JP2005207761A

JP2005207761A - バーンイン装置

Info

Publication number: JP2005207761A
Application number: JP2004011844A
Authority: JP
Inventors: Naoki Miyake; 直己三宅
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 2004-01-20
Filing date: 2004-01-20
Publication date: 2005-08-04

Abstract

【課題】従来の技術では、複数種類のデバイスが搭載されたウェーハを一括でバーンインし、且つ、動作確認まで実施することが困難であった。
【解決手段】信号入力端子６、８、１１、１４、動作確認用出力端子７、１０、１３、１６および出力制御用入力端子５、９、１２、１５を有する複数品種のデバイス１ａ〜４ａが混在するウエーハ２５のバーンイン装置１０４であって、信号入力端子６に複数品種のデバイス１ａ〜４ａに対応した動作信号を供給する複数種類の信号を発生する信号発生回路１０１と、動作確認用出力端子７、１０、１３、１６からの出力信号を入力して良否判定する判定手段１０２と、各デバイスの出力制御用入力端子５、９、１２、１５に供給して出力すべき動作確認用出力端子７、１０、１３、１６を選択する選択手段１０３とを備えている。
【選択図】図１

Description

本発明は、半導体デバイスのバーンイン装置に関するものである。

従来より半導体デバイスやウェーハにおいては、製造初期に発生する不良品をスクリーニングするために、半導体デバイスやウェーハを高温、高電圧条件下で動作させることにより加速試験を行っている。これをバーンインと呼ぶ。

近年、ウェーハレベルで一括バーンインする技術があり、ウェーハレベルでのバーンインでは、デバイスの電源、複数の入出力端子にそれぞれ高電圧や信号を入力し動作をさせるが、近年デバイスの高集積化、多ピン化により、全ての外部端子を制御し、バーンインを行うことが困難となっている。

また、信頼性の向上の観点で、バーンインの動作を確認することが必須となってきている。そこで、現在では内部にバーンイン容易化回路を搭載し、外部から少数ピンでバーンインの動作設定ができるようになっている。

図４は、従来のバーンイン容易化回路を搭載した、半導体デバイスを示したものである。

図中、７３は半導体デバイス、７４から７６は半導体デバイス中の入力端子である。７４は動作信号入力端子で、内部を動作させるための端子である。動作信号入力端子７４には７７の動作信号入力波形信号が印加される。通常一定周波数のクロック波形が印加される。バーンイン時の周波数は１００ｋHzから５MHｚ程度を使用している。バーンイン時に対し、製品使用時は１０MHｚ以上で使用されることが多い。

７５はバーンインモード設定入力端子である。バーンインモード設定入力端子７５には７８のバーンインモード設定入力信号が印加される。通常モード設定時は論理的"H"レベルか論理的"L"レベルが印加されるが、モード設定としてクロック波形を印加してもかまわない。

７６はリセット入力端子である。リセット入力端子７６には７９のリセット信号入力波形信号が印加される。通常パルス上の波形が印加される。図の波形は論理的"L"でリセット認識をするが、論理的"H"でリセットを認識してもかまわない。

７３の半導体デバイスはこれらの入力端子７４から７６に信号７７から７９を入力することにより、内部回路８０がバーンイン動作を行う。

図中８１、８２は出力端子で、バーンインの動作が正常に行われているかどうかを判定する。９２は出力の高インピーダンス（Ｈｉ−Ｚ）コントロールを行う出力制御信号であり、出力制御端子９３に入力される。出力制御信号が論理"H"で出力端子８１、８２より出力が発生し、論理"L"で、出力がHi-Zになる。もちろん制御の論理は逆でもかまわない。この信号により、複数の出力端子を共通に接続することが可能となる。

図５は、従来のウェーハレベルでの一括バーンインを行うための、プローブの外観および仕組みを示し、図（ａ）は図（ｂ）の丸印の部分の拡大図である。図６はウェーハとプローブ信号配線を示している。ウェーハトレー５３にシリコンウェーハ５４を載せて、プローブ５５とシリコンウェーハ５４を位置精度よく大気圧５７でコンタクトする構成になっている。５２は真空シールリング、５６は真空バルブである。

入力信号は、バーンイン装置（図示せず）から、プローブ５５の配線基板４５の配線層４８を介し、局在型異方性導電ゴム４６とバンプ付フィルム４７のバンプ５１から、シリコンウェーハ４９のアルミ電極５０に伝達される。出力信号は、入力信号と逆に伝わる。

各デバイスの入出力信号の配線は図６の通りである。図中、５４はシリコンウェーハ、７３はデバイスでシリコンウェーハ５４上に規則正しく配置形成されている。デバイス７３は１種類である。

５９から７２はプローブの配線の構成を示す。６２〜６５は出力Hi-Zコントロール信号配線で、配線６２はＹ＝ｎのデバイス７３の端子６０（９３）に接続される。配線６３はＹ＝ｎ-1のデバイス７３の端子６０に接続される。配線６４はＹ＝２のデバイス７３の端子６０に接続される。配線６５はＹ＝１のデバイス７３の端子６０に接続される。例えば、Ｙ＝１の行の出力を出したい場合、配線６５の出力制御信号にデバイス７３の出力動作可能信号を入力する。

６６は入力信号配線を示す。図の上では、デバイス７３の端子５９（７４）に接続されているが、デバイスを動作させるのに必要な信号数が準備される。通常、論理信号が入力される。

信号線の他にも、電源線およびグランド線がプローブ５５やデバイス７３に準備される。入力信号配線６６はウェーハ全体が同一デバイスであるので、同一信号となる。瞬時電流の低減を目的に、各行に入力信号を分割し、位相をつけても良い。

７１はＸ＝１の出力配線で、デバイス７３のそれぞれの出力端子６１（８１等）に接続されている。７２はＸ＝ｎの出力配線で、デバイス７３のそれぞれの出力端子６１に接続されている。

上記構成において、以下、動作を説明する。

電圧を印加し、配線６６に論理信号を入力すると、論理信号は端子５９に伝えられ、デバイス７３が特定の動作をする。その際、出力端子６１からは特定の信号が出力され、配線７１、７２を介して、バーンイン装置の出力比較機に伝えられる。バーンイン装置は期待値と比較して判定し、デバイス動作の良・不良を判断する。また、出力端子６１は配線７１、７２にパラレルに接続されているので、出力の衝突を回避するために、出力制御信号６２〜６５を順次入力し、確認を行う（例えば、特許文献１、２参照）。
特開平11−１６０３５６号公報（第一図）特開平07−２３１０１９号公報（第一図）

しかしながら、従来のウェーハレベルバーンインでは、２品種以上のデバイスが同一ウェーハ上に混在する場合の全デバイス動作が困難であった。そのため、半導体デバイスのバーンインを行う際の時間軸での効率が悪かった。

本発明は、上記従来の課題を解決するもので、複数品種のデバイスが同一ウェーハ上に混在する場合のウェーハレベルでの一括バーンインが可能なバーンイン装置を提供することを目的とする。

請求項１記載のバーンイン装置は、信号入力端子、動作確認用出力端子および動作確認用出力端子を有する複数品種のデバイスが混在するウエーハのバーンイン装置であって、信号入力端子に複数品種のデバイスに対応した動作信号を供給する複数種類の信号を発生する信号発生回路と、動作確認用出力端子からの出力信号を入力して良否判定する判定手段と、各デバイスの出力制御用入力端子に供給して出力すべき動作確認用出力端子を選択する選択手段とを備えたものである。

請求項１記載のバーンイン装置によれば、複数種類のデバイス群が同一ウェーハ上に混在した場合に、入力信号をデバイス群毎に設定するとともにデバイス選択用信号として出力制御信号を設定することで、複数種類のデバイスを同時にウェーハ一括でバーンインすることが可能となるので、バーンインの効率を容易に向上することができる。

請求項２記載のバーンイン装置は、請求項１において、信号発生回路が同種のデバイスの信号入力端子を共通の入力信号配線により接続し、判定手段は異種のデバイスの動作確認用出力端子に共通の出力信号配線を接続し、選択手段は同種のデバイスの出力制御用入力端子に共通の制御信号配線を接続したものである。

請求項２記載のバーンイン装置によれば、同種のデバイス群ごとに順次バーンインを行うことができるので、請求項１と同様な効果がある。

請求項３記載のバーンイン装置は、請求項１において、信号発生回路が同種のデバイスの信号入力端子を共通の入力信号配線により接続し、判定手段は同種のデバイスの動作確認用出力端子に共通の出力信号配線を接続し、選択手段は異種のデバイスの出力制御用入力端子に共通の制御信号配線を接続したものである。

請求項３記載のバーンイン装置によれば、複数種類のデバイスを同時にウェーハ一括でバーンインしながら、全デバイスのバーンインを行うことができるので、請求項１と同様な効果がある。

請求項４記載のバーンイン装置は、請求項２または請求項３において、ウェーハが同種のデバイス同士を行または列に整列したものである。

請求項４記載のバーンイン装置によれば、請求項２または請求項３と同様な効果のほか、配線容易になる。

請求項５記載のバーンイン装置は、請求項１、請求項２、請求項３または請求項４において、ウェーハ上の少なくとも一部のデバイスの動作に必要な端子にコンタクトできるように、信号入力端子、動作確認用出力端子および出力制御用入力端子に接触して入力信号配線、出力信号配線および制御信号配線を接続するプローブを有するものである。

請求項５記載のバーンイン装置によれば、請求項１、請求項２、請求項３または請求項４と同様な効果のほか、プローブによりウェーハ上の全てのデバイスの動作に必要な端子にコンタクトできるので、バーンインが容易に行える。

請求項６記載のバーンイン装置は、請求項２または請求項３において、判定手段が複数品種のデバイスに対応した複数の期待値を有し、デバイスからの出力信号をそのデバイスに対応する期待値と比較する出力比較機であるものである。

請求項６記載のバーンイン装置によれば、請求項２または請求項３と同様な効果がある。

請求項７記載のバーンイン装置は、請求項６において、判定手段が複数の出力比較機を有し、前記複数の出力比較機の期待値を個別に設定するものである。

請求項７記載のバーンイン装置によれば、請求項６と同様な効果がある。

請求項８記載のバーンイン装置は、請求項１において、デバイスが動作信号入力端子、バーンインモード設定入力端子およびリセット入力端子を設けたバーンイン容易化回路のある内部回路を有し、内部回路の出力信号を少数の端子に集約する論理回路を有するものである。

請求項８記載のバーンイン装置によれば、請求項１と同様な効果のほか、入力信号、出力信号の端子数を制限することができ、複数種類のデバイスを同時にウェーハ一括でバーンインし、動作状態を判定することが容易になる。

請求項７記載のバーンイン装置によれば、請求項１と同様な効果のほか、入力信号、出力信号の端子数を制限することができ、複数種類のデバイスを同時にウェーハ一括でバーンインし、動作状態を判定することが容易になる。

以下本発明の実施形態について、図面を参照しながら説明する。

図１は、本発明の第１の実施形態における複数品種のデバイスが混在する場合に、ウェーハを一括でバーンインすることのできるプローブおよび半導体ウェーハの構成を示したものである。

図中、１ａ〜４ａはそれぞれ機能や動作などの品種の異なるデバイス群で、ウェーハ２５上に半導体のデバイスとして形成されている。同品種のデバイス群１ａ〜４ａはそれぞれ行方向に整列している。

５はデバイス群１ａの出力制御用入力端子、６はデバイス群１ａの信号入力端子、７はデバイス群１ａの動作確認用出力端子、８はデバイス群２ａの信号入力端子、９はデバイス群２ａの出力制御用入力端子、１０はデバイス群２ａの動作確認用出力端子、１１はデバイス群３ａの信号入力端子、１２はデバイス群３ａの出力制御用入力端子、１３はデバイス群３ａの動作確認用出力端子、１４はデバイス群４ａの信号入力端子、１５はデバイス群４ａの出力制御用入力端子、１６はデバイス群４ａの動作確認用出力端子である。

出力端子７，１０，１３，１６は出力制御用信号（出力制御用入力端子5,9,12,15に入力される論理）により、出力をHi-Z状態にコントロールできる。

１７〜２４、２６、２７はプローブの配線で、１７はデバイス群１ａの出力制御をコントロールする信号配線で、端子５に接続されている。１８はデバイス群２ａの出力制御をコントロールする信号配線で、端子９に接続されている。１９はデバイス群３ａの出力制御をコントロールする信号配線で、端子１２に接続されている。２０はデバイス群４ａの出力制御をコントロールする信号配線で、端子１５に接続されている。

２１はデバイス群１ａの入力信号配線で、端子６に接続されている。２２はデバイス群２ａの入力信号配線で、端子８に接続されている。２３はデバイス群３ａの入力信号配線で、端子１１に接続されている。２４はデバイス群４ａの入力信号配線で、端子１４に接続されている。

入力信号配線２１〜２４は図１ではデバイス群毎に１本であるが、デバイスの機能により複数本になる場合があってもよい。しかしながら、バーンイン装置の制約とウェーハ２５に形成されるデバイスの種類によって、信号の数は決定される。デバイスは装置の制約を満たすように容易化回路などで、入力信号数を削減する。

例えば、装置の設定を自由に変更できる信号数が８本で、ウェーハに形成されるデバイスの種類が４種類であれば、デバイス毎に入力できる信号の数は最大２本となる。

２６、２７はそれぞれ出力信号配線で、Ｘ軸１〜ｎにｎ本×デバイスの出力本数分準備されている。また、出力信号配線２６，２７はデバイスの出力端子７，１０，１３，１６に共通に接続されている。

その他、電源およびグランド配線が設けられ、デバイスの電源およびグランド端子にそれぞれ接続されている。

バーンイン装置１０４は、信号入力端子６、８、１１、１４に複数品種のデバイスに対応した信号を供給する複数種類の信号を発生する信号発生回路１０１と、動作確認用出力端子７、１０、１３、１６からの出力信号を入力して良否判定する判定手段１０２と、各デバイスの出力制御用入力端子５、９、１２、１５にデバイス選択用信号を供給して出力すべき動作確認用出力端子７、１０、１３、１６を選択する選択手段１０３とを備えている。

以下、図１の動作に関し、説明する。

入力信号配線２１〜２４には、信号発生回路１０１より、デバイスのデバイス群１ａ〜４ａの動作に必要な論理信号が入力される。これらの信号により、デバイス群１ａ〜４ａは内部論理が動作し、バーンインに必要なストレスが印加される。入力信号配線２１〜２４にはそれぞれデバイス群１ａ〜４ａが効率よく動作するための論理信号が入力される。したがって、信号の内容はそれぞれ異なる。当然、デバイスの論理回路構成により、同一の場合もある。

動作させると、各デバイスからは、動作確認のための規則的な信号が出力される。出力信号は、出力信号線配線２６，２７により、バーンイン装置に転送され、バーンイン装置は判定手段１０２の出力比較機により一定の期待値または品種ごとに対応した所定の期待値と比較して、デバイス動作が正常か異常かすなわち良品か不良品かを判断する。

しかしながら、各デバイス群１ａ〜４ａの出力端子７、１０、１３、１６は、出力信号配線２６、２７に共通に接続されているので、全てのデバイスから同時に出力されると、出力信号配線２６、２７上で衝突する。出力衝突を回避するために、選択手段１０３はそれに接続された出力制御信号配線１７〜２０を、出力制御信号配線１７〜２０上にデバイスからの出力が１つしか出ないようデバイス選択信号によりコントロールする。例えば、デバイス群１ａの動作を確認したい場合、出力制御をコントロールする信号配線１７を出力可能な論理にし、その他のほかの制御信号配線１８〜２０は出力Hi-Zになる論理にする。この設定により、出力配線上には、デバイス群１ａの出力でかつ、出力信号配線２６，２７の線上は１チップ且つ１種類のみの出力信号となり、装置は容易に且つ正しく、動作判定をすることができる。

同様に、デバイス群２ａの動作確認をする場合は、出力制御用信号１８を出力可能な論理にし、その他の出力制御をコントロールする信号を出力はHi-Zになるようにコントロールする。デバイス群３ａの動作確認は、出力制御用信号配線１９を、デバイス群４ａの動作確認は、出力制御用信号配線２０を上記同様、出力可能な論理にし、動作確認する。

このように、デバイスのデバイス群１ａ〜４ａごとに、出力制御信号配線１７〜２０を制御することと、デバイス群１ａ〜４ａごとに異なる入力信号を入力することで、出力端子を共通にしていても、同時に動作させることと、動作判定することが可能となる。すなわち、バーンインを全て同時に動作させることが可能となる。

ただし、図1の形態の場合、異なる種類のデバイスの動作確認は同時に判定することはできない。

図２は本発明の第２の実施形態におけるウェーハを一括でバーンインすることのできるプローブおよび半導体ウェーハの構成を示したものである。

図中、２８、２９はそれぞれ機能や動作などの異なるデバイス群で、４２のウェーハ上に半導体のデバイスとして形成されている。同品種のデバイス群２８、２９はそれぞれ列方向に整列している。

３１はデバイス群２８の出力制御用入力端子、３０はデバイス群２８の信号入力端子、３２はデバイス群２８の動作確認用出力端子、３４はデバイス群２９の出力制御用入力端子、３３はデバイス群２９の信号入力端子、３５はデバイス群２９の動作確認用出力端子である。

出力端子３２、３５は出力制御用信号（出力制御用入力端子31,34に入力される論理）により、出力をHi-Z状態にコントロールできる。

３６〜４４はプローブの配線で、３６〜３９はデバイス群２８、２９に共通の出力制御をコントロールする信号配線で、端子３１，３４に接続されている。

４０はデバイス群２８の入力信号配線で、端子３０に接続されている。４１はデバイス群２９の入力信号配線で、端子３３に接続されている。入力信号配線４０，４１は図２ではデバイス群毎に１本であるが、デバイスの機能により複数本になる場合があってもよい。しかしながら、装置の制約とウェーハに形成されるデバイスの種類によって、信号の数は決定される。デバイスは装置の制約を満たすように容易化回路などで、入力信号数を削減する。例えば、装置の設定を自由に変更できる信号数が８本で、ウェーハに形成されるデバイスの種類が４種類であれば、デバイス毎に入力できる信号の数は最大２本となる。

４３，４４はそれぞれ出力信号配線で、Ｘ軸１〜ｎにｎ本×デバイスの出力本数分準備されている。また、出力信号配線４３はデバイス群２８の出力端子３２に、また出力信号配線４４はデバイス群２９の出力端子３５に、共通に接続されている。

その他、電源およびグランド配線が設けられ、デバイスの電源、グランド端子にそれぞれ接続されている。

以下、図２の動作に関し、説明する。

入力信号４０、４１には、デバイス群２８、２９の動作に必要な論理信号が入力される。これらの信号により、デバイス群２８、２９は内部論理が動作し、バーンインに必要なストレスが印加される。４０、４１にはそれぞれデバイス群２８、２９が効率よく動作するための論理信号が入力される。したがって、信号の内容はそれぞれ異なる。当然、デバイスの論理回路構成により、同一の場合もある。

動作させると、各デバイスからは、動作確認のための信号が出力される。出力信号は、出力信号線４３、４４により、バーンイン装置に転送され、バーンイン装置は出力比較機により、デバイス動作が正常か異常かを判断する。この場合、
同品種のデバイス群が列状に製作されているウェーハ４２上の全てのデバイスの動作に必要な端子にコンタクトできるプローブで、プローブ上の出力比較線すなわち出力信号配線４３と、半導体ウェーハ４２の列が平行である。

しかしながら、各デバイス群の出力端子３２、３５は、出力信号配線４３、４４に共通に接続されているので、全てのデバイス群が同時に出力すると、出力信号配線４３、４４上で衝突する。出力衝突を回避するために、出力制御信号配線３６〜３９は、出力信号線４３、４４上にデバイスからの出力が１つしか出ないようコントロールする。

例えば、Ｙ＝ｎ行の動作を確認したい場合、出力制御をコントロールする信号配線３６に信号を出力可能な論理にし、その他のほかの制御信号配線３７〜３９は出力Hi-Zになる論理にする。

上記設定により、出力配線上には、Ｙ＝ｎの出力でかつ、出力信号配線４３，４４の線上は１チップ且つ１種類のみの出力信号となり、バーンイン装置は容易に且つ正しく、動作判定をすることができる。同様に、Ｙ＝n-1の動作確認をする場合は、出力制御用信号配線３７を出力可能な論理にし、その他の出力制御用端子をコントロールする信号配線３６、３８、３９の出力をHi-Zになるようにコントロールする。Ｙ＝２の動作確認は、出力制御用信号配線３８の信号を、Ｙ＝１の動作確認は出力制御用信号配線３９の信号を上記と同様に出力可能な論理にし動作確認する。

このように、各行ごとに、出力制御信号を制御することと、デバイスの品種群ごとに異なるデバイス入力信号を入力することで、出力端子を共通にしていても、
同時に動作させることと、動作判定することが可能となる。
すなわち、バーンインを全て同時に動作させることが可能となる。

ただし、図２の形態の場合、異なる種類のデバイスの動作確認が必要となり、出力比較機は、比較端子ごとに異なる期待値を有することが可能でなければならない。

しかしながら、異なる期待値を有することのできる出力比較機を備えることで、出力の数量が出力比較機の端子数以内であれば、出力制御用信号が不要となり、動作確認を１ウェーハ一括で判定することが可能となる。例えば複数の出力比較機を設け、各期待値を個別に設定する場合などがある。

図３は第１の実施の形態または第２の実施の形態に適用する半導体デバイスの構成である。図中、８３は半導体デバイス、８４は動作信号入力波形８７が入力する動作信号入力端子、８５はバーンインモード設定信号８８が入力するバーンインモード設定入力端子で、半導体デバイス８３が容易化回路搭載の場合、モードをバーンインに設定することで、簡易な外部からの入力でデバイス動作可能となる。８６はリセット信号入力波形８９が入力するリセット入力端子でバーンイン装置とデバイスとの同期に必要となる。内部回路９０はスキャン設計や容易化回路などが搭載される。また内部回路９０の出力信号を少数の端子に集約する論理回路９４を有する。９３は出力制御信号９２が入力する出力制御端子で、バーンイン動作出力端子９１を制御する。

図３のような回路構成の場合、３入力でデバイス動作が可能であり、クロックが９種類備えられたバーンイン装置の場合、図３のように３入力で動作可能な異なるデバイスが３種類同時にバーンインすることが可能となる。

以上のように、本発明は、複数種類のデバイス群が同一ウェーハ上に混在した場合に、デバイス群の配置を行または列に整列させたことと、入力信号をデバイス群毎に設定することと、出力制御信号を設けることと、容易化回路などにより、入力信号、出力信号の端子数を制限することで、複数種類のデバイスを同時にウェーハ一括でバーンインすることと、動作状態を判定することができる。

この発明にかかるバーンイン装置は、複数種類のデバイスを同時にウェーハで一括してバーンインすることが可能となるので、バーンインの効率を容易に向上することができるという効果があり、半導体装置のバーンイン装置等として有用である。

本発明の第１の実施の形態を示し、複数種類のデバイスが同一ウェーハに搭載された半導体ウェーハを一括でバーンインし、動作確認まで可能にするための主な構成を示す説明図である。本発明の第２の実施の形態を示し、複数種類のデバイスが同一ウェーハに搭載された半導体ウェーハを一括でバーンインし、動作確認まで可能にするための主な構成を示す説明図である。本発明の実施の形態に用いられる、半導体デバイスの構成を示す説明図である。従来の半導体デバイスの構成を示す説明図である。ウェーハを一括でバーンインするためのプローブの構成を示し、（ａ）は（ｂ）の一部拡大図、（ｂ）は断面図である。従来の１種類のデバイスが搭載された半導体ウェーハを一括でバーンインし、動作確認まで可能にするための構成を示す説明図である。

符号の説明

１ａ第１のデバイス群
２ａ第２のデバイス群
３ａ第３のデバイス群
４ａ第４のデバイス群
５第１のデバイス群の出力制御端子
６第１のデバイス群の入力信号端子
７第１のデバイス群の出力端子
８第２のデバイス群の入力信号端子
９第２のデバイス群の出力制御端子
１０第２のデバイス群の出力端子
１１第３のデバイス群の入力信号端子
１２第３のデバイス群の出力制御端子
１３第３のデバイス群の出力端子
１４第４のデバイス群の入力信号端子
１５第４のデバイス群の出力制御端子
１６第４のデバイス群の出力端子
１７第１のデバイス群の出力制御端子に接続されるプローブ出力制御信号配線
１８第２のデバイス群の出力制御端子に接続されるプローブ出力制御信号配線
１９第３のデバイス群の出力制御端子に接続されるプローブ出力制御信号配線
２０第４のデバイス群の出力制御端子に接続されるプローブ出力制御信号配線
２１第１のデバイス群の入力信号端子に接続されるプローブ入力信号配線
２２第２のデバイス群の入力信号端子に接続されるプローブ入力信号配線
２３第３のデバイス群の入力信号端子に接続されるプローブ入力信号配線
２４第４のデバイス群の入力信号端子に接続されるプローブ入力信号配線
２５半導体ウェーハ
２６、２７デバイス群の出力端子に共通に接続されるプローブ出力信号配線
２８第１のデバイス群
２９第２のデバイス群
３０第１のデバイス群の入力信号端子
３１第１のデバイス群の出力制御端子
３２第１のデバイス群の出力端子
３３第２のデバイス群の入力信号端子
３４第２のデバイス群の出力制御端子
３５第２のデバイス群の出力端子
３６〜３９デバイス群の出力制御端子に接続されるプローブ出力制御信号配線
４０デバイス群の入力信号端子に接続されるプローブ入力信号配線
４１デバイス群の入力信号端子に接続されるプローブ入力信号配線
４２半導体ウェーハ
４３デバイス群の出力端子に共通に接続されるプローブ出力信号配線
４４デバイス群の出力端子に共通に接続されるプローブ出力信号配線
４５配線基板
４６局在型異方性導電ゴム
４７バンプ付きフィルム
４８配線層
４９シリコンウェーハ
５０アルミ電極
５１バンプ
５２真空シールリング
５３ウェーハトレー
５４シリコンウェーハ
５５プローブ
５６真空バルブ
５７大気圧
５９デバイス群の入力信号端子
６０デバイス群の出力制御端子
６１デバイス群の出力端子
６２〜６５デバイス群の出力制御端子に接続されるプローブ出力制御信号配線
６６デバイス群の入力信号端子に接続されるプローブ入力信号配線
７１〜７２デバイス群の出力端子の共通に接続されるプローブ出力信号配線
７３半導体デバイス
７４半導体デバイス７３の動作信号入力端子
７５半導体デバイス７３のバーンインモード設定入力端子
７６半導体デバイス７３のリセット入力端子
７７動作信号入力波形
７８バーンインモード設定信号
７９リセット信号入力波形
８０半導体デバイス７３の内部回路
８１半導体デバイス７３のバーンイン動作出力１
８２半導体デバイス７３のバーンイン動作出力２
８３半導体デバイス
８４半導体デバイスの動作信号入力端子
８５半導体デバイスの動作設定入力端子
８６半導体デバイスの動作リセット入力端子
８７動作信号入力波形
８８バーンインモード設定信号
８９リセット信号入力例
９０半導体デバイス８３の内部回路
９１半導体デバイスのバーンイン動作出力１
９２出力制御信号
９３出力制御端子
１０１信号発生回路
１０２判定手段
１０３選択手段
１０４バーンイン装置

Claims

信号入力端子、動作確認用出力端子および出力制御用入力端子を有する複数品種のデバイスが混在するウエーハのバーンイン装置であって、前記信号入力端子に前記複数品種のデバイスに対応した動作信号を供給する複数種類の信号を発生する信号発生回路と、前記動作確認用出力端子からの出力信号を入力して良否判定する判定手段と、前記各デバイスの出力制御用入力端子に供給して出力すべき前記動作確認用出力端子を選択する選択手段とを備えたバーンイン装置。
信号発生回路は同種のデバイスの信号入力端子を共通の入力信号配線により接続し、判定手段は異種のデバイスの動作確認用出力端子に共通の出力信号配線を接続し、選択手段は同種のデバイスの出力制御用入力端子に共通の制御信号配線を接続した請求項１記載のバーンイン装置。
信号発生回路は同種のデバイスの信号入力端子を共通の入力信号配線により接続し、判定手段は同種のデバイスの動作確認用出力端子に共通の出力信号配線を接続し、選択手段は異種のデバイスの出力制御用入力端子に共通の制御信号配線を接続した請求項１記載のバーンイン装置。
ウェーハは同種のデバイス同士を行または列に整列した請求項２または請求項３記載のバーンイン装置。
ウェーハ上の少なくとも一部のデバイスの動作に必要な端子にコンタクトできるように、上の信号入力端子、動作確認用出力端子および出力制御用入力端子に接触して入力信号配線、出力信号配線および制御信号配線を接続するプローブを有する請求項１、請求項２、請求項３、または請求項４記載のバーンイン装置。
判定手段は複数品種のデバイスに対応した複数の期待値を有し、前記デバイスからの出力信号をそのデバイスに対応する前記期待値と比較する出力比較機である請求項２または請求項３記載のバーンイン装置。
判定手段は複数の出力比較機を有し、前記複数の出力比較機の期待値を個別に設定する請求項６記載のバーンイン装置。
デバイスは動作信号入力端子、バーンインモード設定入力端子およびリセット入力端子を設けたバーンイン容易化回路のある内部回路を有し、前記内部回路の出力信号を少数の端子に集約する論理回路を有する請求項１記載のバーンイン装置。