JP2005212231A - 透明ガスバリアフィルム、その製造方法およびエレクトロルミネッセンス素子 - Google Patents
透明ガスバリアフィルム、その製造方法およびエレクトロルミネッセンス素子 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2005212231A JP2005212231A JP2004020671A JP2004020671A JP2005212231A JP 2005212231 A JP2005212231 A JP 2005212231A JP 2004020671 A JP2004020671 A JP 2004020671A JP 2004020671 A JP2004020671 A JP 2004020671A JP 2005212231 A JP2005212231 A JP 2005212231A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resin substrate
- gas barrier
- inorganic layer
- layer
- barrier film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
Abstract
【解決手段】
樹脂基板の少なくとも片面上に、有機層および無機層をそれぞれ1層以上積層して設けた構造の透明ガスバリアフィルムであって、該無機層がプラズマCVD法により、無機層の膜厚、樹脂基板の搬送速度および樹脂基板の電極通過総長さが、下記式(1)で示す関係を満たす条件で作製されたものである。
5≦T/(L/S)≦100 (1)
ただし 108≦S≦1011
式中、T:無機層の膜厚(nm)
S:樹脂基板の搬送速度(nm/min)
L:樹脂基板の電極通過総長さ(nm)
【選択図】 なし
Description
ただし 108≦S≦1011
(式中、T:無機層の膜厚(nm)
S:樹脂基板の搬送速度(nm/min)
L:樹脂基板の電極通過総長さ(nm))
本発明において、上記無機層は、無機層が珪素酸化物または珪素窒化物または珪素窒化酸化物を主成分として構成される。また、本発明の透明ガスバリアフィルムは、全光線透過率が80%以上であることが好ましい。
まず、本発明の透明ガスバリアフィルムの各構成層と作製法について述べる。図1は、本発明のガスバリアフィルムの一例の模式的断面図である。ガスバリアフィルムは樹脂基板1上に有機層2および無機層3が順次積層されて設けられている。本発明において、有機層および無機層は複数存在していてもよく、また、その積層順序には特に制限はなく、いずれが樹脂基板に直接接するように設けてもよい。例えば、樹脂基板の上に複数の有機層および無機層が交互に積層された層構成、異種材料からなる有機層同士が隣接して積層された層構成、異種材料からなる無機層同士が隣接して積層された層構成などがあげられる。特に、樹脂基板上に有機層、無機層、有機層が順次設けられた層構成のものが好ましい。
本発明でいうプラズマCVD法とは、原料ガスをグロー放電などにより電離させてプラズマ状態とし、酸化還元反応、置換反応、自己分解反応等を行わせて、これらの反応による生成物を基板上に堆積させる方法をいう。本発明におけるプラズマCVD法では、反応空間を有する反応容器に、有機金属化合物を含む原料ガスを導入するための導入管、放電エネルギーが印加される電極、放電エネルギーが印加される電極に対向する接地電極、反応容器内のガスを排気するための排気管および排気装置が備え付けられたものを基本的な構成単位とするCVD装置が用いられる。原料は、固体、液体、気体のいずれの形態でも用い得る。なお、固体、液体からなる原料の場合、加熱処理や減圧処理などの適宜な方式でガス化して原料ガスを形成してもよい。原料ないし原料ガスとしては、例えば、Siの水素化物、ハロゲン化物、アセチルアセトネート化物、アルコキシド化物、アルキル化物等があげられる。また、反応ガスとしては、酸素ガス、窒素ガス、水蒸気、アンモニアガス等、或いはこれらの含有物が用いられる。
本発明の透明ガスバリアフィルムは、透明であることが必要である。透明性の目安として、全光線透過率が80%以上であるのが好ましく、より好ましくは88%以上である。なお、全光線透過率の測定はJIS K7136−1による。
図2は本発明のエレクトロルミネッセンス素子の模式的断面図である。図において、エレクトロルミネッセンス素子は、基材10上に、透明電極層4、発光層5、陰極層6が順次積層され、その積層体が封止材によって封止され、密閉された空間に配置された構造を有している。図2aにおいては、この積層体が金属材料、プラスチック等で形成された封止材7aによって封止され、図2bにおいては、透明ガスバリアフィルム等の樹脂材料よりなる封止材7bによって封止された場合を示している。
樹脂基板としてポリエチレンナフタレート(PEN)フィルム(厚さ100μm)を用い、有機層としてアクリル樹脂(大日本インキ化学社製、ユニディックV−4261)を1μmの厚さで塗工し、次に無機層として酸化珪素を積層した。積層方法は、プラズマCVD法を用い、テトラメトキシシラン、酸素ガスを出発物質とし、フィルムを搬送速度200m/min(2×1011nm)で、電極間を通過させるフィルムの総長さを50m(5×1010nm)とした条件で、ガス流量、系内圧力、RF出力を調整して、膜厚100nmの酸化珪素膜を積層した。更に、最外層にアクリル樹脂層を塗工し、透明ガスバリアフィルムを作製した。(T/(L/S)=400)。
上記実施例および比較例の透明ガスバリアフィルムについて、直径2cmの円柱の棒に巻き付ける前(屈曲前)と巻き付けた後(屈曲後)の酸素透過率を、酸素透過率測定装置(MOKON社製、OX−TRAN 2/21 ML)を用いて温度25℃/湿度90%の条件で測定した。また、全光線透過率をヘーズメータ(Haze Meter NDH2000、日本電色社製)を用いて測定した。それらの結果を表1に示す。
Claims (6)
- 樹脂基板の少なくとも片面上に、有機層および無機層をそれぞれ1層以上積層して設けた構造の透明ガスバリアフィルムにおいて、該無機層がプラズマCVD法により、無機層の膜厚、樹脂基板の搬送速度および樹脂基板の電極通過総長さが、下記式(1)で示す関係を満たす条件で作製されたものであることを特徴とする透明ガスバリアフィルム。
5≦T/(L/S)≦100 (1)
ただし 108≦S≦1011
(式中、T:無機層の膜厚(nm)
S:樹脂基板の搬送速度(nm/min)
L:樹脂基板の電極通過総長さ(nm)) - 前記無機層が珪素酸化物、珪素窒化物または珪素窒化酸化物を主成分とすることを特徴とする請求項1記載の透明ガスバリアフィルム。
- 樹脂基板がポリエチレンナフタレートフィルムであることを特徴とする請求項1または2記載の透明ガスバリアフィルム。
- 全光線透過率が80%以上であることを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の透明ガスバリアフィルム。
- 樹脂基板の少なくとも片面上に、有機層および無機層をそれぞれ1層以上積層して設けることよりなる透明ガスバリアフィルムの製造方法において、該無機層を、プラズマCVD法により、無機層の膜厚と樹脂基板搬送速度とが下記式(1)で表される関係を満たす条件下で形成することを特徴とする透明ガスバリアフィルムの製造方法。
5≦T/(L/S)≦100 (1)
ただし 108≦S≦1011
(式中、T:無機層の膜厚(nm)
S:樹脂基板の搬送速度(nm/min)
L:樹脂基板の電極通過総長さ(nm)) - 基板上に、少なくとも透明電極層、発光層、陰極層を順次積層した積層体を、密閉された空間内に配置したエレクトロルミネッセンス素子において、該基板が、樹脂基板の少なくとも片面上に、有機層および無機層をそれぞれ1層以上積層して設けた構造の透明ガスバリアフィルムであって、該無機層がプラズマCVD法により、無機層の膜厚、樹脂基板の搬送速度および樹脂基板の電極通過総長さが、下記式(1)で示す関係を満たす条件で作製されたものであることを特徴とするエレクトロルミネッセンス素子。
5≦T/(L/S)≦100 (1)
ただし 108≦S≦1011
(式中、T:無機層の膜厚(nm)
S:樹脂基板の搬送速度(nm/min)
L:樹脂基板の電極通過総長さ(nm))
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004020671A JP2005212231A (ja) | 2004-01-29 | 2004-01-29 | 透明ガスバリアフィルム、その製造方法およびエレクトロルミネッセンス素子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2004020671A JP2005212231A (ja) | 2004-01-29 | 2004-01-29 | 透明ガスバリアフィルム、その製造方法およびエレクトロルミネッセンス素子 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2005212231A true JP2005212231A (ja) | 2005-08-11 |
Family
ID=34904524
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004020671A Pending JP2005212231A (ja) | 2004-01-29 | 2004-01-29 | 透明ガスバリアフィルム、その製造方法およびエレクトロルミネッセンス素子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2005212231A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013121666A1 (ja) * | 2012-02-15 | 2013-08-22 | 富士フイルム株式会社 | 機能性フィルムの製造方法および機能性フィルム |
CN110061149A (zh) * | 2019-04-28 | 2019-07-26 | 福州大学 | 一种柔性oled器件薄膜封装方法 |
-
2004
- 2004-01-29 JP JP2004020671A patent/JP2005212231A/ja active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2013121666A1 (ja) * | 2012-02-15 | 2013-08-22 | 富士フイルム株式会社 | 機能性フィルムの製造方法および機能性フィルム |
JP2013166298A (ja) * | 2012-02-15 | 2013-08-29 | Fujifilm Corp | 機能性フィルムの製造方法および機能性フィルム |
CN104114361A (zh) * | 2012-02-15 | 2014-10-22 | 富士胶片株式会社 | 功能性膜的制造方法及功能性膜 |
CN104114361B (zh) * | 2012-02-15 | 2016-06-15 | 富士胶片株式会社 | 功能性膜的制造方法及功能性膜 |
CN110061149A (zh) * | 2019-04-28 | 2019-07-26 | 福州大学 | 一种柔性oled器件薄膜封装方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7378133B2 (en) | Fabrication system, light-emitting device and fabricating method of organic compound-containing layer | |
KR100961401B1 (ko) | 발광 디바이스를 제조하는 방법 및 발광 디바이스를제조하는 장치 | |
JP6309260B2 (ja) | 薄膜封止の製造装置及び薄膜封止の製造方法 | |
US10566573B2 (en) | Organic light emitting display apparatus and method of manufacturing organic light emitting display apparatus | |
JP4858167B2 (ja) | 透明導電性フィルム、透明導電性フィルムの製造方法及び有機エレクトロルミネッセンス素子 | |
KR101006938B1 (ko) | 제조 시스템 및 발광장치 제작방법 | |
US8389983B2 (en) | Organic light emitting apparatus and method of manufacturing organic light emitting apparatus | |
EP1629543B1 (en) | Barrier films for flexible polymer substrates fabricated by atomic layer deposition | |
KR20070007736A (ko) | 가스 배리어성 필름, 기재 필름 및 유기일렉트로루미네선스 소자 | |
JP2003017244A (ja) | 有機電界発光素子およびその製造方法 | |
JP2007216435A (ja) | ガスバリアフィルム基板、電極付きガスバリアフィルム基板、及びそれらを用いた表示素子 | |
CN111769206A (zh) | 用于衬底和装置的薄膜渗透屏障系统和制造所述薄膜渗透屏障系统的方法 | |
JP2007118564A (ja) | ガスバリア材料およびその製造方法、並びに、ガスバリア層の設置方法 | |
WO2015107702A1 (ja) | ガスバリア性フィルム | |
US20160254487A1 (en) | Permeation barrier system for substrates and devices and method of making the same | |
JP2005212229A (ja) | 透明ガスバリアフィルムおよびエレクトロルミネッセンス素子 | |
JP4515060B2 (ja) | 製造装置および有機化合物を含む層の作製方法 | |
JP2008240131A (ja) | 透明ガスバリアフィルムおよびエレクトロルミネッセンス素子 | |
JP2005212231A (ja) | 透明ガスバリアフィルム、その製造方法およびエレクトロルミネッセンス素子 | |
JP2005212230A (ja) | 透明ガスバリアフィルムおよびエレクトロルミネッセンス素子 | |
JP2009298135A (ja) | 積層フィルムおよびガスバリアフィルムの放熱性改善方法 | |
KR20150004525A (ko) | 패시베이션용 적층 구조물 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20061113 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20090520 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090526 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20090724 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090825 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20091222 |