JP2005194502A - 液状エポキシ樹脂組成物及び半導体装置 - Google Patents
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Abstract
(B)一般式(1)の芳香族アミン化合物を5質量%以上含有する芳香族アミン系硬化剤
【化1】
(R1〜R3は独立に炭素数1〜6の一価炭化水素基、CH3S−及びC2H5S−から選ばれる基。)
(C)平均粒径が5μmを超える無機質充填剤
を必須成分とし、上記(C)無機質充填剤の配合量が、(A)液状エポキシ樹脂と(B)芳香族アミン系硬化剤の合計量100質量部に対して300〜1,000質量部である液状エポキシ樹脂組成物。
【効果】 本発明の液状エポキシ樹脂組成物は、線膨張係数が非常に小さく、作業性に優れ、吸湿後のリフロー温度が従来温度240℃付近から250〜270℃に上昇しても不良が発生せず、更にPCT(121℃/2.1atm)などの高温多湿の条件下でも劣化せず、−65℃/150℃の温度サイクルにおいて数百サイクルを超えても剥離、クラックが起こらない半導体装置を提供できる。
【選択図】 なし
Description
(A)液状エポキシ樹脂
(B)下記一般式(1)で表される芳香族アミン化合物を5質量%以上含有する芳香族アミン系硬化剤
(式中、R1〜R3は独立に炭素数1〜6の一価炭化水素基、CH3S−及びC2H5S−から選ばれる基である。)
(C)平均粒径が5μmを超える無機質充填剤
を必須成分とし、上記(C)無機質充填剤の配合量が、(A)液状エポキシ樹脂と(B)芳香族アミン系硬化剤の合計量100質量部に対して300〜1,000質量部であることを特徴とする液状エポキシ樹脂組成物を提供する。
(A)液状エポキシ樹脂
(B)下記一般式(1)で表される芳香族アミン化合物を5質量%以上含有する芳香族アミン系硬化剤
(式中、R1〜R3は独立に炭素数1〜6の一価炭化水素基、CH3S−及びC2H5S−から選ばれる基である。)
(C)平均粒径が5μmを超える無機質充填剤
を必須成分とする液状エポキシ樹脂組成物において、上記(C)無機質充填剤の配合量が(A)液状エポキシ樹脂と(B)芳香族アミン系硬化剤の合計量100質量部に対して500質量部を超え1,000質量部以下であり、25℃における粘度が1,000Pa・s以下であり、該組成物の硬化物の50〜80℃の線膨張係数α1が7〜10ppm、200〜230℃の線膨張係数α2が20〜50ppmであることを特徴とする液状エポキシ樹脂組成物を提供する。
R4COO−[R5−O]n−R6 (2)
(式中、R4、R6は炭素数1〜6の一価炭化水素基、R5は炭素数1〜6のアルキレン基である。nは0〜3の整数である。)
で表されるエステル系有機溶剤であることが好ましい。
HaR7 bSiO(4-a-b)/2 (3)
(式中、R7は置換又は非置換の脂肪族不飽和基を含有しない一価炭化水素基、aは0.01〜0.1、bは1.8〜2.2、1.81≦a+b≦2.3を満足する正数である。)
で表される1分子中の珪素原子の数が20〜400であり、かつ珪素原子に直接結合した水素原子(SiH基)の数が1〜5であるオルガノポリシロキサンのSiH基との付加反応により得られる共重合体からなるシリコーン変性樹脂を含有することが好ましい。
上記一般式(5)で示されるエポキシ樹脂の例としては、日本化薬社製RE600NM等が挙げられる。
R4COO−[R5−O]n−R6 (2)
(式中、R4、R6は炭素数1〜6の一価炭化水素基、R5は炭素数1〜6のアルキレン基である。nは0〜3の整数である。)
(式中、R7は置換又は非置換の脂肪族不飽和基を除く一価炭化水素基、aは0.01〜0.1、bは1.8〜2.2、1.81≦a+b≦2.3を満足する正数である。)
上記共重合体としては、中でも下記構造のものが望ましい。
BH型回転粘度計を用いて4rpmの回転数で25℃における粘度を測定した。また、40℃にて24時間放置後の粘度(25℃)においても測定した。
ポリイミド(PI)膜コートした5mm×5mmのシリコンチップに50μmピッチでリード線を取り付けたCOB型パッケージ(BT基板サイズ30mm×30mm×2mm)を用い、樹脂組成物をポッティング硬化させ、ボイドの有無をC−SAM(日立建機社製)とSEMで確認した。
5mm×5mm×15mmの硬化物試験片を用いて、TMA(熱機械分析装置)により毎分5℃の速さで昇温した時のTgを測定した。また、以下の温度範囲の膨張係数を測定した。
α1の温度範囲は50〜80℃、α2の温度範囲は200〜230℃である。
PI膜コートしたシリコンチップ上に上面の直径2mm、下面の直径5mm、高さ3mmの円錐台形状の試験片を載せ、165℃で3時間硬化させた。硬化後、得られた試験片の剪断接着力を測定し、初期値とした。更に、硬化させた試験片をPCT(121℃/2.1atm)で336時間吸湿させた後、接着力を測定した。いずれの場合も試験片の個数は5個で行い、その平均値を接着力として表記した。
PI膜コートした15mm×15mmのシリコンチップを30mm×30mm×2mmのBT基板を用いたギャップ120μmのCOB型パッケージを用い、樹脂組成物をポッティング硬化させ、30℃/65%RH/192時間後に最高温度265℃に設定したIRリフローにて5回処理した後の剥離、更にPCT(121℃/2.1atm)の環境下に置き、336時間後の剥離をC−SAM(日立建機社製)で確認した。
PI膜コートした15mm×15mmのシリコンチップを30mm×30mm×2mmのBT基板を用いたギャップ120μmのCOB型パッケージを用い、樹脂組成物をポッティング硬化させ、30℃/65%RH/192時間後に最高温度265℃に設定したIRリフローにて5回処理した後、−65℃/30分、150℃/30分を1サイクルとし、250,500,750,1000サイクル後の剥離、クラックを確認した。
表1〜3に示す成分を3本ロールで均一に混練することにより、各種樹脂組成物を得た。これらの樹脂組成物を用いて、上記試験を行った。結果を表1〜3に示す。
硬化剤B:ジメチルチオトルエンジアミン(分子量:214.4)
硬化剤C:ジメチルトルエンジアミン(分子量:150)
C−300S:テトラエチルジアミノフェニルメタン(日本化薬社製)
RE303S−L:ビスフェノールF型エポキシ樹脂(日本化薬社製)
エピコート630H:3官能型エポキシ樹脂(ジャパンエポキシレジン(株)製)
球状シリカB:平均粒径12.8μm、最大粒径80μmのゾルゲル法で製造された球状
シリカ
ヒュームドシリカ:表面処理無機質充填剤 ヘキサメチルシラザン:SE31(商品名、
信越化学工業社製)で表面処理したヒュームドシリカ:アエロジル130(商
品名、日本アエロジル社製、平均粒径:0.15μm)
カーボンブラック:(電化ブラック、電気化学工業製)
KBM403:シランカップリング剤、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン(
信越化学工業社製)
溶剤B:PGMEA(プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート) 沸点14
6℃
Claims (12)
- (A)液状エポキシ樹脂
(B)下記一般式(1)で表される芳香族アミン化合物を5質量%以上含有する芳香族アミン系硬化剤
(式中、R1〜R3は独立に炭素数1〜6の一価炭化水素基、CH3S−及びC2H5S−から選ばれる基である。)
(C)平均粒径が5μmを超える無機質充填剤
を必須成分とする液状エポキシ樹脂組成物において、上記(C)無機質充填剤の配合量が(A)液状エポキシ樹脂と(B)芳香族アミン系硬化剤の合計量100質量部に対して500質量部を超え1,000質量部以下であり、25℃における粘度が1,000Pa・s以下であり、該組成物の硬化物の50〜80℃の線膨張係数α1が7〜10ppm、200〜230℃の線膨張係数α2が20〜50ppmであることを特徴とする液状エポキシ樹脂組成物。 - 更に沸点が130℃以上250℃以下の有機溶剤を(A)液状エポキシ樹脂と(B)芳香族アミン系硬化剤の合計量100質量部に対して50質量部以下含有する請求項1又は2記載の液状エポキシ樹脂組成物。
- 上記有機溶剤が、エステル系有機溶剤である請求項3記載の液状エポキシ樹脂組成物。
- 上記エステル系有機溶剤が、下記一般式(2)
R4COO−[R5−O]n−R6 (2)
(式中、R4、R6は炭素数1〜6の一価炭化水素基、R5は炭素数1〜6のアルキレン基である。nは0〜3の整数である。)
で表されるエステル系有機溶剤である請求項4記載の液状エポキシ樹脂組成物。 - (A)液状エポキシ樹脂と(B)芳香族アミン系硬化剤との配合当量比[(A)液状エポキシ樹脂のエポキシ当量/(B)芳香族アミン系硬化剤のアミン当量]が、0.7以上1.2以下である請求項1乃至5のいずれか1項記載の液状エポキシ樹脂組成物。
- 上記(C)無機質充填剤が溶融球状シリカであって、その最大粒径が半導体装置のリード間隔サイズの2/3以下である請求項1乃至6のいずれか1項記載の液状エポキシ樹脂組成物。
- (C)無機質充填剤の平均粒径が半導体装置のリード間隔サイズの1/2以下であり、かつその最大粒径が半導体装置のリード間隔サイズの2/3以下である請求項1乃至7のいずれか1項記載の液状エポキシ樹脂組成物。
- 更に、アルケニル基含有エポキシ樹脂又はアルケニル基含有フェノール樹脂のアルケニル基と、下記平均組成式(3)
HaR7 bSiO(4-a-b)/2 (3)
(式中、R7は置換又は非置換の脂肪族不飽和基を含有しない一価炭化水素基、aは0.01〜0.1、bは1.8〜2.2、1.81≦a+b≦2.3を満足する正数である。)
で表される1分子中の珪素原子の数が20〜400であり、かつ珪素原子に直接結合した水素原子(SiH基)の数が1〜5であるオルガノポリシロキサンのSiH基との付加反応により得られる共重合体からなるシリコーン変性樹脂を含有する請求項1乃至8のいずれか1項記載の液状エポキシ樹脂組成物。 - 請求項1乃至9のいずれか1項記載の液状エポキシ樹脂組成物の硬化物で封止した半導体装置。
- 請求項1乃至9のいずれか1項記載の液状エポキシ樹脂組成物の硬化物で封止した低誘電率層間絶縁膜を有する半導体装置。
- キャビティーダウン型又はCOB型半導体装置である請求項10記載の半導体装置。
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