JP2005208521A - 鏡筒光学系 - Google Patents
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Abstract
【課題】アイポイントを高い位置にすると共に対物レンズの光軸に近い位置に設定する。
【解決手段】対物レンズ3を通る第一光路L1を対物レンズの光軸Oに対して接眼レンズ15とは反対方向に折り曲げる第一反射部材4と、第一反射部材4で反射した第二光路L2を接眼レンズ15方向に導く第二反射部材8と、第二反射部材で反射した第三光路L3を折り曲げる第三反射部材9と、第三反射部材で反射した光束を有する第四光路L4を接眼レンズ15方向に導く第四反射部材12とを備えている。第三光路L3中に第1結像レンズ6bと第2結像レンズ10aを配設する。対物レンズの光軸Oと第三光路L3とのなす角度α、第三光路と第四光路とでなす角度βは、下記条件式を満足する。90°<α<180°(1)、0°<β<180°(2)、0°<α+β<180°(3)
【選択図】 図1
【解決手段】対物レンズ3を通る第一光路L1を対物レンズの光軸Oに対して接眼レンズ15とは反対方向に折り曲げる第一反射部材4と、第一反射部材4で反射した第二光路L2を接眼レンズ15方向に導く第二反射部材8と、第二反射部材で反射した第三光路L3を折り曲げる第三反射部材9と、第三反射部材で反射した光束を有する第四光路L4を接眼レンズ15方向に導く第四反射部材12とを備えている。第三光路L3中に第1結像レンズ6bと第2結像レンズ10aを配設する。対物レンズの光軸Oと第三光路L3とのなす角度α、第三光路と第四光路とでなす角度βは、下記条件式を満足する。90°<α<180°(1)、0°<β<180°(2)、0°<α+β<180°(3)
【選択図】 図1
Description
本発明は、顕微鏡等の鏡筒光学系、例えば半導体検査装置に用いる顕微鏡用鏡筒光学系に関する。
従来、顕微鏡等の鏡筒光学系として、下記特許文献1に開示されたものがある。この鏡筒光学系は、対物レンズを通る光束を入射面からプリズム内に進入させハーフミラーからなる第2面、入射面である第1面、第3面でM型に反射させて射出面から射出させる。プリズムから射出する光束は対物レンズの光軸と平行で反対方向に向いている。そして射出光束を反射鏡で反射させて斜め上方に向かわせ、リレーレンズ、分割プリズムを通して接眼レンズで肉眼観察することができる。
特開平8−278448号公報
しかしながら、上述した鏡筒光学系では、M型の光路を形成する透過反射プリズムにより対物レンズの光軸を接眼レンズの方向に順次反射させているため、観察者の目の位置であるアイポイントと対物レンズの光路上に配置されている観察対象物との距離が長くなってしまっている。アイポイントと観察対象物との距離が離れていると、観察者が目を接眼レンズから外して直接観察対象物を見る場合や観察対象物の位置を調整する場合等の作業が非常にやりにくいという不具合がある。
本発明は、このような実情に鑑みてなされたもので、その目的はアイポイントを観察対象物に近い位置に設定するようにした鏡筒光学系を提供することにある。
本発明は、このような実情に鑑みてなされたもので、その目的はアイポイントを観察対象物に近い位置に設定するようにした鏡筒光学系を提供することにある。
本発明による鏡筒光学系は、対物レンズと、該対物レンズを通る光束を有する第一光路を対物レンズの光軸に対して接眼レンズとは反対方向に折り曲げる第一反射部材と、該第一反射部材で反射した光束を有する第二光路を対物レンズの光軸に対して接眼レンズ方向に導く第二反射部材と、該第二反射部材で反射した光束を有する第三光路を折り曲げる第三反射部材と、該第三反射部材で反射した光束を有する第四光路を接眼レンズ方向に導く第四反射部材とを備えてなることを特徴とする。
本発明によれば、第一反射部材によって接眼レンズと反対方向に反射光束を折り曲げるために、アイポイントを観察対象物に近づけることができる。
本発明によれば、第一反射部材によって接眼レンズと反対方向に反射光束を折り曲げるために、アイポイントを観察対象物に近づけることができる。
また、第一光路における対物レンズ上の任意の点をAとし、前記第一光路と第三光路との交点をBとし、前記第三光路の第三反射部材での反射点をCとした場合、∠ABC=αとして以下の条件式(1)を満足することが好ましい。
90°<α<180° (1)
この場合、角度αが180°未満の鈍角に設定されるために第三光路が接眼レンズ方向に高く傾斜するためにアイポイントを高く設定できる。
また、第四光路の第四反射部材での反射点をDとした場合、∠BCD=βとして以下の条件式(2)を満足することが好ましい。
0°<β<180° (2)
上記(1)式との関係で角度βは、第四光路を対物レンズの光軸から離れないように折り曲げることができ、これによってアイポイントを観察対象物に近づけることができ、接眼レンズをより対物レンズ側に配設できるために、装置をコンパクト化できる。なお、本件発明は上記(1)式と(2)式のいずれか一方または両方を満足することが好ましい。
また、上記角度αと角度βは、下記条件式(3)を満足することが更に好ましい。
0°<α+β<180° (3)
上記(3)式を満足させれば、第四光路を対物レンズの光軸に近づくように折り曲げることができるため、アイポイントを観察対象物に近づけ、接眼レンズをより対物レンズ側に配設できるために、装置を更にコンパクト化できる。
90°<α<180° (1)
この場合、角度αが180°未満の鈍角に設定されるために第三光路が接眼レンズ方向に高く傾斜するためにアイポイントを高く設定できる。
また、第四光路の第四反射部材での反射点をDとした場合、∠BCD=βとして以下の条件式(2)を満足することが好ましい。
0°<β<180° (2)
上記(1)式との関係で角度βは、第四光路を対物レンズの光軸から離れないように折り曲げることができ、これによってアイポイントを観察対象物に近づけることができ、接眼レンズをより対物レンズ側に配設できるために、装置をコンパクト化できる。なお、本件発明は上記(1)式と(2)式のいずれか一方または両方を満足することが好ましい。
また、上記角度αと角度βは、下記条件式(3)を満足することが更に好ましい。
0°<α+β<180° (3)
上記(3)式を満足させれば、第四光路を対物レンズの光軸に近づくように折り曲げることができるため、アイポイントを観察対象物に近づけ、接眼レンズをより対物レンズ側に配設できるために、装置を更にコンパクト化できる。
また、第三光路に十分なスペースがある場合には、第三光路に結像光学系を配置することが好ましい。これにより、スペースを有効に使用することができる。
また、第四反射部材と接眼レンズとの間を走行する光束を有する第五光路には、第二結像光学系が配設されていることが好ましい。これによって光学系の収差性能を更に向上できる上に、観察対象物の像を正立像として観察できる。
なお、第一光路内には中間鏡筒が配設され、該中間鏡筒を挟んで対物レンズの少なくとも一部と接眼レンズとが配設されていてもよい。第一反射部材による反射光束を接眼レンズと反対側に折り曲げ、更に角度αをもって第三光路を斜め上方に向けて形成するために、中間鏡筒を配設しても下方に突出するのを防止できる。
また、第四反射部材と接眼レンズとの間を走行する光束を有する第五光路には、第二結像光学系が配設されていることが好ましい。これによって光学系の収差性能を更に向上できる上に、観察対象物の像を正立像として観察できる。
なお、第一光路内には中間鏡筒が配設され、該中間鏡筒を挟んで対物レンズの少なくとも一部と接眼レンズとが配設されていてもよい。第一反射部材による反射光束を接眼レンズと反対側に折り曲げ、更に角度αをもって第三光路を斜め上方に向けて形成するために、中間鏡筒を配設しても下方に突出するのを防止できる。
本発明による鏡筒光学系によれば、第一反射部材によって接眼レンズと反対方向に反射光束を折り曲げるためにアイポイントを観察対象物に近づけることができると共に、第三光路の光路長を長く形成できてレンズ等を挿入することが可能になり、光学系を自由に設計できる。しかも、アイポイントを高い位置に設定できると共に光学系をコンパクトに設計できる。
以下、本発明の実施の形態による鏡筒光学系を添付図面により説明する。図1は第一の実施の形態による鏡筒光学系を示すものである。
図1に示す鏡筒光学系1は、例えば半導体検査装置に用いられる顕微鏡の鏡筒光学系である。鏡筒光学系1は、標本2(観察対象物)の上方に対物レンズ3が配設され、対物レンズ3の光軸Oに沿う上方には第一反射部材4が設けられている。対物レンズ3と第一反射部材4との間には第1結像レンズ6aが配設されている。対物レンズ3と第一反射部材4との間の光軸Oを含む光路を第一光路L1とする。なお、対物レンズ3と第一反射部材4または第1結像レンズ6aとの間には落射投光管等の適宜の中間鏡筒が配設可能である。
第一反射部材4で反射した光束は第二反射部材8で反射して対物レンズ3の光軸Oに対して第二反射部材8とは反対側に配置された第三反射部材9へ向かう。第一反射部材4は反射光束が対物レンズ3の光軸Oに対して第三反射部材9とは反対側へ折り曲げられるように配置されている。第一反射部材4と第二反射部材8との間の光路を第二光路L2とし、第二反射部材と第三反射部材9との間の光路を第三光路L3という。
図1に示す鏡筒光学系1は、例えば半導体検査装置に用いられる顕微鏡の鏡筒光学系である。鏡筒光学系1は、標本2(観察対象物)の上方に対物レンズ3が配設され、対物レンズ3の光軸Oに沿う上方には第一反射部材4が設けられている。対物レンズ3と第一反射部材4との間には第1結像レンズ6aが配設されている。対物レンズ3と第一反射部材4との間の光軸Oを含む光路を第一光路L1とする。なお、対物レンズ3と第一反射部材4または第1結像レンズ6aとの間には落射投光管等の適宜の中間鏡筒が配設可能である。
第一反射部材4で反射した光束は第二反射部材8で反射して対物レンズ3の光軸Oに対して第二反射部材8とは反対側に配置された第三反射部材9へ向かう。第一反射部材4は反射光束が対物レンズ3の光軸Oに対して第三反射部材9とは反対側へ折り曲げられるように配置されている。第一反射部材4と第二反射部材8との間の光路を第二光路L2とし、第二反射部材と第三反射部材9との間の光路を第三光路L3という。
第三光路L3内には第1結像レンズ6bと第2結像レンズ10aとが結像光学系として配設され、第1結像レンズ6a,6bを通過した光束は第三光路L3上で第1結像レンズ6bと第二結像レンズ10aとの間に一次像(倒立像)Iaを結像する。
次に第三反射部材9で反射した第三光路L3の光束は下方(標本2側)に折り曲げられて第四反射部材12で反射させられる。第四反射部材12はチルティング可能な可変ミラーとし、これによってアイポイントを上下方向に調整可能とする。第四反射部材12で略水平方向に曲げられた光路上には、順次第2結像レンズ10b(第二の結像光学系)、双眼分割用プリズム14、接眼レンズ15が配列されている。なお、双眼分割用プリズム14と接眼レンズ15は双眼鏡筒部13を構成する。一次像Iaは第2結像レンズ10a、10bを通して双眼分割用プリズム14と接眼レンズ15との間の二次像Ib(正立像)として結像する。観察者は接眼レンズ15を通して標本2の正立像を観察できる。
ここで、第三反射部材9と第四反射部材12との間の光路を第四光路L4といい、第四反射部材12で反射して接眼レンズ15に向かう光路を第五光路L5という。
次に第三反射部材9で反射した第三光路L3の光束は下方(標本2側)に折り曲げられて第四反射部材12で反射させられる。第四反射部材12はチルティング可能な可変ミラーとし、これによってアイポイントを上下方向に調整可能とする。第四反射部材12で略水平方向に曲げられた光路上には、順次第2結像レンズ10b(第二の結像光学系)、双眼分割用プリズム14、接眼レンズ15が配列されている。なお、双眼分割用プリズム14と接眼レンズ15は双眼鏡筒部13を構成する。一次像Iaは第2結像レンズ10a、10bを通して双眼分割用プリズム14と接眼レンズ15との間の二次像Ib(正立像)として結像する。観察者は接眼レンズ15を通して標本2の正立像を観察できる。
ここで、第三反射部材9と第四反射部材12との間の光路を第四光路L4といい、第四反射部材12で反射して接眼レンズ15に向かう光路を第五光路L5という。
図1に示す鏡筒光学系1において、第一光路L1における対物レンズ3上の任意の点をAとし、第一光路L1と第三光路L3との交差点をBとし、 第三光路L3の第三反射部材9での反射点をCとし、第四光路L4の第四反射部材12での反射点をDとする。そして∠ABC=α、∠BCD=βとして、次の式を満足するものとする。
90°<α<180° (1)
0°<β<180° (2)
0°<α+β<180° (3)
90°<α<180° (1)
0°<β<180° (2)
0°<α+β<180° (3)
ここで、第三光路L3について、第一反射部材4による第一光路L1の反射方向を対物レンズ3の光軸Oに対して接眼レンズ15とは反対方向に設定したため、第一光路L1の反射方向を接眼レンズ15と同一方向に設定する場合よりも第三光路L3を長く形成でき、第三光路L3中に第1結像レンズ6bと第2結像レンズ10aを挿入することができて収差を小さくできる。そして、(1)式から角度αを90°より大きく設定したために第三光路L3を第三反射部材9に向けて上方へ傾斜させて形成でき、アイポイントを上方に導くことができる。
さらに(2)、(3)式から角度βを90°未満にしたために、第五光路L5に設定した接眼レンズ15を対物レンズ3の光軸Oに近づけた内側に配置させることができ、接眼レンズ15が顕微鏡検査装置の外側に突出するのを抑制できる。
なお、第一反射部材4として全反射ミラーを採用したが、これに代えて半透過ミラーとしてもよい。この場合、第一反射部材4を透過した一部の光束の光路上に直筒部17が配設され、この直筒部17にビデオカメラ18やCCD等の撮影光学系を配設することができる。これによって標本2の像を撮像でき、接眼レンズ15による肉眼観察とビデオカメラ18等による写真撮影とを同時に行うことができる。
さらに(2)、(3)式から角度βを90°未満にしたために、第五光路L5に設定した接眼レンズ15を対物レンズ3の光軸Oに近づけた内側に配置させることができ、接眼レンズ15が顕微鏡検査装置の外側に突出するのを抑制できる。
なお、第一反射部材4として全反射ミラーを採用したが、これに代えて半透過ミラーとしてもよい。この場合、第一反射部材4を透過した一部の光束の光路上に直筒部17が配設され、この直筒部17にビデオカメラ18やCCD等の撮影光学系を配設することができる。これによって標本2の像を撮像でき、接眼レンズ15による肉眼観察とビデオカメラ18等による写真撮影とを同時に行うことができる。
本実施の形態による鏡筒光学系1は上述の構成を備えており、次にその作用を説明する。標本2の反射光は対物レンズ3を通過して第一光路L1から第一反射部材4で接眼レンズ15とは反対側に反射する。そして第二反射部材8で反射して対物レンズの光軸Oに対して鈍角αで傾斜して斜め上方の第三光路L3を第三反射部材9に向かう。この第三光路L3中において光束は第1結像レンズ6bを通過した後で一次像Iaを結像する。
次いで、第二結像レンズ10aを透過して第三反射部材9で光路を折り曲げられるが、このときの角度βは90°未満の鋭角に設定されているから、第四光路L4は対物レンズ3の光軸Oに近づく方向に偏向させられる。そして第四反射部材12で反射させられて第2結像レンズ10b、双眼分割用プリズム14を通して正立像からなる二次像Ibを得て、接眼レンズ15を通して観察する。
次いで、第二結像レンズ10aを透過して第三反射部材9で光路を折り曲げられるが、このときの角度βは90°未満の鋭角に設定されているから、第四光路L4は対物レンズ3の光軸Oに近づく方向に偏向させられる。そして第四反射部材12で反射させられて第2結像レンズ10b、双眼分割用プリズム14を通して正立像からなる二次像Ibを得て、接眼レンズ15を通して観察する。
上述のように本実施の形態によれば、第一反射部材4によって第一光路L1の光束を接眼レンズ15とは反対側に折り曲げることでアイポイントを標本2に近づけることができるため、標本2を、鏡筒光学系1を通して観察する作業と観察者が目を接眼レンズ15から外して直接観察したり位置調整したりする作業とを容易に行える。しかも、接眼レンズ15の方向に向かう第三光路L3を長く形成できて、第1結像レンズ6b及び第2結像レンズ10aを光路内に挿入できる。そのため、これら結像レンズ6b、10aによって収差性能を向上できる。特に反射光学系としてプリズムを使用しないために第三光路L3の光路長を延ばしてレンズ等の光学部材の挿入等を適宜行えて自由に光学系を設計できる。
また、角度αを鈍角に設定することで第三光路L3を対物レンズ3から離間する方向に傾斜させることができて、対物レンズ3との間に中間鏡筒を配設し易く、しかも中間鏡筒が下方に突出して対物レンズ3を装着したレボルバー等に干渉したりすることはない。
また、角度βを鋭角に設定することで第三光路L3を折り曲げた第四光路L4を対物レンズ3の光軸O方向に近づけることができるため、接眼レンズ15の位置をより光軸Oに近接させることができる。特に半導体チップ等の検査用顕微鏡装置では、ステージが大きいために接眼レンズ15を光軸Oに近づけることで、アイポイントが外側に突出するのを防止できてコンパクトな装置を得られる。更に第四反射部材12をチルティングさせることで、接眼レンズ15を適宜の高い位置に設定できる。
また、角度αを鈍角に設定することで第三光路L3を対物レンズ3から離間する方向に傾斜させることができて、対物レンズ3との間に中間鏡筒を配設し易く、しかも中間鏡筒が下方に突出して対物レンズ3を装着したレボルバー等に干渉したりすることはない。
また、角度βを鋭角に設定することで第三光路L3を折り曲げた第四光路L4を対物レンズ3の光軸O方向に近づけることができるため、接眼レンズ15の位置をより光軸Oに近接させることができる。特に半導体チップ等の検査用顕微鏡装置では、ステージが大きいために接眼レンズ15を光軸Oに近づけることで、アイポイントが外側に突出するのを防止できてコンパクトな装置を得られる。更に第四反射部材12をチルティングさせることで、接眼レンズ15を適宜の高い位置に設定できる。
なお、上述の実施の形態では、角度βを鋭角に設定したが、(2)式に基づいて角度βを鈍角に設定してもよい。これによって接眼レンズ15は上述の実施の形態の場合よりも水平方向外側に突出するが、それ以外は上述の実施の形態と同等の効果が得られる。
次に本発明の第二の実施の形態を図2により説明するが、上述の第一の実施の形態と同一または同様な部材、部分には同一の符号を用いて説明を省略する。
本実施の形態による鏡筒光学系17は第一の実施の形態による鏡筒光学系1と基本構成を同一にしており、第三光路L3における第1結像レンズ6b、第2結像レンズ10aに代えて焦点距離をより長くした別の第1結像レンズ6cが配設されている。そして第五光路L5において第四反射部材12と双眼分割用プリズム14との間に第2結像レンズ10bは設けられていない。
そして、第1結像レンズ6a、6cによって標本2の像の焦点位置が延ばされ、双眼分割用プリズム14の光束進行方向前方側に一次像Iaを倒立像として結像させる。この一次像Iaを接眼レンズ15で観察することができる。そのため、本鏡筒光学系17はリレーのない1回結像の光学系を構成する。
本実施の形態による鏡筒光学系17においても第一の実施の形態と同様の作用効果を奏する。
本実施の形態による鏡筒光学系17は第一の実施の形態による鏡筒光学系1と基本構成を同一にしており、第三光路L3における第1結像レンズ6b、第2結像レンズ10aに代えて焦点距離をより長くした別の第1結像レンズ6cが配設されている。そして第五光路L5において第四反射部材12と双眼分割用プリズム14との間に第2結像レンズ10bは設けられていない。
そして、第1結像レンズ6a、6cによって標本2の像の焦点位置が延ばされ、双眼分割用プリズム14の光束進行方向前方側に一次像Iaを倒立像として結像させる。この一次像Iaを接眼レンズ15で観察することができる。そのため、本鏡筒光学系17はリレーのない1回結像の光学系を構成する。
本実施の形態による鏡筒光学系17においても第一の実施の形態と同様の作用効果を奏する。
なお、第二の実施の形態による鏡筒光学系17において、第1結像レンズ6a,6cに代えてリレーレンズを配設するようにしてもよい。また、本鏡筒光学系17においても第一反射部材4として半透過ミラーを採用して一部の透過光を、直筒部17やビデオカメラ18等によって撮影することができ、標本2の像について肉眼観察と写真撮影とを同時に行うことができる。
1、17 鏡筒光学系
2 標本(観察対象物)
3 対物レンズ
4 第一反射部材
6a、6b、6c 第1結像レンズ
8 第二反射部材
9 第三反射部材
12 第四反射部材
15 接眼レンズ
10a、10b 第2結像レンズ
L1 第一光路
L2 第二光路
L3 第三光路
L4 第四光路
L5 第五光路
O 対物レンズの光軸
2 標本(観察対象物)
3 対物レンズ
4 第一反射部材
6a、6b、6c 第1結像レンズ
8 第二反射部材
9 第三反射部材
12 第四反射部材
15 接眼レンズ
10a、10b 第2結像レンズ
L1 第一光路
L2 第二光路
L3 第三光路
L4 第四光路
L5 第五光路
O 対物レンズの光軸
Claims (5)
- 対物レンズと、該対物レンズを通る光束を有する第一光路を対物レンズの光軸に対して接眼レンズとは反対方向に折り曲げる第一反射部材と、該第一反射部材で反射した光束を有する第二光路を前記対物レンズの光軸に対して前記接眼レンズ方向に導く第二反射部材と、該第二反射部材で反射した光束を有する第三光路を折り曲げる第三反射部材と、該第三反射部材で反射した光束を有する第四光路を前記接眼レンズ方向に導く第四反射部材とを備えてなる鏡筒光学系。
- 前記第一光路における対物レンズ上の任意の点をAとし、前記第一光路と第三光路との交点をBとし、前記第三光路の第三反射部材での反射点をCとした場合、∠ABC=αとして以下の条件式(1)を満足することを特徴とする請求項1に記載の鏡筒光学系。
90°<α<180° (1) - 前記第四光路の第四反射部材での反射点をDとした場合、∠BCD=βとして以下の条件式(2)を満足することを特徴とする請求項2に記載の鏡筒光学系。
0°<β<180° (2) - 以下の条件式(3)を満足することを特徴とする請求項3に記載の鏡筒光学系。
0°<α+β<180° (3) - 前記第四反射部材と接眼レンズとの間を走行する光束を有する第五光路には、第二の結像光学系が配設されていることを特徴とする請求項2乃至4のいずれかに記載の鏡筒光学系。
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- 2004-01-26 JP JP2004017548A patent/JP2005208521A/ja active Pending
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