KR101209611B1 - 저온 배열을 이용한 에너지 절약형 외기공조장치 - Google Patents

저온 배열을 이용한 에너지 절약형 외기공조장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 저온 배열을 이용한 에너지 절약형 외기공조장치에 관한 것으로, 그 목적은 제2 순환코일들로 반환냉수 또는 냉각수를 공급함에 있어서 각각의 제2 순환코일로 직접 반환냉수 또는 냉각수를 공급할 수 있도록 함으로써 에너지 회수량을 높일 수 있는 저온 배열을 이용한 에너지 절약형 외기공조장치를 제공함에 있다. 이를 위한 본 발명은 도입외기 중의 이물질을 여과하는 필터유닛; 상기 필터유닛의 후단에 설치되어 도입외기를 가열하는 프리히터; 상기 프리히터의 후단에 설치되며, 클린룸으로부터 배출되는 배기의 여과를 위해 세정집진기에서 사용되어 배기의 열을 회수한 물과 열교환을 하여 승온된 물을 공급받아 도입외기를 가열 또는 냉각하는 제1 순환코일; 상기 제1 순환코일의 후단에 설치되며, 클린룸에 구비된 드라이코일로 공급되어 순환공기의 냉각에 사용된 후 냉각기로 복귀하는 반환냉수 또는 냉각기로부터 클린룸으로 공급되는 냉각수를 공급받아 도입외기를 냉각 또는 가열하는 다수개의 제2 순환코일; 상기 제2 순환코일들의 전후에 배치되어 물을 분무하되, 분무량의 조절을 위한 밸브를 각기 구비하는 다수개의 에어와셔; 상기 냉각기로부터 냉각탑으로 보내어지는 냉각수를 공급받아 도입외기를 가열하는 리히팅 코일을 구비하는 저온 배열을 이용한 에너지 절약형 외기공조장치에 관한 것을 기술적 요지로 한다.

Description

저온 배열을 이용한 에너지 절약형 외기공조장치{Outdoor air conditioning system using low temperature waste heat}
본 발명은 저온 배열을 이용한 에너지절약형 외기공조장치에 관한 것으로, 특히 클린룸으로부터 냉각기로 반환되는 반환냉수와 냉각기로부터 제공되는 냉각수를 이용하여 도입외기를 가열하거나 냉각하는 다수개의 순환코일들이 직접 반환냉수 또는 냉각수를 공급받도록 하고, 또 에어와셔로부터 분무되는 물의 양을 조절할 수 있도록 함으로써 열교환 효율을 높이고 도입외기의 습도조절이 용이하도록 한 저온 배열을 이용한 에너지 절약형 외기공조장치에 관한 것이다.
일반적으로 반도체나 액정표시장치와 같은 물품의 제조는 고 청정도가 유지되는 클린룸(Clean room) 내에서 이루어지게 된다. 한편 클린룸으로 유입되는 공기를 통해 먼지나 오염물질이 유입되는 것을 방지하고, 유입되는 공기의 온도 및 습도를 최적의 조건(12℃ 90%)으로 조정하기 위하여 외기공조장치가 사용되고 있다.
도 1은 종래 외기공조장치의 구성도를 도시하고 있다.
종래의 외기공조장치는 도입되는 공기 중의 먼지나 각종 가스상의 오염물(SOX,NOX,NH3)을 제거하기 위하여 외기가 유입되는 유입측에 설치된 필터(11)와, 상기 필터의 후단에 설치된 프리히터(Pre-heater,12)와, 공기 중의 각종 미세입자를 여과하기 위한 에어와셔(Air washerm,13) 및 클린룸으로 투입되기 전 도입외기의 최적조건인 12℃, 90%로 조정하기 위한 리히팅 코일(14)이 구비된 것으로 구성되어 있다.
한편 반도체나 액정표시장치의 제조공정에서 소요되는 에너지의 대부분(약 90%)은 전력이고, 이중 40%를 공조설비가 소비하게 되며, 공조설비에서 소비되는 대부분의 전력은 상기와 같이 구성되어 클린룸으로 도입되는 외기를 처리하는 외기공조장치를 작동하는데 사용되고 있다. 따라서 외기부하를 감소시켜 외기공조장치에 사용되는 전력을 감소시키는 것만으로도 매우 큰 에너지 절감효과를 기대할 수 있게 된다.
이에 클린룸으로부터 배출되는 배기의 열을 회수하여 도입외기의 예열이나 예냉에 사용함으로써 외기부하를 감소시켜 에너지를 절감하는 방법에 대한 많은 연구가 진행되고 있다.
한편 본 출원인은 클린룸의 내부에서 발생되어 공기와 함께 배출되는 저온 배열을 최대한 회수하여 외기의 가열 및 냉각에 사용함으로써 공조부하를 감소시킬 수 있는 하이브리드 열회수식 외기공조장치를 개발한 바 있으며, 이러한 하이브리드 열회수식 외기공조장치는 한국등록특허 제0963838호에 개시되어 있다.
도 2는 하이브리드 열회수식 외기공조장치의 구성을 나타낸 도면을 도시하고 있다.
상기 하이브리드 열회수식 외기공조장치는 클린룸(A)으로부터 배출되는 배기의 여과를 위해 세정집진기(B)에서 사용되어 배기의 열을 회수한 물과 열교환을 하여 승온된 물을 공급받아 도입외기를 예열 또는 예냉하는 제1 순환코일(23); 상기 클린룸(A)을 순환하는 공기의 냉각을 위하여 별도의 냉각기(C)로부터 클린룸(A)에 구비된 드라이코일(A-1)로 공급되어 순환공기의 냉각에 사용된 후 냉각기(C)로 복귀하는 반환냉수 및 냉각기(C)로 반환된 냉각수의 응축에 사용된 후 냉각탑(D)으로 반환되는 고온의 냉각수를 공급받아 도입외기를 냉각 또는 가열하는 제2 순환코일(14); 및 상기 냉각기(C)로 복귀하는 반환냉수 및 냉각기(C)로 반환된 냉각수의 응축에 사용된 후 냉각탑(D)으로 반환되는 고온의 냉각수를 공급받아 도입외기를 최종적으로 가열하는 리히팅 코일(15)을 포함하는 것으로 구성되어 있다.
이와 같은 외기공조장치는 클린룸으로부터 배출되는 배기의 열을 회수한 물과, 클린룸을 순환하는 공기의 냉각에 사용된 반환냉수를 이용하여 도입외기를 가열 또는 냉각하도록 함으로써 외기부하를 감소시켜 에너지의 절감폭을 향상시킬 수 있는 이점을 가지고 있다.
그러나 상기 외기공조장치는 반환냉수가 제일 후단에 위치한 제2 순환코일로 들어가서 순차적으로 앞의 순환코일로 전달되는 방식으로써, 동절기에 최종적으로 순환코일에서 나오는 물의 온도가 너무 낮아지게 됨에 따라 냉동기 및 냉각탑의 부하가 증가하고, 또 물의 낮은 온도로 인해 두 번째 순환코일에서 에너지 회수량이 작아지게 되며, 첫 번째 순환코일에서 에너지 회수가 거의 일어나지 않는 문제점이 발생되었다.
또한 반도체 클린룸의 경우 습도제어가 매우 중요한 영향을 미침에도 불구하고, 에어와셔(16)로부터 분사되는 물의 양은 항상 동일하므로 정밀한 습도제어가 불가능한 문제점을 갖고 있다.
도면 중 미설명부호 21은 필터이고, 22는 프리히터이다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 고려하여 이루어진 것으로, 본 발명의 목적은 제2 순환코일들로 반환냉수 또는 냉각수를 공급함에 있어서 각각의 제2 순환코일로 직접 반환냉수 또는 냉각수를 공급할 수 있도록 함으로써 에너지 회수량을 높일 수 있는 저온 배열을 이용한 에너지 절약형 외기공조장치를 제공함에 있다.
본 발명의 다른 목적은 에어와셔의 노즐을 통해 분사되는 물의 양을 조절할 수 있도록 하여 정밀한 습도 제어가 가능하도록 한 저온 배열을 이용한 에너지 절약형 외기공조장치를 제공함에 있다.
상기한 바와 같은 목적을 달성하고 종래의 결점을 제거하기 위한 과제를 수행하는 본 발명의 저온 배열을 이용한 에너지 절약형 외기공조장치는 도입외기 중의 이물질을 여과하는 필터유닛; 상기 필터유닛의 후단에 설치되어 도입외기를 가열하는 프리히터; 상기 프리히터의 후단에 설치되며, 클린룸으로부터 배출되는 배기의 여과를 위해 세정집진기에서 사용되어 배기의 열을 회수한 물과 열교환을 하여 승온된 물을 공급받아 도입외기를 가열 또는 냉각하는 제1 순환코일; 상기 제1 순환코일의 후단에 설치되며, 클린룸에 구비된 드라이코일로 공급되어 순환공기의 냉각에 사용된 후 냉각기로 복귀하는 반환냉수 또는 냉각기로부터 클린룸으로 공급되는 냉각수를 공급받아 도입외기를 냉각 또는 가열하는 다수개의 제2 순환코일; 상기 제2 순환코일들의 전후에 배치되어 물을 분무하되, 분무량의 조절을 위한 밸브를 각기 구비하는 다수개의 에어와셔; 상기 냉각기로부터 냉각탑으로 보내어지는 냉각수를 공급받아 도입외기를 가열하는 리히팅 코일을 구비하는 것으로 구성되며, 상기 다수개의 제2 순환코일들은 하나의 제1 개폐밸브를 매개로 반환냉수 회수관과 연결되어 동시에 같은 양의 반환냉수를 공급받도록 구성되고, 더불어 하나의 제2 개폐밸브를 매개로 냉각수 공급관과 연결되어 동시에 같은 양의 냉각수를 동시에 공급받도록 구성된 것을 특징으로 한다.
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또한 본 발명의 저온 배열을 이용한 에너지 절약형 외기공조장치는 도입외기 중의 이물질을 여과하는 필터유닛; 상기 필터유닛의 후단에 설치되어 도입외기를 가열하는 프리히터; 상기 프리히터의 후단에 설치되며, 클린룸으로부터 배출되는 배기의 여과를 위해 세정집진기에서 사용되어 배기의 열을 회수한 물과 열교환을 하여 승온된 물을 공급받아 도입외기를 가열 또는 냉각하는 제1 순환코일; 상기 제1 순환코일의 후단에 설치되며, 클린룸에 구비된 드라이코일로 공급되어 순환공기의 냉각에 사용된 후 냉각기로 복귀하는 반환냉수 또는 냉각기로부터 클린룸으로 공급되는 냉각수를 공급받아 도입외기를 냉각 또는 가열하는 다수개의 제2 순환코일; 상기 제2 순환코일들의 전후에 배치되어 물을 분무하되, 분무량의 조절을 위한 밸브를 각기 구비하는 다수개의 에어와셔; 상기 냉각기로부터 냉각탑으로 보내어지는 냉각수를 공급받아 도입외기를 가열하는 리히팅 코일을 구비하는 것으로 구성되며, 상기 각각의 제2 순환코일들은 제1 개폐밸브를 매개로 반환냉수 회수관과 각각 연결되어 개별적으로 반환냉수를 공급받도록 구성되고, 더불어 각각의 제2 순환코일들은 제2 개폐밸브를 매개로 냉각수 공급관과 각각 연결되어 개별적으로 냉각수를 공급받도록 구성된 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 특징을 갖는 본 발명에 의하면, 반환냉수 및 냉각수를 제2 순환코일로 직접 공급해 주어 에너지 회수율을 높이고, 또 제2 순환코일로 공급되는 반환냉수 및 냉각수의 양을 상황에 따라 조절이 용이하도록 하여 도입외기의 온도조절이 용이하게 되었다.
또한 에어와셔로부터 분무되는 유량의 제어가 가능하도록 하여 도입외기의 습도조절이 용이하게 되었다.
도 1 은 종래 외기공조장치의 구성을 나타낸 도면,
도 2 는 하이브리드 열회수식 외기공조장치의 구성을 나타낸 도면,
도 3 은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 외기공조장치의 구성을 나타낸 도면,
도 4 는 제2 순환밸브들이 동시에 같은 양의 반환냉수 또는 냉각수를 공급받도록 한 구조를 나타낸 상세도면,
도 5 는 각각의 제2 순환밸브들이 서로 다른 양의 반환냉수 또는 냉각수를 공급받도록 한 구조를 나타낸 상세도면,
도 6 은 에어와셔의 구조를 나타낸 상세도면.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면과 연계하여 상세히 설명하면 다음과 같다. 본 발명을 설명함에 있어서, 관련된 공지기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명은 생략한다.
도 3은 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 외기공조장치의 구성을 나타낸 도면을 도시하고 있다.
본 발명의 외기공조장치는 클린룸으로 공급하기 위하여 유입되는 도입외기 중의 이물질을 여과하고 도입외기를 클린룸에서 요구되는 적정 온도와 습도로 조절하되, 클린룸으로부터 배출되는 저온 배열을 이용하여 에너지의 소모를 줄일 수 있도록 한 것으로, 필터유닛(110)과, 프리히터(120)와, 제1 순환코일(130)과, 제2 순환코일(140)과, 에어와셔(150)와, 리히팅 코일(160)을 구비하는 것으로 구성된다.
상기 필터유닛(110)은 외기의 유입측에 배치되며, 공지된 망구조의 필터로써 도입외기 중에 포함된 비교적 큰 입자의 이물질을 여과하게 된다. 이러한 필터유닛(110)에는 가스 상의 오염물질을 여과하기 위한 케미컬필터가 포함될 수도 있다.
상기 프리히터(120)는 겨울철과 같이 대기의 온도가 낮을 경우 작동하여 도입외기를 예열하는데 사용되는 것이다. 이러한 프리히터(120)를 대신하여 가열코일이 설치될 수도 있다.
상기 제1 순환코일(130)은 클린룸(A)으로부터 배출되는 배기의 열을 회수한 물을 공급받아 도입외기를 예열 또는 예냉하는 것으로, 클린룸(A)으로부터 배출되는 배기의 여과를 위해 세정집진기(B)에서 사용되어 배기의 열을 회수한 물과 열교환을 통해 승온된 물을 공급받도록 구성된다. 이처럼 세정집진기(B) 측의 물과 제1 순환코일(130) 측의 물의 열교환을 위하여 별도의 열교환기(131)가 사용된다.
상기 제2 순환코일(140)은 다수개가 제공되며, 다수개의 제2 순환코일(140)들은 상호 일정한 간격을 유지한 채로 도입외기의 유입측으로부터 순차적으로 배치되어있다. 이처럼 배치된 제2 순환코일(140)은 클린룸(A)의 냉방에 사용된 후 냉각기(C)로 반환되는 반환냉수 또는 냉각기(C)로부터 클린룸(A)으로 공급되는 냉각수를 공급받아 도입외기를 가열하거나 냉각하게 된다.
한편 상기 반환냉수는 냉각기(C)로부터 클린룸(A)의 드라이코일(A-1)로 공급되어 클린룸(A)을 순환하는 공기의 냉각에 됨으로써 약 18℃의 상태로 승온된 후 냉각기(C)로 복귀하는 물을 의미하며, 이처럼 18℃로 승온되어 냉각기(C)로 반환되는 반환냉수를 제2 순환코일(140)에 공급함으로써, 겨울철에는 도입외기를 가열하게 되고, 이와 반대로 여름철에서는 도입외기를 냉각하게 된다.
또한 냉각기(C)로부터 클린룸(A)의 드라이코일(A-1)로 공급되는 냉각수는 약 7℃의 온도를 가지며, 이러한 냉각수를 제2 순환코일(140)에 공급함으로써 여름철과 같이 대기의 온도가 높은 경우 도입외기를 효과적으로 냉각시킬 수 있게 된다.
상기와 같이 반환냉수 또는 냉각수를 다수개의 제2 순환코일(140)로 순환시킴에 있어서, 각각의 제2 순환코일(140)이 반환냉수 회수관(L1) 및 냉각수 공급관(L2)으로부터 직접 반환냉수와 냉각수를 공급받도록 구성되는 것이 바람직하다.
도 4 는 제2 순환밸브들이 동시에 같은 양의 반환냉수 또는 냉각수를 공급받도록 한 구조를 나타낸 상세도면을 도시하고 있다.
상기 다수개의 제2 순환코일(140)들은 하나의 제1 개폐밸브(141)를 매개로 반환냉수 회수관(L1)과 연결되고, 더불어 하나의 제2 개폐밸브(142)를 매개로 냉각수 공급관(L2)과 연결될 수 있다. 이 경우, 제1 개폐밸브(141)의 개방에 의해 다수개의 제2 순환코일(140)들은 동시에 같은 양의 반환냉수를 반환냉수 회수관(L1)으로부터 직접 공급받아 도입외기를 가열하거나 냉각하게 되며, 마찬가지로 제2 개폐밸브(142)의 개방에 의해 다수개의 제2 순환코일(140)들은 동시에 같은 양의 냉각수를 냉각수 공급관(L2)으로부터 직접 공급받아 도입외기를 냉각하게 된다.
도 5 는 각각의 제2 순환밸브들이 서로 다른 양의 반환냉수 또는 냉각수를 공급받도록 한 구조를 나타낸 상세도면을 도시하고 있다.
각각의 제2 순환코일(140)들은 제1 개폐밸브(141)를 매개로 반환냉수 회수관(L1)과 각각 연결되고, 더불어 각각의 제2 순환코일(140)들은 제2 개폐밸브(142)를 매개로 냉각수 공급관(L2)과 각각 연결될 수 있다. 이 경우, 각각의 제2 순환코일(140)들은 제1 개폐밸브(141) 또는 제2 개폐밸브(142)의 개방시 반환냉수 회수관(L1) 또는 냉각수 공급관(L2)으로부터 개별적으로 반환냉수 또는 냉각수를 공급받게 되므로, 상황에 따라 각각의 제2 순환코일(140)들로 공급되는 반환냉수나 냉각수의 양을 다르게 할 수 있다.
이와 같은 구조에 의하면, 제2 순환코일(140)들은 반환냉수 회수관(L1) 또는 냉각수 공급관(L2)으로부터 반환냉수 또는 냉각수를 직접 공급받아 도입외기와 열교환을 수행함으로써, 어느 하나의 순환코일로 공급되는 반환냉수가 나머지 다른 순환코일을 순차적으로 순환하도록 함으로써 에너지 회수율이 저하되고, 냉각기 및 냉각탑의 부하를 증가시키는 한국등록특허 제0963838호의 문제점을 해결할 수 있게 된다.
도 6 은 에어와셔의 구조를 나타낸 상세도면을 도시하고 있다.
상기 에어와셔(150)는 제2 순환코일(140)들의 전후에 배치되어 물을 분무할 수 있도록 다수개로 구성되며, 이러한 에어와셔(150)들은 도입외기 중에 포함된 미세 이물질을 여과함과 더불어 도입외기의 습도 조절을 행하게 된다.
한편 상기 에어와셔(150)들은 펌프(P)에 의해 공급되는 물을 제공받아 분무하게 되며, 이때 각각의 에어와셔(150)들에는 분무량의 조절을 위한 밸브(151)가 구비되어 각각의 에어와셔(150)들로부터 분무되는 물의 양을 상황에 따라 적절하게 조절할 수 있도록 함으로써 도입외기의 습도를 보다 정밀하게 제어할 수 있게 된다.
상기 리히팅 코일(160)은 냉각기(C)로부터 냉각탑(D)으로 보내어지는 약 32℃의 냉각수를 공급받아 도입외기를 가열하는 것이다.
한편 상기 리히팅 코일(160)의 후단에는 도입외기의 원활한 유입 및 처리된 외기를 클린룸(A)으로 공급하기 위한 송풍기(170)가 설치된다.
상기와 같이 구성된 본 발명의 외기공조장치는 숭풍기(170)의 작동에 의해 외기를 유입하게 되며, 이처럼 유입되는 외기는 필터유닛(110)을 거쳐 1차 여과과정을 거친 뒤, 프리히터(120) 및 제1 순환코일(130)을 거침으로써 예열이나 예냉과정을 거치게 된다. 물론 여름철과 같이 도입외기의 온도가 높은 경우, 프리히터(120)는 사용하지 않게 된다.
상기와 같이 제1 순환코일(130)을 거친 도입외기는 제2 순환코일(140)들과 에어와셔(150)들을 통과함으로써 2차 여과과정을 거치는 것과 함께 온도와 습도의 조정이 이루어지게 된다.
한편 제2 순환코일(140)들의 경우, 반환냉수 또는 냉각수를 선택적으로 공급받을 수 있으므로, 관리자는 도입외기의 온도에 따라 반환냉수가 제2 순환코일(140)들에 공급되게 하거나 또는 냉각수가 제2 순환코일(140)들에 공급되도록 제어하게 되며, 각각의 제2 순환코일(140)들에 공급되는 반환냉수 또는 냉각수의 양을 서로 다르게 조절할 수 있으므로 보다 정밀한 온도 제어가 가능하게 된다.
또한 각각의 에어와셔(150)들로부터 분무되는 유량의 제어에 의해 수분무 기화식 가습과 함께 나타나는 건구온도의 저하를 이용하여 종래의 클린룸(A)에서 어려웠던 30℃ 이하의 저온 가열원에서도 충분한 가습량 및 정밀제어가 가능하게 되었다.
한편 제2 순환코일(140)들과 에어와셔(150)들을 거친 도입외기는 리히팅 코일(160)을 거친 후 클린룸(A)으로 공급된다.
본 발명은 상술한 특정의 바람직한 실시 예에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형실시가 가능한 것은 물론이고, 그와 같은 변경은 청구범위 기재의 범위 내에 있게 된다.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
(110) : 필터유닛 (120) : 프리히터
(130) : 제1 순환코일 (140) : 제2 순환코일
(141) : 제1 개폐밸브 (142) : 제2 개폐밸브
(150) : 에어와셔 (160) : 리히팅 코일

Claims (3)

  1. 삭제
  2. 도입외기 중의 이물질을 여과하는 필터유닛(110);
    상기 필터유닛(110)의 후단에 설치되어 도입외기를 가열하는 프리히터(120);
    상기 프리히터(120)의 후단에 설치되며, 클린룸(A)으로부터 배출되는 배기의 여과를 위해 세정집진기(B)에서 사용되어 배기의 열을 회수한 물과 열교환을 하여 승온된 물을 공급받아 도입외기를 가열 또는 냉각하는 제1 순환코일(130);
    상기 제1 순환코일(130)의 후단에 설치되며, 클린룸(A)에 구비된 드라이코일(A-1)로 공급되어 순환공기의 냉각에 사용된 후 냉각기(C)로 복귀하는 반환냉수 또는 냉각기(C)로부터 클린룸(A)으로 공급되는 냉각수를 공급받아 도입외기를 냉각 또는 가열하는 다수개의 제2 순환코일(140);
    상기 제2 순환코일(140)들의 전후에 배치되어 물을 분무하되, 분무량의 조절을 위한 밸브(151)를 각기 구비하는 다수개의 에어와셔(150); 및
    상기 냉각기(C)로부터 냉각탑(D)으로 보내어지는 냉각수를 공급받아 도입외기를 가열하는 리히팅 코일(160)을 구비하는 것으로 구성되며,
    상기 다수개의 제2 순환코일(140)들은 하나의 제1 개폐밸브(141)를 매개로 반환냉수 회수관(L1)과 연결되어 동시에 같은 양의 반환냉수를 공급받도록 구성되고, 더불어 하나의 제2 개폐밸브(142)를 매개로 냉각수 공급관(L2)과 연결되어 동시에 같은 양의 냉각수를 동시에 공급받도록 구성된 것을 특징으로 하는 저온 배열을 이용한 에너지 절약형 외기공조장치.
  3. 도입외기 중의 이물질을 여과하는 필터유닛(110);
    상기 필터유닛(110)의 후단에 설치되어 도입외기를 가열하는 프리히터(120);
    상기 프리히터(120)의 후단에 설치되며, 클린룸(A)으로부터 배출되는 배기의 여과를 위해 세정집진기(B)에서 사용되어 배기의 열을 회수한 물과 열교환을 하여 승온된 물을 공급받아 도입외기를 가열 또는 냉각하는 제1 순환코일(130);
    상기 제1 순환코일(130)의 후단에 설치되며, 클린룸(A)에 구비된 드라이코일(A-1)로 공급되어 순환공기의 냉각에 사용된 후 냉각기(C)로 복귀하는 반환냉수 또는 냉각기(C)로부터 클린룸(A)으로 공급되는 냉각수를 공급받아 도입외기를 냉각 또는 가열하는 다수개의 제2 순환코일(140);
    상기 제2 순환코일(140)들의 전후에 배치되어 물을 분무하되, 분무량의 조절을 위한 밸브(151)를 각기 구비하는 다수개의 에어와셔(150);
    상기 냉각기(C)로부터 냉각탑(D)으로 보내어지는 냉각수를 공급받아 도입외기를 가열하는 리히팅 코일(160)을 구비하는 것으로 구성되며,
    상기 각각의 제2 순환코일(140)들은 제1 개폐밸브(141)를 매개로 반환냉수 회수관(L1)과 각각 연결되어 개별적으로 반환냉수를 공급받도록 구성되고, 더불어 각각의 제2 순환코일(140)들은 제2 개폐밸브(142)를 매개로 냉각수 공급관(L2)과 각각 연결되어 개별적으로 냉각수를 공급받도록 구성된 것을 특징으로 하는 저온 배열을 이용한 에너지 절약형 외기공조장치.
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