JP2005191340A - ロードポート装置 - Google Patents
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Abstract
半導体製造装置が占める空間部を小さくすることである。
【解決手段】
ロードポート装置Aの装置本体1において、ウエハキャリアCを設置するキャリアテーブル2の両側壁部2aの内側面に、第1及び第2の各引出しレールR1,R2 を入れ子状態で取付けると共に、内側の第2引出しレールR2 にベース板14を介してウエハテーブル6を取付けてアンロード装置Uを構成し、ウエハWの抜取り検査を行う場合には、ウエハプロセス装置Bから抜き取ったウエハWをウエハテーブル6のウエハ載置部9に載置させ、前記ベース板14を引き出して、前記ウエハテーブル6をウエハ取出し位置P2 に配置して、ウエハWを取り出す。
【選択図】 図1
Description
B:ウエハプロセス装置(半導体製造装置)
C:ウエハキャリア
Q:取出し方向
R1,R2 :引出しレール
U:アンロード装置
W:ウエハ
1:装置本体
2:キャリアテーブル
6:ウエハテーブル
Claims (4)
- 半導体製造装置に装着される装置本体と、
前記半導体製造装置によって処理されるウエハを収納したウエハキャリアを設置するためのキャリアテーブルとを備えたロードポート装置であって、
前記装置本体には、半導体製造装置から抜き取られたウエハを載置するためのウエハテーブルと、
前記ウエハテーブルを引き出すための引出しレールと、
を備えたアンロード装置が配設されていることを特徴とするロードポート装置。 - 前記アンロード装置は、前記キャリアテーブルの下方に、重なり状態で配設されていることを特徴とする請求項1に記載のロードポート装置。
- 前記ウエハテーブルは、異なる大きさのウエハを載置可能であることを特徴とする請求項1又は2に記載のロードポート装置。
- 前記ウエハテーブルは、ウエハキャリアに収納された各ウエハの取出し方向に沿って引き出されるように構成されていることを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載のロードポート装置。
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