JP2005206858A - めっき装置及びその方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】
本発明の目的は、深い穴や深い溝又はアスペクト比の高い穴や溝を有する被めっき表面に新しいめっき液を供給し易くし、短時間でめっきが出来るめっき装置及びその方法を提供することにある。
【解決手段】
本発明は、めっき槽と、該めっき槽内に垂設した陽極板と、該陽極板に対向して垂設する被めっき物を真空保持するステージと、前記めっき槽の側面部に設けられた開口部に該ステージを押圧する押圧装置とを有するめっき装置において、前記めっき槽内のめっき液を前記被めっき物のめっき面に対してその上下で同時に一方向に攪拌する攪拌部材及び該攪拌部材を駆動する駆動装置を有することを特徴とするめっき装置にある。
【選択図】 図5
本発明の目的は、深い穴や深い溝又はアスペクト比の高い穴や溝を有する被めっき表面に新しいめっき液を供給し易くし、短時間でめっきが出来るめっき装置及びその方法を提供することにある。
【解決手段】
本発明は、めっき槽と、該めっき槽内に垂設した陽極板と、該陽極板に対向して垂設する被めっき物を真空保持するステージと、前記めっき槽の側面部に設けられた開口部に該ステージを押圧する押圧装置とを有するめっき装置において、前記めっき槽内のめっき液を前記被めっき物のめっき面に対してその上下で同時に一方向に攪拌する攪拌部材及び該攪拌部材を駆動する駆動装置を有することを特徴とするめっき装置にある。
【選択図】 図5
Description
本発明は、新規なめっき装置及びその方法に係り、特に深穴深溝埋め込み用めっき装置及びその方法に関する。
めっき装置において膜厚分布の均一性に優れ、めっき液中の気泡によるめっき欠けが発生しにくい方式として、被めっき物をめっき液中に垂直に設置するディップ方式が知られている。ディップ方式におけるめっき槽の特長を生かし、かつウエハ前処理として特許文献1が知られている。特許文献1には、めっきを行う前に親水化処理を行うことにより、高アスペクト比のパターン内の気泡を除去し、めっき欠陥を防止し、高歩留まり性を有する全自動めっき方法と装置が開示されている。
特許文献2には、めっき槽と、該めっき槽内に垂設した陽極板と、該陽極板に対向して垂設する被めっき物を真空保持するステージと、前記めっき槽の側面部に設けられた開口部に該ステージを押圧する押圧装置とを有するめっき装置及びめっき槽内に垂設された陽極板に対向させて垂設した被めっき物にめっきを施すめっき方法が開示され、更にめっき液攪拌部材を設けることが示されている。
特許文献1においては、めっき時の印加電圧としてパルス電流を加える必要があり、めっき膜厚を所定の厚さにするための積算電流にするためには、長時間のめっきを行わなくてはならない欠点があった。これは、少しめっきしては休み、また少しめっきしては休むことにより、めっき時にウエハ表面に新しいめっき液が供給されるようにするためである。
又、特許文献2においては、めっき液攪拌部材を有するが、その具体的な記載がなく、又、めっき液の供給の具体的な記載がない。
本発明の目的は、深い穴や深い溝又はアスペクト比の高い穴や溝を有する被めっき物表面に新しいめっき液を供給し易くし、短時間でめっきが出来るめっき装置及びその方法を提供することにある。
本発明は、被めっき物表面に新しいめっき液を供給し易くするために、めっき槽内のめっき液を鉛直方向に伸びる攪拌棒(スキージ)によってめっき液の上下を同時に攪拌させることを特徴とするものである。その攪拌棒は、左右の運動又は一方向に回転運動させることによりめっき液全体を攪拌させ、ウエハ表面に常に新しいめっき液を供給出来るようにする。特に、攪拌棒を一方向に回転攪拌させることにより深い穴や深い溝又はアスペクト比の高い穴や溝を有する被めっき表面に新しいめっき液を供給し易くし、短時間でめっきが出来る。具体的には、以下の通りである。
本発明は、めっき槽と、該めっき槽内に垂設した陽極板と、該陽極板に対向して垂設する被めっき物を保持するステージと、前記めっき槽の側面部に設けられた開口部に前記ステージを押圧する押圧装置とを有するめっき装置において、前記めっき槽内のめっき液を前記被めっき物のめっき面に対してその上下で同時に一方向に攪拌する攪拌部材及び該攪拌部材を駆動する駆動装置を有することを特徴とする。
前記攪拌部材は少なくとも一本の棒状部材からなること、又、前記攪拌部材が少なくとも一個の回転ベルトに固定され該回転ベルトは少なくとも2本の回転軸間に巻き掛けられ前記回転ベルトの回転運動によって前記攪拌を行うことが好ましい。
前記めっき槽はめっき液上面の形状が4角形状を有しその四隅が円弧状又は鈍角状を有すること、又、前記めっき槽に着脱自在に設置される開口部材によって前記開口部が形成されていること、更に、前記ステージは前記開口部に回転させて設置させる回転アームに設けられた前記押圧装置を介して前記開口部に設置されていること、又、前記ステージは、前記被めっき物を真空保持する真空保持構造を有することが好ましい。
前記押圧装置は前記回転アームに設けられたエアーシリンダによる加圧手段と、該加圧手段による加圧を前記ステージに伝達する球面軸受けとを有すること、又、前記開口部は、前記被めっき物のめっき面の大きさ応じて開口の大きさが調整されることが好ましい。
又、本発明は、めっき槽と、該めっき槽内に垂設した陽極板と、該陽極板に対向して垂設する被めっき物を真空保持するステージと、前記めっき槽の側面部に設けられた開口部に該ステージを押圧する押圧装置とを有するめっき装置において、前記めっき槽内の底部に前記被めっき物のめっき面に対して平行に形成されたスリット状のめっき液供給口を有することを特徴とする。
前記めっき液供給口は前記被めっき物のめっき面の幅より長い前記スリットを有し、前記めっき面の近傍に有すること、又、前記めっき槽内のめっき液を前記被めっき物のめっき面に対してその上下で同時に左右又は一方向に攪拌する攪拌部材及び該攪拌部材を駆動する駆動装置を有することが好ましい。
更に、本発明は、めっき槽内に垂設された陽極板に対向させて垂設した被めっき物にめっきを施すめっき方法において、前記めっき槽内のめっき液を前記被めっき物のめっき面に対してその上下で同時に一方向に攪拌することを特徴とする。
前記被めっき物をステージに真空保持し、該ステージを回転移動させて前記めっき槽の側面に設けられた開口部にめっき面を垂直に配設した後、前記めっき槽内にめっき液を投入することが好ましい。
更に、前記被めっき物はその一方側のみを前記めっき槽内のめっき液に接触させて前記めっきを施すこと、又、前記被めっき物が半導体基板であり半導体基板上に前記めっきによって金属皮膜を形成することが好ましい。
又、本発明は、めっき槽内に垂設された陽極板に対向させて垂設した被めっき物にめっきを施すめっき方法において、前記めっき槽内の底部に前記被めっき物のめっき面に対して平行に設けられたスリット状のめっき液供給口より前記めっき液を供給しながら前記めっきを行うことを特徴とし、又、前記被めっき物のめっき面に対してその上下で同時に左右又は一方向に攪拌することが好ましい。
本発明によれば、深い穴や深い溝又はアスペクト比の高い穴や溝を有する被めっき表面に新しいめっき液を供給し易くし、短時間でめっきが出来るめっき装置及びその方法を提供することができる。
以下、本発明を実施するための最良の形態を具体的な実施例によって詳細に説明するが、本発明は実施例に限定されるものではない。
図1は、本発明に係るめっき装置の断面図である。図1において、めっき装置は、ウエハステージ1、めっき槽2、ウエハステージ1をめっき槽2に設けられた円形開口部7に押圧する押圧装置を有する。ウエハステージ1は、被めっき物であるウエハ3を真空保持する機構を有しており、その裏側を球面軸受け4を介し回転アーム5により水平から垂直に回転移動させる。ウエハステージ1を垂直にした後、回転アーム5に固定されたエアシリンダ6を伸長させウエハステージ1をめっき槽2の円形開口部7を塞ぐように押し付ける。図中、点線で示した部分が回転前であり、支点を中心にして回転する。回転は駆動モータによって行われる。
ウエハステージ1の裏側に設けられた支柱42とエアシリンダ6の伸長部45は広く薄い板ばね44で結合されている。これはウエハステージ1が円周方向に回転しずれることを防止すると共に、エアシリンダ6の伸長で球面軸受け4を介し押出された時、ウエハステージ1が中心対称に前後に振れる自由を確保しておき、均一にめっき槽2の円形開口部7に押し付けられるようにするためである。2つの支柱43はウエハステージ1の回転を抑制するものである。
めっき槽2は樹脂製で長方形体に形成されており、めっき槽2に円形開口部7が設けられる。まためっき槽2は、その内部に間仕切り板22を有し、めっき槽2内は二つに区分され、部屋23の下側にめっき液の導入管24が、部屋25の下側にその排出管26が接続される。めっき液は、円形開口部7がウエハ3により塞がれる時、導入管24から上向きに流入し一方の部屋23を満たし間仕切り板22を溢れ他方の部屋25に流れ出す。導入管24のめっき槽2の入り口にはウエハ3のめっき面の幅より長いボックス47が設けられ、そのボックス47にウエハ3のめっき面の幅より長いスリット46を有し、そのスリット46よりめっき液がめっき面に供給される。スリット46の幅はめっき液の供給量に応じて設定される。
部屋23にはウエハ3と平行にアノード板12が設置されており、カソード電極と接しているウエハ3との間にめっき電圧が印加される。また、めっき液で満たされる部屋23内には後述する棒状のめっき液攪拌部材であるスキージ8が設置され、動力によりウエハ3面に平行に繰り返し往復運動させてめっき液を攪拌する。スキージ8はウエハ3に対してそれよりも長くなっており、めっき液が供給されるスリット46近傍に設けられる。
図2は、本発明に係るめっき装置を示す系統図である。めっき槽2の円形開口部7はウエハ3を載せたウエハステージ1の旋回・走行・押付動作により密閉され、さらに円形開口部7に内蔵された陰極電極15とウエハ3が接触する。めっき槽2が密閉された後、めっき槽1の下方に設けられた導入管24からめっき液17を導入し、めっき槽2内の間仕切り板22を超えて排出管26よりめっき液17は排出される。排出されためっき液17は貯槽30へと導かれ、ポンプ31,フィルター32を介して再度導入管24に導かれて循環する構成となっている。めっき液17が循環されると、めっき電源33から電線34を介してアノード板12へと電流を印加し、めっき液17中を伝わってウエハ3、陰極電極15,電線36,めっき電源33へと導かれる。以上の動作によりめっき処理が行われる。図2では、スキージ8が図中省略したものである。
めっき液17を貯めるめっき液貯槽30は、めっき液17がウエハ3の上端以上の位置までめっき槽2にめっき液17を満たし、このめっき液17を全液排出管26から排出したときに全液を収容するに充分な容量を有するものとする。
図3は本発明に係るめっき槽2に設けられた円形開口部材16とその近傍の詳細図である。めっき槽2側面の円形開口部材16にはめっき電源33からの電流を通電する陰極電極15と、ウエハ3とめっき槽2の密閉をするシール機構27を有している。また、円形開口部材16はウエハステージ1を押付ける際に、位置ずれを抑制するためのテーパー状の案内部28を設けており、さらにめっき液17の外部液垂れを一箇所に集める排液口29を有している。
さらに、円形開口部材16はパッキング40を有しボルト41にてめっき槽2に固定されているため、陰極電極15やシール機構27の定期的な交換の際は円形開口部材16を取外すことにより容易に交換することができる。また、めっき槽2本体を交換することなく、円形開口部材16のみを交換することにより、各種口径の基板の処理に対応することが可能である。
図4は、本発明に係るめっき液攪拌部材の駆動部を示す平面図である。モータ11で円盤18を回転させ、この円盤18の周辺領域に固定したカムフォロワ19の動きに追随し、縦長の溝20を有するカム13が左右に往復運動をする。このカム13にスキージ取付け金具14を固定しており、図1に示す1本のスキージ8が連結され左右の往復運動によりめっき液が攪拌される。スキージ8は2〜4の複数本が好ましい。
このようにウエハ3表面に対し、めっき液はスリット46から供給され下から上に流れ、かつスキージ8の往復運動によりめっき液が左右に揺さぶられることにより新しいめっき液がウエハ3に供給される。本実施例によれば、深い穴や深い溝又はアスペクト比の高い穴や溝を有する被めっき表面に新しいめっき液を供給し易くし、短時間でめっきを行うことが出来る。
しかし、本実施例における攪拌においては、ウエハ3表面に新しいめっき液を供給する能力はやや不十分である。それはスキージの往復運動の攪拌ではスピードを上げると、ゆり戻しも早くなるため、より高い攪拌効果が得られにくいためである。このため、スキージの往復運動の攪拌では深穴めっき時に完全に埋め込むためには、めっき時の印加電圧としてパルス電流を加えるが、ややめっき時間が長くなってしまうことがある。
図5は、本発明に係るめっき液の攪拌装置の構成図である。図6は攪拌装置の回転部の平面図である。本実施例においては、実施例1のめっき液の攪拌装置を本実施例に変えたものである。ここでめっき槽2のめっき液を満たす一方の部屋23内の両端付近上方に鉛直方向の樹脂製の回転軸9、10を設置し、回転軸9はモーター11に連結している。それら回転軸9、10に樹脂製プーリー91、92を固定しており、プーリー91と92間に回転ベルト93を巻き掛けている。またこれら2本の回転軸はそれぞれ固定枠103、104に樹脂製ベアリング105、106、107、108を介し取り付けられている。回転ベルト93に鉛直方向に2本の攪拌棒95、96を等間隔に取り付けられている。攪拌棒95、96はめっき面を覆うようにそれよりも長いものである。この構成により一方の回転軸9をモーター11により回転させると、回転ベルト93が一方向に回転し、それに固定した2本の攪拌棒95、96によりめっき槽2内のめっき液がウエハ3の面に沿い一方向に回転攪拌される。
めっき槽2の両端付近上方それぞれに鉛直方向の回転軸を設置し、それら回転軸に固定したプーリー91、92に回転ベルト93を巻き掛け、この回転ベルト93に鉛直方向に攪拌棒95、96を取り付ける。この構成により一方の回転軸9をモーター11により回転させると、回転ベルト93が一方向に回転し、それに固定した2本の攪拌棒95、96によりめっき槽2内のめっき液がめっき面において一方向に回転攪拌させることができる。又、めっき面と反対側の攪拌棒は新しいめっき液をめっき面に供給するように働くのでめっき面への新しいめっき液の供給に繋がる。
本実施例は、めっき槽2内にめっき液を流入した後、一方の回転軸をモーター11により回転させると、回転ベルト93が一方向に回転し、それらに固定した攪拌棒95、96によりめっき槽2内のめっき液全体がウエハ3の面に沿い一方向に回転攪拌される。これにより、ウエハ3面には絶えず新しいめっき液が供給されるため、めっき時の印加電圧として直流電流を使用しても、ウエハ3内の深い穴を完全に埋め込む銅めっきが可能となる。
回転ベルト93としては、タイミングベルト又はチェーンを使用することが望ましく、これにより回転時のスリップを防止でき、かつこれらへの攪拌棒95、96の固定を強固にできる。また攪拌棒95、96としてはめっき液に浸る部分の形状を、めっき液を効率良く攪拌できるような形状として、断面が三角形や長方形となる形状にすることが望ましい。これによりめっき液の攪拌効果があがる。
又、めっき槽2上方の両端付近に鉛直方向の回転軸を設置し、それぞれの回転軸に複数個例えば2個のプーリー91、92を固定しそれぞれのプーリー91、92に回転ベルト93を巻き掛け、回転ベルト93を複数個例えば2個にする。攪拌棒95、96はこれら複数の回転ベルト93の両方に固定され、鉛直方向に取り付けられる。この構成により一方の回転軸をモーター11により回転させると、複数の回転ベルト93が一方向に同時に回転し、それらの両方に固定した攪拌棒95、96によりめっき槽2内のめっき液を一方向に回転攪拌させる。ここで各攪拌棒95、96は複数の回転ベルト93に固定されているため、構造上強固となり、めっき液を回転攪拌する際、少々の液抵抗があっても、ぶれを生じない利点がある。
更に、回転ベルト93の回転方向を所定時間例えば30秒ごとに反転させる機構を付加した構造も含む。この方法によりウエハ3面内のめっき厚さの均一性を向上させることが出来る。めっき液全体がスムーズに一方向回転するように、めっきを実施するめっき槽2の四隅を直角形状でなく、円弧や鈍角形状とし、めっき液の淀みとなる部分をなくすことが望ましい。
図6に示すように、攪拌棒95と、攪拌棒96との紙面に対して上下の間隔は狭いほど好ましいが、本実施例においては約60mmとした。好ましくは10〜40mmである。又、本実施例では、ウエハ200〜300mmに対して2本のめっき液攪拌棒を用いたものであるが、1本でも良い。しかし、1本の場合、所定の攪拌速度を得るには回転速度が大きくなりめっき液の飛散が生じること、めっき液の乱流が生じる恐れがある。又、全体で等間隔で8本程度多く設けることにより回転速度を小さくすることができ前述の点が少なくできるので有利であるが、あまり本数を多くすると電気の流れが阻害されるので好ましくない。好ましくは4〜12本である。
このようにウエハ3表面に対し、めっき液はスリット46から供給され下から上に流れ、かつ2本の攪拌棒95、96の一方向の回転運動によりめっき液が回転しながらめっき面に対して一方向に流れることにより新しいめっき液が効率良くウエハ3に供給することができる。回転は反対方向に対しても行うことができ、所定の時間毎に回転方向を変えてめっきを行うことができる。
以上のように、本実施例によれば、実施例1に比較してより深い穴や深い溝又はアスペクト比の高い穴や溝を有する被めっき表面に対しても新しいめっき液を常に十分に供給することができ、短時間でめっきを行うことができる。
1…ウエハステージ、2…めっき槽、3…ウエハ、4…球面軸受け、5…回転アーム、6…エアシリンダ、7…円形開口部、8…スキージ、9、10…回転軸、11…モーター、12…アノード板、13…カム、14…スキージ取付け金具、15…陰極電極、16…円形開口部材、17…めっき液、18…円盤、19…カムフォロワ、20…縦長の溝、21…側面部、22…間仕切り板、23…一方の部屋、24…めっき液の導入管、25…他方の部屋、26…排出管、27…シール機構、28…テーパ案内部、29…排液口、30…めっき液貯槽、31…ポンプ、32…フィルター、33…めっき電源、34,36…電線、40…パッキング、41…ボルト、42、43…支柱、44…板ばね、45…伸長部、46…スリット、47…ボックス、91,92…樹脂製プーリー、93…回転ベルト、95,96…攪拌棒、103,104…固定枠、105,106,107、108…樹脂製ベアリング。
Claims (18)
- めっき槽と、該めっき槽内に垂設した陽極板と、該陽極板に対向して垂設する被めっき物を保持するステージと、前記めっき槽の側面部に設けられた開口部に前記ステージを押圧する押圧装置とを有するめっき装置において、前記めっき槽内のめっき液を前記被めっき物のめっき面に対してその上下で同時に一方向に攪拌する攪拌部材及び該攪拌部材を駆動する駆動装置を有することを特徴とするめっき装置。
- 請求項1において、前記攪拌部材は少なくとも一本の棒状部材からなることを特徴とするめっき装置。
- 請求項1又は2において、前記攪拌部材が少なくとも一個の回転ベルトに固定され、該回転ベルトは少なくとも2本の回転軸間に巻き掛けられ、前記回転ベルトの回転運動によって前記攪拌を行うことを特徴とするめっき装置。
- 請求項1〜3のいずれかにおいて、前記めっき槽はめっき液上面の形状が4角形状を有し、その四隅が円弧状又は鈍角状を有することを特徴とするめっき装置。
- 請求項1〜4のいずれかにおいて、前記めっき槽に着脱自在に設置される開口部材によって前記開口部が形成されていることを特徴とするめっき装置。
- 請求項1〜5のいずれかにおいて、前記ステージは、前記開口部に回転させて設置させる回転アームに設けられた前記押圧装置を介して前記開口部に設置されることを特徴とするめっき装置。
- 請求項1〜6のいずれかにおいて、前記ステージは、前記被めっき物を真空保持する真空保持構造を有することを特徴とするめっき装置。
- 請求項1〜7のいずれかにおいて、前記押圧装置は、前記回転アームに設けられたエアーシリンダによる加圧手段と、該加圧手段による加圧を前記ステージに伝達する球面軸受けとを有することを特徴とするめっき装置。
- 請求項1〜8のいずれかにおいて、前記開口部は、前記被めっき物のめっき面の大きさ応じて開口の大きさが調整されることを特徴とするめっき装置。
- めっき槽と、該めっき槽内に垂設した陽極板と、該陽極板に対向して垂設する被めっき物を真空保持するステージと、前記めっき槽の側面部に設けられた開口部に該ステージを押圧する押圧装置とを有するめっき装置において、前記めっき槽内の底部に前記被めっき物のめっき面に対して平行に形成されたスリット状のめっき液供給口を有することを特徴とするめっき装置。
- 請求項10において、前記めっき液供給口は、前記被めっき物のめっき面の幅より長い前記スリットを有し、前記めっき面の近傍に有することを特徴とするめっき装置。
- 請求項10又は11において、前記めっき槽内のめっき液を前記被めっき物のめっき面に対してその上下で同時に左右又は一方向に攪拌する攪拌部材及び該攪拌部材を駆動する駆動装置を有することを特徴とするめっき装置。
- めっき槽内に垂設された陽極板に対向させて垂設した被めっき物にめっきを施すめっき方法において、前記めっき槽内のめっき液を前記被めっき物のめっき面に対してその上下で同時に一方向に攪拌することを特徴とするめっき方法。
- 請求項13において、前記被めっき物をステージに真空保持し、該ステージを回転移動させて前記めっき槽の側面に設けられた開口部にめっき面を垂直に配設した後、前記めっき槽内にめっき液を投入することを特徴とするめっき方法。
- 請求項13又は14において、前記被めっき物はその一方側のみを前記めっき槽内のめっき液に接触させて前記めっきを施すことを特徴とするめっき方法。
- 請求項13〜15のいずれかにおいて、前記被めっき物が半導体基板であり、該半導体基板上に前記めっきによって金属皮膜を形成することを特徴とするめっき方法。
- めっき槽内に垂設された陽極板に対向させて垂設した被めっき物にめっきを施すめっき方法において、前記めっき槽内の底部に前記被めっき物のめっき面に対して平行に設けられたスリット状のめっき液供給口より前記めっき液を供給しらがら前記めっきを行うことを特徴とするめっき方法。
- 請求項17において、前記被めっき物のめっき面に対してその上下で同時に左右又は一方向に攪拌することを特徴とするめっき方法。
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