため、活性層から射出される光は、半導体層と空気面との界面で全反射してしまうことがある。この全反射により、光の利用効率が低下してしまう。これに対して、本態様では、半導体層の屈折率とレンズの屈折率とを略等しくしておくこと、即ちインデックス・マッチングすることにより、活性層で発生した光を効率良く照明方向へ導くことができる。
また、第2の本発明によれば、上述の光源装置と、光源装置からの光を画像信号に応じて変調して射出する空間光変調装置と、変調された光を投写する投写レンズとを有することを特徴とするプロジェクタを提供できる。本プロジェクタは、高い点光源性で、高輝度な光を供給する光源装置を有している。このため、明るく、良好な投写像を得ることができる。
以下に、本発明に係る光源装置及びこれを備えるプロジェクタの実施例を図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施例により本発明が限定されるものではない。
図1は、実施例1に係る光源装置100の概略構成を示す。平板状の金属実装基台106の照明方向IL側の面に、第1の固体発光素子である第1LED101Aと、第2の固体発光素子である第2LED101Bとが積層して設けられている。第1LED101Aと第2LED101Bとの詳細な構成は図3を用いて後述する。金属実装基台106内には、断面形状が矩形である管状の冷却液流動部107が形成されている。冷却液流動部107内には、冷却液が循環する。これにより、金属実装基台106を冷却できる。また、実装基台106は、後述するように電極リード部の機能を兼用している。第1LED101A、第2LED101Bともに、InGaN系LEDであり、所定の波長領域の光、例えば緑色光(以下、「G光」という。)を供給する。
積層された第1LED101Aと第2LED101Bと略同じ厚さhのフレキシブル基板105上に銅箔リード線102が対向する2方向へ延在するように形成されている。銅箔リード線102の端部には、駆動端子104が形成されている。金属実装基台106の周辺部には、積層されたLED101A、101Bの方向へ斜面108aを向けた光反射部108が設けられている。そして、透明樹脂部109aが、光反射部108と略同じ高さで、第1LED101Bの表面を覆うように設けられている。透明樹脂部109aのさらに照明方向IL側には正の屈折力を有するレンズ109が固着されている。
レンズ109は、第1LED101AからのG光と、第2LED101BからのG光を、照明方向ILへ屈折させて射出する。図2−1を用いて後述するように、第2LED101Bのn−GaN層204は、平板形状である。このため、活性層203から射出される光は、n−GaN層204と空気面との界面で全反射してしまうことがある。この全反射により、光の利用効率が低下してしまう。これに対して、本実施例では、n−GaN層204の屈折率と透明樹脂部109aの屈折率とを略等しくしておくこと、即ちインデックス・マッチングすることにより、活性層203で発生した光を効率良く照明方向ILへ導くことができる。さらに、透明樹脂部109aの屈折率と、レンズ109の屈折率とを略等しくしておくことで、呼効率良くG光を光源装置100外へ取り出すことができる。好ましくは、半球状のレンズ109の焦点位置に第1LED101A、第2LED101Bを設けておくことが望ましい。
次に、図2−1、2−2に基づいて、積層されている2つのLED101A、101Bの構成を説明する。図2−1は、第1LED101Aと第2LED101Bとの概略構成を示す。図2−1において、第1LED101Aの上に積層されて第2LED101Bが形成されている。2つのLED101A、101Bは、上述したようにInGaN系LEDである。
まず、第1の固体発光素子である第1LED101Aについて述べる。第1LED101Aは、第1半導体層であるp−GaN層302と、第2半導体層であるn−GaN層304と、p−GaN層302とn−GaN層304との間に形成された活性層303とを有する。p−GaN層302側には、Pt電極301を介してAu電極300が形成されている。Pt電極301とAu電極300とで基板を構成する。また、n−GaN層304端部には、第2の電極である上電極305が形成されている。そして、上電極305とAu電極300との間に所定の電圧を印加する。これにより、活性層303から、所定の波長領域の光であるG光が供給される。また、Pt電極301とAu電極300とで構成される基板は、G光を第2LED101B側へ反射する。
次に、第2の固体発光素子である第2LED101Bについて述べる。第2LED101Bは、第1LED101Aに対して照明方向IL側に積層して設けられている。第2LED101Bにおける、第1半導体層p−GaN202と、第2半導体層n−GaN204と、活性層203と、第2の電極である上電極205との構成は、第1LED101Aと同一である。活性層203のp−GaN層202と反対側の周辺部には、Pt電極201とAu電極200が形成されている。活性層203は、所定の波長領域の光であるG光を供給する。そして、活性層203のp−GaN層202と反対側の中央部には、透明層である透明支持基板206が形成されている。透明支持基板206は、例えば、石英、硝子、又は耐熱性樹脂で構成されている。そして、透明支持基板206は、所定の波長領域の光であるG光を透過する。なお、第1LED101Aと第2LED101Bとの間に生ずる隙間の空間は、熱伝導性が良好で、インデックス・マッチングがとれている部材を充填しておくことが望ましい。
上述の構成により、第1LED101Aの活性層303から供給されたG光のうち光L2は、第2LED101Bの透明支持基板206を透過して、照明方向ILへ射出される。第1LED101Aの活性層303から供給されたG光のうち光L2は、第2LED101Bの透明支持基板206を透過して、照明方向ILへ射出される。このため、第1LED101Aから供給された光L2は、第2LED101Bで遮光されることがない。また、第2LED101Bの活性層203からの光L1は、そのまま照明方向ILへ射出される。この結果、第1LED101Aからの光L2と、第2LED101Bからの光L1との少なくとも2つの固体発光素子からの光は、同一の照明方向ILへ重畳して進行する。従って、発光領域の面積を増大させることなく高い点光源性を得ること、及び光量を増やし高輝度な光を得ることができる。
また、第1LED101Aの活性層303から供給される光は、照明方向ILである第2LED101B側の方向と、基板を構成するPt電極301とAu電極300の方向との2つの方向へ供給される。2つの方向へ供給された光のうち、第2LED101B側の方向へ進行する光L2は、上述したように第2LED101Bの透明支持基板206を透過して照明方向ILへ射出される。これに対して、Pt電極301側の方向へ進行する光L4は、Pt電極301で反射して、第1LED101Aと、透明支持基板206を介して第2LED101Bとを透過して、照明方向ILへ射出される。この結果、有効に光を用いることができ、高輝度な光を得ることができる。
さらに、第2LED101Bの活性層203からも、第1LED101A側へ光L3が射出される。光L3は、透明支持基板206を透過して、第1LED101Aへ入射する。第1LED101Aを透過した光L3は、Pt電極301で反射される。Pt電極301で反射された光L3は、再び、第1LED101Aと、透明支持基板206を介して第2LED101Bとを透過する。そして、第2LED101Bから照明方向ILへ射出される。この結果、照明方向ILへは、光L1、L2、L3、L4が射出されるため、高輝度な光を得ることができる。
図2−2は、第2LED101Bを照明方向ILから見た構成を示す。上電極205は、矩形状のn−GaN層204の対向する辺近傍の周辺部に形成されている。図3は、光源装置100全体を照明方向ILから見た構成を示す。上述したように、レンズ109は、第2LED101Bを略焦点とする半球状である。
図4−1は、第1LED101Aと第2LED101Bとを駆動する際の、電圧印加の概念を示す。電源部1000の負側電極は、第2LED101Bの上電極205に接続されている。また、電源部1000の正側電極は、第1LED101AのAu電極300に接続されている。そして、光源装置100の点灯のON又はOFFは、スイッチ1001の開閉により行う。具体的には、図4−2に示すように、上電極205には、電源部1000の負側電極に接続している銅箔リード線102が固着されている。第1LED101AのAu電極300には、電源部1000の正側電極に接続している電極リード部の機能を兼用する金属実装基台106が固着されている。そして、第1LED101Aと第2LED101Bとは、電気的に接続されている。これにより、第1LED101Aと第2LED101Bとに所定の電圧を印加できる。なお、積層するLEDの数を3つ以上にするとき、印加電圧はLEDの数に比例して大きくなるのに対して、電流は単一のLEDを駆動するときと略同一で良い。
次に、図5−1から図5−7に基づいて、第1LED101Aの製造手順を説明する。図5−1において、サファイア基板306上にn−GaN層304と、p−GaN層302と、両層に挟まれた活性層303とを形成する。図5−2において、p−GaN層302上にオーミックコンタクトをとるためのPt電極301を形成する。オーミックコンタクトとは、p−GaN層302へ電流を注入しやすくするための構成をいう。図5−3において、Pt電極301上にAu電極300をメッキ処理により形成する。図5−4において、サファイア基板306側からレーザ光を照射する。ここで、いわゆるレーザリフトオフと呼ばれる方法により、n−GaN層304からサファイア基板306を分離する。レーザリフトオフに関しては、例えば、電子情報通信学会技術研究報告(信学技法 Vol.103 No.341、p49−53、ED2003−141)に詳しく述べられている。図5−5は、サファイア基板306を取り去った後の構成を示す。図5−6において、n−GaN層304上の所定の位置に、オーミックコンタクトをとるためのTi電極と、その上にAu電極とを形成する。図5−6では、簡単のため、Ti電極とAu電極とを合わせて上電極305として示す。最後に、図5−7において、クラッキング工程により、複数の第1LED101Aが製造された1枚の基板を所定位置で切断して分割することで、個別の第1LED101Aを得ることができる。
次に、図6−1から図6−8に基づいて、第2LED101Bの製造手順を説明する。図6−1において、サファイア基板207上にn−GaN層204と、p−GaN層202と、両層に挟まれた活性層203とを形成する。図6−2において、p−GaN層202上の所定位置に、石英、硝子又は耐熱性樹脂からなる透明支持基板206を光学的透明接着剤で固着する。透明支持基板206は、後続する手順において基板の機械的強度を保つために十分な厚さであることが望ましい。例えば、透明支持基板206の厚さは、数10μm程度である。図6−3において、p−GaN層202上にオーミックコンタクトをとるためのPt電極201を形成する。Pt電極201は、p−GaN層302へ電流を注入しやすくする機能を有する。図6−4において、Pt電極201上にAu電極200をメッキ処理により形成する。図6−5において、サファイア基板207側からレーザ光を照射して、レーザリフトオフにより、n−GaN層204からサファイア基板207を分離する。図6−6は、サファイア基板207を取り去った後の構成を示す。図6−7において、n−GaN層204上の所定の位置に、オーミックコンタクトをとるためのTi電極と、その上にAu電極とを形成する。図6−7では、簡単のため、Ti電極とAu電極とを合わせて上電極205として示す。最後に、図6−8において、クラッキング工程により、複数の第2LED101Bが製造された1枚の基板を所定位置で切断して分割することで、個別の第2LED101Bを得ることができる。
次に、図7−1から図7−7に基づいて、第1LED101Aと第2LED101Bとを金属実装基台106上に実装して光源装置100を製造する手順を説明する。図7−1において、平板状の金属実装基台106の内部に、断面が矩形形状の冷却液流動部107を形成する。第1LED101A、第2LED101Bは、共に、点灯により発熱量が大きくなる。高効率でLEDを発光させるためには、発熱によるLEDの温度上昇を抑えることが必要となる。このため、冷却液流動部107内に冷媒を流動させて、第1LED101Aが直接実装される金属実装基台106を冷却する。冷媒としては液体、気体の何れでも良い。金属実装基台106は、下部電極リード部の機能を兼用している。これにより、第1LED101A、第2LED101Bからの発熱の放熱性を向上できる。特に、積層された第2LED101Bは、直下の第1LED101Aと金属電極により結線されているため、熱伝導が効率良く行われる。このため、金属実装基台106から効率的に排熱(冷却)できる。図7−2において、金属実装基台106上の中央部に、第1LED101AのAu電極300側を直接固着する。図7−3において、第1LED101A上に積層して第2LED101Bを直接固着する。そして、第1LED101Aの上電極305と、第2LED101BのAu電極200とを電気的に接続するために結線する。図7−4において、銅箔リード線102が形成されているフレキシブル基板105を金属実装基台106上に固着する。フレキシブル基板105は、例えばポリイミドフィルムから構成されている。フレキシブル基板105の厚さは、第1LED101Aと第2LED101Bとを積層した高さと略一致させておく。そして、銅箔リード線102と、第2LED101Bの上電極205とを電気的に接続するために結線する。最後に、銅箔リード線102の端部に、駆動端子104を形成する。
図7−5において、フレキシブル基板105の周辺部に、光反射部108を形成する。光反射部108は、所定の波長領域の光であるG光を反射する斜面108aを有する。図7−6において、第2LED101Bとインデックス・マッチングするような透明樹脂部109aを形成する。透明樹脂部109aは、例えば、シリコン系ジェルを用いることができる。これにより、活性層203、303で発生したG光は、第2LED101Bのn−GaN層204で全反射する光量が減少する。この結果、G光を効率良く照明方向ILへ導くことができる。図7−7において、透明樹脂部109a上にレンズ109を固定する。レンズ109は正の屈折力を有する凸単レンズである。これにより、第1LED101A、第2LED101BからのG光を屈折させて照明方向ILへ射出できる。なお、レンズ109の焦点位置と、第1LED101A、第2LED101Bの位置とを略一致させておくことが望ましい。以上説明した手順で、光源装置100を製造できる。なお、上述した製造手順は、工程の基本となる手順を説明したものである。従って、各手順の前後関係を適宜変更しても良い。
図8、図9に基づいて、フレキシブル基板105と、積層した2つのLED101A、101Bの高さとの整合をとるための変形例を説明する。図8は、第1の変形例の概略構成を示す。フレキシブル基板105の厚さは、積層された2つのLED101A、101Bの高さよりも小さい。このため、フレキシブル基板105上にスペーサ601を介して銅箔リード線602を形成する。そして、銅箔リード線602と第2LED101Bの上電極205とを電気的に接続するために結線する。また、図9は、第2の変形例の概略構成を示す。金属実装基台106に所定の深さの掘り込み部701を形成しておく。第1LED101Aは、掘り込み部701に固着して実装する。掘り込み部701の深さ量は、フレキシブル基板105上の銅箔リード線102と、第2LED101Bの上電極205とが容易に結線できる量に設定しておく。
図10、図11に基づいて、第2LED101Bの上電極の形状、配置の変形例を説明する。図10は、上電極205の第1の変形例を照明方向ILから見た構成を示す。略正方形状の上電極205が、矩形状のn−GaN層204の4つの隅部の近傍に形成されている。図11は、上電極205の第2の変形例を照明方向ILから見た構成を示す。3角形形状の上電極205が、n−GaN層204の4つの隅部に形成されている。上電極205のこれらの形状、配置は、第1LED101Aの上電極305についても同様である。また、上電極205の形状、配置はこれに限られるものではなく、以下の条件(1)、(2)を満足するものであれば良い。
(1)LEDを安定的に積層できること。
(2)電流が活性層に均一かつ効率良く流れること。
(1)LEDを安定的に積層できること。
(2)電流が活性層に均一かつ効率良く流れること。
本実施例では、第1LED101Aの上に第2LED101Bを積層した構成に基づいて説明している。しかしながら、本発明はこれに限られることなく、3つ以上のLEDを積層することも容易にできる。例えば、図12に示すように、第1LED101Aの上に3つの第2LED101Bを積層することができる。これにより、高い点光源性で、光量を実施例1に比較して、さらに増加させることができる。
図13は、積層するLEDのさらに他の変形例を示す。本変形例では、下側の第1LED101Aの代わりに、第2LED101Bとミラー部1200とを用いる。実施例1と同一の部分には、同一の符号を付し、重複する説明は省略する。上側の第2LED101Bからの光L1は、そのまま照明方向ILへ射出される。下側の第2LED101Bからの光L2は、上側の第2LED101Bの透明支持基板206を透過して、照明方向ILへ射出する。この結果、光L1と、光L2とは、同一の照明方向ILへ重畳して進行する。
上側の第2LED101Bの活性層203からは、照明方向ILと反対側にも光L3が射出される。光L3は、透明支持基板206を透過して、下側の第2LED101Bへ入射する。下側の第2LED101Bを透過した光L3は、ミラー部1200で反射される。ミラー部1200で反射された光L3は、再び、積層された2つの第2LED101Bを透過して照明方向ILへ射出される。
さらに、下側の第2LED101Bの活性層203から、照明方向ILと反対側へ供給される光L4は、ミラー部1200で反射する。ミラー部1200で反射された光L4は、再び、積層された2つの第2LED101Bを透過して照明方向ILへ射出される。この結果、照明方向ILへは、4つの光L1、L2、L3、L4が射出される。従って、有効に光を用いることができ、高輝度な光を得ることができる。
図14は、本発明の実施例2に係るプロジェクタ1400の概略構成を示す。プロジェクタ1400は、第1色光であるR光を供給する第1光源部1401Rと、第2色光であるG光を供給する第2光源部1401Gと、第3色光であるB光を供給する第3光源部1401Bとを有する。第1光源部1401R、第2光源部1401G及び第3光源部1401Bは、それぞれ上記実施例1で述べた光源装置100を用いるLED素子である。
第1光源部1401RからのR光は、偏光変換素子1403Rに入射する。偏光変換素子1403Rは、R光を特定の振動方向を有する偏光光、例えばp偏光光に変換する。偏光変換されたR光は、第1色光用空間光変調装置であるR光用空間光変調装置1410Rに入射する。R光用空間光変調装置1410Rは、R光を画像信号に応じて変調する透過型の液晶表示装置である。R光用空間光変調装置1410Rは、液晶パネル1415Rと、第1偏光板1416Rと、第2偏光板1417Rとを有する。
第1偏光板1416Rは、p偏光光に変換されたR光を透過し、液晶パネル1415Rに入射させる。液晶パネル1415Rは、p偏光光を画像信号に応じて変調し、s偏光光に変換する。第2偏光板1417Rは、液晶パネル1415Rでs偏光光に変換されたR光を射出する。このようにして、R光用空間光変調装置1410Rは、第1光源部1401RからのR光を変調する。R光用空間光変調装置1410Rでs偏光光に変換されたR光は、クロスダイクロイックプリズム1412に入射する。
第2光源部1401GからのG光は、偏光変換素子1403Gに入射する。偏光変換素子1403Gは、G光を特定の振動方向を有する偏光光、例えばs偏光光に変換する。偏光変換されたG光は、第2色光用空間光変調装置であるG光用空間光変調装置1410Gに入射する。G光用空間光変調装置1410Gは、G光を画像信号に応じて変調する透過型の液晶表示装置である。G光用空間光変調装置1410Gは、液晶パネル1415Gと、第1偏光板1416Gと、第2偏光板1417Gとを有する。
第1偏光板1416Gは、s偏光光に変換されたG光を透過し、液晶パネル1415Gに入射させる。液晶パネル1415Gは、s偏光光を画像信号に応じて変調し、p偏光光に変換する。第2偏光板1417Gは、液晶パネル1415Gでp偏光光に変換されたG光を射出する。このようにして、G光用空間光変調装置1410Gは、第2光源部1401GからのG光を変調する。G光用空間光変調装置1410Gでp偏光光に変換されたG光は、クロスダイクロイックプリズム1412に入射する。
第3光源部1401BからのB光は、偏光変換素子1403Bに入射する。偏光変換素子1403Bは、B光を特定の振動方向を有する偏光光、例えばp偏光光に変換する。偏光変換されたB光は、第3色光用空間光変調装置であるB光用空間光変調装置1410Bに入射する。B光用空間光変調装置1410Bは、B光を画像信号に応じて変調する透過型の液晶表示装置である。B光用空間光変調装置1410Bは、液晶パネル1415Bと、第1偏光板1416Bと、第2偏光板1417Bとを有する。
第1偏光板1416Bは、p偏光光に変換されたB光を透過し、液晶パネル1415Bに入射させる。液晶パネル1415Bは、p偏光光を画像信号に応じて変調し、s偏光光に変換する。第2偏光板1417Bは、液晶パネル1415Bでs偏光光に変換されたB光を射出する。このようにして、B光用空間光変調装置1410Bは、第3光源部1401BからのB光を変調する。B光用空間光変調装置1410Bでs偏光光に変換されたB光は、クロスダイクロイックプリズム1412に入射する。
クロスダイクロイックプリズム1412は、2つのダイクロイック膜1412a、1412bを有する。2つのダイクロイック膜1412a、1412bは、X字型に直交して配置されている。ダイクロイック膜1412aは、s偏光光であるR光を反射し、p偏光光であるG光を透過する。ダイクロイック膜1412bは、s偏光光であるB光を反射し、p偏光光であるG光を透過する。このように、クロスダイクロイックプリズム1412は、第1色光用空間光変調装置1410Rと、第2色光用空間光変調装置1410Gと、第3色光用空間光変調装置1410Bとでそれぞれ変調されたR光、G光及びB光を合成する。投写レンズ1430は、クロスダイクロイックプリズム1412で合成された光をスクリーン1440に投写する。
プロジェクタ1400は、高い点光源性で、高輝度な光を供給する光源装置100を用いている。このため、明るく、良好な投写像を得ることができる。ここで、上記実施例1で述べたフリップチップ法によるInGaN系のLEDは、G光又はB光を供給する構成に適している。これに対して、R光を供給するLEDは、ワイヤボンド法によるAllnGaP系のLEDが好適である。AllnGaP系のLEDは、2つの電極が上下方向に分離している。このため、電極を上下方向、即ち金属実装基台に垂直な方向に結線しやすい位置に配置する。これにより、複数のLEDを容易に積層することができる。なお、R光を供給する光源装置を、上記実施例1と同様の構成で実現しても良いことは言うまでもない。
上記各実施例では、LEDを例にして説明したが。本発明はこれに限られるものではない。他の固体発光素子、例えば、半導体レーザ、エレクトロ・ルミネセンス(EL)素子等にも適用できる。
以上のように、本発明に係る光源装置は、特にInGaN系のLEDに有用であり、プロジェクタに適している。
101A 第1LED、101B 第2LED、100 光源装置、102 銅箔リード線、104 駆動端子、105 フレキシブル基板、106 金属実装基台、107 冷却液流動部、108 光反射部、108a 斜面、109 レンズ、109a 透明樹脂部、200 Au電極、201 Pt電極、202 p−GaN層、203 活性層、204 n−GaN層、205 上電極、206 透明支持基板、207 サファイア基板、300 Au電極、301 Pt電極、302 p−GaN層、303 活性層、304 n−GaN層、305 上電極、306 サファイア基板、601 スペーサ、602 銅箔リード線、701 掘り込み部、1000 電源部、1001 スイッチ、1200 ミラー部、1400 プロジェクタ、1401R、1401G、1401B 各色用光源部、1403R、1403G、1403B 偏光変換素子、1410R、1410G、1410B 各色光用空間光変調装置、1412 クロスダイクロイックプリズム、1412a、1412b ダイクロイック膜、1415R、1415G、1415B 液晶パネル、1416R、1416G、1416B、1417R、1417G、1417B 偏光板、1430 投写レンズ、1440 スクリーン、IL 照明方向
Claims (5)
- 所定の波長領域の光を照明方向へ供給する第1の固体発光素子と、
前記第1の固体発光素子に積層して設けられ、前記所定の波長領域の光を前記照明方向へ供給する第2の固体発光素子と、の少なくとも2つの固体発光素子を有し、
前記第2の固体発光素子は、前記第1の固体発光素子からの前記所定の波長領域の光を前記照明方向へ透過する透明層を有することを特徴とする光源装置。 - 前記第1の固体発光素子は、
前記所定の波長領域の光を反射する基板と、
第1の電極を有し、前記基板上に形成された第1半導体層と、
第2の電極を有する第2半導体層と、
前記第1半導体層と前記第2半導体層との間に形成された活性層とを有し、
前記基板は、前記活性層からの前記所定の波長領域の光を前記第2の固体発光素子側へ反射することを特徴とする請求項1に記載の光源装置。 - 前記第1の固体発光素子は、
前記所定の波長領域の光を反射するミラー部と、
第1の電極を有し、前記ミラー部上に形成された第1半導体層と、
第2の電極を有する第2半導体層と、
前記第1半導体層と前記第2半導体層との間に形成された活性層と、
前記活性層からの光を透過する透過層とを有し、
前記ミラー部は、前記活性層から射出し前記透明層を透過する前記所定の波長領域の光を前記第2の固体発光素子側へ反射することを特徴とする請求項1に記載の光源装置。 - さらに、前記第2の固体発光素子の前記照明方向側に設けられ、前記第2の固体発光素子からの前記所定の波長領域の光と、前記第1の固体発光素子から供給され前記第2の固体発光素子を透過する前記所定の波長領域の光とを、前記照明方向へ屈折させて射出するレンズをさらに有することを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項に記載の光源装置。
- 請求項1〜4のいずれか一項に記載の光源装置と、
前記光源装置からの光を画像信号に応じて変調して射出する空間光変調装置と、
前記変調された光を投写する投写レンズとを有することを特徴とするプロジェクタ。
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