JP2005203337A - 有機エレクトロルミネッセンス装置、有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法、および電子機器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 本発明の有機EL装置は、陽極23と陰極(50,52)との間に有機発光層60を含んでなる積層体を有し、前記有機発光層60が高分子発光材料からなるとともに、前記陰極(50,52)が、アルカリ金属のフッ化物又は酸化物、若しくはアルカリ土類金属のフッ化物又は酸化物、若しくは有機物との錯体又は化合物からなる第1層52と、マグネシウムの合金からなる第2層50とを、前記有機発光層60側からのこの順で含むことを特徴とする。
【選択図】 図5
Description
また、本発明の好ましい態様によれば、電子機器に上記のいずれか1つに記載の有機エレクトロルミネッセンス装置を備えたことを特徴とする。この発明によれば、高輝度、高発光効率、高寿命特性を示すことができ、しかも熱等に対する保存安定性にも優れた電子機器を提供することができる。
以下、図面を参照しながら、本発明の有機エレクトロルミネッセンス装置(有機EL装置)の一実施の形態について説明する。
有機EL装置1は、スイッチング素子として薄膜トランジスタ(Thin Film Transistor、以下ではTFTと略記する)を用いたアクティブマトリクス型の表示装置である。
この有機EL装置1は、図1に示すように、複数の走査線101…と、各走査線101に対して直角に交差する方向に延びる複数の信号線102…と、各信号線102に並列に延びる複数の電源線103…とがそれぞれ配線された構成を有するとともに、走査線101…と信号線102…の各交点付近に、画素領域X…が設けられている。
まず、図2に基づいて、本実施形態の有機ELの平面構造について説明する。本例の有機EL装置1は、電気絶縁性を備えた基板20と、スイッチング用TFT(図示せず)に接続された画素電極が基板20上にマトリックス状に配置されてなる画素電極域(図示せず)と、画素電極域の周囲に配置されるとともに各画素電極に接続される電源線(図示せず)と、少なくとも画素電極域上に位置する平面視ほぼ矩形の画素部3(図2中一点鎖線枠内)とを具備して構成されている。なお、本発明においては、基板20と後述するようにこれの上に形成されるスイッチング用TFTや各種回路、及び層間絶縁膜などを含めて、基体と称している。
次に、上記有機EL装置1の製造方法の一例を、図9〜図13を参照して説明する。ここで、図9〜図13に示す各断面図は、図2中のA−B線の断面図に対応している。
まず、図9(a)に示すように、基板20の表面に、下地保護層281を形成する。次に、下地保護層281上に、ICVD法、プラズマCVD法などを用いてアモルファスシリコン層501を形成した後、レーザアニール法又は急速加熱法により結晶粒を成長させてポリシリコン層とする。
次いで、図12(m)に示すように、親液性制御層25の所定位置、詳しくは上記BMを覆うように有機バンク層221を形成する。具体的な有機バンク層の形成方法としては、例えばアクリル樹脂、ポリイミド樹脂などのレジストを溶媒に溶かしたものを、スピンコート法、ディップコート法などの各種塗布法により塗布して有機質層を形成する。なお、有機質層の構成材料は、後述するインクの溶媒に溶解せず、しかもエッチングなどによってパターニングし易いものであればどのようなものでもよい。
次に、有機EL装置1について、その発光効率及び寿命特性を評価した。
具体的には、陰極の構成として、第1層をカルシウムにて、第2層をアルミニウムにて形成した比較例1と、第1層をフッ化リチウム/カルシウムにて、第2層をアルミニウムにて形成した比較例2と、第1層をフッ化リチウムにて、第2層をマグネシウムと銀の合金にて形成した実施例1と、について、それぞれ各色(赤色(R)、緑色(G)、青色(B))の発光効率及び寿命特性を比較した。青色(B)の発光する高分子発光材料としてPFMを用いて、LUMOレベルは2.1eVである。また、緑色(G)の発光する高分子発光材料としてF8BTを用いて、LUMOレベルは3.4eVである。さらに、赤色(R)の発光する高分子発光材料としてPATを用いて、LUMOレベルは3.3eVである。その結果を表1(発光効率)及び表2(寿命特性)に示す。なお、各表において、発光効率については比較例1の赤色(R)を「1」としたときの相対値を、寿命特性については比較例2の青色(B)を「1」としたときの相対値を示した。
次に、本発明の有機EL装置を備えた電子機器の具体例について説明する。本発明の電子機器は、前記の有機EL装置を表示部として有したものであり、具体的には図14に示すものが挙げられる。図14は、携帯電話の一例を示した斜視図である。図14において、符号1000は携帯電話本体を示し、符号1001は前記の有機EL装置を用いた表示部を示している。図14に示す電子機器は、前記有機EL装置を有した表示部を備えているので、長寿命で且つ明るい表示が得られる。
Claims (12)
- 陽極と陰極との間に有機発光層を含んでなる積層体を有する複数の有機発光素子とを備える有機エレクトロルミネッセンス装置であって、
前記有機発光層が高分子発光材料からなり、
前記複数の有機発光素子は、該複数の有機発光素子を構成する有機発光材料のうち、最もLUMOレベルが高い第1のLUMOレベルを有する第1の有機発光材料を備えた第1の有機発光素子と、該複数の有機発光素子を構成する有機発光材料のうち、最もLUMOレベルが低い第2のLUMOレベルを有する第2の有機発光材料を備えた第2の有機発光素子とを含み、
前記陰極は、前記第1の有機発光素子と前記第2の有機発光素子とに共通で形成されており、アルカリ金属のフッ化物又は酸化物、若しくはアルカリ土類金属のフッ化物又は酸化物、若しくは有機物との錯体又は化合物からなる第1層と、その仕事関数と前記第1のLUMOレベルとの差が0.7eV以内である原子を含む第2層とを、前記有機発光層側からのこの順で含むことを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス装置。 - 前記第1のLUMOレベルは3.0eVから3.5eVの範囲にあり、
前記第2のLUMOレベルは2.0eVから2.5eVの範囲にあり、
前記第2層が、仕事関数が3.0eVから4.0eVである原子を含むことを特徴とする請求項1に記載の有機エレクトロルミネッセンス装置。 - 前記第1層はフッ化リチウムであり、
前記第2層を構成する少なくとも一つの原子の仕事関数と前記第2のLUMOレベルとの差が2.0eV以内であることを特徴とする請求項1又は請求項2に記載の有機エレクトロルミネッセンス装置。 - 前記第2層が、マグネシウムと銀の合金、マグネシウムとアルミニウムの合金、マグネシウムとクロムの合金の中から選択される1又は2以上の合金からなることを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンス装置。
- 前記第2層が、前記積層体の最外層を構成していることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンス装置。
- 前記第2層の外層側に、透明電極が具備されてなることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンス装置。
- 前記第2層の外層側に、SiOxNy(x,yは整数)にて表される保護膜が具備されてなることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンス装置。
- 前記第2層が、その外層側に向けてマグネシウムの組成比が減少する勾配を有していることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンス装置。
- 前記第2層において、マグネシウムとその他の金属との重量比が10:1〜1:10であることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンス装置。
- 基板と、
陽極と陰極との間に有機発光層を含んでなる積層体を有する有機発光素子とを備える有機エレクトロルミネッセンス装置であって、
前記有機発光層が高分子発光材料からなり、
前記有機発光素子は、LUMOレベルが2.0eVから2.5eVの範囲にある有機発光層を有し、
前記陰極は、フッ化リチウムからなる第1層と、マグネシウムと銀の合金、マグネシウムとアルミニウムの合金、マグネシウムとクロムの合金の中から選択される1又は2以上の合金からなる第2層とを、前記有機発光層側からのこの順で含むことを特徴とする有機エレクトロルミネッセンス装置。 - 請求項1、請求項2、又は請求項10のいずれか1項に記載の有機エレクトロルミネッセンス装置を備えたことを特徴とする電子機器。
- 基板上に陽極を形成する工程と、
前記陽極上に有機発光層を含む機能層を液相法により形成する工程と、
前記機能層上にアルカリ金属のフッ化物又は酸化物、若しくはアルカリ土類金属のフッ化物又は酸化物、若しくは有機物との錯体又は化合物からなる陰極第1層を形成する工程と、
陰極第1層上にマグネシウムと銀の合金、マグネシウムとアルミニウムの合金、マグネシウムとクロムの合金の中から選択される1又は2以上の合金から陰極第2層を形成する工程とを有する有機エレクトロルミネッセンス装置の製造方法。
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Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2012178579A (ja) * | 2005-08-31 | 2012-09-13 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置 |
JP2013058802A (ja) * | 2005-08-31 | 2013-03-28 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置及び電子機器 |
JP2007234431A (ja) * | 2006-03-01 | 2007-09-13 | Seiko Epson Corp | 有機発光装置、有機発光装置の製造方法および電子機器 |
JP2011154795A (ja) * | 2010-01-26 | 2011-08-11 | Seiko Epson Corp | 有機el装置の製造方法及び有機el装置 |
WO2012133507A1 (ja) * | 2011-03-29 | 2012-10-04 | 東海ゴム工業株式会社 | 有機半導体デバイスおよび電極膜 |
CN102738412A (zh) * | 2012-05-30 | 2012-10-17 | 昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司 | 一种具有掺杂型电子传输层结构的有机电致发光器件 |
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