JP2005211741A - 汚染物質除去装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 50はエアワッシャー装置でクリーンルームからの処理空気を導入する。低温で供給された冷水(E)は、除湿コイル63、噴霧水熱交換器59bを通り処理空気を冷却する冷却コイル68に流入する。このようにして冷水は温度が上昇して、冷水製造手段に還る(H)。冷水の流入温度と流出温度の温度差が大きく配管径を細くできるのでコストを削減することが可能となる。また、冷水の加温に加温コイルに供給される温水を利用していないので、熱源の有効利用を図ることができる。
【選択図】 図1
Description
Claims (8)
- 複数列の噴霧ノズルを有する噴霧室と、前記噴霧室と集水管で連結される循環水槽と、前記噴霧ノズルと前記循環水槽とを配管で連結して、前記噴霧ノズルから射出される循環水により噴霧室に流入した処理空気中の汚染物質を除去して、当該空気を空調室に送出する汚染物質除去装置であって、前記噴霧室に冷水により前記流入した空気を冷却する冷却手段を設け、前記冷水は前記空調室に設置された部品を冷却してから前記冷却手段に供給する構成としたことを特徴とする、汚染物質除去装置。
- 前記空調室に設置される部品は、除湿コイルであることを特徴とする、請求項1に記載の汚染物質除去装置。
- 前記冷却手段は、冷却コイルであることを特徴とする、請求項1または請求項2に記載の汚染物質除去装置。
- 前記冷水を除湿コイルから前記循環水が供給される噴霧水熱交換器を通して冷却コイルに送出させ、冷水の温度を序々に上昇させることを特徴とする、請求項3に記載の汚染物質除去装置。
- 前記除湿コイルを冷却する冷水と、前記冷却コイルを冷却後冷水製造施設に戻される冷水との温度差を大きく設定したことを特徴とする、請求項2ないし請求項4のいずれかに記載の汚染物質除去装置。
- 前記空調室に、温水が供給される加温コイルを設けたことを特徴とする、請求項1ないし請求項5のいずれかに記載の汚染物質除去装置。
- 補給水が前記循環水槽を経由することなく前記噴霧室に直接供給されて前記いずれかの噴霧ノズルから射出される構成としたことを特徴とする、請求項1ないし請求項6のいずれかに記載の汚染物質除去装置。
- 前記補給水が供給される噴霧ノズルを、前記噴霧室の空気流入方向からみて出口側に設けたことを特徴とする、請求項7に記載の汚染物質除去装置。
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CN104390320A (zh) * | 2014-11-18 | 2015-03-04 | 苏州市海魄洁净环境工程有限公司 | 一种洁净室温湿度自动控制装置 |
CN105289163A (zh) * | 2015-09-10 | 2016-02-03 | 金心东 | 烟草异味处理及除雾装置和方法 |
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