JP2005203656A - 薄膜トランジスタ及び薄膜トランジスタの製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 熱CVDまたはCAT−CVDにより多結晶シリコン膜を形成し、この多結晶シリコン膜上にプラズマCVDによりアモルファスシリコン膜を形成して、薄膜トランジスタの半導体層を得るようにする。
【選択図】 図5
Description
11 ガラス基板
12 ゲート電極
13 ゲート絶縁膜
14 半導体層
14a 多結晶シリコン膜
14b アモルファスシリコン膜
Claims (9)
- 基板表面に形成した絶縁膜上に半導体層を有する薄膜トランジスタであって、前記半導体層を、多結晶シリコン膜と、この多結晶シリコン膜上に形成したアモルファスシリコン膜とから構成したことを特徴とする薄膜トランジスタ。
- 前記多結晶シリコン膜が熱CVDまたはCAT−CVDにより形成されたものであり、前記アモルファスシリコン膜がプラズマCVDにより形成されたものであることを特徴とする請求項1記載の薄膜トランジスタ。
- 前記多結晶シリコン膜の膜厚が10〜50nmであることを特徴とする請求項1または請求項2記載の薄膜トランジスタ。
- 基板表面に形成した絶縁膜上に半導体層を有する薄膜トランジスタの製造方法であって、熱CVDまたはCAT−CVDにより多結晶シリコン膜を形成し、この多結晶シリコン膜上にプラズマCVDによりアモルファスシリコン膜を形成して前記半導体層を得ることを特徴とする薄膜トランジスタの製造方法。
- 前記多結晶シリコン膜及び前記アモルファスシリコン膜の形成を、真空雰囲気内で連続して行うことを特徴とする請求項4記載の薄膜トランジスタの製造方法。
- 前記多結晶シリコン膜を熱CVDによって形成する場合、プラズマCVDによるゲート絶縁膜の形成と、この熱CVDによる多結晶シリコン膜の形成とを同一チャンバ内で連続して形成することを特徴とする請求項4または請求項5記載の薄膜トランジスタの製造方法。
- 前記多結晶シリコン膜を10〜50nmの範囲の膜厚で形成することを特徴とする請求項4乃至請求項6のいずれかに記載の薄膜トランジスタの製造方法。
- 前記多結晶シリコン膜を形成する際に、シラン及びジシランから選ばれた水素化ケイ素を原料ガスとし、この原料ガスに、多結晶シリコンの結晶成長を促進するガスを添加することを特徴とする請求項4乃至請求項7のいずれかに記載の薄膜トランジスタの製造方法。
- 前記原料ガスに添加するガスは、F2、SiF4、NF3のいずれかを含むことを特徴とする請求項8記載の薄膜トランジスタの製造方法。
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JP2016149572A (ja) * | 2008-10-31 | 2016-08-18 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置 |
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